專利名稱：一種用于搬運(yùn)半導(dǎo)體晶圓移動載機(jī)的轉(zhuǎn)動式排線夾的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，特別是涉及ー種用于搬運(yùn)半導(dǎo)體晶圓移動載機(jī)的轉(zhuǎn)動式排線夾。
背景技術(shù)：
RECIF移載機(jī)是用來搬運(yùn)半導(dǎo)體晶圓的機(jī)械設(shè)備。由于自身結(jié)構(gòu)特點(diǎn)，在機(jī)械手前后運(yùn)行中(如圖I所示)，數(shù)據(jù)排線A會翹起，不可避免的觸碰前后軸驅(qū)動皮帶B。由于前后軸動作頻繁，會造成皮帶和排線磨損，損壞。排線與皮帶為進(jìn)ロ配件比較昂貴，皮帶和排線的磨損增加了生產(chǎn)成本；同時由于機(jī)臺構(gòu)造，更換排線需要拆卸機(jī)械手臂以及馬達(dá)皮帶組件，エ時為4小時以上，造成生產(chǎn)延誤，降低了生產(chǎn)效率·
實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型要解決的技術(shù)問題是提供ー種用于搬運(yùn)半導(dǎo)體晶圓移動載機(jī)的轉(zhuǎn)動式排線夾能避免在生產(chǎn)過程中由于數(shù)據(jù)排線翹起造成搬運(yùn)半導(dǎo)體晶圓移動載機(jī)皮帶和數(shù)據(jù)排線磨損的情況，延長搬運(yùn)半導(dǎo)體晶圓移動載機(jī)皮帶和數(shù)據(jù)排線的使用壽命，降低生產(chǎn)成本，提高生產(chǎn)效率。為解決上述技術(shù)問題，本實(shí)用新型所提供的用于搬運(yùn)半導(dǎo)體晶圓移動載機(jī)的轉(zhuǎn)動式排線夾，包括ー轉(zhuǎn)動軸桿，穿設(shè)于ー底蓋板上，所述底蓋板能圍繞所述轉(zhuǎn)動軸桿旋轉(zhuǎn)；ー頂蓋板，通過四個螺絲固定于所述底蓋板上，所述頂蓋板和底蓋板之間具有供排線進(jìn)出空間；ニ安裝耳，套設(shè)于所述轉(zhuǎn)動軸桿的兩端，用于將排線夾固定在RECIF移動載機(jī)的機(jī)械臂框架上。其中,所述頂蓋板和底蓋板為長方形,長15CM,寬6CM。其中，所述轉(zhuǎn)動軸桿長度為15. 4CM。
以下結(jié)合附圖
與具體實(shí)施方式
對本發(fā)明作進(jìn)ー步詳細(xì)的說明圖I是搬運(yùn)半導(dǎo)體晶圓移動載機(jī)發(fā)生皮帶與數(shù)據(jù)排線磨損的示意圖。圖2是本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。圖3是本實(shí)用新型安裝在搬運(yùn)半導(dǎo)體晶圓移動載機(jī)的示意圖。附圖標(biāo)記I是馬達(dá)組件2是機(jī)械臂3是前后軸驅(qū)動皮帶4是數(shù)據(jù)排線[0019]5是磨損部位6是安裝耳7是轉(zhuǎn)動軸桿8是頂蓋板9是底蓋板10是螺絲11是排線夾
具體實(shí)施方式如圖2所示，本實(shí)用新型所提供的用于搬運(yùn)半導(dǎo)體晶圓移動載機(jī)的轉(zhuǎn)動式排線夾，包括—轉(zhuǎn)動軸桿長度為15. 4CM,穿設(shè)于ー長方形(長15CM,寬6CM)的底蓋板上,所述底蓋板能圍繞所述轉(zhuǎn)動軸桿旋轉(zhuǎn)；ー頂蓋板為長方形(長15CM，寬6CM)，通過四個螺絲固定于所述底蓋板上，所述頂蓋板和底蓋板之間具有供排線進(jìn)出空間；ニ安裝耳，套設(shè)于所述轉(zhuǎn)動軸桿的兩端，用于將排線夾固定在搬運(yùn)半導(dǎo)體晶圓移動載機(jī)的機(jī)械臂框架上。如圖3所示，本實(shí)用新型的排線夾固定在搬運(yùn)半導(dǎo)體晶圓移動載機(jī)的機(jī)械臂框架上，機(jī)械臂移動時排線夾隨之轉(zhuǎn)動不影響數(shù)據(jù)排線移動，避免了皮帶與數(shù)據(jù)排線相互磨損的情況。以上通過具體實(shí)施方式
和實(shí)施例對本實(shí)用新型進(jìn)行了詳細(xì)的說明，但這些并非構(gòu)成對本實(shí)用新型的限制。在不脫離本實(shí)用新型原理的情況下，本領(lǐng)域的技術(shù)人員還可做出許多變形和改進(jìn)，這些也應(yīng)視為本實(shí)用新型的保護(hù)范圍。
權(quán)利要求1.一種用于搬運(yùn)半導(dǎo)體晶圓移動載機(jī)的轉(zhuǎn)動式排線夾，其特征是，包括 ー轉(zhuǎn)動軸桿，穿設(shè)于ー底蓋板上，所述底蓋板能圍繞所述轉(zhuǎn)動軸桿旋轉(zhuǎn)； ー頂蓋板，通過四個螺絲固定于所述底蓋板上，所述頂蓋板和底蓋板之間具有供排線進(jìn)出空間； ニ安裝耳，套設(shè)于所述轉(zhuǎn)動軸桿的兩端，用于將排線夾固定在RECIF移動載機(jī)的機(jī)械臂框架上。
2.如權(quán)利要求I所述的搬運(yùn)半導(dǎo)體晶圓移動載機(jī)的轉(zhuǎn)動式排線夾，其特征是所述頂蓋板和底蓋板為長方形，長15CM，寬6CM。
3.如權(quán)利要求I所述的搬運(yùn)半導(dǎo)體晶圓移動載機(jī)的轉(zhuǎn)動式排線夾，其特征是所述轉(zhuǎn)動軸桿長度為15. 4CM。
專利摘要本實(shí)用新型公開了一種用于RECIF移動載機(jī)的轉(zhuǎn)動式排線夾，包括一轉(zhuǎn)動軸桿，穿設(shè)于一底蓋板上，所述底蓋板能圍繞所述轉(zhuǎn)動軸桿旋轉(zhuǎn)；一頂蓋板，通過四個螺絲固定于所述底蓋板上，所述頂蓋板和底蓋板之間具有供排線進(jìn)出空間；二安裝耳，套設(shè)于所述轉(zhuǎn)動軸桿的兩端，用于將排線夾固定在RECIF移動載機(jī)的機(jī)械臂框架上。本實(shí)用新型用于RECIF移動載機(jī)的轉(zhuǎn)動式排線夾能避免在生產(chǎn)過程中由于數(shù)據(jù)排線翹起造成RECIF移動載機(jī)皮帶和數(shù)據(jù)排線磨損的情況，延長RECIF移動載機(jī)皮帶和數(shù)據(jù)排線的使用壽命，降低生產(chǎn)成本，提高生產(chǎn)效率。
文檔編號F16L3/01GK202597901SQ201220117598
公開日2012年12月12日 申請日期2012年3月26日 優(yōu)先權(quán)日2012年3月26日
發(fā)明者趙興 申請人:上海華虹Nec電子有限公司