專利名稱：微位移發(fā)生器的制作方法
專利說明
一、技術(shù)領(lǐng)域本實用新型涉及一種微位移移動平臺，尤其是指一種柵線相移器的微位移發(fā)生器。
二背景技術(shù)：
目前，微位移裝置大多采用壓電陶瓷產(chǎn)生微位移，在需要產(chǎn)生幾百微米位移時通常需要采用壓電陶瓷堆和高電壓實施，由于使用高電壓，因此，設(shè)置復(fù)雜難以精確控制，且只能用于100微米以下，而不能用于變化范圍在幾百納米至幾百微米微位移的場合。
三、技術(shù)方案技術(shù)問題本實用新型提供一種適于產(chǎn)生幾百納米至幾百微米的微位移控制簡便易行且成本低廉的微位移發(fā)生器。
技術(shù)方案一種用于柵線相移器的微位移發(fā)生器，包括位移平臺，該位移平臺由固定臺和移動臺組成，固定臺與移動臺彈性連接，在固定臺上設(shè)有推桿孔，在推桿孔內(nèi)設(shè)推桿，推桿的一端設(shè)在端面凸輪上，推桿的另一端設(shè)在移動臺上，端面凸輪連于步進電機。
有益效果①由于本實用新型采用了端面凸輪，使得較大的角位移可以轉(zhuǎn)化為微小的直線位移，由推桿推動移動臺發(fā)生微位移，步進電機所具有的脈沖控制的特性以及端面凸輪，推桿的技術(shù)措施使得本實用新型能夠簡便地控制移動臺移動，且能滿足該類微位移裝置的精度要求并具線性好的優(yōu)點，此外，本實用新型的這種產(chǎn)生位移的措施無需現(xiàn)有技術(shù)中用高電壓來使壓電陶瓷產(chǎn)生所需位移的技術(shù)措施，所以，本實用新型還具有成本低廉的優(yōu)點。②本實用新型將端凸輪選定為螺紋推輪，而螺紋推輪可以是短螺桿，將推桿設(shè)在其螺紋側(cè)面后，可以使推桿隨螺紋推輪的旋轉(zhuǎn)運動而發(fā)生軸向平移，由于螺桿的制造簡單，成本低廉，所以，本實用新型所采用的這一技術(shù)措施具有成本更趨低廉的優(yōu)點。③由于本實用新型所采用的推桿與移動臺的相對位置關(guān)系即推桿與移動臺的接觸位置位于移動臺的中心對稱位置，而移動臺又是一個軸對稱結(jié)構(gòu)，所以本實用新型可以保證移動臺只發(fā)生平移，而不發(fā)生轉(zhuǎn)動，從而對保證精度有利。
四

圖1是本實用新型的結(jié)構(gòu)剖視圖。
圖2是本實用新型的螺紋推輪的結(jié)構(gòu)示意圖。
圖3是本實用新型的位移平臺的另一實施例結(jié)構(gòu)示意圖。
五、實施方案一種用于柵線相移器的微位移發(fā)生器，包括位移平臺，該位移平臺由固定臺1和移動臺2組成，固定臺1與移動臺2彈性連接。在固定臺1上設(shè)有推桿孔，在推桿孔內(nèi)設(shè)推桿3，上述推桿孔對推桿起著導(dǎo)向作用，推桿3的一端設(shè)在端面凸輪4上，推桿3的另一端設(shè)在移動臺2上，端面凸輪4連于步進電機5，端面凸輪4為螺紋推輪，螺紋推輪為螺距較小的矩形螺紋，螺紋推輪的螺距不大于1毫米。推桿3設(shè)在螺紋推輪的螺紋側(cè)面7上，上述推桿3與移動臺2的接觸位置位于移動臺2的中心對稱位置。
權(quán)利要求1.一種用于柵線相移器的微位移發(fā)生器，包括位移平臺，該位移平臺由固定臺(1)和移動臺(2)組成，固定臺(1)與移動臺(2)彈性連接，其特征在于在固定臺(1)上設(shè)有推桿孔，在推桿孔內(nèi)設(shè)推桿(3)，推桿(3)的一端設(shè)在端面凸輪(4)上，推桿(3)的另一端設(shè)在移動臺(2)上，端面凸輪(4)連于步進電機(5)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的微位移發(fā)生器，其特征在于端面凸輪(4)為螺紋推輪，推桿(3)設(shè)在螺紋推輪的螺紋側(cè)面(7)上。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的微位移發(fā)生器，其特征在于螺紋推輪為螺距較小的矩形螺紋。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的微位移發(fā)生器，其特征在于螺紋推輪的螺距不大于1毫米。
5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的微位移發(fā)生器，其特征在于推桿(3)與移動臺(2)的接觸位置位于移動臺(2)的中心對稱位置。
專利摘要本實用新型公開了一種用于柵線相移器的微位移發(fā)生器,包括位移平臺,該位移平臺由固定臺和移動臺組成,固定臺與移動臺彈性連接,在固定臺上設(shè)有推桿孔,在推桿孔內(nèi)設(shè)推桿,推桿的一端設(shè)在端面凸輪上,推桿的另一端設(shè)在移動臺上,端面凸輪連于步進電機。本實用新型所采用的以推桿、端面凸輪及步進電機為基礎(chǔ)的技術(shù)方案具有位移控制簡便易行且成本低廉的優(yōu)點。
文檔編號F16H25/08GK2520434SQ0221845
公開日2002年11月13日 申請日期2002年1月21日 優(yōu)先權(quán)日2002年1月21日
發(fā)明者何小元 申請人:東南大學(xué)