專利名稱：流體泵的制作方法
技術(shù)領域：
本發(fā)明涉及適于筆記本電腦等小體積薄型電子設備的冷卻用的、由振動膜(ダイヤフラム)驅(qū)動的結(jié)構(gòu)的流體泵。
背景技術(shù)：
以往，提出了多種通過將PZT之類的壓電元件貼在金屬板等薄板上使之一體化形成振動膜作為振子，以達到小型輕量化的目的的振動膜振子型泵的方案。圖6為表示這種振動膜振子型流體泵的一個結(jié)構(gòu)例的圖(參照例如專利文獻1)。
在圖6所示的流體泵A中，在中空的箱型殼體100的上部內(nèi)側(cè)內(nèi)藏PZT等板狀壓電振子101，將該中空部上下分隔，在圖6中，該壓電振子101的下側(cè)形成空間部102，在其上部形成泵室103，上述壓電振子101的結(jié)構(gòu)為通過通電沿其厚度方向往復振動，由此可以改變泵室103的容積。
在上述殼體100的上部左側(cè)形成吸入噴嘴105，在上部右側(cè)形成排出噴嘴106，吸入通道107一直延伸到殼體100的中心部地形成，以便與上述吸入噴嘴105連通，排出通道108一直延伸到殼體100的中心部地形成，以便與上述排出噴嘴106連通。上述殼體100的中心部形成隔開上述吸入通道107與泵室103的吸入側(cè)隔壁109，并在該吸入側(cè)隔壁109上形成使上述泵室103與上述吸入通道107相連通的吸入通道111，此外，在吸入側(cè)隔壁109上設置有開閉上述吸入通道111的止回閥113。同樣，形成隔開上述排出通道108與泵室103的排出側(cè)隔壁110，并在該排出側(cè)隔壁110上形成連通上述泵室103與上述排出通道108的排出通道112，并在排出側(cè)隔壁110上設置開閉上述排出通道112的止回閥115。
另外，壓電振子101采用從圖示省略的驅(qū)動電路施加驅(qū)動電壓的結(jié)構(gòu)，通過施加該驅(qū)動電壓使壓電振子101往復振動。
圖6所示結(jié)構(gòu)的流體泵A采用以下結(jié)構(gòu)通過成為振動膜的壓電振子101往復振動可以改變泵室103的容積，由此使經(jīng)過止回閥113從吸入噴嘴105一側(cè)吸入到泵室103內(nèi)的流體通過止回閥115送往排出噴嘴106一側(cè)，通過這樣起到作為輸送流體用的泵的作用。
上述專利文獻1所記載的流體泵A為利用使用了壓電振子101的細微往復運動的泵作用而進行流體的輸送的泵，與利用了螺旋槳或活塞等機構(gòu)的一般的流體泵相比能夠顯著地小型輕量化，但當想要將圖6所示結(jié)構(gòu)的流體泵A用于不斷小型輕量化的筆記本電腦或便攜式信息設備等小型設備時，存在小型化上有限的問題。
例如，當想要使流體泵A的整體厚度更薄時，雖然能夠使位于壓電振子101下側(cè)的殼體100的下部更薄，但存在不能使殼體100的上部側(cè)極端變薄的問題。例如，雖然可以使泵室103變薄，但由于其上側(cè)存在止回閥113、115以及吸入通道107和排出通道108，因此不能使泵變薄到超過它們的高度或者粗細。即，實質(zhì)上由于整個厚度必須要有壓電振子101、保持該壓電振子101的殼體的部分、泵室103、止回閥113、115的部分厚度以及吸入噴嘴105的部分厚度或排出噴嘴106的部分厚度相加的厚度，因此存在不能實現(xiàn)殼體的小型化薄于這個厚度的問題。
特別是由于剖視為近似傘形的止回閥113、115以上下互相倒轉(zhuǎn)的形式分別安裝到隔壁109、110上，止回閥113、115的頭部113a、115a分別配置在隔壁109、110的泵室103一側(cè)及其相反的一側(cè)，而且隔壁109、110離開壓電振子101相等的距離配置，因此殼體100的厚度必須形成與隔壁109、110與頭部113a、115a的厚度相當?shù)暮穸龋@成為實現(xiàn)小型化的最大障礙。
而且，如果將泵室103變薄，則也存在流體泵A的排出量極端低下的問題。
因此，當想作為不斷小型輕量化的筆記本電腦或便攜式信息設備的冷卻裝置而有效地利用時，最好盡量使流體泵變薄，但圖6所示以往的流體泵存在不能滿足這些用途的要求的問題。
日本專利特開平7-301181號公報(圖2)發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明就是鑒于上述問題，其目的是要提供一種理想地用于不斷薄型化、小型化的筆記本電腦等電子設備用的冷卻裝置，而且薄型、排出量也優(yōu)良的流體泵。
為了達到上述目的，本發(fā)明采用了以下結(jié)構(gòu)。
本發(fā)明的流體泵的特征在于，具有利用壓電元件而被往復振動的振動膜和收容有該振動膜的殼體，上述振動膜在其周邊部分被夾持的狀態(tài)下被振動自如地收容在上述殼體的內(nèi)部，在該殼體的一部分上形成位于上述振動膜的一面?zhèn)鹊谋檬?，在上述泵室的與上述振動膜相對置的位置上形成與該泵室相通的吸入部和排出部，在上述吸入部設置有止回閥型的吸入閥，在上述排出部設置有止回閥型的排出閥；上述排出部配置在比上述吸入部靠近上述振動膜的位置。
如果采用上述結(jié)構(gòu)，通過將排出部配置在比吸入部靠近振動膜的位置，能夠互相并排地配置吸入閥和排出閥，能夠使吸入閥的頭部到振動膜的間隙與排出閥的卡合部底部到振動膜的間隙的距離大致相等，因此能夠減小兩閥部占據(jù)的泵厚度方向的寬度，能夠?qū)崿F(xiàn)殼體的薄型化。
并且，本發(fā)明的流體泵為上述流體泵，其特征在于，上述吸入部形成有支承上述吸入閥并分隔上述泵室的吸入側(cè)隔壁，在上述排出部形成有支承上述排出閥并分隔上述泵室的排出側(cè)隔壁，上述排出側(cè)隔壁配置在比上述吸入側(cè)隔壁靠近上述振動膜的位置。
如果采用上述結(jié)構(gòu)，通過將排出側(cè)隔壁配置在比上述吸入側(cè)隔壁靠近上述振動膜的位置，能夠互相并排地配置吸入閥和排出閥，能夠使吸入閥的頭部到振動膜的間隙與排出閥的卡合部底部到振動膜的間隙的距離大致相等，因此能夠減小兩閥部占據(jù)的泵厚度方向的寬度，能夠?qū)崿F(xiàn)殼體的薄型化。
并且，本發(fā)明的流體泵為上述流體泵，其特征在于，在上述吸入側(cè)隔壁上設置有中心孔和從該中心孔呈放射狀配置的、構(gòu)成上述吸入部的多個通孔，上述吸入閥由插入上述中心孔中的棒狀卡合部和形成在該卡合部的振動膜一側(cè)、覆蓋上述多個通孔的圓板狀頭部構(gòu)成；當將上述排出側(cè)隔壁配置在靠近上述振動膜的位置而產(chǎn)生的上述排出側(cè)隔壁與上述吸入側(cè)隔壁之間的高度差為D時，上述高度差D設定在上述吸入閥頭部半徑的10％以上24％以下的范圍。
如果采用上述結(jié)構(gòu)，通過將高度差D設定在吸入閥頭部半徑的10％以上24％以下的范圍，能夠使流體泵變薄與該比例相對的厚度。另外，如果高度差D不到頭部半徑的10％，則泵沒有充分小型化，如果高度差D超過頭部半徑的24％，則反而由于高度差變大使泵變厚了，因此無論哪種情況都不理想。
或者，本發(fā)明的流體泵的特征在于，具有利用壓電元件而被往復振動的振動膜和收容有該振動膜的殼體，上述振動膜在其周邊部分被夾持的狀態(tài)下被振動自如地收容在上述殼體的內(nèi)部，在該殼體的一部分上形成位于上述振動膜的一面?zhèn)鹊谋檬遥谏鲜霰檬业呐c上述振動膜相對置的位置上形成與該泵室相通的吸入部和排出部，在上述吸入部設置有止回閥型的吸入閥，在上述排出部設置有止回閥型的排出閥；上述吸入部或上述排出部中的任一方或雙方向上述振動膜的中心方向附近傾斜地配置著。
如果采用上述結(jié)構(gòu)，通過使上述吸入部或上述排出部中的任一方或雙方傾斜，則能夠達到使泵薄型化的目的。并且，通過使吸入部和排出部向振動膜的中心方向附近傾斜，能夠降低泵室內(nèi)、吸入部及排出部內(nèi)的流體的流路阻力，能夠提高流體泵的效率。
并且，本發(fā)明的流體泵為上述流體泵，其特征在于，上述吸入部形成有支承上述吸入閥并分隔上述泵室的吸入側(cè)隔壁，在上述排出部形成有支承上述排出閥并分隔上述泵室的排出側(cè)隔壁，上述吸入側(cè)隔壁和上述排出側(cè)隔壁中的任一方或雙方向上述振動膜的中心方向附近傾斜地配置著。
如果采用上述結(jié)構(gòu)，通過使上述吸入側(cè)隔壁或排出側(cè)隔壁中的任一方或雙方傾斜，能夠增加泵室的內(nèi)容積，提高排出量。
并且，本發(fā)明的流體泵為上述流體泵，其特征在于，上述吸入側(cè)隔壁和排出側(cè)隔壁中的任一方或雙方的相對于上述振動膜的傾斜角度被設定在20°以上。
如果采用上述結(jié)構(gòu)，通過使傾斜角度在20°以上，能夠達到使泵薄型化的目的。另外，如果傾斜角度不到20°，則不能充分實現(xiàn)泵的薄型化，如果傾斜角超過45°，則泵反而變厚了。
并且，本發(fā)明的流體泵為上述流體泵，其特征在于，上述排出部配置在比上述吸入部靠近上述振動膜的位置。如果采用上述結(jié)構(gòu)，通過將排出部配置在比吸入部靠近振動膜的位置，能夠互相并排地配置吸入閥和排出閥，能夠使吸入閥的頭部到振動膜的間隙與排出閥的卡合部底部到振動膜的間隙的距離大致相同，因此能夠減小兩閥部所占據(jù)的泵厚度方向的寬度，能夠使殼體更薄。
如果采用本發(fā)明，能夠提供一種薄型而且排出量也優(yōu)良，能夠適用于不斷薄型化、小型化的筆記本電腦等電子設備用的冷卻裝置中的流體泵。


圖1是表示本發(fā)明的第1實施方式的流體泵的結(jié)構(gòu)的剖面模式圖。
圖2是表示本發(fā)明的第1實施方式的流體泵的主要部分的俯視模式圖。
圖3是表示本發(fā)明的第1實施方式的流體泵的主要部分的剖面模式圖。
圖4是表示本發(fā)明的第2實施方式的流體泵的一例的結(jié)構(gòu)的剖面模式圖。
圖5是表示本發(fā)明的第2實施方式的流體泵的其他例的結(jié)構(gòu)的剖面模式圖。
圖6是表示以往的流體泵的結(jié)構(gòu)的剖面模式圖。
具體實施例方式
第1實施方式下面參照

本發(fā)明的第1實施方式。本實施方式的流體泵為將排出部配置在比吸入部靠近振動膜一側(cè)的泵。圖1表示本實施方式的流體泵的剖面模式圖，圖2表示圖1的流體泵的主要部分的俯視模式圖。
如圖1所示，本實施方式的流體泵1大致由振動膜2、位于振動膜2的一面2a一側(cè)的泵室3、設置在泵室3中的吸入部4及排出部5、分別設置在吸入部4及排出部5的止回閥型的吸入閥6和排出閥7以及殼體8構(gòu)成。振動膜2收容在箱狀殼體8的內(nèi)部，殼體8的內(nèi)部由振動膜2一分為二。并且，振動膜2的一面2a側(cè)的內(nèi)部空間作為泵室3。
在泵室3內(nèi)與振動膜2的一面2a相對置的位置形成吸入部4及排出部5，排出部5配置在比吸入部4靠近振動膜2的位置。并且，吸入部4及排出部5上分別連接著使流體吸入或流出泵室3用的吸入管9及排出管10。泵室3與吸入管9由吸入側(cè)隔壁11分隔，在該吸入側(cè)隔壁11上安裝有上述吸入閥6。另一方面，泵室3與排出管10由排出側(cè)隔壁12分隔，在該排出側(cè)隔壁12上安裝有上述排出閥7。
在本實施方式的流體泵1中，通過上述止回閥型的吸入閥6和排出閥7將流體從吸入部4吸入泵室3內(nèi)，并將流體從排出部5排出到泵室3外，使流體不會反向吸入或排出。這樣一來，能夠單方向地將流體從吸入管9經(jīng)過泵室3向排出管10輸送。
振動膜2為在金屬制的振動板2b的兩面貼付壓電體(壓電元件)2c、2c構(gòu)成的所謂雙壓電晶片型壓電元件。該振動膜2的周邊部分2d被構(gòu)成殼體8的上殼體8a和下殼體8b所夾持，在這種狀態(tài)下振動自由地被收容在殼體8內(nèi)。當給振動膜2施加交流電時，振動膜2本身以與交流電的頻率相對應的振動頻率振動，泵室3的內(nèi)部容積隨該振動周期性地增減。當泵室3的內(nèi)部容積增加時，吸入閥6打開流體被吸入泵室3內(nèi)，排出閥7被閉鎖防止流體逆流到泵室3外。當泵室3的內(nèi)部容積減少時，排出閥7打開流體從泵室3被排出到外面，吸入閥6閉鎖從而防止流體逆流進泵室3。這樣地，能夠排出與振動膜2的振動相對應的量的流體。
構(gòu)成振動膜2的振動板2b優(yōu)選使用厚度為0.05mm～0.3mm的不銹鋼等金屬板。并且，壓電體2c、2c優(yōu)選使用厚度為0.2～0.5mm的PZT等。并且，作為上述框體8的材質(zhì)可以采用樹脂或金屬等。而且也可以根據(jù)流體的種類在泵室3的內(nèi)壁上形成保護膜。
下面詳細說明吸入部4及排出部5。
吸入部4由吸入側(cè)隔壁11和安裝在該吸入側(cè)隔壁11上的吸入閥6構(gòu)成，而排出部5由排出側(cè)隔壁12和安裝在排出側(cè)隔壁12上的排出閥7構(gòu)成。并且，排出側(cè)隔壁12配置在比吸入側(cè)隔壁11靠近振動膜2的位置。這樣一來，排出部5配置在比吸入部4靠近振動膜2的位置。
圖2表示吸入部4及排出部5的俯視模式圖，圖3表示吸入部4及排出部5的剖面模式圖。如圖2和圖3所示，在吸入部4的吸入側(cè)隔壁11上設置有中心孔11a，并在該中心孔11a的放射方向設置構(gòu)成吸入部4的多個通孔11b。并且，吸入閥6用柔軟性高的橡膠或樹脂等制成，被形成為剖視為近似傘形。即，吸入閥6由插入中心孔11a中的棒狀卡合部6b和形成在該卡合部6b的靠振動膜2一側(cè)、覆蓋多個通孔11b的圓板狀的頭部6a構(gòu)成。該吸入閥6在一般情況下用頭部6a堵住通孔11b使其成為“閉”的狀態(tài)。并且，如圖3的點劃線所示那樣，當施加了流體的壓力時該吸入閥6的頭部6a變形，通過這樣通孔11b打開，由此成為“開”的狀態(tài)。
同樣，在排出部5的排出側(cè)隔壁12上設置了中心孔12a，并在該中心孔12a的放射方向設置了構(gòu)成排出部5的多個通孔12b。并且，排出閥7用柔軟性高的橡膠或樹脂等制成，被形成為剖視為近似傘形。即，排出閥7由插入中心孔12a中的棒狀的卡合部7b和形成在該卡合部7b的靠排出管10一側(cè)、覆蓋多個通孔12b的圓板狀的頭部7a構(gòu)成。該排出閥7在一般情況下用頭部7a堵住通孔12b使其成為“閉”的狀態(tài)。并且，如圖3的點劃線所示那樣，當施加了流體的壓力時該排出閥7的頭部7a變形，通過這樣通孔12b打開，由此成為“開”的狀態(tài)。
并且如圖3所示那樣，在吸入部4與排出部5之間通過使排出側(cè)隔壁12配置在靠近振動膜2的位置而產(chǎn)生高度差D。該高度差D優(yōu)選設定在吸入閥6的頭部6a的半徑r1的10％以上24％以下的范圍。如上所述地設定高度差D與半徑r1的關(guān)系是因為以下的理由。
即如圖3所示那樣，當使頭部6a的半徑為r1時，如果考慮頭部6a的周邊部分卡合到吸入側(cè)隔壁11上的部分，則通孔11b的形成位置在以中心孔11a的中心為基準半徑為0.88r1的圓內(nèi)的區(qū)域。如果使通孔11b的形成位置比這個寬的話，則吸入閥的頭部6a的一部分陷沒在了通孔11b中。
接著，為了在該半徑為0.88r1的圓內(nèi)的區(qū)域使中心孔11a及其周圍邊緣與吸入閥6的卡合部6b相卡合，需要有半徑為0.32r1的圓內(nèi)的區(qū)域。因此，在這部分不能設置通孔11b。
這樣一來，通孔11b的最大直徑為(0.88r1-0.32r1)＝0.56r1。如果像圖3所示那樣設置6個通孔11b，則其流路截面積為6×(0.56r1/2)2π。
另一方面，而當吸入閥為“開”的狀態(tài)時，如果假設吸入閥6的頭部6a的周邊部分與吸入側(cè)隔壁11之間的距離為t，則吸入閥6與吸入側(cè)隔壁11所形成的間隙的面積為頭部6a的外周長與間隙t的乘積，因此為t×2r1π。
只要上述間隙的最大面積(t×2r1π)與通孔的流路截面積的合計值(6×(0.56r1/2)2π)同等程度就可以。因此，(t×2r1π)≤(6×(0.56r1/2)2π)，成為t≤0.24r1。
如果使高度差D的大小與吸入時的吸入閥6的變形量即距離t相等，即使D≤0.24r1，則能夠并排配置吸入閥6和排出閥7，能夠減小下殼體8b中的吸入部4及排出部5所占有的體積。
如上所述，希望使高度差D在頭部6a的半徑r1的24％以下。并且，高度差D的大小可以為該最大值的1/2到1/3左右。因此，希望使高度差D在頭部6a的半徑r1的10％以上。
如上所述，通過使高度差D的大小在頭部6a的半徑r1的10％以上24％以下，能夠減小構(gòu)成泵的下殼體8b，能夠達到使流體泵1薄型化的目的。另外，如果高度差D不到頭部的半徑的10％，則泵沒有充分小型化，如果高度差D超過頭部6a的半徑的24％，則反而由于高度差變大使泵變厚了，因此無論哪種情況都不理想。
如果采用上述流體泵1，則由于通過將排出部5配置在比吸入部4靠近振動膜2的位置，能夠互相并排地配置吸入閥6和排出閥7，能夠使吸入閥6的頭部6a到振動膜2的間隙與排出閥7的卡合部底部到振動膜2的間隙的距離大致相等，因此能夠減小兩閥部6、7所占據(jù)的泵厚度方向的寬度，能夠?qū)崿F(xiàn)殼體8的薄型化。
第2實施方式下面說明本發(fā)明的第2實施方式的流體泵21。本實施方式的流體泵為與振動膜傾斜地設置排出部及吸入部的泵。圖4表示本實施方式的流體泵的剖面模式圖。另外在圖4所示的構(gòu)成要素中，與圖1到圖3所示的第1實施方式的流體泵的構(gòu)成要素相同的構(gòu)成要素添加與圖1到圖3標記的相同的附圖標記，其說明省略。
如圖4所示，本實施方式的流體泵21大致由振動膜2、位于振動膜2的一面2a側(cè)的泵室23、設置在泵室23中的吸入部24及排出部25、分別設置在吸入部24及排出部25的止回閥型的吸入閥26和排出閥27以及殼體28構(gòu)成。振動膜2被收容在箱狀的殼體28的內(nèi)部，殼體28的內(nèi)部由振動膜2一分為二。并且，振動膜2的一面2a側(cè)的內(nèi)部空間作為泵室23。
在與振動膜2的一面2a相對置的位置形成吸入部24及排出部25，排出部25配置在比吸入部24靠近振動膜2的位置。并且，吸入部24和排出部25向振動膜2的中心方向傾斜。吸入部24及排出部25上分別連接著使流體吸入或排出泵室23用的吸入管9及排出管10。泵室23與吸入管9由吸入側(cè)隔壁21分隔，在該吸入側(cè)隔壁21上安裝有上述吸入閥26。而泵室23與排出管10由排出側(cè)隔壁22分隔，在該排出側(cè)隔壁22上安裝有上述排出閥27。
并且，上述振動膜2的周邊部分2d被構(gòu)成殼體28的上殼體28a和下殼體28b所夾持，在這種狀態(tài)下振動自由地收被容在殼體28內(nèi)。
下面詳細說明吸入部24及排出部25。
吸入部24由吸入側(cè)隔壁21和安裝在該吸入側(cè)隔壁21上的吸入閥26構(gòu)成，而排出部25由排出側(cè)隔壁22和安裝在排出側(cè)隔壁22上的排出閥27構(gòu)成。并且，排出側(cè)隔壁22配置在比吸入側(cè)隔壁21靠近振動膜2的位置。這樣一來，排出部25配置在比吸入部24靠近振動膜2的位置。吸入側(cè)隔壁21與排出側(cè)隔壁22之間產(chǎn)生的高度差D與第1實施方式時一樣，當使吸入閥26的頭部26b的半徑為r1時，設定在r1的10％以上24％以下的范圍。
并且如圖4所示那樣，吸入側(cè)隔壁21在與振動膜2之間夾角為20°以上45°以下的范圍內(nèi)向振動膜2的中心一側(cè)傾斜。同樣，排出側(cè)隔壁22也在與振動膜2之間的夾角為20°以上45°以下的范圍內(nèi)向振動膜2的中心一側(cè)傾斜。如果吸入側(cè)隔壁21及排出側(cè)隔壁22的傾斜角度θ1及θ2不到20°，則不能得到足夠的泵的薄型化效果。并且，如果傾斜角度θ1及θ2超過45°，則流體泵21反而變厚了。通過將傾斜角度θ1及θ2設定在上述范圍內(nèi)，能夠達到使泵薄型化的目的。
并且，通過使吸入側(cè)隔壁21及排出側(cè)隔壁22向振動膜2的中心附近傾斜，如圖4中的點劃線所示那樣使通過泵室23內(nèi)的流體的流動呈平緩的曲線，降低了泵室23內(nèi)、吸入部24及排出部25中的流體的流路阻力，能夠提高流體泵21的效率。
而且，通過使吸入側(cè)隔壁21及排出側(cè)隔壁22傾斜，能夠使泵室23的內(nèi)容積比沒有傾斜時增大一些，因此能夠提高排出量。
另外，在本實施方式中，也可以像圖5所示那樣與振動膜2平行地形成吸入側(cè)隔壁21，僅使排出側(cè)隔壁22相對于振動膜2傾斜。
如以上說明過的那樣，如果采用本實施方式的流體泵21，通過使吸入部24或排出部25中的任一方或雙方傾斜，能夠達到使流體泵21薄型化的目的。并且，通過使吸入部24和排出部25向振動膜2的中心方向附近傾斜，能夠降低泵室23內(nèi)、吸入部24及排出部25內(nèi)的流體的流路阻力，能夠提高流體泵21的效率。
并且，由于將排出部25配置在比吸入部24靠近振動膜2的位置，能夠互相并排地配置吸入閥26和排出閥27，能夠使吸入閥26的頭部到振動膜2的間隙與排出閥27的卡合部底部到振動膜2的間隙的距離大致相等，因此能夠減小兩閥部所占據(jù)的泵厚度方向的寬度，能夠使殼體28更薄型化。
權(quán)利要求
1.一種流體泵，其特征在于，具有利用壓電元件而被往復振動的振動膜和收容有該振動膜的殼體，上述振動膜在其周邊部分被夾持的狀態(tài)下被振動自如地收容在上述殼體的內(nèi)部，在該殼體的一部分上形成位于上述振動膜的一面?zhèn)鹊谋檬?，在上述泵室的與上述振動膜相對置的位置上形成與該泵室相通的吸入部和排出部，在上述吸入部設置有止回閥型的吸入閥，在上述排出部設置有止回閥型的排出閥；上述排出部配置在比上述吸入部靠近上述振動膜的位置。
2.如權(quán)利要求1所述的流體泵，其特征在于，上述吸入部形成有支承上述吸入閥并分隔上述泵室的吸入側(cè)隔壁，在上述排出部形成有支承上述排出閥并分隔上述泵室的排出側(cè)隔壁，上述排出側(cè)隔壁配置在比上述吸入側(cè)隔壁靠近上述振動膜的位置。
3.如權(quán)利要求2所述的流體泵，其特征在于，在上述吸入側(cè)隔壁上設置有中心孔和從該中心孔呈放射狀配置的、構(gòu)成上述吸入部的多個通孔，上述吸入閥由插入上述中心孔中的棒狀卡合部和形成在該卡合部的振動膜一側(cè)、覆蓋上述多個通孔的圓板狀頭部構(gòu)成；當將上述排出側(cè)隔壁配置在靠近上述振動膜的位置而產(chǎn)生的上述排出側(cè)隔壁與上述吸入側(cè)隔壁之間的高度差為D時，上述高度差D設定在上述吸入閥頭部半徑的10％以上24％以下的范圍。
4.一種流體泵，其特征在于，具有利用壓電元件而被往復振動的振動膜和收容有該振動膜的殼體，上述振動膜在其周邊部分被夾持的狀態(tài)下被振動自如地收容在上述殼體的內(nèi)部，在該殼體的一部分上形成位于上述振動膜的一面?zhèn)鹊谋檬?，在上述泵室的與上述振動膜相對置的位置上形成與該泵室相通的吸入部和排出部，在上述吸入部設置有止回閥型的吸入閥，在上述排出部設置有止回閥型的排出閥；上述吸入部或上述排出部中的任一方或雙方向上述振動膜的中心方向附近傾斜地配置著。
5.如權(quán)利要求4所述的流體泵，其特征在于，上述吸入部形成有支承上述吸入閥并分隔上述泵室的吸入側(cè)隔壁，在上述排出部形成有支承上述排出閥并分隔上述泵室的排出側(cè)隔壁，上述吸入側(cè)隔壁和上述排出側(cè)隔壁中的任一方或雙方向上述振動膜的中心方向附近傾斜地配置著。
6.如權(quán)利要求5所述的流體泵，其特征在于，上述吸入側(cè)隔壁和排出側(cè)隔壁中的任一方或雙方的相對于上述振動膜的傾斜角度被設定在20°以上。
7.如權(quán)利要求4至6中的任何一項所述的流體泵，其特征在于，上述排出部配置在比上述吸入部靠近上述振動膜的位置。
全文摘要
本發(fā)明提供一種理想地適用于不斷薄型化、小型化的筆記本電腦等電子設備用的冷卻裝置，而且薄型、排出量也優(yōu)良的流體泵。采用具有以下特征的流體泵(1)具有振動膜(2)和收容有振動膜(2)的殼體(8)，振動膜(2)振動自如地收容在殼體(8)的內(nèi)部，在殼體(8)的一部分形成位于振動膜(2)的一面(2a)一側(cè)的泵室(3)，在泵室(3)的與振動膜(2)相對置的位置形成與泵室(3)相通的吸入部(4)和排出部(5)，在吸入部(4)設置有止回閥型的吸入閥(6)，在排出部(5)設置有止回閥型的排出閥(7)，排出部(5)配置在比吸入部(4)靠近振動膜(2)的位置。
文檔編號F04B43/02GK1664367SQ20051005173
公開日2005年9月7日 申請日期2005年3月1日 優(yōu)先權(quán)日2004年3月1日
發(fā)明者大西人司 申請人:阿爾卑斯電氣株式會社