專利名稱：低溫泵控制裝置、低溫泵系統(tǒng)及低溫泵監(jiān)控方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及ー種真空技木，尤其涉及ー種低溫泵控制裝置、低溫泵系統(tǒng)及低溫泵的監(jiān)控方法。
背景技術(shù)：
低溫泵為實現(xiàn)清潔的高真空環(huán)境的真空泵，例如為了將在半導(dǎo)體電路制造エ藝中使用的真空腔室保持為高真空而利用該低溫泵。低溫泵通過由制冷機冷卻為超低溫的低溫板使氣體分子冷凝或吸附并積存，由此從真空腔室排出氣體。若低溫板被冷凝成固體的氣體覆蓋或者吸附的氣體接近低溫板的吸附劑的最大吸附量，則低溫泵的排氣能力下降。因此，適當?shù)貙嵤⒈焕淠鹊臍怏w向低溫泵外部排除的再生處理。 再生處理中，提高低溫板的溫度來使積存于低溫泵內(nèi)的氣體氣化或液化并排出。再生處理之后，通過將低溫板冷卻至超低溫而能夠再次使用低溫泵。專利文獻I中記載有在結(jié)束低溫泵的再生處理之后，在起動低溫泵之前判定有無產(chǎn)生外部泄漏的低溫泵的啟動方法。專利文獻I :日本專利公開平9-166078號公報為了以良好的狀態(tài)繼續(xù)使用低溫泵，除了進行再生處理之外，例如還需要進行大修等維護。確定維護的頻率或時點時，例如以使用次數(shù)或使用時間為基準。然而，低溫泵的各組件的劣化狀況或污染的程度根據(jù)使用條件大不相同，因此不能一概地確定適當?shù)木S護時點。由于因低溫泵的維護而導(dǎo)致真空腔室無法使用的停機時間增加，真空處理系統(tǒng)的運轉(zhuǎn)率降低，因此欲在重視生產(chǎn)率的制造現(xiàn)場將維護頻率抑制到最小限。然而，當組件等的劣化比預(yù)測提前進行時，還有可能在實施定期檢查或大修之前，預(yù)想不到地產(chǎn)生低溫泵故障，而且真空裝置的停機時間也可能突然出現(xiàn)。這種狀況對制造計劃帶來不良影響。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明是鑒于這種情況而完成的，其目的在于提供能夠有效地掌握低溫泵的劣化的低溫泵控制裝置、低溫泵系統(tǒng)及低溫泵的監(jiān)控方法。為了解決上述課題，本發(fā)明的ー種方式的低溫泵控制裝置用于控制具備對氣體進行冷卻并使其冷凝或吸附的低溫板及容納低溫板的泵容器的低溫泵，其中，低溫泵的再生處理包括基本浄化處理，包括I次以上的氣體凈化工序；1次以上的排氣處理，對泵容器內(nèi)進行真空抽取直至達到真空度保持判定級別之后，對真空度保持狀態(tài)進行判定；追加浄化處理，包括I次以上的氣體凈化工序，該追加浄化處理在必要情況下追加實施I次以上。該低溫泵控制裝置具備劣化判定部，該劣化判定部用于判定再浄化次數(shù)是否達到劣化判定基準次數(shù)，所述再凈化次數(shù)為在I次再生處理中需實施的I次以上的追加浄化處理中所包括的I次以上的氣體凈化工序的總數(shù)。根據(jù)該方式，能夠利用例如作為低溫泵的通常運行周期的一環(huán)而進行的再生處理來判定低溫泵的劣化狀態(tài)。本發(fā)明的其他方式的低溫泵系統(tǒng)包括低溫泵和低溫泵控制裝置，所述低溫泵具備對氣體進行冷卻并使其冷凝或吸附的低溫板及容納低溫板的泵容器，所述低溫泵的再生處理包括基本浄化處理，包括I次以上的氣體凈化工序；1次以上的排氣處理，對泵容器內(nèi)進行真空抽取直至達到真空度保持判定級別之后，對真空度保持狀態(tài)進行判定；追加凈化處理，包括I次以上的氣體凈化工序，該追加浄化處理在必要情況下追加實施I次以上，所述低溫泵控制裝置用于控制低溫泵，其中，低溫泵控制裝置具備劣化判定部，該劣化判定部用于判定再浄化次數(shù)是否達到劣化判定基準次數(shù)，所述再凈化次數(shù)為在I次再生處理中需實施的I次以上的追加凈化處理中所包括的I次以上的氣體凈化工序的總數(shù)。
本發(fā)明的另ー其他方式的低溫泵監(jiān)控方法用于監(jiān)控低溫泵，所述低溫泵具備對氣體進行冷卻并使其冷凝或吸附的低溫板及容納低溫板的泵容器，所述低溫泵的再生處理包括基本浄化處理，包括I次以上的氣體凈化工序；1次以上的排氣處理，對泵容器內(nèi)進行真空抽取直至達到真空度保持判定級別之后，對真空度保持狀態(tài)進行判定；追加浄化處理，包含I次以上的氣體凈化工序，該追加浄化處理在必要情況下追加實施I次以上，其中，所述低溫泵監(jiān)控方法用于判定再浄化次數(shù)是否達到劣化判定基準次數(shù)，所述再凈化次數(shù)為在I次再生處理中需實施的I次以上的追加凈化處理中所包括的I次以上的氣體凈化工序的總數(shù)。另外，以上構(gòu)成要件的任意組合及在方法、裝置、系統(tǒng)、記錄介質(zhì)、計算機程序等之間轉(zhuǎn)換本發(fā)明的表現(xiàn)的形態(tài)也作為本發(fā)明的方式而有效。發(fā)明效果根據(jù)本發(fā)明，能夠有效地監(jiān)控低溫泵的劣化。


圖I是表示實施方式所涉及的低溫泵的再生方法的圖。圖2是示意地表示實施方式所涉及的低溫泵系統(tǒng)的圖。圖3是示意地表示實施方式所涉及的低溫泵系統(tǒng)的圖。圖4是表示實施方式所涉及的低溫泵的再生處理及之后的啟動處理的流程圖。圖5是表示實施方式所涉及的低溫泵的再生處理中的排氣處理的詳細內(nèi)容的流程圖。圖6是表示實施方式所涉及的低溫泵的再生處理的變形例及之后的啟動處理的流程圖。圖7是表示實施方式所涉及的低溫泵的再生處理的變形例中的第I排氣處理的詳細內(nèi)容的流程圖。圖8是表示實施方式所涉及的低溫泵的再生處理的變形例中的第2排氣處理的詳細內(nèi)容的流程圖。圖中10-低溫泵，36-泵容器，48-低溫板，80-低溫泵控制裝置，84-排氣處理控制部，88-劣化判定部，90-凈化處理控制部，94-追加凈化處理控制部，96-發(fā)送部，100-低溫泵系統(tǒng)，110-真空裝置。
具體實施例方式首先，對本發(fā)明的實施方式的概要進行說明。為了有效地掌握低溫泵的劣化狀況，優(yōu)選在低溫泵系統(tǒng)中安裝監(jiān)控功能或自我診斷功能，監(jiān)控低溫泵的運行狀態(tài)。本發(fā)明人想到，通過利用作為低溫泵的通常操作的一環(huán)而進行的再生處理來監(jiān)控低溫泵的動作，能夠監(jiān)控低溫泵的劣化狀況并準確掌握維護時期。圖I表示實施方式所涉及的低溫泵的再生處理I及啟動處理2。再生處理I包括升溫處理3，使積存在低溫泵內(nèi)的氣體進行氣化或液化；凈化處理，為了促進冷凝或吸附于低溫板上的氣體的脫離而導(dǎo)入氮等凈化用氣體(以下也稱為 “凈化氣體”)；排氣處理5(即5a 5d)，對低溫泵內(nèi)的氣體進行排氣。凈化處理原則上包括毎次都應(yīng)實施的基本浄化處理4及之后根據(jù)需要實施的追加浄化處理6。當判斷為各處理之后的狀態(tài)不滿足基準時，反復(fù)實施相同的處理或?qū)嵤┳芳犹幚怼Ｔ趫DI中，用虛線表示的處理僅在需要時實施。升溫處理3包括升溫エ序和溫度判定。升溫エ序中，通過停止低溫泵的冷卻運行并停置、或用加熱器加熱、或者利用使制冷機的置換器的行程與氣體吸排氣的時點改變而形成的絕熱壓縮所獲得的熱，將低溫板的溫度升高至再生溫度。再生溫度典型地為設(shè)置低溫泵的部位或其附近的溫度(以下也稱為“環(huán)境溫度”)，例如為300K左右。升溫處理3持續(xù)至低溫板溫度的測定值達到再生溫度，若判定為達到了再生溫度時，結(jié)束升溫處理3?；緝艋幚?包括分別預(yù)先設(shè)定了次數(shù)的氣體凈化工序和粗抽エ序，所述氣體凈化工序用于向低溫泵10內(nèi)導(dǎo)入凈化用氣體，所述粗抽エ序用于停止浄化用氣體的導(dǎo)入并排出低溫泵10內(nèi)的氣體。圖I的基本凈化處理4中氣體凈化工序隔著粗抽エ序反復(fù)進行3次。追加凈化處理6包括I次氣體凈化工序?；緝艋幚?或追加凈化處理6中存在變化，例如基本凈化處理4中可以僅實施I次氣體凈化工序，在追加浄化處理6中也可以隔著粗抽エ序反復(fù)進行多次氣體凈化工序。在基本凈化處理4及追加凈化處理6之后分別實施排氣處理5。排氣處理5包括粗抽エ序，對低溫泵10內(nèi)進行真空抽取；真空到達時間判定，判定是否在規(guī)定時間內(nèi)達到規(guī)定的真空度；真空度保持判定，檢查是否在停止真空抽取的狀態(tài)下保持真空度。對于真空度保持判定的結(jié)果，當判斷為需要進ー步的排氣處理5吋，反復(fù)實施排氣處理5。在圖I的例子中，在基本凈化處理4之后實施排氣處理5a、5b及5c，在追加凈化處理6之后實施排氣處理5d。在本說明書中，將各個排氣處理5a 5d簡單地統(tǒng)稱為“排氣處理5”。另外，如后所述，排氣處理5還可分為第I排氣處理和第2排氣處理進行實施，第I排氣處理排氣至第I級別，第2排氣處理排氣至第2級別。
若排氣處理5結(jié)束，則再生處理I就會結(jié)束，經(jīng)過包括冷卻處理7的啟動處理2，成為可再次使用低溫泵的狀態(tài)。再生處理I中，在各處理后的狀態(tài)不滿足基準而反復(fù)實施相同處理或?qū)嵤┳芳犹幚頃r，低溫泵的性能有可能劣化。實施方式所涉及的低溫泵控制裝置通過例如監(jiān)控作為追加浄化處理6而實施的氣體凈化工序的次數(shù)來檢測低溫泵的性能劣化。以下參考附圖，對本發(fā)明的實施方式所涉及的低溫泵系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)進行說明。圖2示意地表示實施方式所涉及的低溫泵系統(tǒng)100。低溫泵系統(tǒng)100具備低溫泵
10、壓縮機34、凈化氣體供給裝置60、粗抽泵70及低溫泵控制裝置80。低溫泵10安裝于例 如離子注入裝置或濺射裝置等真空裝置的真空腔室內(nèi)，并用于將真空腔室內(nèi)部的真空度提高至期望エ藝所要求的級別。低溫泵10包括泵容器36、放射屏蔽44、低溫板48及制冷機20。制冷機20為例如吉福德-麥克馬洪式制冷機(所謂GM制冷機)等制冷機。制冷機20具備第I工作缸22、第2工作缸24、第I冷卻臺26、第2冷卻臺28及閥驅(qū)動馬達30。第I工作缸22與第2工作缸24串聯(lián)連接。在第I工作缸22的與第2工作缸24的結(jié)合部側(cè)設(shè)置第I冷卻臺26，在第2工作缸24的遠離第I工作缸22側(cè)的端部設(shè)置第2冷卻臺28。圖I所示的制冷機20為2級式制冷機，將工作缸串聯(lián)地進行2級組合來實現(xiàn)更低的溫度。制冷機20通過制冷劑管32連接于壓縮機34。壓縮機34壓縮氦等制冷劑氣體即工作氣體，通過制冷劑管32供給至制冷機20。制冷機20通過蓄冷器使工作氣體冷卻，同時使其首先在第I工作缸22內(nèi)部的膨脹室中膨脹，接著在第2工作缸24內(nèi)部的膨脹室中膨脹并進ー步冷卻。蓄冷器組裝于膨脹室內(nèi)部。由此，設(shè)置于第I工作缸22的第I冷卻臺26冷卻至第I冷卻溫度級別，而設(shè)置于第2工作缸24的第2冷卻臺28冷卻至低于第I冷卻溫度級別的第2冷卻溫度級別。例如，第I冷卻臺26冷卻至65K 100K的程度，而第2冷卻臺28冷卻至IOK 20K的程度。通過在膨脹室依次膨脹來吸熱并將各冷卻臺冷卻后的工作氣體再次通過蓄冷器并經(jīng)由制冷劑管32返回至壓縮機34。工作氣體從壓縮機34至制冷機20、并從制冷機20至壓縮機34的流動能夠通過制冷機20內(nèi)的回轉(zhuǎn)閥(未圖示)切換。閥驅(qū)動馬達30從外部電源接受電カ供給并使回轉(zhuǎn)閥旋轉(zhuǎn)。泵容器36具有形成為一端具有開ロ且另一端閉塞的圓筒狀形狀的部位(以下稱為“軀體部”)38。泵容器36的開ロ設(shè)置為用于收容應(yīng)從連接低溫泵的真空裝置的真空腔室排出的氣體的泵ロ 42。泵ロ 42由泵容器36的軀體部38的上端部內(nèi)表面劃分構(gòu)成。另外，在泵容器36的軀體部38的上端朝向徑向外側(cè)延伸有安裝凸緣40。低溫泵10利用安裝凸緣40通過未圖示的閘閥安裝于真空裝置的真空腔室。泵容器36為了隔開低溫泵10的內(nèi)部和外部而設(shè)置。泵容器36的內(nèi)部氣密地保持為共同的壓力。由此，泵容器36在低溫泵10的排氣運行期間作為真空容器發(fā)揮作用。泵容器36的外表面即使在低溫泵10工作吋，即在制冷機執(zhí)行冷卻操作期間也暴露于低溫泵10外部的環(huán)境中，因此維持在高于放射屏蔽44的溫度。泵容器36的溫度典型地維持在環(huán)境溫度。另外，泵容器36的內(nèi)部設(shè)置有壓カ傳感器50。壓カ傳感器50對泵容器36的內(nèi)部壓カ定期或者在接受了指示的時點進行測定，并將表示測定壓力的信號發(fā)送至低溫泵控制裝置80。壓カ傳感器50和低溫泵控制裝置80以能夠通信的方式連接。壓カ傳感器50具有較寬的測量范圍，該范圍包括通過低溫泵10而實現(xiàn)的較高的真空級別和大氣壓級別雙方。優(yōu)選至少將在再生處理I期間所產(chǎn)生的壓カ范圍包含于測量范圍內(nèi)。另外，真空級別的測定用壓カ傳感器和大氣壓級別的測定用壓カ傳感器可以單獨地設(shè)置于低溫泵10。放射屏蔽44配設(shè)于泵容器36的內(nèi)部。放射屏蔽44形成為一端具有開ロ且另ー端閉塞的圓筒狀形狀，即杯狀的形狀。泵容器36的軀體部38及放射屏蔽44均形成為大致圓筒狀，并配設(shè)于同軸上。泵容器36的軀體部38的內(nèi)徑稍微大于放射屏蔽44的外徑，放射屏蔽44以與泵容器36的軀體部38的內(nèi)表面之間保持若干間隔且與泵容器36并不接觸的狀態(tài)配置。即，放射屏蔽44的外表面與泵容器36的內(nèi)表面對置。放射屏蔽44作為主要保護第2冷卻臺28及熱連接于該第2冷卻臺的低溫板48免受泵容器36的輻射熱的放射屏蔽而設(shè)置。第2冷卻臺28在放射屏蔽44的內(nèi)部配置于 放射屏蔽44的大致中心軸上。放射屏蔽44以熱連接的狀態(tài)固定于第I冷卻臺26，被冷卻為和第I冷卻臺26相同程度的溫度。低溫板48例如包括各自具有圓錐臺側(cè)面形狀的多個板。低溫板48熱連接于第2冷卻臺28。低溫板48的各板的背面即遠離泵ロ 42側(cè)的面上通常粘附有活性碳等吸附劑(未圖示)。為了保護第2冷卻臺28及熱連接于該第2冷卻臺的低溫板48免受來自真空腔室等的輻射熱，放射屏蔽44的開ロ側(cè)的端部設(shè)置有擋板46。擋板46形成為例如百葉窗結(jié)構(gòu)或人字形結(jié)構(gòu)。擋板46熱連接于放射屏蔽44，被冷卻為和放射屏蔽44相同程度的溫度。低溫泵控制裝置80根據(jù)第I冷卻臺26或第2冷卻臺28的冷卻溫度控制制冷機20。為此，也可以在第I冷卻臺26或第2冷卻臺28設(shè)置溫度傳感器(未圖示)。低溫泵控制裝置80也可通過控制閥驅(qū)動馬達30的運行頻率來控制冷卻溫度。低溫泵控制裝置80還用于控制后述各閥。泵容器36和粗抽泵70由粗排氣管74連接。粗排氣管74上設(shè)置粗閥72。通過低溫泵控制裝置80控制粗閥72的開閉，使粗抽泵70與低溫泵10之間導(dǎo)通或截斷。粗抽泵70例如用于在通過低溫泵開始排氣前的準備階段對泵容器36內(nèi)粗略地進行真空抽取。打開粗閥72且使粗抽泵70動作，由此能夠通過粗抽泵70對泵容器36的內(nèi)部進行真空抽取。泵容器36和用于供給例如氮氣等浄化用氣體的凈化氣體供給裝置60由凈化氣體導(dǎo)入管64連接。浄化氣體導(dǎo)入管64上設(shè)置抽氣閥62。通過低溫泵控制裝置80控制抽氣閥62的開閉。通過開閉抽氣閥62來控制凈化氣體向低溫泵10的供給。泵容器36可以與作為所謂的安全閥而發(fā)揮作用的通氣閥(未圖示)連接。并且，粗閥72及抽氣閥62可分別設(shè)置于泵容器36的與粗排氣管74或浄化氣體導(dǎo)入管64連接的部分。在開始低溫泵10的排氣運行時，首先，在該工作之前通過粗閥72且用粗抽泵70將泵容器36的內(nèi)部粗抽至IPa左右。通過壓カ傳感器50測定壓力。之后，使低溫泵10エ作。在基于低溫泵控制裝置80的控制下，通過制冷機20的驅(qū)動冷卻第I冷卻臺26及第2冷卻臺28，與這些冷卻臺熱連接的放射屏蔽44、擋板46及低溫板48也被冷卻。被冷卻后的擋板46冷卻從真空腔室朝向低溫泵10內(nèi)部飛來的氣體分子，使在該冷卻溫度下蒸氣壓充分變低的氣體(例如水分等)冷凝在表面。在擋板46的冷卻溫度下蒸氣壓不會充分變低的氣體通過擋板46進入放射屏蔽44內(nèi)部。進入的氣體分子中蒸氣壓在低溫板48的冷卻溫度下充分變低的氣體冷凝在低溫板48的表面。蒸氣壓在該冷卻溫度下也未充分變低的氣體(例如氫等)通過粘附于低溫板48的表面并被冷卻了的吸附劑吸附。這樣，低溫泵10使安裝端的真空腔室的真空度達到期望的級別。在開始排氣運行后經(jīng)過預(yù)定時間時或發(fā)現(xiàn)因排氣的氣體層積在低溫板48上而排氣能力下降時，進行低溫泵10的再生處理I。低溫泵10的再生處理I通過低溫泵控制裝置80控制。圖3示意地表示實施方式所涉及的低溫泵系統(tǒng)100。低溫泵系統(tǒng)100可以構(gòu)成為 包括連接低溫泵的真空裝置110。對已敘述的構(gòu)成要件，在圖3中也附加相同的符號，省略說明。圖3表示低溫泵控制裝置80的結(jié)構(gòu)，尤其表示與再生處理I相關(guān)聯(lián)的結(jié)構(gòu)。低溫泵控制裝置80具備升溫處理控制部86、浄化處理控制部90、排氣處理控制部84、劣化判定部88及發(fā)送部96。低溫泵系統(tǒng)100中，在低溫泵控制裝置80與由低溫泵控制裝置80控制的裝置之間設(shè)置I/o模組(未圖示)，也可設(shè)置于遠離低溫泵控制裝置80的部位。在開始低溫泵10的再生處理I吋，升溫處理控制部86中止制冷機20的冷卻運行，開始升溫運行。升溫處理控制部86使制冷機20內(nèi)的回轉(zhuǎn)閥與冷卻運行時相反地旋轉(zhuǎn)，并使工作氣體的吸排氣的時點不同，以使工作氣體產(chǎn)生絕熱壓縮。以這樣方式得到的壓縮熱來加熱低溫板48。升溫處理控制部86根據(jù)低溫泵10內(nèi)具備的溫度傳感器(未圖示)取得泵容器36內(nèi)的溫度的測定值，在達到再生溫度時結(jié)束升溫エ序。凈化處理控制部90具備基本凈化處理控制部92及追加凈化處理控制部94?；緵坊幚砜刂撇?2在結(jié)束升溫エ序之后通過關(guān)閉粗閥72且打開抽氣閥62來開始氣體凈化工序?；緵坊幚砜刂撇?2在氣體凈化工序開始之后經(jīng)過了預(yù)定時間時，或者壓カ達到預(yù)定值時，通過關(guān)閉抽氣閥62且打開粗閥72來結(jié)束氣體凈化工序，開始粗抽エ序。在粗抽エ序開始后經(jīng)過了預(yù)定時間時，或者壓カ達到預(yù)定值時，基本浄化處理控制部92再次打開抽氣閥62，關(guān)閉粗閥72，開始氣體凈化工序。這樣，基本凈化處理控制部92將基本浄化處理4中所包括的氣體凈化工序以中間隔著粗抽エ序的方式而反復(fù)實施其相應(yīng)的次數(shù)。在確定是否需要進行追加浄化處理6，并確定實施追加浄化處理6時，追加凈化處理控制部94控制抽氣閥62及粗閥72的開閉，實施追加凈化處理6。追加凈化處理6例如包括將凈化氣體導(dǎo)入30秒的I次氣體凈化工序。追加凈化處理6可包括多次氣體凈化工序和在這些氣體凈化工序之間實施的粗抽エ序。本說明書中，將作為追加浄化處理6實施的氣體凈化工序稱為“再凈化工序”或“再凈化”。
浄化處理結(jié)束之后，排氣處理控制部84使用粗抽泵70向低溫泵10的外部排出凈化處理中導(dǎo)入的浄化用氣體或通過凈化處理而從低溫板48的表面再氣化的氣體。并且，排氣處理控制部84判定由壓カ傳感器50獲得的低溫泵10的內(nèi)部的壓カ測定值是否滿足預(yù)定的真空度條件，滿足時，結(jié)束排氣處理5。另外，在浄化等過程中泵容器36內(nèi)的壓カ高于大氣壓的狀態(tài)下可以使用未圖示的通氣閥，而在低于大氣壓的狀態(tài)下使用粗抽泵70來向低溫泵10的外部排出氣體。真空度條件的判定包括真空到達時間判定和真空度保持判定，所述真空到達時間判定用于判定打開粗閥72開始真空抽取之后能否在預(yù)定時間內(nèi)真空抽取至預(yù)定壓力，所述真空度保持判定用于判定停止排氣之后經(jīng)過了預(yù)定時間后的壓カ上升值是否在預(yù)定的允許范圍內(nèi)。排氣處理控制部84在真空到達時間判定中判定為開始真空抽取之后無法在預(yù)定時間內(nèi)真空抽取至預(yù)定壓力吋，即不滿足真空度到達時間基準吋，確定實施追加浄化處理 6。當排氣處理控制部84判定為滿足真空度到達時間基準時，接著進行真空度保持判定。在真空度保持判定中，排氣處理控制部84在泵容器36的壓カ達到開始真空度保持判定的壓カ時關(guān)閉粗閥72并停止排氣，并判定經(jīng)過預(yù)定時間后的壓カ上升值是否在預(yù)定允許范圍內(nèi)。當經(jīng)過預(yù)定時間后的壓カ上升值超過預(yù)定允許范圍時，排氣處理控制部84判定為不滿足真空度保持基準，再次實施排氣處理5。另ー方面，當經(jīng)過預(yù)定時間后的壓カ上升值為預(yù)定允許范圍內(nèi)時，排氣處理控制部84判定為滿足真空度保持基準，結(jié)束排氣處理5。若結(jié)束排氣處理5，則再生處理I就會結(jié)束，開始低溫泵10的啟動處理2的冷卻處理7。追加浄化處理控制部94確定是否需要進行追加浄化處理6。具體而言，當連續(xù)實施排氣處理5的次數(shù)即排氣處理連續(xù)實施次數(shù)達到事前設(shè)定的需追加浄化基準次數(shù)時，追加凈化處理控制部94確定實施追加凈化處理6。當實施基本浄化處理4及排氣處理5之后低溫板48上還附著有少量殘留氣體吋，能夠通過反復(fù)進行數(shù)次排氣處理5來將殘留的氣體排出至低溫泵10的外部。然而，殘留于低溫板48的氣體量較多或者以不易脫離的狀態(tài)附著時，大多情況下，實施I次追加浄化處理6比反復(fù)進行多次排氣處理5更能盡早排出殘留氣體。以使再生處理I所需的時間的平均變得更短的方式來確定需追加浄化基準次數(shù)。例如，需追加浄化基準次數(shù)可規(guī)定在I次 20次的范圍，也可規(guī)定在5次 10次的范圍。最佳的需追加浄化基準次數(shù)根據(jù)低溫泵10的使用條件、排氣的氣體的種類等而不同，因此可根據(jù)經(jīng)驗法則或?qū)嶒瀬泶_定需追加浄化基準次數(shù)。劣化判定部88判定I次再生處理I中需實施的追加凈化處理6中所包括的氣體凈化工序的總數(shù)(以下也稱為“再浄化次數(shù)”)是否為劣化判定基準次數(shù)以上。實施追加浄化處理6之后，也判定為不滿足真空度條件，且需要再次進行追加凈化處理6時，有可能引起低溫泵10的組件等的劣化。因此，能夠通過監(jiān)控再浄化次數(shù)來事先察覺組件劣化的可能性。其結(jié)果，能夠在下次的維護中適當?shù)亟鉀Q，或在需要時停止運行進行檢修，能夠?qū)崿F(xiàn)已敘述的目的。在此，劣化判定基準次數(shù)為有意地多于通常的I次再生處理I中實施的再凈化次數(shù)且在低溫泵10的組件等中懷疑會產(chǎn)生劣化的再凈化次數(shù)。劣化判定基準次數(shù)為未發(fā)現(xiàn)低溫泵10有問題的狀態(tài)下的再凈化次數(shù)的平均值加上例如I 2的追加值的次數(shù)，例如為2 4次。劣化判定基準次數(shù)可以為開始運轉(zhuǎn)新產(chǎn)品低溫泵10之后在I周至I個月左右的一定的監(jiān)控期間所實施的再生處理I中的再凈化次數(shù)的平均值加上追加值而獲得的次數(shù)。這時，將低溫泵10連接于真空裝置并剛開始運轉(zhuǎn)之后的一定期間(例如I 2周左右)可以是不計算再生處理I中的再凈化次數(shù)的期間，并對之后的一定期間的再凈化次數(shù)進行計數(shù)并求出平均值即可。如此，利用實際所使用的低溫泵10，并利用實際使用環(huán)境中的再凈化次數(shù)的平均值來確定劣化判定基準次數(shù)，由此能夠使低溫泵10的個體差異或使用環(huán)境反映于判定條 件，能夠更準確地探測劣化或維護時期。最佳的劣化判定基準次數(shù)根據(jù)使用條件、排氣的氣體的種類等而不同，因此可根據(jù)經(jīng)驗法則或?qū)嶒瀬泶_定劣化判定基準次數(shù)。劣化判定部88判定對最近的多次再生處理I進行平均后的再凈化次數(shù)是否在劣化判定基準次數(shù)以上也可。再生處理I中的再凈化次數(shù)的增加并不僅僅起因于低溫泵10的劣化，例如依賴于使用時間、排氣對象氣體的種類或排氣量等各種參數(shù)。因此，即使某一再生處理I的再凈化次數(shù)在劣化判定基準次數(shù)以上，也未必一定需要維護。但是，在連續(xù)監(jiān)控多次再生處理I時，當存在再凈化次數(shù)成為劣化判定基準次數(shù)以上的情況較多的傾向時，可以說低溫泵10產(chǎn)生劣化的可能性較高，維護的必要性較大。通過利用對最近的多次再生處理I進行平均后的再凈化次數(shù)，能夠使由劣化以外的因素所引起的再凈化次數(shù)的偏差平均化，并更準確地探測低溫泵10劣化的可能性。在此，最近的多次(以下也稱為“累積次數(shù)”)為能夠使再凈化次數(shù)的偏差平均化的次數(shù)，例如為2次 10次左右。由于最佳的累積次數(shù)根據(jù)低溫泵10的使用狀況、例如每次使用的排氣對象氣體或排氣量的不同等而不同，因此可根據(jù)經(jīng)驗法則或?qū)嶒瀬泶_定累積次數(shù)。當劣化判定部88判定為再凈化次數(shù)達到劣化判定基準次數(shù)時，發(fā)送部96向真空裝置110發(fā)送警告。在此，真空裝置110不僅包括具有與低溫泵10直接連接的真空腔室的裝置，還包括用于控制該裝置的裝置。由此，能夠在低溫泵控制裝置80突然發(fā)生故障等情況下向受到影響的真空裝置110的用戶適當?shù)赝ㄖ蜏乇?0的狀態(tài)。發(fā)送部96還可以向設(shè)置于低溫泵控制裝置80的主體的顯示部(未圖示)或與低溫泵控制裝置80連接的顯示裝置(未圖示)發(fā)送警告并顯示。由此，能夠直接向低溫泵控制裝置80附近的用戶通知低溫泵10的狀態(tài)。發(fā)送部96發(fā)送的警告中可包含緊急度信息。緊急度信息可規(guī)定為例如在再凈化次數(shù)為劣化判定基準次數(shù)以上時，其差距越大緊急度越高。由此，能夠向用戶或裝置提示是否需要維護低溫泵10或與維護時期有關(guān)的適當?shù)呐袛嗖牧?。若接收由發(fā)送部96發(fā)送的警告，則真空裝置110實施預(yù)定的處理。預(yù)定的處理是指通過警告信息的顯示或警告音的產(chǎn)生而向用戶發(fā)出注意喚起處理。作為其他例子，還可以是為了避免在真空腔室中對處理中的產(chǎn)品或試制品、實驗材料等產(chǎn)生不良影響而安全地停止真空裝置110的運行的處理。當警告包含緊急度信息時，真空裝置110可根據(jù)緊急度信息而實施不同的處理。即，當接收緊急度較低的警告時，真空裝置110可實施注意喚起處理，當接收緊急度較高的警告時，可實施運行停止處理。由此，當?shù)蜏乇?0存在劣化的可能性時，能夠更迅速地對應(yīng)。因此，能夠抑制真空裝置的停機時間的突發(fā)性產(chǎn)生乃至低溫泵對真空工藝帶來的不良影響。基于以上結(jié)構(gòu)的動作如下。 圖4是表示實施方式所涉及的低溫泵10的再生處理I及之后的啟動處理2。首先，升溫處理控制部86實施升溫處理3 (SlO)。接著，基本凈化處理控制部92實施基本凈化處理4 (S12)?；緝艋幚?中隔著粗抽工序?qū)嵤╊A(yù)定次數(shù)的氣體凈化工序。之后，排氣處理控制部84實施排氣處理5。排氣處理5包括對低溫泵10進行真空抽取的粗抽工序(S14)和根據(jù)真空到達時間判定及真空度保持判定而對排氣處理5是否完成進行判定的真空度條件判定(S16)。不滿足真空度條件時(S16的否)，追加凈化處理控制部94實施追加凈化處理6 (S20)。并且，再次實施排氣處理5 (S14及S16)。滿足真空度條件時(S16的是)，結(jié)束排氣處理5。并且，制冷機20開始冷卻運行，對低溫板48進行再冷卻(S18)。若完成冷卻處理7，則能夠再次開始低溫泵10的真空排氣運行。圖5是表示實施方式所涉及的低溫泵10的再生處理I的排氣處理5的詳細內(nèi)容。排氣處理控制部84為了向低溫泵10的外部排出凈化氣體或通過凈化處理而再氣化的氣體，打開粗閥72，通過粗抽泵70開始泵容器36內(nèi)的真空抽取(S30)。排氣處理控制部84當真空抽取開始之后經(jīng)過預(yù)定時間時，進行用于判定能否將低溫泵10內(nèi)的壓力真空抽取至預(yù)定壓力的真空到達時間判定(S32)。當排氣處理控制部84判定為不滿足真空度到達時間基準時(S32的否)，追加凈化處理控制部94實施追加凈化處理6 (圖4的S20)。當排氣處理控制部84判定為滿足真空度到達時間基準時(S32的是)，關(guān)閉粗閥72并停止真空抽取(S34)。接著，排氣處理控制部84進行真空度保持判定(S36)。當經(jīng)過預(yù)定時間時的壓力上升值超過預(yù)定允許范圍時，排氣處理控制部84判定為不滿足真空度保持基準(S36的否)。此時，追加凈化處理控制部94根據(jù)排氣處理5的連續(xù)實施次數(shù)確定是否需要進行追加凈化處理6 (S38)。當排氣處理5的連續(xù)實施次數(shù)未達到需追加凈化基準次數(shù)時(S38的否)，追加凈化處理控制部94確定不進行追加凈化處理6，排氣處理控制部84再次實施排氣處理5(S30)。另一方面，當排氣處理5的連續(xù)實施次數(shù)達到需追加凈化基準次數(shù)時(S38的是)，追加凈化處理控制部94確定實施追加凈化處理6。
劣化判定部88對再生處理I中的再凈化次數(shù)是否為劣化判定基準次數(shù)以上進行判定(S40)。當再凈化次數(shù)為劣化判定基準次數(shù)以上時(S40的是)，發(fā)送部96向真空裝置110發(fā)送警告，追加凈化處理控制部94實施追加凈化處理6(圖4的S20)。當再凈化次數(shù)未達到劣化判定基準次數(shù)時(S40的否)，警告不會被發(fā)送。此時，追加凈化處理控制部94也實施追加凈化處理6 (圖4的S20)。當排氣處理控制部84判定為滿足真空度保持基準時(S36的是)，排氣處理控制部84結(jié)束排氣處理5。由此，再生處理I結(jié)束，開始低溫泵10的啟動處理2的冷卻處理7(圖4 的 S18)。如此，根據(jù)本實施方式，能夠利用作為通常的低溫泵10的運轉(zhuǎn)循環(huán)的一環(huán)而進行的再生處理I來監(jiān)控低溫泵10的劣化。
另外，當劣化判定部88對該再生處理I中的再凈化次數(shù)進行計數(shù)時，可按判斷為需要進行追加凈化處理6的理由分類，并對各自的再凈化次數(shù)進行計數(shù)，利用其任一個或雙方判定劣化。S卩，可對由于不滿足真空到達時間判定條件而判定為需要的(S32的否)追加凈化處理6的氣體凈化工序(以下也稱為“真空到達時間起因再凈化”)、和由于連續(xù)實施預(yù)定次數(shù)以上排氣處理5而判定為需要的(S38的是)追加凈化處理6的氣體凈化工序(以下也稱為“連續(xù)排氣處理起因再凈化”)分別單獨計數(shù)。此時，可對真空到達時間起因再凈化和連續(xù)排氣處理起因再凈化分別設(shè)定不同的劣化判定基準次數(shù)。此時，不僅察覺維護的必要性，還能夠限定低溫泵10中的不良情況部位。圖6表示實施方式所涉及的低溫泵10的再生處理I的變形例及之后的啟動處理2。變形例所涉及的再生處理I也具有與圖I相同的結(jié)構(gòu)，但是排氣處理5包括第I排氣處理和第2排氣處理。第I排氣處理將低溫泵10內(nèi)從實施凈化處理時的低溫泵10內(nèi)的壓力排氣至第I壓力級別。第2排氣處理將低溫泵10內(nèi)從第I壓力級別排氣至第2壓力級別，該第2壓力級別用作起動低溫泵10時的低溫泵10內(nèi)的壓力(以下也稱為“基本壓力”)。第I壓力級別低于實施凈化處理時的低溫泵10內(nèi)的壓力且高于基本壓力。另外，本說明書中還將第I壓力級別稱為“中間壓力”。再生處理I中，首先由升溫處理控制部86實施升溫處理3(S50)。接著，基本凈化處理控制部92實施基本凈化處理4 (S52)?；緝艋幚?中，隔著粗抽工序?qū)嵤╊A(yù)定次數(shù)的多次氣體凈化工序。接著，排氣處理控制部84實施第I排氣處理。第I排氣處理包括從實施凈化處理時的低溫泵10內(nèi)的壓力真空抽取至中間壓力附近的第I粗抽工序(S54)、和根據(jù)第I真空到達時間判定及第I真空度保持判定來對第I排氣處理是否完成進行判定的第I真空度條件判定(S56)。當不滿足第I真空度條件時(S56的否)，追加凈化處理控制部94實施追加凈化處理6 (S64)。當滿足第I真空度條件時(S56的是)，結(jié)束第I排氣處理。接著，排氣處理控制部84實施第2排氣處理。第2排氣處理包括從中間壓力真空抽取至基本壓力的第2粗抽工序(S58)、和根據(jù)第2真空到達時間判定或第2真空度保持判定來對第2排氣處理是否完成進行判定的第2真空度條件判定(S60)。當不滿足第2真空度條件時(S60的否)，追加凈化處理控制部94實施追加凈化處理6 (S64)。當滿足第2真空度條件時(S60的是)，結(jié)束第2排氣處理。若第I排氣處理及第2排氣處理完成，則經(jīng)過冷卻處理7，能夠再次開始低溫泵10的真空排氣運行。圖7表示實施方式所涉及的低溫泵10的再生處理I的變形例中的第I排氣處理的詳細內(nèi)容。排氣處理控制部84打開粗閥72，并基于粗抽泵70開始泵容器36內(nèi)的真空抽取(S70)。排氣處理控制部84在開始真空抽取之后經(jīng)過預(yù)定時間時，進行判定低溫泵10內(nèi) 的壓力是否達到中間壓力的第I真空到達時間判定(S72)。具體而言，判定例如是否在I分鐘以內(nèi)真空抽取至200Pa以下的壓力。當排氣處理控制部84判定為不滿足真空度到達時間基準時(S72的否)，追加凈化處理控制部94實施追加凈化處理6 (圖6的S64)。當排氣處理控制部84判定為滿足真空度到達時間基準時(S72的是)，關(guān)閉粗閥72并停止真空抽取(S74)。接著，排氣處理控制部84進行第I真空度保持判定(S76)。具體而言，例如判定停止排氣后30秒之后的壓力是否為230Pa以下。當排氣處理控制部84判定為不滿足第I真空度保持基準時(S76的否)，追加凈化處理控制部94根據(jù)第I排氣處理的連續(xù)實施次數(shù)確定是否需要進行追加凈化處理6 (S78)。當?shù)贗排氣處理的連續(xù)實施次數(shù)未達到第I需追加凈化基準次數(shù)時(S78的否)，追加凈化處理控制部94確定不進行追加凈化處理6。第I需追加凈化基準次數(shù)可規(guī)定在I 20次的范圍，例如為5次。此時，排氣處理控制部84再次實施第I排氣處理(S70)。另一方面，當?shù)贗排氣處理的連續(xù)實施次數(shù)達到第I需追加凈化基準次數(shù)時(S78的是)，追加凈化處理控制部94確定實施追加凈化處理6。劣化判定部88判定在第I排氣處理中被判定為需要的再凈化次數(shù)是否在第I劣化判定基準次數(shù)以上(S80)。第I劣化判定基準次數(shù)例如為2次。當在第I排氣處理中被判定為需要的再凈化次數(shù)在第I劣化判定基準次數(shù)以上時(S80的是)，發(fā)送部96向真空裝置110發(fā)送警告(S82)。并且，追加凈化處理控制部94實施追加凈化處理6 (圖6的S64)。當再凈化次數(shù)未達到第I劣化判定基準次數(shù)時(S80的否)，警告未被發(fā)送。此時，追加凈化處理控制部94也實施追加凈化處理6 (圖 6 的 S64)。當排氣處理控制部84判定滿足第I真空度保持基準時(S76的是)，結(jié)束第I排氣處理，開始第2排氣處理(圖6的S58)。圖8表示實施方式所涉及的低溫泵10的再生處理I的變形例中的第2排氣處理的詳細內(nèi)容。排氣處理控制部84打開粗閥72，并基于粗抽泵70開始泵容器36內(nèi)的真空抽取(S84)。排氣處理控制部84在開始真空抽取之后經(jīng)過預(yù)定時間時，進行判定低溫泵10內(nèi)的壓力能否真空抽取至基本壓力的第2真空到達時間判定(S86)。具體而言，判定例如是否在5分鐘以內(nèi)真空抽取至基本壓力以下?；緣毫缫?guī)定在I 50Pa的范圍內(nèi)。作為一例，基本壓力為IOPa左右。當排氣處理控制部84判定為不滿足真空度到達時間基準時(S86的否)，追加凈化處理控制部94實施追加凈化處理6 (圖6的S64)。排氣處理控制部84判定為滿足真空度到達時間基準時(S86的是)，關(guān)閉粗閥72并停止真空抽取(S88)。接著，排氣處理控制部84進行判定停止排氣之后經(jīng)過預(yù)定時間時的壓力上升值是否在預(yù)定允許范圍內(nèi)的第2真空度保持判定(S90)。所允許的壓力上升的上限值例如規(guī)定在I 50Pa的范圍內(nèi)。作為一例，可規(guī)定為5Pa左右。將基本壓力設(shè)為10Pa，所允許的壓力上升的上限值設(shè)為5Pa時，排氣處理控制部84例如判定I分鐘后的壓力是否為15Pa以下。當排氣處理控制部84判定為不滿足第2真空度保持基準時(S90的否)，追加凈化處理控制部94根據(jù)第2排氣處理的連續(xù)實施次數(shù)確定是否需要進行追加凈化處理6 (S92)。 當?shù)?排氣處理的連續(xù)實施次數(shù)未達到第2需追加凈化基準次數(shù)時(S92的否)，追加凈化處理控制部94確定不進行追加凈化處理6。第2需追加凈化基準次數(shù)可規(guī)定在I 20次的范圍內(nèi)，例如為10次。此時，排氣處理控制部84再次實施第2排氣處理(S84)。另一方面，第2排氣處理的連續(xù)實施次數(shù)達到第2需追加凈化基準次數(shù)時(S92的是)，追加凈化處理控制部94確定實施追加凈化處理6。劣化判定部88判定在第2排氣處理中被判定為需要的再凈化次數(shù)是否為第2劣化判定基準次數(shù)以上(S94)。第2劣化判定基準次數(shù)例如為3次。在第2排氣處理中被判定為需要的再凈化次數(shù)為第2劣化判定基準次數(shù)以上時(S94的是)，發(fā)送部96向真空裝置110發(fā)送警告(S96)。并且，追加凈化處理控制部94實施追加凈化處理6 (圖6的S64)。當再凈化次數(shù)未達到第2劣化判定基準次數(shù)時(S94的否)，警告未被發(fā)送。此時，追加凈化處理控制部94也實施追加凈化處理6 (圖6的 S64)。當排氣處理控制部84判定為滿足第2真空度保持基準時(S90的是)，結(jié)束第2排氣處理。并且，開始冷卻處理7 (圖6的S62)。如此，分成2個階段實施排氣處理5時，通過在各個排氣工序中個別進行劣化判定，能夠察覺維護的必要性以及限定低溫泵10中的不良情況部位。以上，根據(jù)實施方式對本發(fā)明進行了說明。本發(fā)明不限于上述實施方式，本領(lǐng)域技術(shù)人員應(yīng)該理解可進行各種設(shè)計變更，可為各種變形例，以及這種變形例也屬于本發(fā)明范圍。實施方式中，對利用再凈化次數(shù)監(jiān)控低溫泵10的劣化狀況的例子進行了說明，但可利用其他再生處理I中的參數(shù)監(jiān)控低溫泵10的劣化狀況。例如可將再生處理I的升溫處理3所需的升溫時間及再生處理I結(jié)束后的冷卻處理7所需的冷卻時間設(shè)為參數(shù)。此時，升溫處理控制部86判定再生處理I中的實際升溫時間是否長于升溫劣化基準時間，當實際升溫時間長于升溫劣化基準時間時，發(fā)送部96發(fā)送
敬生
目口 ο同樣地，升溫處理控制部86判定再生處理I中的實際冷卻時間是否長于冷卻劣化基準時間，當實際冷卻時間長于冷卻劣化基準時間時，發(fā)送部96發(fā)送警告。在此，升溫時間是指例如在再生處理I中制冷機20停止冷卻運行并開始反轉(zhuǎn)運行之后低溫泵10的溫度達到再生溫度所需的時間。并且，冷卻時間是指結(jié)束再生處理I之后并由制冷機20開始冷卻運行之后為了將低溫板48冷卻至預(yù)定的低溫泵動作溫度而所需的時間。升溫劣化基準時間及冷卻劣化基準時間可按每個低溫泵10的機種進行確定，或者也可在新品低溫泵10開始運轉(zhuǎn)之后，在一周至I個月左右的一定期間內(nèi)實施的再生處理I中的升溫時間或冷卻時間的平均值上乘以預(yù)定系數(shù)來算出。預(yù)定系數(shù)例如可以為I. 5 2左右。這時，也可將低溫泵10與真空裝置110連接并剛開始運轉(zhuǎn)之后(例如I周 I個月左右)的再生處理I中的升溫時間及冷卻時間作為求平均值時不考慮在內(nèi)的期間，測量之后一定期間的升溫時間及冷卻時間來求出平均值。根據(jù)該變形例，能夠利用作為通常的低溫泵10的運轉(zhuǎn)循環(huán)的一環(huán)而進行的再生處理I及之后的啟動處理2中的升溫時間和冷卻時間的測定值來監(jiān)控低溫泵10的劣化。由此，不用特別設(shè)置用于檢查的時間以及不用特別設(shè)置監(jiān)控用的裝置，能夠事先 察覺維護的必要性，并能夠抑制突然產(chǎn)生真空裝置110的停機時間。此外，可組合實施利用了再凈化次數(shù)的監(jiān)控與利用了升溫時間及冷卻時間的監(jiān)控。如此，通過合并利用多個參數(shù)，不僅察覺維護的必要性，還能夠限定低溫泵10中的不良情況部位，而且還能夠預(yù)測需更換的組件等，能夠進一步實現(xiàn)更詳細的監(jiān)控。
權(quán)利要求
1.ー種低溫泵控制裝置，其控制低溫泵，且所述低溫泵具備對氣體進行冷卻并使該氣體冷凝或吸附的低溫板及容納所述低溫板的泵容器，所述低溫泵控制裝置的特征在干， 所述低溫泵的再生處理包括基本浄化處理，包括I次以上的氣體凈化工序；1次以上的排氣處理，對泵容器內(nèi)進行真空抽取直至達到真空度保持判定級別之后，對真空度保持狀態(tài)進行判定；追加浄化處理，包括I次以上的氣體凈化工序，該追加浄化處理在必要情況下追加實施I次以上， 所述低溫泵控制裝置具備劣化判定部，該劣化判定部用于判定再浄化次數(shù)是否達到劣化判定基準次數(shù)，所述再凈化次數(shù)為在I次再生處理中需實施的I次以上的追加浄化處理中所包括的I次以上的氣體凈化工序的總數(shù)。
2.如權(quán)利要求I所述的低溫泵控制裝置，其特征在干， 所述劣化判定部判定對多次再生處理進行平均后的再浄化次數(shù)是否達到劣化判定基準次數(shù)。
3.如權(quán)利要求I或2所述的低溫泵控制裝置，其特征在干， 所述低溫泵控制裝置還具備排氣處理控制部 '及 追加浄化處理控制部，該追加浄化處理控制部確定是否需要進行追加浄化處理， 在所述真空度保持狀態(tài)的判定中判定為泵容器內(nèi)真空度保持狀態(tài)不滿足真空度保持基準時，所述排氣處理控制部確定再次實施排氣處理， 在排氣處理的連續(xù)實施次數(shù)達到需追加浄化基準次數(shù)時，所述追加浄化處理控制部確定實施追加凈化處理。
4.如權(quán)利要求I 3中任一項所述的低溫泵控制裝置，其特征在干， 所述低溫泵控制裝置還具備發(fā)送部，當所述劣化判定部判定為再凈化次數(shù)達到劣化判定基準次數(shù)吋，所述發(fā)送部發(fā)送警告。
5.—種低溫泵系統(tǒng),其具備 低溫泵，該低溫泵具備對氣體進行冷卻并使該氣體冷凝或吸附的低溫板及容納所述低溫板的泵容器，所述低溫泵的再生處理包括基本浄化處理，包括I次以上的氣體凈化工序；1次以上的排氣處理，對泵容器內(nèi)進行真空抽取直至達到真空度保持判定級別之后，對真空度保持狀態(tài)進行判定；追加浄化處理，包括I次以上的氣體凈化工序，該追加浄化處理在必要情況下追加實施I次以上， 低溫泵控制裝置，用于控制所述低溫泵， 所述低溫泵系統(tǒng)的特征在干， 所述低溫泵控制裝置具備劣化判定部，該劣化判定部用于判定再浄化次數(shù)是否達到劣化判定基準次數(shù)，所述再凈化次數(shù)為在I次再生處理中需實施的I次以上的追加浄化處理中所包括的I次以上的氣體凈化工序的總數(shù)。
6.如權(quán)利要求5所述的低溫泵系統(tǒng)，其特征在干， 所述低溫泵系統(tǒng)還具備為了對氣體進行排氣而連接所述低溫泵的真空裝置， 所述低溫泵控制裝置還具備發(fā)送部，當判定為再凈化次數(shù)達到劣化判定基準次數(shù)吋，所述發(fā)送部發(fā)送警告， 所述真空裝置接收由所述發(fā)送部發(fā)送的警告，并進行預(yù)定的處理。
7.—種低溫泵監(jiān)控方法，其對低溫泵進行監(jiān)控，所述低溫泵具備對氣體進行冷卻并使該氣體冷凝或吸附的低溫板及容納所述低溫板的泵容器，所述低溫泵的再生處理包含基本凈化處理,包括I次以上的氣體凈化工序；1次以上的排氣處理,對泵容器內(nèi)進行真空抽取直至達到真空度保持判定級別之后，對真空度保持狀態(tài)進行判定；追加浄化處理，包括I次以上的氣體凈化工序，該追加浄化處理在必要情況下追加實施I次以上， 所述低溫泵監(jiān)控方法的特征在干， 判定再浄化次數(shù)是否達到劣化判定基準次數(shù)，所述再凈化次數(shù)為在I次再生處理中需實施的I次以上的追加凈化處理中所包括的I次以上的氣體凈化工序的總數(shù)。
全文摘要
本發(fā)明提供一種能夠有效地監(jiān)控低溫泵的劣化的低溫泵控制裝置、低溫泵系統(tǒng)及低溫泵的監(jiān)控方法。本發(fā)明中的低溫泵具備對氣體進行冷卻并使其冷凝或吸附的低溫板、及容納低溫板的泵容器。低溫泵的再生處理包括基本凈化處理、排氣處理、必要情況下進行追加實施的追加凈化處理。追加凈化處理包括1次以上氣體凈化工序。控制低溫泵的低溫泵控制裝置(80)中，劣化判定部(88)判定在1次再生處理中需要追加實施的氣體凈化工序的總數(shù)即再凈化次數(shù)是否達到劣化判定基準次數(shù)。
文檔編號F04B37/08GK102828929SQ20121018211
公開日2012年12月19日 申請日期2012年6月5日 優(yōu)先權(quán)日2011年6月14日
發(fā)明者小山知大 申請人:住友重機械工業(yè)株式會社