本發(fā)明涉及輥保持器的連結(jié)體、交叉輥引導(dǎo)件以及工作臺裝置。

背景技術(shù)：

1、帶電粒子束描繪裝置一邊由工作臺裝置調(diào)整掩模的位置，一邊在掩模上描繪規(guī)定的圖案。作為工作臺裝置使用的直動工作臺具有導(dǎo)軌、多個輥以及保持多個輥的長板狀的保持器(輥計(roller?gauge))，并出于降低各部的磨損的目的而使用潤滑劑。

2、在潤滑劑的粘度高的情況下，輥躍上潤滑劑時產(chǎn)生微振動，工作臺位置測定精度降低，描繪精度劣化等問題存在。因此，工作臺裝置使用的潤滑劑優(yōu)選真空用油等低粘度的潤滑劑。

3、但是，真空用油(低粘度潤滑劑)難以長時間停留在導(dǎo)軌與輥之間，存在油供給頻率變高的傾向。為了降低油供給頻率，已知有在輥計上設(shè)置油保持用的凹部(pocket)的對策，但為了設(shè)置油保持凹部，輥計的截面積(厚度)變大，剛性變高。在輥計的剛性高的情況下，妨礙導(dǎo)軌與輥適當?shù)亟佑|，在導(dǎo)軌與輥之間產(chǎn)生不希望的間隙，對工作臺的姿勢穩(wěn)定性、工作臺自身的剛性產(chǎn)生影響等問題存在。

技術(shù)實現(xiàn)思路

1、本發(fā)明提供能夠使輥與導(dǎo)軌適當?shù)亟佑|的輥保持器的連結(jié)體、交叉輥引導(dǎo)件以及工作臺裝置。

2、本發(fā)明的一個方式的輥保持器的連結(jié)體是將分別收納輥的多個輥保持器連結(jié)而成的連結(jié)體，各輥保持器具有：基座部；第一塊，設(shè)置于所述基座部的一端；以及第二塊，設(shè)置于所述基座部的另一端，在所述第一塊與所述第二塊之間的輥收納部收納輥，在所述第一塊的外側(cè)的端面以及所述第二塊的外側(cè)的端面分別設(shè)置連結(jié)部，所述多個輥保持器的所述連結(jié)部彼此連結(jié)，使得多個輥保持器的所述輥收納部中收納的輥以包含繞連結(jié)軸的旋轉(zhuǎn)的不同的軸進行旋轉(zhuǎn)。

3、本發(fā)明的一個方式的交叉輥引導(dǎo)件具備：一對導(dǎo)軌，平行地配置，在對置的面分別形成有v槽；以及配置于所述導(dǎo)軌之間的上述的輥保持器的連結(jié)體。

4、本發(fā)明的一個方式的工作臺裝置具備：所述交叉輥引導(dǎo)件；固定板，與所述一對導(dǎo)軌中的一者連結(jié)；以及工作臺，與所述一對導(dǎo)軌中的另一者連結(jié)，且能夠水平移動。

技術(shù)特征：

1.一種輥保持器的連結(jié)體，其通過將分別收納輥的多個輥保持器連結(jié)而成，

2.如權(quán)利要求1所述的輥保持器的連結(jié)體，其中，

3.如權(quán)利要求1所述的輥保持器的連結(jié)體，其中，

4.如權(quán)利要求2所述的輥保持器的連結(jié)體，其中，

5.如權(quán)利要求1所述的輥保持器的連結(jié)體，其中，

6.如權(quán)利要求2所述的輥保持器的連結(jié)體，其中，

7.一種交叉輥引導(dǎo)件，具備：

8.一種工作臺裝置，具備：

技術(shù)總結(jié)
提供能夠使輥與導(dǎo)軌適當?shù)亟佑|的輥保持器的連結(jié)體、交叉輥引導(dǎo)件以及工作臺裝置。本實施方式的輥保持器的連結(jié)體是將分別收納輥的多個輥保持器連結(jié)而成的連結(jié)體，各輥保持器具有：基座部；第一塊，設(shè)置于所述基座部的一端；以及第二塊，設(shè)置于所述基座部的另一端，在所述第一塊與所述第二塊之間的輥收納部收納輥，在所述第一塊的外側(cè)的端面以及所述第二塊的外側(cè)的端面分別設(shè)置連結(jié)部。所述多個輥保持器的所述連結(jié)部彼此連結(jié)，使得多個輥保持器的所述輥收納部中收納的輥以包含繞連結(jié)軸的旋轉(zhuǎn)的不同的軸進行旋轉(zhuǎn)。

技術(shù)研發(fā)人員：佐藤保尚,明野公信,安部勇仁
受保護的技術(shù)使用者：紐富來科技股份有限公司
技術(shù)研發(fā)日：
技術(shù)公布日：2024/12/19