一種傳片腔室抽氣管路前端過濾碎片的結構的制作方法
【技術領域】
[0001]本發(fā)明涉及一種傳片腔室抽氣管路前端過濾碎片的結構，此結構主要應用于半導體薄膜沉積制備過程中，屬于半導體薄膜設備的應用技術領域。
【背景技術】
[0002]半導體鍍膜設備傳輸模塊的傳片腔體底部抽氣口處需要安裝一種過濾結構，以防意外情況下陶瓷機械手發(fā)生碰撞時產(chǎn)生碎片，而碎片會沿抽氣方向進入控制閥內及栗體內對其造成磨損及損壞。設計人員有時會采用過濾網(wǎng)，過濾網(wǎng)雖然可以過濾較大塊的碎肩，但細微的粉狀顆粒物卻容易從網(wǎng)眼滲透沖入控制閥，進而損壞閥體。另外，過濾網(wǎng)在受陶瓷碎片撞擊時容易斷裂，且在使用過程中也容易被碎片堵塞，實際過濾效果較差。因此，急需開發(fā)一種抽氣管路前端過濾碎片的結構，在保證過濾效果的同時，還可增加設備的安全性和可靠性。

【發(fā)明內容】

[0003]本發(fā)明以解決上述問題為目的，設計了一種傳片腔室抽氣管路前端過濾碎片的結構，在保證過濾效果的同時保證了設備的安全性和可靠性。
[0004]為實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明采用下述技術方案，一種傳片腔室抽氣管路前端過濾碎片的結構，包括:沉頭螺釘、外罩及擋芯。擋芯與外罩通過沉頭螺釘固緊。所述擋芯上制有多個通氣凹槽；所述外罩的邊緣制有凸臺。上述外罩的直徑要比擋芯的直徑大，其外罩的邊緣凸臺與擋芯的邊緣形成一定的間隙。
[0005]使用時，通過沉頭螺釘將外罩與擋芯緊固組成過濾器，安裝在腔體抽氣孔的上方。安裝完成后腔體的氣體先進入外罩與擋芯的間隙后，再進入擋芯的凹槽中，然后進入抽氣通道。而碎片受外罩與擋芯外壁的阻擋，使得碎片不能進入抽氣管路，進而保護了控制閥及真空栗不受損壞。
[0006]使用后，將過濾器從腔體氣孔取出，清除腔體氣孔周圍的雜物，拆卸外罩、擋芯并進行清洗，可重復使用。
[0007]本發(fā)明的有益效果及特點在于:
[0008]1、實際過濾效果較好，可防止大塊碎片撞擊，過濾阻擋中塊碎片使其不能進入氣體管道，對細微顆粒物也具有一定的過濾效果；
[0009]2、安全性較高，結構堅固可靠，在突發(fā)異常情況下可以承受陶瓷碎片的撞擊而不易損壞，有效的保護了抽氣管路后端的控制閥及栗體；
[0010]3、結構簡單，拆卸方便，在進行簡單清洗后可重復使用。
【附圖說明】
[0011]圖1是本發(fā)明過濾器的拆分圖。
[0012]圖2是本發(fā)明過濾器的裝配圖。
[0013]圖3是本發(fā)明過濾器工作原理圖。
【具體實施方式】
[0014]實施例
[0015]參照附圖1-3，一種傳片腔室抽氣管路前端過濾碎片的結構，包括:沉頭螺釘1、外罩2及擋芯3。擋芯3與外罩2通過沉頭螺釘1固緊。
[0016]所述擋芯3上制有多個通氣凹槽4 ;
[0017]所述通氣凹槽4可制成圓形、方形或扇形。
[0018]所述通氣凹槽4的數(shù)量至少為兩個。
[0019]所述外罩2的邊緣制有凸臺5 ；
[0020]所述外罩2的直徑要比擋芯3的直徑大，其外罩2的邊緣凸臺5與擋芯3的邊緣形成一定的間隙。
[0021]使用時，通過沉頭螺釘1將外罩2與擋芯3緊固組成過濾器，安裝在腔體抽氣孔的上方。安裝完成后腔體的氣體先進入外罩2與擋芯3的間隙，再進入擋芯3的凹槽4并進入抽氣通道。而碎片受外罩2與擋芯3外壁的阻擋，使得碎片不能進入抽氣管路，進而保護了控制閥及真空栗不受損壞。
[0022]使用后，將過濾器從腔體氣孔取出，清除腔體氣孔周圍的雜物，拆卸外罩2及擋芯
3并進行清洗，可重復使用。
[0023]工作原理:由于本結構的材質為金屬，故可承受大塊陶瓷碎片的撞擊而不損壞。中等大小的陶瓷碎肩將被擋在過濾器區(qū)域A(如附圖3所示);在合適的氣體流速下，細微的陶瓷粉末將受重力作用沉積在過濾芯根部區(qū)域B處(如附圖3所示);氣體本身則可沿附圖3的流動路徑通過過濾器，達到氣體過濾的目的。
【主權項】
1.一種傳片腔室抽氣管路前端過濾碎片的結構，其特征在于:它包括沉頭螺釘、外罩及擋芯，擋芯3與外罩2通過沉頭螺釘1固緊。2.如權利要求1所述的傳片腔室抽氣管路前端過濾碎片的結構，其特征在于:所述擋芯上制有多個通氣凹槽。3.如權利要求2所述的傳片腔室抽氣管路前端過濾碎片的結構，其特征在于:所述通氣凹槽可制成圓形、方形或扇形。4.如權利要求2所述的傳片腔室抽氣管路前端過濾碎片的結構，其特征在于:所述通氣凹槽的數(shù)量至少為兩個。5.如權利要求1所述的傳片腔室抽氣管路前端過濾碎片的結構，其特征在于:所述外罩2的邊緣制有凸臺5。6.如權利要求1所述的傳片腔室抽氣管路前端過濾碎片的結構，其特征在于:所述外罩的直徑要比擋芯的直徑大，其外罩的邊緣凸臺與擋芯的邊緣形成間隙。7.如權利要求1所述的傳片腔室抽氣管路前端過濾碎片的結構，其特征在于:使用后，將過濾器從腔體氣孔取出，清除腔體氣孔周圍的雜物，拆卸外罩及擋芯并進行清洗，可重復使用。
【專利摘要】一種傳片腔室抽氣管路前端過濾碎片的結構，包括：沉頭螺釘、外罩及擋芯。擋芯與外罩通過沉頭螺釘固緊。所述擋芯上制有多個通氣凹槽；所述外罩的邊緣制有凸臺。上述外罩的直徑要比擋芯的直徑大，其外罩的邊緣凸臺與擋芯的邊緣形成一定的間隙。使用時，腔體的氣體先進入外罩與擋芯的間隙后，再進入擋芯的凹槽中，然后進入抽氣通道。而碎片受外罩與擋芯外壁的阻擋，使得碎片不能進入抽氣管路，進而保護了控制閥及真空泵不受損壞。本發(fā)明過濾效果好、安全性高，在突發(fā)異常情況下可以承受陶瓷碎片的撞擊而不易損壞。其結構簡單、拆卸方便，在進行簡單清洗后可重復使用?？蓮V泛地應用在半導體薄膜設備技術領域。
【IPC分類】H01L21/677, F04B53/20
【公開號】CN105298830
【申請?zhí)枴緾N201510595228
【發(fā)明人】范川, 廉杰, 杜廣宇, 方仕彩
【申請人】沈陽拓荊科技有限公司
【公開日】2016年2月3日
【申請日】2015年9月17日