本發(fā)明有關于一種節(jié)流閥，特別是有關于一種可防止微粒污染的節(jié)流閥。

背景技術：

在一氣相沉積制程中，沉積層被沉積于半導體晶圓(或基材)之上，通常包括加熱該基材，并將該基材夾持，以使該基材相距于沉積氣體(制程氣體)的供應源維持一短的距離，沉積氣體(制程氣體)朝該基材流動。該沉積氣體氣流產(chǎn)生反應，并于該被加熱的基材上形成一沉積層。

在腔室和真空泵之間的真空管路上的某些點，真空截止閥或節(jié)流閥通常被提供，在關閉時為處理室提供限制。揮發(fā)性污染物在反應腔室中的高溫下維持在汽態(tài)，會不被期望的凝結在冷卻的真空管路內(nèi)壁之上，與反應腔室的反應區(qū)之間存在一些距離，但仍在由真空閥所定義的制程腔室的容納限制之內(nèi)。在沒有氣流的情況下，這些污染物會回到腔室的反應區(qū)域之中，并造成不被期望的污染。為了試圖避免這個問題，制程腔室的容納限度內(nèi)的內(nèi)表面定期通過蝕刻(和/或等離子體清潔)等方式清潔，通過一清潔氣體以移除由沉積氣體所沉積的介電材料。

然而，節(jié)流閥受限于其結構上的設計，污染物會沉積于節(jié)流閥的內(nèi)部零件之上，并影響節(jié)流閥的氣流控制效果。由于節(jié)流閥一般是以步進馬達進行控制，當污染物沉積于節(jié)流閥的內(nèi)部零件之上時，步進馬達會反復調(diào)整節(jié)流閥開度，因而影響反應室的壓力，并減少了節(jié)流閥的壽命。

技術實現(xiàn)要素：

本發(fā)明是為了解決現(xiàn)有技術的問題而提供的一種節(jié)流閥，包括一節(jié)流閥本體、一閥桿、一密封墊、一底蓋、一彈簧以及一襯套。一流道形成于該節(jié)流閥本體之中。閥桿設于該節(jié)流閥本體之中，其中，當旋轉該閥桿時，該流道的開度大小被調(diào)整。密封墊設于該節(jié)流閥本體之中，該密封墊抵接該閥桿。底蓋連接該節(jié)流閥本體，其中，一 出氣口形成于該底蓋之上，該底蓋包括一底蓋凸緣，該底蓋凸緣圍繞該出氣口。該彈簧抵接該底蓋凸緣并對該密封墊施加一彈性力，使該密封墊緊貼該閥桿。該彈簧套設于該襯套之上，該襯套的一第一端推頂該密封墊。

在一實施例中，該襯套包括一襯套凸緣，該彈簧的一端抵接該底蓋凸緣，該彈簧的另一端抵接該襯套凸緣。

在一實施例中，該襯套凸緣形成于該第一端。

在一實施例中，該襯套包括一第二端，該第二端延伸穿過該出氣口。

在一實施例中，該襯套具有一襯套通孔，該襯套通孔的孔徑小于該出氣口的孔徑。

在一實施例中，該襯套的材質(zhì)為鋁合金。

在一實施例中，該節(jié)流閥本體包括一進氣口，該進氣口與該出氣口位于同一直線之上。

本發(fā)明也有關于一種節(jié)流閥，包括一節(jié)流閥本體、一閥桿、一密封墊、一底蓋以及一彈簧。一流道形成于該節(jié)流閥本體之中。閥桿設于該節(jié)流閥本體之中，其中，當旋轉該閥桿時，該流道的開度大小被調(diào)整。密封墊設于該節(jié)流閥本體之中，該密封墊抵接該閥桿。底蓋連接該節(jié)流閥本體，其中，一出氣口形成于該底蓋之上，該底蓋包括一底蓋凸緣，該底蓋凸緣圍繞該出氣口。該彈簧抵接該底蓋凸緣并對該密封墊施加一彈性力，使該密封墊緊貼該閥桿。

在一實施例中，該閥桿上形成有一缺口，當旋轉該閥桿時，該缺口的位置被調(diào)整，該流道的開度大小被調(diào)整，該密封墊上形成有一抵接部，該抵接部以能密封的方式抵接該閥桿。

應用本發(fā)明實施例的節(jié)流閥，由于使用襯套將氣流從彈簧及底蓋凸緣隔離，因此，微粒不會沉積于彈簧及底蓋凸緣之上。因此節(jié)流閥的出氣口不再會因為微粒沉積阻塞，因此可減少反復調(diào)整節(jié)流閥開度的情況。因此可提供穩(wěn)定的反應室壓力，并提高節(jié)流閥的壽命。

附圖說明

以下附圖僅旨在于對本發(fā)明做示意性說明和解釋，并不限定本發(fā)明的范圍。其中，

圖1顯示本發(fā)明第一實施例的節(jié)流閥。

圖2顯示本發(fā)明第一實施例的底蓋凸緣。

圖3顯示本發(fā)明第二實施例的節(jié)流閥。

圖4顯示本發(fā)明第二實施例的襯套。

圖5顯示本發(fā)明第二實施例的襯套的第二端。

附圖標號說明：

1、2～節(jié)流閥；

10～第一連接組件；

11～o型環(huán)；

12～密封墊；

13～抵接部；

14～o型環(huán)；

20～第二連接組件；

21～o型環(huán)；

22～密封墊；

23～抵接部；

24～o型環(huán)；

30～節(jié)流閥本體；

31～進氣口；

40～閥桿單元；

41～閥桿；

42～缺口；

50～底蓋；

51～出氣口；

52～底蓋凸緣；

60～彈簧；

70～襯套；

71～第一端；

72～第二端；

73～襯套凸緣；

74～襯套通孔。

具體實施方式

為使本發(fā)明所運用的技術內(nèi)容、目的及其達成的功效有更完整且清楚的揭露，現(xiàn)對照附圖說明本發(fā)明的具體實施方式：

參照圖1，其顯示本發(fā)明第一實施例的節(jié)流閥1，包括一第一連接組件10、一第二連接組件20、一節(jié)流閥本體30、一閥桿單元40以及一底蓋50。第一連接組件10包括一o型環(huán)11、一密封墊12、以及一o型環(huán)14。第二連接組件20包括一o型環(huán)21、一密封墊22、以及一o型環(huán)24。節(jié)流閥本體30包括一進氣口31。該閥桿單元40包括一閥桿41，一缺口42形成于該閥桿41。底蓋50上形成有一出氣口51，底蓋50連接該節(jié)流閥本體30。

一流道形成于該節(jié)流閥本體30之中(從該進氣口31至該出氣口51)。在此實施例中，該流道為直線形，該進氣口31與該出氣口51位于同一直線之上。閥桿41設于該節(jié)流閥本體30之中，其中，通過旋轉該閥桿41，缺口42的位置被調(diào)整，該流道的開度大小因此被調(diào)整。o型環(huán)11設于該密封墊12與一外部管路(未顯示)之間。o型環(huán)14設于該節(jié)流閥本體30與該外部管路(未顯示)之間。o型環(huán)21設于該密封墊22與該底蓋50之間，o型環(huán)24設于該節(jié)流閥本體30與該底蓋50之間。

密封墊12具有凹凸形狀的抵接部13，抵接部13以可密封的方式抵接該閥桿41。密封墊22具有凹凸形狀的抵接部23，抵接部23以可密封的方式抵接該閥桿41。密封墊22設于該節(jié)流閥本體30之中。

參照圖1、圖2，在第一實施例中，該底蓋50包括一底蓋凸緣52，該底蓋凸緣52圍繞該出氣口，由此可防止微粒沉積于該底蓋凸緣52之上。因此節(jié)流閥的出氣口不會因為微粒沉積阻塞，因此可減少反復調(diào)整節(jié)流閥開度的情況。因此可提供穩(wěn)定的反應室壓力，并提高節(jié)流閥的壽命。

參照圖3，其顯示本發(fā)明第二實施例的節(jié)流閥2，包括一第一連接組件10、一第二連接組件20、一節(jié)流閥本體30、一閥桿單元40、一底蓋50、一彈簧60以及一襯套70。第一連接組件10包括一o型環(huán)11、一密封墊12、以及一o型環(huán)14。第二連接組件20包括一o型環(huán)21、一密封墊22、以及一o型環(huán)24。節(jié)流閥本體30包括一進氣口31。該閥桿單元40包括一閥桿41，一缺口42形成于該閥桿41。底蓋50上形成有一出氣口51，底蓋50連接該節(jié)流閥本體30。

一流道形成于該節(jié)流閥本體30之中(從該進氣口31至該出氣口51)。在此實施例中，該流道為直線形，該進氣口31與該出氣口51位于同一直線之上。閥桿41設于該節(jié)流閥本體30之中，其中，通過旋轉該閥桿41，缺口42的位置被調(diào)整，該流道的開度大小因此被調(diào)整。o型環(huán)11設于該密封墊12與一外部管路(未顯示)之間。o型環(huán)14設于該節(jié)流閥本體30與該外部管路(未顯示)之間。o型環(huán)21設于該密封墊22與該底蓋50之間，o型環(huán)24設于該節(jié)流閥本體30與該底蓋50之間。

密封墊12具有凹凸形狀的抵接部13，抵接部13以可密封的方式抵接該閥桿41。密封墊22具有凹凸形狀的抵接部23，抵接部23以可密封的方式抵接該閥桿41。

該彈簧60抵接該底蓋凸緣52并對該密封墊22施加一彈性力，使該密封墊22緊貼該閥桿41。該彈簧60套設于該襯套70之上，該襯套70的一第一端71推頂該密封墊22。在此實施例中，第一端71抵接o型環(huán)21。

搭配參照圖3、圖4，在此實施例中，該襯套70包括一襯套凸緣73，該襯套凸緣73形成于該第一端71，該彈簧60的一端抵接該底蓋凸緣52，該彈簧60的另一端抵接該襯套凸緣73。該襯套更包括一第二端72。搭配參照圖5，在一實施例中，該第二端72延伸穿過該出氣口51。在一實施例中，該襯套70具有一襯套通孔74，該襯套通孔74的孔徑小于該出氣口51的孔徑。

在一實施例中，該襯套70的材質(zhì)為鋁合金，由此以抵抗臭氧的侵蝕。上述揭露并未限制本發(fā)明，該襯套70也可以為鐵氟龍或其它材質(zhì)。

同第一實施例，在此實施例中，通過適當設計該底蓋凸緣52的寬度，可最大化出氣口51的孔徑，并仍然可以為該彈簧60提供充足的支撐。

應用本發(fā)明第二實施例的節(jié)流閥，由于使用襯套將氣流從彈簧及底蓋凸緣隔離，因此，微粒不會沉積于彈簧及底蓋凸緣之上。因此節(jié)流閥的出氣口不再會因為微粒沉積阻塞，因此可減少反復調(diào)整節(jié)流閥開度的情況。因此可提供穩(wěn)定的反應室壓力，并提高節(jié)流閥的壽命。

雖然本發(fā)明已以具體的較佳實施例揭露如上，然其并非用以限定本發(fā)明，任何熟悉此項技術者，在不脫離本發(fā)明的精神和范圍內(nèi)，仍可作些許的更動與潤飾，因此本發(fā)明的保護范圍當視權利要求范圍所界定為準。