一種用于感應耦合等離子體刻蝕機的快速接頭的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種用于感應耦合等離子體刻蝕機的快速接頭，包括接頭母體和與之適配的插頭，接頭母體包括中空的接頭主體、套筒和彈簧，接頭主體的前端設(shè)有環(huán)形凹槽，環(huán)形凹槽的底面上設(shè)有滾珠通孔，滾珠通孔內(nèi)設(shè)有滾珠，套筒和彈簧套設(shè)于環(huán)形凹槽部位，套筒的內(nèi)壁設(shè)有可擠壓滾珠使其突出于接頭主體內(nèi)壁的凸緣，彈簧兩端分別抵住套筒的凸緣和環(huán)形凹槽的側(cè)槽壁；插頭外側(cè)設(shè)有與滾珠配合的凸起。本發(fā)明快速接頭可實現(xiàn)工藝冷卻水系統(tǒng)用水管快速便捷的斷開和接合，斷開水管后，即可對水管中的水垢進行清理，清理完畢后再將水管接合，操作十分簡便，保證了工藝冷卻水系統(tǒng)的穩(wěn)定運行，大大提高了感應耦合等離子體刻蝕機的生產(chǎn)穩(wěn)定性。
【專利說明】一種用于感應耦合等離子體刻蝕機的快速接頭
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種用于感應耦合等離子體刻蝕機的快速接頭。
【背景技術(shù)】
[0002]感應耦合等離子體刻蝕機主要用于生產(chǎn)晶圓，在生產(chǎn)過程中，有專用工藝冷卻水系統(tǒng)對其進行溫控，起到保溫的作用。
[0003]現(xiàn)有工藝冷卻水系統(tǒng)都是直接從水源端通過水管通入感應耦合等離子體刻蝕機中，長期使用后，水管中會堆積很多的水垢，進而很容易造成水管的堵塞，由此，工藝冷卻水系統(tǒng)起不到溫控和保溫的作用，大大影響了晶圓的生產(chǎn)質(zhì)量，造成大量廢品、次品的出現(xiàn)，對企業(yè)造成極大的損失。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]本發(fā)明的目的，就是為了解決上述問題而提供了一種用于感應耦合等離子體刻蝕機的快速接頭。
[0005]本發(fā)明的目的是這樣實現(xiàn)的:
[0006]本發(fā)明的一種用于感應耦合等離子體刻蝕機的快速接頭，包括接頭母體和與之適配的插頭，所述接頭母體包括中空的接頭主體、套筒和彈簧，其中，
[0007]所述接頭主體的前端設(shè)有環(huán)形凹槽，所述環(huán)形凹槽的底面上設(shè)有滾珠通孔，所述滾珠通孔內(nèi)設(shè)有滾珠，所述套筒套設(shè)于所述接頭主體的環(huán)形凹槽部位，且所述套筒的內(nèi)壁設(shè)有可擠壓滾珠使其突出于所述接頭主體內(nèi)壁的凸緣，所述彈簧套設(shè)于所述接頭主體的環(huán)形凹槽部位，且該彈簧兩端分別抵住所述套筒的凸緣和所述接頭本體環(huán)形凹槽的側(cè)槽壁；
[0008]所述插頭外側(cè)設(shè)有與所述滾珠配合的凸起，且所述插頭的外徑從其前端至所述凸起處漸增。
[0009]上述的一種用于感應耦合等離子體刻蝕機的快速接頭，其中，所述滾珠通孔的內(nèi)徑由所述接頭主體內(nèi)壁端朝外漸增。
[0010]本發(fā)明快速接頭可實現(xiàn)工藝冷卻水系統(tǒng)用水管快速便捷的斷開和接合，斷開水管后，即可對水管中的水垢進行清理，清理完畢后再將水管接合，操作十分簡便，保證了工藝冷卻水系統(tǒng)的穩(wěn)定運行，大大提高了感應耦合等離子體刻蝕機的生產(chǎn)穩(wěn)定性。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0011]圖1是本發(fā)明接頭母體的剖視圖；
[0012]圖2是本發(fā)明插頭的剖視圖；
[0013]圖3是本發(fā)明接頭母體和插頭的裝配示意圖。
【具體實施方式】
[0014]下面將結(jié)合附圖，對本發(fā)明作進一步說明。[0015]請參閱圖1和圖2，本發(fā)明用于感應耦合等離子體刻蝕機的快速接頭包括接頭母體I和與之適配的插頭2。
[0016]請參閱圖1，接頭母體I包括中空的接頭主體11、套筒12和彈簧13，其中，接頭主體11的前端設(shè)有環(huán)形凹槽111，環(huán)形凹槽111的底面上設(shè)有滾珠通孔112，滾珠通孔112內(nèi)設(shè)有滾珠13，滾珠通孔112的內(nèi)徑由接頭主體11內(nèi)壁端朝外漸增,套筒12套設(shè)于接頭主體11的環(huán)形凹槽111部位，且套筒12的內(nèi)壁設(shè)有可擠壓滾珠13使其突出于接頭主體11內(nèi)壁的凸緣121，彈簧13套設(shè)于接頭主體11的環(huán)形凹槽111部位，且該彈簧13兩端分別抵住套筒12的凸緣121和接頭本體11環(huán)形凹槽111的側(cè)槽壁；
[0017]請參閱圖2，插頭2外側(cè)設(shè)有與滾珠112配合的凸起21，且插頭2的外徑從其前端至凸起21處漸增。
[0018]請參閱圖3，裝配時，將插頭2插入到接頭母體I內(nèi)，由于插頭2的外徑從其前端至凸起21處漸增，插頭2前端的外壁可逐漸推動滾珠13沿著滾珠通孔112朝外移動，當插頭2的凸起21通過滾珠13后，由于此處插頭2的外徑驟減，滾珠13在套筒12凸緣121的擠壓作用下突出于接頭主體11的內(nèi)壁，進而抵住插頭2的凸起21，使得插頭2被鎖緊于接頭母體I內(nèi)。
[0019]當拆卸時，推動套筒12向后側(cè)移動，同時向外拔出插頭2，此時滾珠13沿著滾珠通孔112朝外移動，使得插頭2的凸起21可自由地向外移動，進而插頭2離開接頭母體1，套筒12在彈簧回復力的作用下復位。
[0020]以上實施例僅供說明本發(fā)明之用，而非對本發(fā)明的限制，有關(guān)【技術(shù)領(lǐng)域】的技術(shù)人員，在不脫離本發(fā)明的精神和范圍的情況下，還可以作出各種變換或變型，因此所有等同的技術(shù)方案也應該屬于本發(fā)明的范疇，應由各權(quán)利要求所限定。
【權(quán)利要求】
1.一種用于感應耦合等離子體刻蝕機的快速接頭，包括接頭母體和與之適配的插頭，其特征在于，所述接頭母體包括中空的接頭主體、套筒和彈簧，其中， 所述接頭主體的前端設(shè)有環(huán)形凹槽，所述環(huán)形凹槽的底面上設(shè)有滾珠通孔，所述滾珠通孔內(nèi)設(shè)有滾珠，所述套筒套設(shè)于所述接頭主體的環(huán)形凹槽部位，且所述套筒的內(nèi)壁設(shè)有可擠壓滾珠使其突出于所述接頭主體內(nèi)壁的凸緣，所述彈簧套設(shè)于所述接頭主體的環(huán)形凹槽部位，且該彈簧兩端分別抵住所述套筒的凸緣和所述接頭本體環(huán)形凹槽的側(cè)槽壁； 所述插頭外側(cè)設(shè)有與所述滾珠配合的凸起，且所述插頭的外徑從其前端至所述凸起處漸增。
2.如權(quán)利要求1所述的一種用于感應耦合等離子體刻蝕機的快速接頭，其特征在于，所述滾珠通孔的內(nèi)徑由所述接頭主體內(nèi)壁端朝外漸增。
【文檔編號】F16L37/23GK103867831SQ201210552689
【公開日】2014年6月18日 申請日期:2012年12月18日 優(yōu)先權(quán)日:2012年12月18日
【發(fā)明者】黃惠良, 李雪峰, 陳子勇 申請人:上海鴻輝光通科技股份有限公司