專利名稱：一種用電磁爐作加熱器的擴散泵的制作方法
技術領域：
本實用新型屬于真空設備制造技術領域，具體涉及一種用電磁爐作加熱器的擴散泵。
背景技術：
擴散泵是一種真空泵設備，一般和機械泵兩級聯(lián)合抽氣的方式來獲取高真空。相比于分子泵而言，它可長期連續(xù)使用而無需維護，便宜，又無需特殊的控制系統(tǒng)，目前仍廣泛用在電鏡、磁控濺射等一些真空領域中。擴散泵的主要結構包括冷卻管、擴散噴嘴、蒸氣導管、泵體、加熱爐等。擴散泵的加熱爐一般采用電阻爐加熱的方式，但這種加熱方式存在一些弊端。如文獻1:于炳琪.擴散泵加熱恒功率控制儀.真空.1999(5)中記載的加熱功率易受電源電壓波動的影響而對擴散泵抽速和極限壓強不利，同時加熱電爐因加熱絲易高溫氧化壽命下降，擴散泵無法長時間穩(wěn)定工作。還有文獻2:王大慶等.一種簡易擴散泵封閉式加熱器.分析測試技術與儀器.1997. 3( 中記載的進口的設備像JEM-200CX透射式電子顯微鏡和JEE-4X真空噴鍍儀，采用不可拆卸式結構的擴散泵加熱器，電爐絲完全封死在發(fā)熱盤內(nèi)，一旦電爐絲熔斷，整個加熱器便報廢，造成極大的財力浪費。電阻爐的電阻絲在高溫時或者潮濕環(huán)境中很容易被空氣氧化，嚴重影響電阻絲的使用壽命，一般一年左右就要更換電阻絲。同時采用電阻爐作加熱爐還有具有加熱效率低、消耗電能高、散熱速率慢、漏電等缺點，導致擴散泵啟動時間較長(一般加熱45分鐘后才可運行擴散泵)、運行所需電力成本高、觸電等嚴重問題。因此設計一種升溫快、熱效率高、消耗電能低、使用壽命長、安全性能好等優(yōu)點新型加熱器的擴散泵具有很大的現(xiàn)實意義和廣闊的市場前景。

實用新型內(nèi)容針對現(xiàn)有技術中存在的問題，本實用新型提供一種用電磁爐作加熱器的擴散泵， 該用電磁爐作加熱器的擴散泵具有升溫快、熱效率高、消耗電能低、使用壽命長等優(yōu)點，且該擴散泵的啟動和關閉工作時間短，安全性高，功率可控制調(diào)節(jié)，能夠穩(wěn)定擴散泵抽氣速度，提高擴散泵的工作效率。本實用新型提出的一種用電磁爐作加熱器的擴散泵，主要包括已移除加熱爐的擴散泵、電磁爐、固定板、爐罩、爐底板和平面支撐架。所述的電磁爐設置在平面支撐架上，電磁爐及平面支撐架均位于爐罩中，該爐罩配合電磁爐的形狀為中通的圓形或方形筒形結構，爐罩的壁厚為8 10mm，爐罩的側面具有穿線孔，通過該穿線孔將電磁爐與外接的功率控制面板通過電線相連接，所述的爐底板的中心具有螺孔，孔徑為20 30mm，穿過該螺孔將升降螺桿安裝在爐底板上，并將升降螺桿的頂部連接在平面支撐架的底部，通過調(diào)節(jié)升降螺桿使平面支撐架上固定的電磁爐上下移動，升降螺桿的升降高度為100 120mm。爐底板的邊緣位置具有若干螺通孔A，穿過螺通孔A將爐罩的下表面通過螺釘與爐底板固定連接，所述的爐底板上具有散熱孔，散熱孔的位置與電磁爐散熱扇相對，便于電磁爐的散熱。固定板的邊緣位置均勻分布有若干孔徑為5 8mm的螺通孔B，穿過這些螺通孔B將固定板與爐罩的上表面固定連接，固定板的形狀根據(jù)所選電磁爐的形狀為圓形或方形，其尺寸比電磁爐的尺寸大10 15mm，以便擴散泵泵底能夠全部處于在電磁爐的加熱面上。所述的固定板的中心具有通孔，通孔的尺寸和形狀與擴散泵泵底的尺寸和形狀相同，使擴散泵泵底能夠套在固定板的通孔中，固定板的通孔側壁與擴散泵泵底固定連接，所述的擴散泵是通過外連接支架支撐和固定的，且固定板的下表面高于擴散泵泵底底面的5 8mm，所述的固定板的通孔側壁與擴散泵泵底通過焊接的方式固定連接。爐罩的桶壁側面優(yōu)選具有開槽，開槽的長度和高度能夠使爐罩中的電磁爐方便的移入或移出爐罩內(nèi)部。當爐罩的側面不設置有開槽時，電磁爐通過爐底板的裝拆方式移入或移出爐罩。爐罩的形狀根據(jù)所述的電磁爐的形狀為圓柱形或立方形。爐罩的高度比電磁爐的厚度高20 50mm，根據(jù)實際需要方便升降電磁爐用來滿足實時要求。在爐罩上下兩面分別對應固定板和爐底板的螺孔位置開形狀尺寸一致的螺盲孔通過螺釘螺母連接固定板和爐底板。本實用新型具有的優(yōu)點在于1、本實用新型提出的一種用電磁爐作加熱器的擴散泵，升溫快、熱效率高、消耗電能低、使用壽命長。2、本實用新型提出的一種用電磁爐作加熱器的擴散泵，啟動和關閉工作時間短、 省時、啟動和冷卻時間短、易控溫、安全性好。3、本實用新型提出的一種用電磁爐作加熱器的擴散泵，功率既可控又可調(diào)，穩(wěn)定擴散泵抽氣速度，提高擴散泵的工作效率。4、本實用新型提出的一種用電磁爐作加熱器的擴散泵，結構簡單，易于安裝，散熱效果好。

圖1 本實用新型的一種用電磁爐作加熱器的擴散泵結構示意圖(爐罩不帶有開槽)；圖2:本實用新型的一種用電磁爐作加熱器的擴散泵結構示意圖(爐罩帶有開槽)；圖3:本實用新型的一種用電磁爐作加熱器的擴散泵結構示意圖(爐罩帶有開槽)；圖4:本實用新型的一種用電磁爐作加熱器的擴散泵中爐罩的結構圖(不帶有開槽)。圖5 本實用新型的方形爐底板的結構圖(爐罩不帶有開槽)；圖6 本實用新型的方形爐底板的結構圖(爐罩帶有開槽)；圖7:本實用新型的圓形爐底板的結構圖(爐罩不帶有開槽)；圖8 本實用新型的方形固定板的結構圖(爐罩不帶有開槽)；圖9 本實用新型的方形固定板的結構圖(爐罩帶有開槽)；圖10 本實用新型的圓形固定板的結構圖(爐罩不帶有開槽)；圖中1-電磁爐；2-爐罩；3-電磁爐散熱扇；4-平面支撐架；5-爐底板；6_升降螺桿；7-功率控制面板；8-擴散泵；9-穿線孔；10-散熱孔；11-固定板。
具體實施方式
下面將結合附圖和實施例對本實用新型作進一步的詳細說明。本實用新型提出的一種用電磁爐作加熱器的擴散泵，如圖1、圖2和圖3所示，主要包括擴散泵8 (已移除加熱爐)、電磁爐1、固定板11、爐罩2、爐底板5和平面支撐架4。所述的電磁爐1設置在平面支撐架4上(優(yōu)選為十字形支撐架)，電磁爐1及平面支撐架4均位于爐罩2中，該爐罩2配合電磁爐1的形狀為中通的圓形或方形筒形結構， 爐罩2的壁厚為8 10mm，爐罩2的側面具有穿線孔9，如圖4，通過該穿線孔9將電磁爐1 與外接的功率控制面板7通過電線相連接。所述的功率控制面板7用于用于控制電磁爐。所述的爐底板5的中心具有螺孔，孔徑為20 30mm，如圖5和圖6，穿過該螺孔將升降螺桿6安裝在爐底板5上，升降螺桿6的頂部連接在平面支撐架4的底部，通過調(diào)節(jié)升降螺桿6使平面支撐架4上固定的電磁爐1上下移動，升降螺桿6的升降高度為100 120mm ；爐底板5的邊緣位置具有多個孔徑為5 8mm的螺通孔A，通過該螺通孔A將爐罩 2的下表面通過螺釘與爐底板5固定連接。與電磁爐散熱扇3的相對的爐底板5上還具有散熱孔10，便于電磁爐1的散熱。爐底板5的形狀根據(jù)所選電磁爐1的形狀為圓形或方形， 如圖5、圖6和圖7所示。所述的固定板11的邊緣位置均勻分布有若干孔徑為5 8mm的螺通孔B，如圖8、 圖9和圖10所示，穿過這些螺通孔B將固定板11與爐罩2的上表面固定連接，固定板11 的形狀根據(jù)所選電磁爐1的形狀為圓形或方形，如圖8和圖10所示，其尺寸比電磁爐1的尺寸大10 15mm，以便擴散泵8泵底能夠全部處于在電磁爐1的加熱面上。所述的固定板 11中心具有通孔，通孔的尺寸和形狀與擴散泵8泵底的尺寸和形狀相同，使擴散泵8泵底能夠套在固定板11的通孔中，所述的擴散泵8是通過外連接支架支撐和固定的，且固定板11 的下表面高于擴散泵8泵底底面的5 8mm，通過焊接的方式將固定板11與擴散泵8泵底固定連接。所述的爐罩2的桶壁側面優(yōu)選具有開槽，如圖2和圖3，開槽的長度和高度能夠使爐罩2中的電磁爐1方便的移入或移出爐罩2內(nèi)部，開槽的高度可以與爐罩2的高度相同， 如圖3所示，也可以小于爐罩2的高度，如圖2所示。當爐罩2的側面不設置有開槽時，電磁爐1通過爐底板5的裝拆方式移入或移出爐罩2。爐罩2的形狀根據(jù)所述的電磁爐1的形狀為圓柱形或立方形。爐罩2的高度比電磁爐1的厚度高20 50mm，根據(jù)實際需要方便升降電磁爐1用來滿足實時要求。在爐罩2上下兩面分別對應固定板11和爐底板5的螺孔位置開形狀尺寸一致的螺盲孔通過螺釘螺母連接固定板11和爐底板5。
權利要求1.一種用電磁爐作加熱器的擴散泵，其特征在于包括已移除加熱爐的擴散泵、電磁爐、固定板、爐罩、爐底板和平面支撐架；所述的電磁爐設置在平面支撐架上，電磁爐及平面支撐架均位于爐罩中；爐罩的下表面通過螺釘與爐底板固定連接，爐罩的上表面通過螺釘與固定板連接；所述的爐底板的中心具有螺孔，穿過該螺孔將升降螺桿安裝在爐底板上， 升降螺桿的頂部連接在平面支撐架的底部；所述的固定板的中心具有通孔，擴散泵的泵底套在固定板的通孔中，固定板的通孔側壁與擴散泵泵底固定連接。
2.根據(jù)權利要求1所述的一種用電磁爐作加熱器的擴散泵，其特征在于所述的固定板的通孔側壁與擴散泵泵底通過焊接的方式固定連接。
3.根據(jù)權利要求1所述的一種用電磁爐作加熱器的擴散泵，其特征在于所述的平面支撐架為十字形支撐架。
4.根據(jù)權利要求1所述的一種用電磁爐作加熱器的擴散泵，其特征在于所述的爐罩為中通的圓形或方形筒形結構，側面具有穿線孔，通過該穿線孔將電磁爐與功率控制面板通過電線相連接。
5.根據(jù)權利要求1所述的一種用電磁爐作加熱器的擴散泵，其特征在于所述的爐底板上具有散熱孔，散熱孔的位置與電磁爐散熱扇相對。
6.根據(jù)權利要求1所述的一種用電磁爐作加熱器的擴散泵，其特征在于所述的升降螺桿的升降高度為100 120mm。
7.根據(jù)權利要求1所述的一種用電磁爐作加熱器的擴散泵，其特征在于所述的固定板的形狀為圓形或方形，其尺寸比電磁爐的尺寸大10 15mm。
8.根據(jù)權利要求1所述的一種用電磁爐作加熱器的擴散泵，其特征在于所述的固定板的下表面高于擴散泵泵底底面的5 8mm。
9.根據(jù)權利要求1所述的一種用電磁爐作加熱器的擴散泵，其特征在于所述的爐罩的側面具有開槽，爐罩的壁厚為8 10mm，爐罩的高度比電磁爐的厚度高20 50mm。
10.根據(jù)權利要求1所述的一種用電磁爐作加熱器的擴散泵，其特征在于所述的爐底板的中心的螺孔孔徑為20 30mm。
專利摘要本實用新型提供一種用電磁爐作加熱器的擴散泵，主要包括已移除加熱爐的擴散泵、電磁爐、固定板、爐罩、爐底板和平面支撐架，電磁爐設置在平面支撐架上，電磁爐及平面支撐架均位于爐罩中；爐罩的下表面通過螺釘與爐底板固定連接，爐罩的上表面通過螺釘與固定板連接；所述的爐底板的中心具有螺孔，穿過該螺孔將升降螺桿安裝在爐底板上，升降螺桿的頂部連接在平面支撐架的底部；固定板的中心具有通孔，擴散泵的泵底套在固定板的通孔中。該用電磁爐做加熱器的擴熱泵具有升溫快、熱效率高、消耗電能低、使用壽命長等優(yōu)點，且該擴散泵的啟動和關閉工作時間短，安全性高，功率可控制調(diào)節(jié)，能夠穩(wěn)定擴散泵抽氣速度，提高擴散泵的工作效率。
文檔編號F04F9/00GK201972973SQ201120019648
公開日2011年9月14日 申請日期2011年1月21日 優(yōu)先權日2011年1月21日
發(fā)明者呂廣宏, 張穎, 王波, 馬玉田 申請人:北京航空航天大學