專利名稱：一種三電極系統(tǒng)電化學(xué)沉積池的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型屬于電化學(xué)設(shè)備領(lǐng)域，具體是涉及一種三電極系統(tǒng)電化學(xué)沉積池。
背景技術(shù)：
電化學(xué)沉積法是制備功能薄膜材料的一種成熟技術(shù)，可以在各種結(jié)構(gòu)復(fù)雜的基體上均勻沉積；適合用于各種形狀的基體材料，特別是異型結(jié)構(gòu)件。電化學(xué)沉積過(guò)程中控制工藝條件(如:電流、溶液PH值、溫度、濃度、組成、沉積時(shí)間等)可精確控制沉積層的厚度，化學(xué)組成和結(jié)構(gòu)。電化學(xué)沉積是一種經(jīng)濟(jì)的沉積方法，設(shè)備投資少、工藝簡(jiǎn)單、操作容易、環(huán)境安全，生產(chǎn)方式靈活，適于工業(yè)化生產(chǎn)。沉積池是電化學(xué)沉積設(shè)備中的重要組成部分，而目前市面上的三電極沉積池結(jié)構(gòu)復(fù)雜，制造成本高且對(duì)基體材料的形狀有一定要求，對(duì)片狀、塊狀或圓柱狀等形狀不同的基體材料作為沉積襯底不具有普適性，從而限制了其應(yīng)用。
發(fā)明內(nèi)容針對(duì)上述現(xiàn)狀，本實(shí)用新型的目的是提供一種三電極系統(tǒng)電化學(xué)沉積池，該三電極沉積池結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，功能齊全，實(shí)驗(yàn)操作方便，可用于多種不同形狀的基體材料作為襯底開展沉積實(shí)驗(yàn)，實(shí)用性強(qiáng)。本實(shí)用新型所采用的技術(shù)方案是:一種三電極系統(tǒng)電化學(xué)沉積池，由玻璃杯體、杯蓋及嵌在杯蓋并深入玻璃杯體內(nèi)的三種電極組成，所述玻璃杯體底部設(shè)有起攪拌作用的磁力攪拌子；所述三電極分別為工作電極、參比電極及對(duì)電極，工作電極位于杯蓋的前端，參比電極與對(duì)電極并行排列于杯蓋的后端；所述杯蓋上還設(shè)有導(dǎo)氣孔及溫度計(jì)插孔；所述工作電極選用夾子工作電極或旋鈕卡槽工作電極；所述夾子工作電極由嵌在塑料旋塞的銅棒、包裹于銅棒的絕緣層及連接于銅棒下端的導(dǎo)電夾組成；所述旋鈕卡槽工作電極由嵌在塑料旋塞的銅棒、包裹于銅棒的絕緣層及連接于銅棒下端的旋鈕卡槽組成；所述對(duì)電極選用石墨電極或鉬電極；所述參比電極采用雙鹽橋系統(tǒng)。本實(shí)用新型的有益效果是:在進(jìn)行電化學(xué)沉積實(shí)驗(yàn)時(shí)，將沉積池與電化學(xué)工作站之間電氣連接，兩種可選的工作電極可以滿足夾持不同形狀的基體材料作為襯底開展沉積實(shí)驗(yàn)，夾子工作電極主要應(yīng)用于片狀等較薄的基體材料，而旋鈕卡槽工作電極用于塊狀、圓柱狀等厚重的基體材料，兩種工作電極更換方便；對(duì)電極可選用石墨電極或鉬電極；參比電極采用雙鹽橋系統(tǒng)，保證了實(shí)驗(yàn)的精準(zhǔn)度，同時(shí)可以在銀/氯化銀電極與飽和甘汞電極之間更換而不用改變外鹽橋溶液；因此本實(shí)用新型可以使沉積實(shí)驗(yàn)更為方便，且與市面上的沉積池對(duì)比而言容易生產(chǎn)，成本更低。

圖1是本實(shí)用新型三電極系統(tǒng)電化學(xué)沉積池俯視圖。圖2是圖1中剖面I位置處的剖視圖。[0009]圖3是圖1中剖面2位置處的剖視圖。圖4是夾子工作電極結(jié)構(gòu)示意圖。圖5是旋鈕卡槽工作電極結(jié)構(gòu)示意圖。附圖標(biāo)記說(shuō)明:1_玻璃杯體；2-杯蓋；3_工作電極；4_導(dǎo)氣孔；5_參比電極；6-對(duì)電極；7_溫度計(jì)插孔；8_塊狀或圓柱狀基體材料；9_磁力攪拌子；10_溫度計(jì)；11_塑料旋塞；12_銅棒；13-絕緣層；14-導(dǎo)電夾；15-旋鈕卡槽。
具體實(shí)施方式
下面結(jié)合具體實(shí)施例，進(jìn)一步闡述本實(shí)用新型。應(yīng)理解，這些實(shí)施例僅用于說(shuō)明本實(shí)用新型而不用于限制本實(shí)用新型的范圍。此外應(yīng)理解，在閱讀了本實(shí)用新型講授的內(nèi)容之后，本領(lǐng)域技術(shù)人員可以對(duì)本實(shí)用新型作各種改動(dòng)或修改，這些等價(jià)形式同樣落在申請(qǐng)所附權(quán)利要求書所限定的范圍。如圖1到圖5所示，一種三電極系統(tǒng)電化學(xué)沉積池，由玻璃杯體1、杯蓋2及嵌在杯蓋2并深入玻璃杯體I內(nèi)的三種電極組成,所述玻璃杯體I底部設(shè)有起攪拌作用的磁力攪拌子9 ;所述三電極分別為工作電極3、參比電極5及對(duì)電極6，工作電極3位于杯蓋2的前端，參比電極5與對(duì)電極6并行排列于杯蓋2的后端；所述杯蓋2上還設(shè)有導(dǎo)氣孔4及溫度計(jì)插孔7 ;所述工作電極3選用夾子工作電極或旋鈕卡槽工作電極；所述夾子工作電極由嵌在塑料旋塞11的銅棒12、包裹于銅棒12的絕緣層13及連接于銅棒12下端的導(dǎo)電夾14組成；所述旋鈕卡槽工作電極由嵌在塑料旋塞11的銅棒12、包裹于銅棒12的絕緣層13及連接于銅棒12下端的旋鈕卡槽15組成；所述對(duì)電極6選用石墨電極或鉬電極；所述參比電極5采用雙鹽橋系統(tǒng)。本實(shí)用新型使用時(shí)，在確定基體材料外形的情況下選擇合適的工作電極3,如片狀襯底可以選用夾子工作電極，圓柱狀或者小的不規(guī)則塊狀襯底可以選用旋鈕卡槽工作電極；對(duì)電極6的選取可以依照實(shí)驗(yàn)環(huán)境選擇石墨電極或者鉬電極；參比電極5可以在銀/氯化銀電極與飽和甘汞電極之間切換而不用更換外鹽橋溶液，使得實(shí)驗(yàn)方便快捷；溫度計(jì)7可以在水銀溫度計(jì)和熱偶反饋溫度計(jì)之間變換。磁力攪拌子9是為需要攪拌沉積服務(wù)的。當(dāng)所有電極類型完成確定后，將電極安裝在杯蓋2上，旋緊塑料旋塞11，并完成電化學(xué)工作站與沉積池之間的電氣連接，便可進(jìn)行沉積實(shí)驗(yàn)。本實(shí)用新型制造成本低，操作方便，適用性廣。
權(quán)利要求1.一種三電極系統(tǒng)電化學(xué)沉積池，由玻璃杯體、杯蓋及嵌在杯蓋并深入玻璃杯體內(nèi)的三種電極組成，其特征在于:所述玻璃杯體底部設(shè)有起攪拌作用的磁力攪拌子；所述三電極分別為工作電極、參比電極及對(duì)電極，工作電極位于杯蓋的前端，參比電極與對(duì)電極并行排列于杯蓋的后端；所述杯蓋上還設(shè)有導(dǎo)氣孔及溫度計(jì)插孔；所述工作電極選用夾子工作電極或旋鈕卡槽工作電極；所述夾子工作電極由嵌在塑料旋塞的銅棒、包裹于銅棒的絕緣層及連接于銅棒下端的導(dǎo)電夾組成；所述旋鈕卡槽工作電極由嵌在塑料旋塞的銅棒、包裹于銅棒的絕緣層及連接于銅棒下端的旋鈕卡槽組成；所述對(duì)電極選用石墨電極或鉬電極；所述參比電極采用雙鹽橋系統(tǒng)。
專利摘要本實(shí)用新型涉及一種三電極系統(tǒng)電化學(xué)沉積池，由玻璃杯體、杯蓋及嵌在杯蓋并深入玻璃杯體內(nèi)的三種電極組成，所述三電極分別為工作電極、參比電極及對(duì)電極，工作電極位于杯蓋的前端，參比電極與對(duì)電極并行排列于杯蓋的后端；所述杯蓋上還設(shè)有導(dǎo)氣孔及溫度計(jì)插孔；所述工作電極選用夾子工作電極或旋鈕卡槽工作電極；所述對(duì)電極選用石墨電極或鉑電極；所述參比電極采用雙鹽橋系統(tǒng)。本實(shí)用新型操作簡(jiǎn)單、功能齊全，能簡(jiǎn)單快捷地更換三種電極，且裝置內(nèi)恒定的電極間距保證了穩(wěn)定的沉積環(huán)境，溫度計(jì)的引入滿足了實(shí)驗(yàn)對(duì)溫度的要求，適用性廣。
文檔編號(hào)C25D17/00GK202925133SQ20122055287
公開日2013年5月8日 申請(qǐng)日期2012年10月26日 優(yōu)先權(quán)日2012年10月26日
發(fā)明者李高, 孫建慶, 王青, 林云蕓, 李浩業(yè), 白曉光 申請(qǐng)人:孫建慶