本發(fā)明涉及半導(dǎo)體制造生產(chǎn)線零件，具體涉及一種半導(dǎo)體級(jí)高密封性減壓閥及密封結(jié)構(gòu)。

背景技術(shù)：

1、半導(dǎo)體級(jí)減壓閥需要閥體在底部開設(shè)一個(gè)與閥針卡接的漏斗形通孔，在開設(shè)這個(gè)通孔的時(shí)候，通常需要閥體底部自下而上地開設(shè)一個(gè)加工孔，隨后再將其密封，為了避免減壓閥的泄露，需要封堵這個(gè)加工孔，并且以后不需要將其再打開。這樣，相比于其它隔膜閥而言，減壓閥就多了加工孔泄露這一風(fēng)險(xiǎn)。在運(yùn)輸和操作過(guò)程中，也需要避免加工人員錯(cuò)誤地把它打開，將其配置為不可打開或不易打開。在傳統(tǒng)的密封方式中，僅僅以螺栓擰入上述加工孔內(nèi)，并且通過(guò)涂膠、焊接的方式密封并且不可拆卸。但是，上述方式不光不可拆卸，無(wú)法維修，還因螺紋處的顆粒物會(huì)滲入到閥體內(nèi)，造成顆粒物超標(biāo)，無(wú)法達(dá)到半導(dǎo)體級(jí)的超潔凈的要求。因此，目前需要一種密封效果好，且不可打開或不易打開的一種高密封性減壓閥。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、本發(fā)明的目的在于提供一種半導(dǎo)體級(jí)高密封性減壓閥及密封結(jié)構(gòu)，解決現(xiàn)有半導(dǎo)體級(jí)高密封性減壓閥加工孔密封效果不好且容易錯(cuò)誤操作導(dǎo)致半導(dǎo)體級(jí)高密封性減壓閥密封失效的問(wèn)題。

2、為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供如下技術(shù)方案：

3、一種半導(dǎo)體級(jí)高密封性減壓閥，包括：

4、閥體，閥體的底部開設(shè)有加工孔，加工孔包括待密封孔和流體通道，待密封孔設(shè)有內(nèi)螺紋，流體通道未密封時(shí)與待密封孔連通，密封后待密封孔與閥體的流體通道的連通被阻斷；

5、密封墊，密封墊位于待密封孔內(nèi)，密封墊與待密封孔底部靠近流體通道的位置密封接觸，對(duì)流體通道進(jìn)行密封；

6、密封部件，密封部件的外周面設(shè)置有外螺紋，密封部件沿其軸線開設(shè)有內(nèi)螺紋通孔，密封部件通過(guò)外螺紋與待密封孔螺紋配合；

7、第一c型密封環(huán)，第一c型密封環(huán)位于密封墊和密封部件之間，第一c型密封環(huán)與內(nèi)螺紋通孔同軸設(shè)置；

8、圓臺(tái)螺栓，圓臺(tái)螺栓與內(nèi)螺紋通孔螺紋配合，圓臺(tái)螺栓的圓臺(tái)段位于密封墊與第一c型密封環(huán)之間，圓臺(tái)段的傾斜面與第一c型密封環(huán)的遠(yuǎn)離密封部件的一側(cè)接觸，圓臺(tái)螺栓用于對(duì)第一c型密封環(huán)軸向限位；

9、第二c型密封環(huán)，第二c型密封環(huán)同軸設(shè)置于第一c型密封環(huán)的外側(cè)，且分別與密封部件和密封墊抵接，第二c型密封環(huán)的內(nèi)環(huán)面與第一c型密封環(huán)的外環(huán)面抵接，第二c型密封環(huán)的外環(huán)面與待密封孔的內(nèi)壁抵接。

10、與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明提供的半導(dǎo)體級(jí)高密封性減壓閥中，在封堵閥體的待密封孔時(shí)，首先將第一c型環(huán)與密封部件同軸放置于密封部件上，之后將圓臺(tái)螺栓擰入密封部件的內(nèi)螺紋通孔，使得圓臺(tái)螺栓的圓臺(tái)段卡接于第一c型密封環(huán)的上部，之后將第二c型密封環(huán)頂入待密封孔中，使其頂部與密封墊抵接，其外周面抵靠于閥體，再將密封部件擰入待密封孔中，使得設(shè)置于密封部件上的第一c型密封環(huán)的外環(huán)面與第二c型密封環(huán)的內(nèi)環(huán)面相抵接。此時(shí)，第二c型密封環(huán)分別抵接于密封環(huán)和密封部件上，第二c型密封環(huán)將第一c型密封環(huán)包圍并接觸，第二c型密封環(huán)的內(nèi)環(huán)面與第一c型密封環(huán)的外環(huán)面卡接，圓臺(tái)螺栓的圓臺(tái)段的下側(cè)與第一c型密封環(huán)的內(nèi)環(huán)面的上部卡接，于是，在進(jìn)行到密封孔的密封封堵時(shí)，將密封部件擰入待密封孔，向下旋動(dòng)圓臺(tái)螺栓，在圓臺(tái)螺栓向下移動(dòng)的過(guò)程中，第一c型密封環(huán)受到圓臺(tái)螺栓的圓臺(tái)段的擠壓變形，具體地，其受向下的壓力橫向變寬，從而向周圍擠壓第二c型密封環(huán)，第二c型密封環(huán)受擠壓變形向上擠壓密封環(huán)，從而使得密封環(huán)緊靠于第一環(huán)形凸起部上，起到更為良好的密封作用，從而增強(qiáng)了半導(dǎo)體級(jí)高密封性減壓閥的密封性。且在圓臺(tái)螺栓向下移動(dòng)的過(guò)程中，第一c型密封環(huán)給予密封部件一個(gè)向外頂出的力，被擠壓的第二c型密封環(huán)發(fā)生變形同時(shí)給予密封部件一個(gè)向外頂出的力，二力會(huì)在密封部件與待密封孔的螺紋接觸面上產(chǎn)生垂直于螺紋的壓力，從而增加了螺紋之間的摩擦力，增強(qiáng)了螺紋自鎖力，從而使得密封部件不易被擰出。

11、可選地，在上述的半導(dǎo)體級(jí)高密封性減壓閥中，閥體還設(shè)置有第一環(huán)形凸起部，第一環(huán)形凸起部圍繞流體通道的外緣一周設(shè)置，第一環(huán)形凸起部與密封墊緊密接觸。

12、可選地，在上述的半導(dǎo)體級(jí)高密封性減壓閥中，閥體還設(shè)置有第二環(huán)形凸起部，第二環(huán)形凸起部設(shè)置于待密封孔的側(cè)壁面，且位于密封墊與密封部件之間，第二環(huán)形凸起部在沿密封墊至密封部件的方向上逐漸靠近待密封孔的軸線，第二c型密封環(huán)固定設(shè)置于密封部件上，第二c型密封環(huán)的外環(huán)面的下部與第二環(huán)形凸起部的傾斜面接觸。

13、可選地，在上述的半導(dǎo)體級(jí)高密封性減壓閥中，第二c型密封環(huán)的環(huán)形截面直徑大于第一c型密封環(huán)的環(huán)形截面直徑。

14、可選地，在上述的半導(dǎo)體級(jí)高密封性減壓閥中，第二c型密封環(huán)的外環(huán)面設(shè)置有卡槽，閥體開設(shè)有導(dǎo)槽，導(dǎo)槽開設(shè)于第二環(huán)形凸起部上，半導(dǎo)體級(jí)高密封性減壓閥還包括：

15、卡銷，卡銷設(shè)置于導(dǎo)槽內(nèi)，卡銷用于與卡槽卡接，對(duì)第二c型密封環(huán)周向限位；

16、彈性元件，彈性元件設(shè)置于導(dǎo)槽內(nèi)，且彈性元件的兩端分別抵接于卡銷和閥體，彈性元件用于對(duì)卡銷施加靠近于第二c型密封環(huán)的彈性力。

17、可選地，在上述的半導(dǎo)體級(jí)高密封性減壓閥中，卡槽的數(shù)量為多個(gè)，多個(gè)卡槽沿第二c型密封環(huán)的外環(huán)面的一周開設(shè)；導(dǎo)槽的數(shù)量為多個(gè)，多個(gè)導(dǎo)槽沿第二環(huán)形凸起部的一周與多個(gè)卡槽一一對(duì)應(yīng)地開設(shè)。

18、可選地，在上述的半導(dǎo)體級(jí)高密封性減壓閥中，卡槽為方盲孔，且卡銷為平頭銷；或卡槽為通孔。

19、可選地，在上述的半導(dǎo)體級(jí)高密封性減壓閥中，圓臺(tái)螺栓的遠(yuǎn)離圓臺(tái)段的一端開設(shè)有第一通孔，第一通孔的垂直于其軸線的截面為多邊形，第一通孔用于卡接扳手，以對(duì)圓臺(tái)螺栓施加扭力。

20、可選地，在上述的半導(dǎo)體級(jí)高密封性減壓閥中，密封部件的遠(yuǎn)離密封墊的一端開設(shè)有第二通孔，第二通孔與內(nèi)螺紋通孔連通，第二通孔的內(nèi)切圓半徑大于內(nèi)螺紋通孔的內(nèi)切圓半徑，第二通孔的垂直于其軸線的截面為多邊形，用于卡接扳手，以對(duì)密封部件施加扭力。

21、本發(fā)明還提供一種密封結(jié)構(gòu)，用于設(shè)置于半導(dǎo)體級(jí)高密封性減壓閥的加工孔內(nèi)，密封結(jié)構(gòu)包括：

22、密封部件，密封部件的外周面設(shè)置有外螺紋，密封部件沿其軸線開設(shè)有內(nèi)螺紋通孔，密封部件用于與待密封孔螺紋配合；

23、第一c型密封環(huán)，第一c型密封環(huán)與內(nèi)螺紋通孔同軸設(shè)置于密封部件；

24、圓臺(tái)螺栓，圓臺(tái)螺栓與內(nèi)螺紋通孔螺紋配合，圓臺(tái)段的傾斜面與第一c型密封環(huán)的遠(yuǎn)離密封部件的一側(cè)接觸，圓臺(tái)螺栓用于對(duì)第一c型密封環(huán)軸向限位；

25、第二c型密封環(huán)，第二c型密封環(huán)同軸設(shè)置于第一c型密封環(huán)的外側(cè)，第二c型密封環(huán)用于頂靠在密封墊上，第二c型密封環(huán)的內(nèi)環(huán)面的中下部與第一c型密封環(huán)的外環(huán)面的中上部抵接，第二c型密封環(huán)的外環(huán)面用于與待密封孔的內(nèi)壁抵接。

26、與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明提供的密封結(jié)構(gòu)的有益效果在上述技術(shù)方案所述的半導(dǎo)體級(jí)高密封性減壓閥中已詳細(xì)提及，此處不再贅述。

技術(shù)特征：

1.一種半導(dǎo)體級(jí)高密封性減壓閥，其特征在于，包括：

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體級(jí)高密封性減壓閥，其特征在于，所述閥體（1）還設(shè)置有第一環(huán)形凸起部（101），所述第一環(huán)形凸起部（101）圍繞所述流體通道（202）的外緣一周設(shè)置，所述第一環(huán)形凸起部（101）與所述密封墊（3）緊密接觸。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體級(jí)高密封性減壓閥，其特征在于，所述閥體（1）還設(shè)置有第二環(huán)形凸起部（102），所述第二環(huán)形凸起部（102）設(shè)置于所述待密封孔（201）的側(cè)壁面，且位于所述密封墊（3）與所述密封部件（4）之間，所述第二環(huán)形凸起部（102）在沿所述密封墊（3）至所述密封部件（4）的方向上逐漸靠近所述待密封孔（201）的軸線，所述第二c型密封環(huán)（6）固定設(shè)置于所述密封部件（4）上，所述第二c型密封環(huán)（6）的外環(huán)面的下部與所述第二環(huán)形凸起部（102）的傾斜面接觸。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體級(jí)高密封性減壓閥，其特征在于，所述第二c型密封環(huán)（6）的環(huán)形截面直徑大于所述第一c型密封環(huán)（5）的環(huán)形截面直徑。

5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的半導(dǎo)體級(jí)高密封性減壓閥，其特征在于，所述第二c型密封環(huán)（6）的外環(huán)面設(shè)置有卡槽（61），所述閥體開設(shè)有導(dǎo)槽（8），所述導(dǎo)槽（8）開設(shè)于所述第二環(huán)形凸起部（102）上，所述半導(dǎo)體級(jí)高密封性減壓閥還包括：

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的半導(dǎo)體級(jí)高密封性減壓閥，其特征在于，所述第二c型密封環(huán)（6）的外環(huán)面設(shè)置有多個(gè)卡槽（61），所述多個(gè)卡槽（61）沿所述第二c型密封環(huán)（6）的外環(huán)面的一周開設(shè)；所述閥體開設(shè)有多個(gè)導(dǎo)槽（8），所述多個(gè)導(dǎo)槽（8）沿所述第二環(huán)形凸起部（102）的一周與所述多個(gè)卡槽（61）一一對(duì)應(yīng)地開設(shè)。

7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的半導(dǎo)體級(jí)高密封性減壓閥，其特征在于，所述卡槽（61）為方盲孔，且所述卡銷（12）為平頭銷；或所述卡槽（61）為通孔。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體級(jí)高密封性減壓閥，其特征在于，所述圓臺(tái)螺栓（7）的遠(yuǎn)離所述圓臺(tái)段（71）的一端開設(shè)有第一通孔（10），所述第一通孔（10）的垂直于其軸線的截面為多邊形，所述第一通孔（10）用于卡接扳手，以對(duì)所述圓臺(tái)螺栓（7）施加扭力。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體級(jí)高密封性減壓閥，其特征在于，所述密封部件（4）的遠(yuǎn)離所述密封墊（3）的一端開設(shè)有第二通孔（11），所述第二通孔（11）與所述內(nèi)螺紋通孔（401）連通，所述第二通孔（11）的內(nèi)切圓半徑大于所述內(nèi)螺紋通孔（401）的內(nèi)切圓半徑，所述第二通孔（11）的垂直于其軸線的截面為多邊形，用于卡接扳手，以對(duì)所述密封部件（4）施加扭力。

10.一種密封結(jié)構(gòu)，其特征在于，用于設(shè)置于半導(dǎo)體級(jí)高密封性減壓閥的加工孔內(nèi)，所述密封結(jié)構(gòu)包括：

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開一種半導(dǎo)體級(jí)高密封性減壓閥及密封結(jié)構(gòu)，涉及半導(dǎo)體制造生產(chǎn)線零件技術(shù)領(lǐng)域，解決現(xiàn)有減壓閥的加工孔密封效果不好且容易錯(cuò)誤操作導(dǎo)致減壓閥密封失效的問(wèn)題。一種減壓閥包括：閥體、密封墊、密封部件、第一c型密封環(huán)、圓臺(tái)螺栓和第二c型密封環(huán)，其中，閥體的底部開設(shè)有加工孔，加工孔包括待密封孔和流體通道；密封墊位于待密封孔內(nèi)；密封部件用于與待密封孔螺紋配合，對(duì)待密封孔密封；第一c型密封環(huán)與內(nèi)螺紋通孔同軸設(shè)置于密封墊和密封部件之間；圓臺(tái)螺栓與密封部件螺紋配合；第二c型密封環(huán)抵接于密封部件和密封墊上，其內(nèi)環(huán)面與第一c型密封環(huán)的外環(huán)面抵接，密封結(jié)構(gòu)包括：密封部件、第一c型密封環(huán)、圓臺(tái)螺栓和第二c型密封環(huán)。

技術(shù)研發(fā)人員：王保保,白冰,李健,耿德占
受保護(hù)的技術(shù)使用者：中科艾爾（北京）科技有限公司
技術(shù)研發(fā)日：
技術(shù)公布日：2024/12/19