渦輪分子泵的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明提供一種渦輪分子泵，能夠抑制生成物對間隔件內(nèi)周面的堆積。渦輪分子泵(1)包括：隔著環(huán)狀的間隔件(29B)而積層的多個固定翼(21)，以及相對于多個固定翼(21)旋轉(zhuǎn)的多個旋轉(zhuǎn)翼(12)，并且，在間隔件(29B)設(shè)置著抑制從間隔件(29B)的內(nèi)周部(291)向外周部(292)的熱移動的熱阻部(290)。
【專利說明】
渦輪分子泵
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本發(fā)明涉及一種適合于容易產(chǎn)生生成物堆積的氣體的排出的渦輪分子栗?！颈尘凹夹g(shù)】
[0002]以前，半導體制造裝置或液晶制造裝置等的腔室排氣中使用渦輪分子栗等真空栗。近年來，半導體制造裝置或液晶制造裝置的蝕刻工藝中，會產(chǎn)生如下問題:產(chǎn)生生成物對真空栗的堆積，而導致真空栗的轉(zhuǎn)子與生成物接觸這樣的麻煩的增加，或裝置運轉(zhuǎn)后短期內(nèi)需要徹底檢修(Overhaul)等。
[0003]生成物的凝固及堆積依存于其蒸氣壓，有在更低的壓力、更高溫的環(huán)境中凝固及堆積得到抑制的傾向。因此，在包括包含固定翼及旋轉(zhuǎn)翼的渦輪翼栗部、及具有圓筒狀的轉(zhuǎn)子及定子的螺紋槽栗部的渦輪分子栗中，有在栗內(nèi)壓力相對高的螺紋槽栗部或栗排氣口等處堆積量增多的傾向。因此，作為抑制該部分的堆積的對策，而提出有如下結(jié)構(gòu)，即，在設(shè)置著螺紋槽栗部的定子及排氣口的基底的周圍或排氣口安裝加熱器的結(jié)構(gòu)，或利用加熱器直接對螺紋槽栗部的定子進行加熱的結(jié)構(gòu)(例如參照專利文獻1)。
[0004][現(xiàn)有技術(shù)文獻]
[0005][專利文獻]
[0006][專利文獻1]日本專利特開2011-80407號公報
【發(fā)明內(nèi)容】

[0007][發(fā)明所要解決的問題]
[0008]在比螺紋槽栗部設(shè)置得靠排氣上游側(cè)的渦輪翼栗部，例如，在與旋轉(zhuǎn)翼相向的間隔件內(nèi)周面，也會產(chǎn)生生成物的附著及堆積。當生成物堆積在間隔件內(nèi)周面時，有該生成物與旋轉(zhuǎn)翼前端接觸的擔心。
[0009][解決問題的技術(shù)手段]
[0010]本發(fā)明的優(yōu)選的實施方式的渦輪分子栗包括:隔著環(huán)狀的間隔件而積層的多個固定翼，及相對于所述多個固定翼旋轉(zhuǎn)的多個旋轉(zhuǎn)翼，在所述間隔件設(shè)置著抑制從該間隔件的內(nèi)周側(cè)向外周側(cè)的熱移動的熱阻部。
[0011]更優(yōu)選的實施方式中，在所述熱阻部形成著貫通槽或非貫通槽。
[0012]更優(yōu)選的實施方式中，所述熱阻部具有直徑不同的環(huán)狀的非貫通槽交替地形成于所述間隔件的表背面而成的迷宮(labyrinth)結(jié)構(gòu)。[〇〇13]更優(yōu)選的實施方式中，所述間隔件由鋁系材料形成，所述熱阻部為形成于所述間隔件的內(nèi)周面的防蝕鋁(alumite)處理層。
[0014]更優(yōu)選的實施方式中，所述間隔件包括:環(huán)狀的外周部；以及環(huán)狀的所述熱阻部， 固定于所述外周部的內(nèi)周側(cè)，由導熱率小于所述外周部的材料形成。[0〇15][發(fā)明的效果]
[0016]根據(jù)本發(fā)明，能夠抑制生成物對間隔件內(nèi)周面的堆積?！靖綀D說明】
[0017]圖1是表示本發(fā)明的渦輪分子栗的第一實施方式的圖；[0〇18]圖2(a)、圖2(b)是表不間隔件的一例的圖；
[0019]圖3(a)、圖3(b)是表示積層狀態(tài)的固定翼及間隔件的圖；
[0020]圖4(a)、圖4(b)是說明本發(fā)明的渦輪分子栗的第二實施方式的圖；
[0021]圖5(a)、圖5(b)是說明本發(fā)明的渦輪分子栗的第三實施方式的圖；
[0022]圖6(a)、圖6(b)是表示積層狀態(tài)的固定翼及間隔件的圖；[〇〇23]圖7(a)、圖7(b)是說明本發(fā)明的渦輪分子栗的第四實施方式的圖；
[0024]圖8是說明本發(fā)明的渦輪分子栗的第五實施方式的圖；
[0025]圖9(a)、圖9(b)是表示間隔件的變形例的圖；[0〇26]圖10是表不第五實施方式的另一例的圖。[〇〇27]【主要組件符號說明】[〇〇28]1:禍輪分子栗10:轉(zhuǎn)子
[0029]11:轉(zhuǎn)子軸12:旋轉(zhuǎn)翼
[0030]13:轉(zhuǎn)子圓筒部20:殼體
[0031]21:固定翼22:定子
[0032]23:栗殼26:排氣管[〇〇33]29、29A、29B、29C:間隔件30:基底[〇〇34]32:徑向磁軸承33:軸向磁軸承[〇〇35]34:電動機35a、35b:機械軸承
[0036]200:加熱器210:渦輪翼
[0037]211:肋部222:螺栓
[0038]223:冷卻液管230:吸氣口
[0039]290、390、490:熱阻部290a:貫通槽
[0040]290b、390b:連結(jié)部291、691:內(nèi)周部[0041 ]292、692:外周部293:卡合部
[0042]294:卡合槽295:表面
[0043]295a、296a:凹部296:背面
[0044]39〇3、49(^、49013、490(3:非貫通槽[〇〇45]590:防蝕鋁處理層691a:內(nèi)周部的上表面[〇〇46]691b:內(nèi)周部的底面692a:外周部的上表面[〇〇47]692b:外周部的底面693:螺栓
[0048]695a、695b:間隙790:填充材
[0049]890:遮蔽材Q:輻射熱
[0050]rl、r2:半徑SP:螺紋槽栗部[〇〇511TP:渦輪翼栗部【具體實施方式】
[0052]以下，參照圖對用以實施本發(fā)明的結(jié)構(gòu)進行說明。[0〇53]-第一實施方式-
[0054]圖1是表示本發(fā)明的渦輪分子栗的第一實施方式的剖面圖。渦輪分子栗1包括形成著多級旋轉(zhuǎn)翼12及轉(zhuǎn)子圓筒部13的轉(zhuǎn)子10。轉(zhuǎn)子10上固定著轉(zhuǎn)子軸11。轉(zhuǎn)子軸11由徑向磁軸承32及軸向磁軸承33支撐，且由電動機34旋轉(zhuǎn)驅(qū)動。[〇〇55]在磁軸承32、磁軸承33非動作時，轉(zhuǎn)子軸11由機械軸承35a、機械軸承35b支撐。徑向磁軸承32、軸向磁軸承33、電動機34及機械軸承35b收納于固定在殼體20的基底30。另外， 本實施方式中，殼體20與基底30分體，但也可為殼體20與基底30—體形成的構(gòu)成。[〇〇56]在栗殼23的內(nèi)側(cè)，與多級旋轉(zhuǎn)翼12對應(yīng)地在栗軸方向上配置著多級固定翼21。在各級旋轉(zhuǎn)翼12及固定翼21，設(shè)置著配置于周向上的多個渦輪翼。多級固定翼21隔著環(huán)狀的間隔件29而分別積層。該積層體配置于殼體20上。渦輪分子栗1中，多級旋轉(zhuǎn)翼12及固定翼 21構(gòu)成渦輪翼栗部TP。圖1所示的例中，從圖示下側(cè)開始數(shù)為第1級到第4級的間隔件29上， 設(shè)置著抑制從間隔件29的內(nèi)周側(cè)向外周側(cè)的熱移動的熱阻部290。其中，熱阻部290可設(shè)置于所有的間隔件29，也可選擇性地設(shè)置于任意的間隔件29。[〇〇57]另外，本實施方式中，由符號29B表示設(shè)置著熱阻部290的從下開始為第1級?第4 級的間隔件，由符號29A表示未設(shè)置熱阻部290的第5級?第7級的間隔件。[〇〇58]在轉(zhuǎn)子圓筒部13的外周側(cè)，隔著間隙配置著圓筒形狀的定子22。定子22利用螺栓 222固定于殼體20。在轉(zhuǎn)子圓筒部13的外周面或定子22的內(nèi)周面的任一者上形成著螺紋槽， 由轉(zhuǎn)子圓筒部13與定子22構(gòu)成螺紋槽栗部SP。另外，圖1所示的例中，定子22上形成著螺紋槽。[〇〇59]當轉(zhuǎn)子10高速旋轉(zhuǎn)時，從栗殼23的吸氣口 230流入的氣體利用渦輪翼栗部TP(旋轉(zhuǎn)翼12及固定翼21)排出后，利用螺紋槽栗部SP(轉(zhuǎn)子圓筒部13及定子22)進一步壓縮。而且， 最終，從設(shè)置于殼體20的排氣管26排出。排氣管26上連接著后栗(back pump)(圖中未顯示)。
[0060]在進行使用容易堆積生成物的氣體的工藝的排氣的情況下，栗內(nèi)的螺紋槽栗部SP 容易堆積生成物。因此，在殼體20上設(shè)置加熱用的加熱器200及冷卻液管223,對加熱器的接通斷開與冷卻液的接通斷開進行控制，而將定子22維持為規(guī)定溫度。
[0061]熱阻部的說明[〇〇62]圖2(a)、圖2(b)是表示間隔件29B的一例的圖。圖2(a)是間隔件29B的平面圖，圖2 (b)是A1-A1剖面圖。而且，圖3(a)是積層的固定翼21及間隔件29B的放大圖。圖3(a)、圖3(b) 中，圖示上側(cè)為吸氣口側(cè)。[〇〇63] 如圖2(a)、圖2(b)所示，間隔件29B的半徑rl到半徑r2的環(huán)狀區(qū)域為熱阻部290。熱阻部290上，設(shè)置著形成于周向的圓弧狀的貫通槽290a，及該貫通槽290a與鄰接的貫通槽 290a之間的連結(jié)部290b?？ê喜?93向間隔件29B的表面295側(cè)(圖示上表面?zhèn)?突出，背面 296側(cè)形成著卡合槽294。如圖3(a)所示，當固定翼21與間隔件29B交替積層時，下側(cè)的間隔件29B的卡合部293卡合于上側(cè)的間隔件29B的卡合槽294。
[0064]如圖3(a)所示，在固定翼21上，形成圓弧狀板的肋部211設(shè)置于外周側(cè)。設(shè)置于固定翼21的多個渦輪翼210利用肋部211支撐。肋部211夾持于下側(cè)的間隔件29B的表面295與上側(cè)的間隔件29B的背面296之間。
[0065]當利用渦輪分子栗排出氣體時，利用伴隨氣體排出的栗發(fā)熱而使轉(zhuǎn)子溫度上升。 其結(jié)果，旋轉(zhuǎn)翼12的溫度變得高于固定翼21的溫度，作為輻射熱Q的熱從旋轉(zhuǎn)翼12流入到固定翼21。在如間隔件29A那樣未設(shè)置熱阻部的情況下，從間隔件29A的內(nèi)周面入射的熱向間隔件29A的外側(cè)移動，進而沿積層體向下側(cè)移動而散放到殼體20。
[0066]如所述那樣，本實施方式中，在容易堆積生成物的排氣下游側(cè)的間隔件29(具體來說從下開始第1級到第4級的間隔件29B)上設(shè)置了熱阻部290。熱阻部290插入在間隔件29B 的內(nèi)周部291與外周部292之間。因此，從間隔件29B的內(nèi)周側(cè)向外周側(cè)的熱移動得到抑制， 內(nèi)周部291與外周部292之間的溫差大于未設(shè)置熱阻部290的情況(熱阻部290的區(qū)域未形成貫通槽290a的情況)。其結(jié)果，間隔件29B的內(nèi)周面的溫度高于以前，從而抑制生成物對間隔件內(nèi)周面的堆積。[〇〇67]例如，在將內(nèi)周部291的熱阻設(shè)為Rth 1 (°C /W)，熱阻部290的熱阻設(shè)為RthO，熱流量設(shè)為Q(W)的情況下，熱阻部290與外周部292的邊界的溫度和間隔件內(nèi)周面的溫度之差A(yù) T1 為A T1 = ( Rth 1 +RthO) X Q。另一方面，未形成貫通槽290a的以前的間隔件的情況下的溫差 A T2為A T2 = (Rthl+Rth2) XQjth〗為未設(shè)置貫通槽290a的情況下的同位置的熱阻。A T1 =A T2+ (Rth〇-Rth2) X Q，因而在設(shè)置了熱阻部290的情況下，間隔件內(nèi)周面的溫度高出 (Rth〇-Rth2)X Q〇[〇〇68]在圖2(a)、圖2(b)所示的間隔件29B的情況下，作為空隙的貫通槽290a被設(shè)為熱阻部290,經(jīng)由熱阻部290的從內(nèi)周部291向外周部292的熱傳遞主要通過剖面積小的連結(jié)部 290b而進行。其結(jié)果，從半徑rl到半徑r2的熱阻大于未設(shè)置貫通槽290a的以前的構(gòu)成，間隔件內(nèi)周面(內(nèi)周部291的內(nèi)周面)的溫度高于以前。[〇〇69]圖3(b)是表示間隔件29B的變形例的圖。變形例中，在內(nèi)周部291的表面295及背面 296形成了凹部295a、凹部296a。其他形狀與圖3(a)所示的間隔件29B相同。另外，凹部295a、 凹部296a與貫通槽290a及連結(jié)部290b的一部分相連。
[0070]在圖3(a)所示的結(jié)構(gòu)的情況下，內(nèi)周部291的表背面與肋部211接觸。因此，無法避免經(jīng)由肋部211、如“內(nèi)周部291—肋部211—外周部292”那樣的虛線箭頭所示的熱移動。另一方面，在圖3(b)所示的間隔件29B的情況下，設(shè)為形成凹部295a、凹部296a，而使內(nèi)周部 291的表背面不與肋部211接觸的構(gòu)成，因而能夠防止“內(nèi)周部291—肋部211—外周部292” 的熱移動。
[0071]另外，所述第一實施方式中，如圖3(a)所示，間隔件29B設(shè)為僅夾持固定翼21的肋部211的構(gòu)成。然而，如圖9(a)所示的間隔件29C那樣，在為背面296的一部分與固定翼21的渦輪翼210相向的構(gòu)成的情況下，若在該相向部分形成貫通槽290a，則擔心對栗排氣性能的影響。[〇〇72]因此，如圖9(a)所示的例那樣，通過向貫通槽290a內(nèi)填充填充材(例如樹脂填充材)790,能夠使氣體在貫通槽290a流通而防止栗排氣性能劣化。該情況下，填充材790的材料中選擇導熱率小于構(gòu)成間隔件29B的材料的材料。如此，能夠使半徑rl?半徑r2的區(qū)域作為熱阻部發(fā)揮功能，能夠?qū)㈤g隔件29C的內(nèi)周面的溫度保持得比以前高。[〇〇73]而且，也可代替向貫通槽290a填充填充材790，而如圖9 (b)所示，使環(huán)狀的遮蔽材 890插入在間隔件29C與固定翼21之間。該情況下，優(yōu)選將遮蔽材890的導熱率設(shè)定得小于間隔件29C的導熱率。
[0074]-第二實施方式-
[0075]圖4(a)、圖4(b)是說明本發(fā)明的渦輪分子栗的第二實施方式的圖。圖4(a)、圖4(b)為與第一實施方式的圖2(a)、圖2(b)對應(yīng)的圖，圖4(a)為間隔件29B的平面圖，圖4(b)為A2-A2剖面圖。第二實施方式中，間隔件29B的從半徑rl到半徑r2的環(huán)狀區(qū)域為熱阻部390。熱阻部390包括環(huán)狀的非貫通槽390a及構(gòu)成槽底面的連結(jié)部390b。間隔件29B的表面295及背面296，以內(nèi)周部291與固定翼21的肋部211非接觸的方式形成著凹部295a、凹部296a。
[0076]第二實施方式中，通過設(shè)置非貫通槽390a作為熱阻部390，而使內(nèi)周部291與外周部292僅由剖面積小的連結(jié)部390b連結(jié)。其結(jié)果，經(jīng)由熱阻部290的從內(nèi)周部291向外周部292的熱傳遞主要通過剖面積小的連結(jié)部390b而進行。其結(jié)果，能夠?qū)?nèi)周部291的內(nèi)周面的溫度保持得比以前高，從而抑制生成物的堆積。
[0077]另外，圖4(a)、圖4(b)所示的例中，與圖3(b)的情況同樣地在表面295、背面296形成凹部295a、凹部296a，因而內(nèi)周部291的表背面不與肋部211接觸。其結(jié)果，能夠防止經(jīng)由肋部211的“內(nèi)周部291—肋部211—外周部292”的熱移動。當然，即便與圖3(a)的情況同樣地為內(nèi)周部291的表背面與肋部211接觸的結(jié)構(gòu)，也能夠?qū)?nèi)周部291的內(nèi)周面的溫度保持得比以前高，從而能夠抑制生成物的堆積。
[0078]-第三實施方式-
[0079]圖5(a)、圖5(b)、圖6(a)、圖6(b)是說明本發(fā)明的渦輪分子栗的第三實施方式的圖。圖5(a)、圖5(b)是與第一實施方式的圖2(a)、圖2(b)對應(yīng)的圖，圖5(a)是間隔件29B的平面圖，圖5(b)是A3-A3剖面圖。間隔件29B的從半徑rl到半徑r2的環(huán)狀區(qū)域為熱阻部490。熱阻部490具有迷宮(labyrinth)結(jié)構(gòu)，所述迷宮結(jié)構(gòu)具備半徑不同的三個環(huán)狀的非貫通槽490a?非貫通槽490c的。非貫通槽490a及非貫通槽490c設(shè)置于表面295側(cè)，非貫通槽490b設(shè)置于背面296側(cè)。其他構(gòu)成與圖2(a)、圖2(b)所示的間隔件29B相同。另外，非貫通槽的數(shù)量不限定于三個。
[0080]圖6(a)是表示由間隔件29B夾持固定翼21的狀態(tài)的剖面的圖。固定翼21的肋部211夾持于上下配置的間隔件29B的背面296及表面295之間。將間隔件29B的內(nèi)周部291與外周部292連接的熱阻部490為迷宮結(jié)構(gòu)，因而比起如第二實施方式(參照圖4(a)、圖4(b))那樣將非貫通槽390a設(shè)置一處的情況，熱傳遞路徑的路徑長更長。因此，夾持著熱阻部490的內(nèi)周部291與外周部292的溫差更大，比起圖4(a)、圖4(b)的情況，能夠使間隔件內(nèi)周面的溫度更高。其結(jié)果，抑制生成物對間隔件內(nèi)周面的堆積的效果更高。
[0081 ]圖6(b)是表示在間隔件29B的表面295、背面296設(shè)置了凹部295a、凹部296a的情況的圖。通過設(shè)置凹部295a、凹部296a，而使內(nèi)周部291及熱阻部490與肋部211為非接觸狀態(tài)，因而能夠防止經(jīng)由肋部211的“內(nèi)周部291—肋部211—外周部292”的熱移動。其結(jié)果，比起圖6(a)的情況，能夠進一步增高間隔件內(nèi)周面的溫度。
[0082]-第四實施方式-
[0083]圖7(a)、圖7(b)是說明本發(fā)明的渦輪分子栗的第四實施方式的圖。圖7(a)是表示由間隔件29B夾持固定翼21的狀態(tài)的剖面的圖。間隔件29—般來說使用鋁合金，第四實施方式中，對由鋁合金形成的間隔件29B的內(nèi)周面實施了防蝕鋁處理。由符號590表示的部分表示防蝕鋁處理層。防蝕鋁處理層590因?qū)崧市∮阡X合金的部分，所以作為熱阻部發(fā)揮功能。即，通過設(shè)置防蝕鋁處理層590，間隔件內(nèi)周面的溫度高于不設(shè)置防蝕鋁處理層590的情況。其結(jié)果，能夠抑制生成物對間隔件內(nèi)周面的堆積。
[0084] 圖7(b)表示在間隔件29B的表面295、背面296設(shè)置凹部295a、凹部296a的情況。通過設(shè)置凹部295a、凹部296a，而使防蝕鋁處理層590與肋部211為非接觸狀態(tài)。其結(jié)果，能夠防止經(jīng)由肋部211的“防蝕鋁處理層590—肋部211 —間隔件外周部(鋁合金部分)”的熱移動。其結(jié)果，比起圖7(a)的情況，能夠進一步增高間隔件內(nèi)周面的溫度，從而抑制生成物的堆積的效果提尚。[〇〇85]-第五實施方式-[〇〇86]圖8、圖10是說明本發(fā)明的渦輪分子栗的第五實施方式的圖。第五實施方式中，設(shè)為將間隔件29B的內(nèi)周部691與外周部692分開形成，而形成熱阻部的構(gòu)成。圖8中，內(nèi)周部 691由導熱率小于外周部692的材料形成。例如，在外周部692為鋁合金的情況下，將內(nèi)周部 691設(shè)為不銹鋼。當然，也可使用金屬以外的材料。內(nèi)周部691由螺栓693固定于外周部692。 [〇〇87]該情況下，與旋轉(zhuǎn)翼12相向的內(nèi)周部691由導熱率小于外周部692的材料形成，因而內(nèi)周部691作為熱阻部發(fā)揮功能。其結(jié)果，比起內(nèi)周部691與外周部692—體形成的以前的情況，能夠進一步增高間隔件內(nèi)周面(即，內(nèi)周部691的內(nèi)周面)的溫度，從而能夠抑制生成物對間隔件內(nèi)周面的堆積。[〇〇88]另外，圖8所示的例中，內(nèi)周部691的厚度尺寸設(shè)定為:內(nèi)周部691的上表面691a成為比外周部692的上表面692a凹陷的狀態(tài)，內(nèi)周部691的底面691b成為比外周部692的底面 692b凹陷的狀態(tài)。肋部211由上側(cè)的間隔件29B的外周部692與下側(cè)的間隔件29B的外周部 692夾持。因此，內(nèi)周部691的上表面691a及底面691b未與肋部211接觸，能夠防止如虛線箭頭所示那樣的“內(nèi)周部691—肋部211—外周部692”的熱移動。其結(jié)果，比起上表面691a及底面691b與肋部211接觸的構(gòu)成的情況，能夠?qū)㈤g隔件內(nèi)周面的溫度保持得更高。當然，內(nèi)周部691的上表面691a及底面691b也可與肋部211接觸。[0〇89]圖10是表不由同一材料(例如錯合金)形成內(nèi)周部691及外周部692的情況的例。圖 10所示的構(gòu)成中，通過對內(nèi)周部691與外周部692之間的連接結(jié)構(gòu)進行設(shè)計，而增大內(nèi)周部 691與外周部692之間的熱阻。具體來說，在內(nèi)周部691與外周部692之間形成間隙695a、間隙 695b，減小了內(nèi)周部691與外周部692之間的接觸面積。通過將這些間隙695a、間隙695b作為熱阻部發(fā)揮功能，而內(nèi)周部691與外周部692之間的熱阻增大。其結(jié)果，能夠使內(nèi)周部691的內(nèi)周面的溫度高于以前。
[0090]如以上說明那樣，渦輪分子栗1例如圖3(a)、圖3(b)所示，包括:隔著環(huán)狀的間隔件 29B積層的多個固定翼21，及相對于多個固定翼21旋轉(zhuǎn)的多個旋轉(zhuǎn)翼12,間隔件29B中，如圖 2(a)、圖2(b)所示，設(shè)置著抑制從間隔件29B的內(nèi)周側(cè)(內(nèi)周部291)向外周側(cè)(外周部292)的熱移動的熱阻部290(貫通槽290a及連結(jié)部290b)。其結(jié)果，比起未設(shè)置熱阻部290的構(gòu)成的間隔件，間隔件內(nèi)周面的溫度增高，能夠抑制生成物對間隔件內(nèi)周面的堆積。[〇〇91]作為熱阻部，也可為如圖2(a)、圖2(b)所示形成著貫通槽290a的熱阻部290,還可為如圖4(a)、圖4(b)所示形成著非貫通槽390a的熱阻部390。而且，也可如圖5(a)、圖5(b)所示，具備如下迷宮(1 abyr i nth)結(jié)構(gòu)作為熱阻部490,所述迷宮結(jié)構(gòu)由直徑不同的環(huán)狀的非貫通槽490a?非貫通槽490c交替地形成于間隔件29B的表背面而成。[〇〇92] 進而，也可如圖7(a)、圖7(b)所示，由鋁系(例如鋁合金)材料形成間隔件29B，在間隔件29B的內(nèi)周面形成防蝕鋁處理層590而作為熱阻部。
[0093]而且，也可為如圖8所示，間隔件29B包括:環(huán)狀的外周部692;及環(huán)狀的內(nèi)周部691，固定于外周部692的內(nèi)周側(cè)且由導熱率小于外周部692的材料形成，且使該內(nèi)周部691作為熱阻部發(fā)揮功能的構(gòu)成。
[0094]另外，所述各實施方式也可分別單獨地或者組合地加以使用。而且，只要不破壞本發(fā)明的特征，則本發(fā)明不受所述實施方式任何限定。例如，所述實施方式中，以具備渦輪翼栗部TP與螺紋槽栗部SP的渦輪分子栗為例進行了說明，但也可應(yīng)用于僅具備渦輪翼栗部TP的渦輪分子栗。
【主權(quán)項】
1.一種渦輪分子栗，其特征在于包括:多個固定翼，隔著環(huán)狀的間隔件而積層；以及 多個旋轉(zhuǎn)翼，相對于所述多個固定翼旋轉(zhuǎn)，并且在所述間隔件設(shè)置著抑制從所述間隔件的內(nèi)周側(cè)向外周側(cè)的熱移動的熱阻部。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的渦輪分子栗，其特征在于:在所述熱阻部形成著貫通槽或非貫通槽。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的渦輪分子栗，其特征在于:所述熱阻部具有直徑不同的環(huán)狀的非貫通槽交替地形成于所述間隔件的表背面而成 的迷宮結(jié)構(gòu)。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的渦輪分子栗，其特征在于:所述間隔件由鋁系材料形成，所述熱阻部為形成于所述間隔件的內(nèi)周面的防蝕鋁處理層。5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的渦輪分子栗，其特征在于:所述間隔件包括:環(huán)狀的外周部；以及環(huán)狀的所述熱阻部，固定于所述外周部的內(nèi)周側(cè)，由導熱率小于所述外周部的材料形 成。
【文檔編號】F04D19/04GK105987012SQ201610028614
【公開日】2016年10月5日
【申請日】2016年1月15日
【發(fā)明人】坪川徹也
【申請人】株式會社島津制作所