專利名稱：一種碳化硅漿軟著陸裝卸載裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及真空鍍膜技術(shù)領(lǐng)域，更具體地說(shuō)，涉及一種碳化硅漿軟著陸裝卸載裝置。
背景技術(shù)：
在進(jìn)行基片表面鍍膜時(shí)，首先將未鍍膜的基片插入石墨舟中，將載有基片的石墨舟放置在等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition,PECVD)真空鍍膜設(shè)備石英反應(yīng)室中，采用合適的PECVD工藝對(duì)基片 進(jìn)行鍍膜。鍍膜結(jié)束后，從PECVD真空鍍膜設(shè)備的石英反應(yīng)室中取出石墨舟，然后再將經(jīng)過(guò)鍍膜的基片從石墨舟上取下來(lái)。目前常采用一種碳化娃軟著陸裝載機(jī)構(gòu)來(lái)實(shí)現(xiàn)自動(dòng)運(yùn)送裝載基片的石墨舟進(jìn)入并放置于石英反應(yīng)室中，或?qū)⑹蹚氖⒎磻?yīng)室中取出。目前碳化硅漿軟著陸裝卸載機(jī)構(gòu)水平運(yùn)動(dòng)采用的是絲杠傳動(dòng)方式，這種方式對(duì)于長(zhǎng)距離移動(dòng)來(lái)說(shuō)，制造精度高，安裝復(fù)雜，成本高，且絲桿需要油來(lái)潤(rùn)滑，對(duì)潔凈室產(chǎn)生污染，運(yùn)動(dòng)噪音大；且目前碳化硅漿軟著陸裝卸載機(jī)構(gòu)中所有的驅(qū)動(dòng)采用步進(jìn)電機(jī)，其啟動(dòng)力矩小，容易產(chǎn)生丟步，所以運(yùn)行精度低。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型要解決的技術(shù)問(wèn)題在于，針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)的上述缺陷，提供一種結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、安裝方便、維護(hù)成本低、噪音小的碳化硅漿軟著陸裝卸載裝置。本實(shí)用新型解決其技術(shù)問(wèn)題所采用的技術(shù)方案是構(gòu)造一種碳化硅漿軟著陸裝卸載裝置，包括用于連接碳化硅漿的固定件和基體，所述基體上設(shè)置有用于驅(qū)動(dòng)所述固定件沿豎直方向運(yùn)動(dòng)的升降運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)和用于驅(qū)動(dòng)所述升降運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)和所述固定件一起沿水平方向運(yùn)動(dòng)的水平運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)；所述水平運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括兩條設(shè)置在所述基體上的水平導(dǎo)軌，所述水平導(dǎo)軌上設(shè)置有可相對(duì)所述水平導(dǎo)軌滑動(dòng)的水平溜板，所述升降運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)固定設(shè)置在所述水平溜板上；其中，所述水平運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)還包括與所述水平溜板連接、以驅(qū)動(dòng)所述水平溜板相對(duì)所述水平導(dǎo)軌滑動(dòng)的水平同步傳動(dòng)帶，所述水平同步傳動(dòng)帶連接有水平運(yùn)動(dòng)電機(jī)。本實(shí)用新型所述的碳化硅漿軟著陸裝卸載裝置，其中，所述升降運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括設(shè)置在所述水平溜板上的升降導(dǎo)軌，所述升降導(dǎo)軌上設(shè)置有可相對(duì)所述升降導(dǎo)軌滑動(dòng)的升降溜板；所述升降運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)還包括與所述升降溜板驅(qū)動(dòng)連接、以驅(qū)動(dòng)所述升降溜板沿所述升降導(dǎo)軌上下滑動(dòng)的升降絲桿，所述升降絲桿連接有升降運(yùn)動(dòng)電機(jī)。本實(shí)用新型所述的碳化硅漿軟著陸裝卸載裝置，其中，所述水平運(yùn)動(dòng)電機(jī)為伺服電機(jī)。本實(shí)用新型所述的碳化硅漿軟著陸裝卸載裝置，其中，所述升降運(yùn)動(dòng)電機(jī)為伺服電機(jī)。[0011]本實(shí)用新型所述的碳化硅漿軟著陸裝卸載裝置，其中，所述固定件包括固定設(shè)置在所述升降溜板上的懸臂板和設(shè)置在所述懸臂板上、用于連接碳化硅漿的固定腔。本實(shí)用新型所述的碳化硅漿軟著陸裝卸載裝置，其中，所述升降運(yùn)動(dòng)電機(jī)的輸出軸與渦輪蝸桿減速機(jī)的空心動(dòng)力輸入軸連接，所述渦輪蝸桿減速機(jī)的空心動(dòng)力輸出軸與所述升降絲桿的一端連接。本實(shí)用新型的有益效果在于通過(guò)采用水平同步傳動(dòng)帶替代現(xiàn)有技術(shù)中的絲桿帶動(dòng)水平溜板沿水平導(dǎo)軌滑動(dòng)，從而帶動(dòng)升降運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)和固定件一起沿水平方向運(yùn)動(dòng)，降低了碳化硅漿軟著陸裝卸載裝置制造中對(duì)零件的精度要求，降低了制造成本，且結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，安裝方便，同時(shí)由于水平同步傳動(dòng)帶工作時(shí)不需要使用油潤(rùn)滑，因此也降低了碳化硅漿軟著陸裝卸載裝置的維護(hù)費(fèi)用，且不會(huì)產(chǎn)生污染，運(yùn)行起來(lái)噪音低。

下面將結(jié)合附圖及實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步說(shuō)明，附圖中 圖I是本實(shí)用新型較佳實(shí)施例的碳化硅漿軟著陸裝卸載裝置立體結(jié)構(gòu)示意圖；圖2是本實(shí)用新型較佳實(shí)施例的碳化硅漿軟著陸裝卸載裝置正面結(jié)構(gòu)示意圖；圖3是本實(shí)用新型較佳實(shí)施例的碳化硅漿軟著陸裝卸載裝置沿圖2中A-A向的剖視圖；圖4是本實(shí)用新型較佳實(shí)施例的碳化硅漿軟著陸裝卸載裝置側(cè)面示意圖；圖5是本實(shí)用新型較佳實(shí)施例的碳化硅漿軟著陸裝卸載裝置的等軸側(cè)視圖。
具體實(shí)施方式
本實(shí)用新型較佳實(shí)施例的碳化硅漿軟著陸裝卸載裝置立體結(jié)構(gòu)如圖I所示，同時(shí)參閱圖2、圖3、圖4和圖5，該碳化硅漿軟著陸裝卸載裝置包括用于連接碳化硅漿13的固定件和基體1，基體I上設(shè)置有用于驅(qū)動(dòng)固定件沿豎直方向運(yùn)動(dòng)的升降運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)和用于驅(qū)動(dòng)升降運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)和固定件一起沿水平方向運(yùn)動(dòng)的水平運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)。其中，水平運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括兩條設(shè)置在基體I上的水平導(dǎo)軌2，水平導(dǎo)軌2上設(shè)置有可相對(duì)水平導(dǎo)軌2滑動(dòng)的水平溜板5，升降運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)固定設(shè)置在水平溜板5上。水平運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)還包括與水平溜板5連接、以驅(qū)動(dòng)水平溜板5相對(duì)水平導(dǎo)軌2滑動(dòng)的水平同步傳動(dòng)帶3，水平同步傳動(dòng)帶3連接有水平運(yùn)動(dòng)電機(jī)11。本實(shí)施例中，通過(guò)水平運(yùn)動(dòng)電機(jī)11驅(qū)動(dòng)水平同步傳動(dòng)帶3運(yùn)動(dòng)，從而帶動(dòng)水平溜板5在水平導(dǎo)軌2上滑動(dòng)，升降運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)和連接碳化硅漿13的固定件跟著水平溜板5 —起水平運(yùn)動(dòng)，再通過(guò)升降運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)帶動(dòng)固定件在豎直方向上運(yùn)動(dòng)，從而實(shí)現(xiàn)碳化硅漿13在水平和豎直方向上的運(yùn)動(dòng)。這樣通過(guò)采用水平同步傳動(dòng)帶3替代現(xiàn)有技術(shù)中的絲桿帶動(dòng)水平溜板5沿水平導(dǎo)軌2滑動(dòng)，從而帶動(dòng)升降運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)和固定件一起沿水平方向運(yùn)動(dòng)，降低了碳化硅漿軟著陸裝卸載裝置制造中對(duì)零件的精度要求，降低了制造成本，且其結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，安裝方便，同時(shí)由于水平同步傳動(dòng)帶3工作時(shí)不需要使用油潤(rùn)滑，因此也降低了碳化硅漿軟著陸裝卸載裝置的維護(hù)費(fèi)用，且不會(huì)產(chǎn)生污染，運(yùn)行起來(lái)噪音低。在使用時(shí)，將整個(gè)石墨舟放置在碳化硅漿13上，然后啟動(dòng)水平運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)和升降運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)帶動(dòng)石墨舟在水平和豎直方向上運(yùn)動(dòng)，直到石墨舟與石英反應(yīng)室平穩(wěn)地接觸，然后整個(gè)碳化硅漿軟著陸裝卸載裝置反方向退出反應(yīng)室，完成整個(gè)石墨舟自動(dòng)送進(jìn)石英反應(yīng)室、軟著陸過(guò)程。待反應(yīng)完后，再用相反動(dòng)作將整個(gè)石墨舟自動(dòng)從石英反應(yīng)室取出。由于碳化硅漿13是承載受力桿，且碳化硅漿13材料硬度高、變形小，因此能保證承載石墨舟后靜態(tài)變形小。在進(jìn)一步的實(shí)施例中，如圖I、圖2和圖3所示，碳化硅漿13軟著陸裝卸載裝置的升降運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括設(shè)置在水平溜板5上的升降導(dǎo)軌6，且升降導(dǎo)軌6與水平導(dǎo)軌2相互垂直設(shè)置，在升降導(dǎo)軌6上設(shè)置有可相對(duì)升降導(dǎo)軌6滑動(dòng)的升降溜板8。該升降運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)還包括與升降溜板8驅(qū)動(dòng)連接、以驅(qū)動(dòng)升降溜板8沿升降導(dǎo)軌6上下滑動(dòng)的升降絲桿9，升降絲桿9連接有升降運(yùn)動(dòng)電機(jī)4。在需要驅(qū)動(dòng)石墨舟垂直運(yùn)動(dòng)時(shí)，通過(guò)升降運(yùn)動(dòng)電機(jī)4驅(qū)動(dòng)升降絲桿9轉(zhuǎn)動(dòng)，從而帶動(dòng)升降溜板8沿升降導(dǎo)軌6上下滑動(dòng)，從而實(shí)現(xiàn)對(duì)連接在固定件上的碳化硅漿13的上下驅(qū)動(dòng)。優(yōu)選地，上述實(shí)施例中的水平運(yùn)動(dòng)電機(jī)11和升降運(yùn)動(dòng)電機(jī)4均為閉環(huán)控制的伺服電機(jī)，這樣可以實(shí)現(xiàn)對(duì)水平運(yùn)動(dòng)和豎直運(yùn)動(dòng)的精確定位，提高碳化硅漿軟著陸裝卸載裝置的運(yùn)行精度。更進(jìn)一步地，如圖I、圖3和圖5所示，上述各實(shí)施例中的固定件可以采用多種結(jié)構(gòu)實(shí)現(xiàn)，只需要能固定住碳化硅漿13即可。優(yōu)選地，固定件包括固定設(shè)置在升降溜板8上的懸臂板12和設(shè)置在懸臂板12上、用于連接碳化硅漿13的固定腔10。該結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單易實(shí)現(xiàn)，且制造成本低，便于安裝。優(yōu)選地，如圖I所示，上述各實(shí)施例中的升降運(yùn)動(dòng)電機(jī)4的輸出軸經(jīng)萬(wàn)向聯(lián)軸器(未圖示)與渦輪蝸桿減速機(jī)7的空心動(dòng)力輸入軸連接，渦輪蝸桿減速機(jī)7的空心動(dòng)力輸出軸經(jīng)另一萬(wàn)向聯(lián)軸器(未圖示)與升降絲桿9的一端連接。這樣，當(dāng)升降運(yùn)動(dòng)電機(jī)4啟動(dòng)，通過(guò)渦輪蝸桿減速機(jī)7減速后，帶動(dòng)升降絲桿9轉(zhuǎn)動(dòng)，由此實(shí)現(xiàn)升降溜板8在垂直方向上的
往復(fù)運(yùn)動(dòng)。綜上所述，本實(shí)用新型通過(guò)采用水平同步傳動(dòng)帶3替代現(xiàn)有技術(shù)中的絲桿帶動(dòng)水平溜板5沿水平導(dǎo)軌2滑動(dòng)，從而帶動(dòng)升降運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)和固定件一起沿水平方向運(yùn)動(dòng)，實(shí)現(xiàn)對(duì)碳化硅漿13及其上石墨舟(未圖示)的驅(qū)動(dòng)，降低了碳化硅漿13軟著陸裝卸載裝置制造中對(duì)零件的精度要求，降低了制造成本，且結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，安裝方便，同時(shí)由于水平同步傳動(dòng)帶3工作時(shí)不需要使用油潤(rùn)滑，因此也降低了碳化硅漿軟著陸裝卸載裝置的維護(hù)費(fèi)用，且不會(huì)產(chǎn)生污染，運(yùn)行起來(lái)噪音低。應(yīng)當(dāng)理解的是，對(duì)本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來(lái)說(shuō)，可以根據(jù)上述說(shuō)明加以改進(jìn)或變換，而所有這些改進(jìn)和變換都應(yīng)屬于本實(shí)用新型所附權(quán)利要求的保護(hù)范圍。
權(quán)利要求1.一種碳化硅漿軟著陸裝卸載裝置，包括用于連接碳化硅漿(13)的固定件和基體(I);所述基體(I)上設(shè)置有用于驅(qū)動(dòng)所述固定件沿豎直方向運(yùn)動(dòng)的升降運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)，和用于驅(qū)動(dòng)所述升降運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)和所述固定件一起沿水平方向運(yùn)動(dòng)的水平運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)；所述水平運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括兩條設(shè)置在所述基體(I)上的水平導(dǎo)軌(2)，所述水平導(dǎo)軌(2)上設(shè)置有可相對(duì)所述水平導(dǎo)軌(2)滑動(dòng)的水平溜板(5)，所述升降運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)固定設(shè)置在所述水平溜板(5)上；其特征在于，所述水平運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)還包括與所述水平溜板(5)連接、以驅(qū)動(dòng)所述水平溜板(5)相對(duì)所述水平導(dǎo)軌(2)滑動(dòng)的水平同步傳動(dòng)帶(3)，所述水平同步傳動(dòng)帶(3)連接有水平運(yùn)動(dòng)電機(jī)(11)。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的碳化硅漿軟著陸裝卸載裝置，其特征在于，所述升降運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括設(shè)置在所述水平溜板(5)上的升降導(dǎo)軌￠)，所述升降導(dǎo)軌(6)上設(shè)置有可相對(duì)所述升降導(dǎo)軌(6)滑動(dòng)的升降溜板⑶； 所述升降運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)還包括與所述升降溜板(8)驅(qū)動(dòng)連接、以驅(qū)動(dòng)所述升降溜板(8)沿所述升降導(dǎo)軌(6)上下滑動(dòng)的升降絲桿(9)，所述升降絲桿(9)連接有升降運(yùn)動(dòng)電機(jī)(4)。
3.根據(jù)權(quán)利要求I所述的碳化硅漿軟著陸裝卸載裝置，其特征在于，所述水平運(yùn)動(dòng)電機(jī)(11)為伺服電機(jī)。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的碳化硅漿軟著陸裝卸載裝置，其特征在于，所述升降運(yùn)動(dòng)電機(jī)⑷為伺服電機(jī)。
5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的碳化硅漿軟著陸裝卸載裝置，其特征在于，所述固定件包括固定設(shè)置在所述升降溜板(8)上的懸臂板(12)和設(shè)置在所述懸臂板(12)上、用于連接碳化硅漿(13)的固定腔(10)。
6.根據(jù)權(quán)利要求2所述的碳化硅漿軟著陸裝卸載裝置，其特征在于，所述升降運(yùn)動(dòng)電機(jī)(4)的輸出軸與渦輪蝸桿減速機(jī)(7)的空心動(dòng)力輸入軸連接，所述渦輪蝸桿減速機(jī)(7)的空心動(dòng)力輸出軸與所述升降絲桿(9)的一端連接。
專利摘要本實(shí)用新型涉及一種碳化硅漿軟著陸裝卸載裝置，包括用于連接碳化硅漿的固定件和基體，基體上設(shè)置有用于驅(qū)動(dòng)固定件沿豎直方向運(yùn)動(dòng)的升降運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)和用于驅(qū)動(dòng)升降運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)和固定件一起沿水平方向運(yùn)動(dòng)的水平運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)；水平運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括兩條設(shè)置在基體上的水平導(dǎo)軌，水平導(dǎo)軌上設(shè)置有可相對(duì)水平導(dǎo)軌滑動(dòng)的水平溜板，升降運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)固定設(shè)置在水平溜板上，水平運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)還包括與水平溜板連接、以驅(qū)動(dòng)水平溜板相對(duì)水平導(dǎo)軌滑動(dòng)的水平同步傳動(dòng)帶，水平同步傳動(dòng)帶連接有水平運(yùn)動(dòng)電機(jī)。本實(shí)用新型降低了碳化硅漿軟著陸裝卸載裝置制造中對(duì)零件的精度要求，降低了制造成本，且結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，安裝方便，不會(huì)產(chǎn)生污染，運(yùn)行起來(lái)噪音低。
文檔編號(hào)F16H7/02GK202530160SQ20122010427
公開(kāi)日2012年11月14日 申請(qǐng)日期2012年3月20日 優(yōu)先權(quán)日2012年3月20日
發(fā)明者李軍陽(yáng), 李學(xué)文, 王俊朝, 王滋潤(rùn) 申請(qǐng)人:深圳市大族光伏科技股份有限公司