用于加熱激活微小型自加熱吸氣劑的熱子結(jié)構(gòu)及制作方法
【專(zhuān)利摘要】本發(fā)明涉及MEMS傳感器真空封裝技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種用于加熱激活微小型自加熱吸氣劑的熱子結(jié)構(gòu)及制作方法，其中，熱子結(jié)構(gòu)包括陶瓷體、金屬漿料、金屬鍍層和金屬引線，陶瓷體內(nèi)部分為多層，每層包裹金屬漿料，每層金屬漿料上下連通，陶瓷體兩個(gè)端面預(yù)留有金屬漿料露出，通過(guò)化學(xué)鍍或者電鍍方式在兩個(gè)端面形成金屬鍍層，鍍層后兩個(gè)端面焊接加熱電極的金屬引線，本發(fā)明還提供了該熱子結(jié)構(gòu)的制作方法，簡(jiǎn)言之，本發(fā)明通過(guò)控制金屬漿料層的電阻，可保障不同器件電阻值的一致性，同時(shí)通過(guò)專(zhuān)門(mén)電路可在線監(jiān)控加熱激活溫度是否達(dá)到吸氣材料的理想激活溫度，并加以控制，可確保吸氣劑激活達(dá)到最佳激活狀態(tài)，實(shí)現(xiàn)批量吸氣劑激活狀態(tài)的一致性和穩(wěn)定性。
【專(zhuān)利說(shuō)明】
用于加熱激活微小型自加熱吸氣劑的熱子結(jié)構(gòu)及制作方法
技術(shù)領(lǐng)域
[0001 ]本發(fā)明涉及MEMS傳感器真空封裝技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種用于加熱激活微小型自加熱吸氣劑的熱子結(jié)構(gòu)及制作方法。
【背景技術(shù)】
[0002]紅外熱成像、Thz等MEMS結(jié)構(gòu)的傳感器需要高真空、恒溫、體積小的封裝形態(tài)。傳統(tǒng)金屬管殼封裝和陶瓷管殼封裝工藝實(shí)現(xiàn)對(duì)特殊傳感器芯片的封裝，為達(dá)到高真空、恒溫、長(zhǎng)壽命的特殊工作環(huán)境條件和封裝要求通常采用在封裝管殼內(nèi)安裝吸氣劑維持傳感器芯片正常工作所需的真空度，從而提高傳感器的壽命。吸氣劑在使用時(shí)，需要加熱至一定的溫度才能激活材料的吸氣特性，之后真空封裝后才能起到長(zhǎng)期維持器件內(nèi)真空度。吸氣劑因?yàn)樾枰せ畈拍苁褂?，而激活的方法與其自身結(jié)構(gòu)有直接的關(guān)聯(lián)。同時(shí)激活的條件如果有差異，即使是相同規(guī)格的吸氣劑，吸氣劑的吸氣性能也會(huì)有差異。吸氣劑從結(jié)構(gòu)上也因此分為自身加熱型(熱子型)和非自身加熱型(壓制型)。自身加熱型(熱子型)是在吸氣材料內(nèi)置加熱絲，通過(guò)給加熱絲通電產(chǎn)生發(fā)熱后實(shí)現(xiàn)對(duì)金屬絲外敷的吸氣材料加熱激活;非自身加熱型(壓制型)是通過(guò)感應(yīng)加熱或烘烤加熱方式激活吸氣材料特性。
[0003]目前自身加熱型吸氣劑所使用的熱子通常是金屬鉬絲或者鎳絲等高溫金屬材料作為加熱電阻絲，并制作成一定的形狀如螺旋形，S形等，實(shí)現(xiàn)在有限的吸氣劑材料內(nèi)部空間能夠有更長(zhǎng)的金屬絲長(zhǎng)度，以獲得較大的金屬絲電阻；同時(shí)，金屬絲表面要做絕緣處理，以防止金屬絲與吸氣材料短路。自身加熱型吸氣劑在激活過(guò)程中，因?yàn)槭峭ㄟ^(guò)金屬絲熱子通電發(fā)熱對(duì)吸氣材料加熱激活，因此金屬絲熱子的電阻的差異，會(huì)影響加熱功率的差異，也會(huì)導(dǎo)致吸氣劑激活效果上有明顯的差異。
[0004]目前自身加熱型吸氣劑的最大問(wèn)題是，用于上述真空封裝所用的體積較小的微小型自身加熱型吸氣劑，本身的器件尺寸長(zhǎng)度一般不超過(guò)10_，長(zhǎng)寬或者截面直徑只有幾毫米，因此作為加熱子的金屬絲的電阻不可能加工得很大，通常只有幾十毫歐姆到上百毫歐姆;如果要滿足金屬絲熱子通電加熱達(dá)到吸氣材料理想的激活溫度所需功率，激活時(shí)所需的電流都比較大(3A-7A)。如此大的電流給激活所用的通電電路設(shè)計(jì)提出了較高的設(shè)計(jì)要求，特別是在通電電極接觸點(diǎn)要特別控制好降低接觸電阻。如果接觸不良，造成接觸電阻過(guò)大甚至比金屬絲熱子的電阻還大，則有可能造成電極接觸點(diǎn)因?yàn)檫^(guò)熱而融化或熔斷。同時(shí)，接觸電極的電阻還會(huì)有幾毫歐姆或者十幾豪歐姆的偏差，對(duì)整個(gè)金屬絲熱子的激活整體電阻偏差就是百分之幾十，在金屬絲熱子通電激活時(shí)，同樣的加熱電流，因電阻偏差，其加熱功率的偏差可能是就是成倍的偏差。同理，作為加熱電阻的金屬絲其本身的電阻差異，因?yàn)檎w電阻非常小只有幾十豪歐姆到幾百豪歐姆，因此幾豪歐姆到十幾豪歐姆的阻值偏差就可能產(chǎn)生發(fā)熱功率較大的偏差，這類(lèi)電阻偏差的存在嚴(yán)重影響吸氣劑激活狀態(tài)的穩(wěn)定性和一致性，最終影響真空封裝器件的生產(chǎn)良品率，其質(zhì)量的穩(wěn)定性和一致性也受到影響。
[0005]另一個(gè)問(wèn)題是金屬絲的絕緣處理，通常處理工藝是對(duì)直絲形金屬絲熱子表面簡(jiǎn)單做氧化絕緣處理，而對(duì)于為了加大電阻而制作成螺旋形、S形等異形的金屬絲外表面，通常需要做電泳氧化鋁絕緣處理，這種加工工藝復(fù)雜，良率低，成本較高，甚至超過(guò)了吸氣劑材料本身的成本。在實(shí)際使用過(guò)程中，也經(jīng)常會(huì)出現(xiàn)由于金屬絲表面絕緣層破裂，導(dǎo)致金屬絲與吸氣材料短路，造成吸氣劑直接失效作廢也經(jīng)常發(fā)生。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0006]針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)的不足，本發(fā)明提供了一種用于加熱激活微小型自加熱吸氣劑的熱子結(jié)構(gòu)及制作方法，通過(guò)采用陶瓷印刷金屬漿料的工藝，準(zhǔn)確的控制金屬漿料層的厚度、長(zhǎng)度、寬度，從而實(shí)現(xiàn)精確的控制金屬漿料層的電阻，保障了不同器件電阻值有非常好的一致性，同時(shí)在夠量的陶瓷體的包裹下，金屬漿料層不會(huì)與吸氣材料發(fā)生短路，另外陶瓷體散熱傳導(dǎo)的表面積更大，可以快速地均勻地將熱量傳遞到吸氣材料上，為吸氣材料激活創(chuàng)造良好的加熱條件，確保激活的效率和激活效果達(dá)到最佳。
[0007]為實(shí)現(xiàn)以上目的，本發(fā)明通過(guò)以下技術(shù)方案予以實(shí)現(xiàn):
用于加熱激活微小型自加熱吸氣劑的熱子結(jié)構(gòu)，其特征在于:所述熱子結(jié)構(gòu)包括陶瓷體、金屬漿料、金屬鍍層和金屬引線，陶瓷體內(nèi)部分為多層，每層包裹金屬漿料，每層金屬漿料上下連通，陶瓷體兩個(gè)端面預(yù)留有金屬漿料露出，通過(guò)化學(xué)鍍或者電鍍方式在所述陶瓷體兩個(gè)端面形成金屬鍍層，金屬鍍層的兩個(gè)端面焊接加熱電極的金屬引線。
[0008]優(yōu)選地，所述金屬漿料選用鎢或鉬。
[0009]優(yōu)選地，所述陶瓷體內(nèi)部采用多層三明治結(jié)構(gòu)包裹金屬漿料層。
[0010]一種用于加熱激活微小型自加熱吸氣劑的熱子結(jié)構(gòu)的制作方法，其特征在于，包括以下步驟:
a.首先將金屬漿料印刷在陶瓷體生料上，然后將印刷了一層金屬漿料的若干個(gè)陶瓷體生料疊加后上下灌漿連通；
b.進(jìn)行高溫(大于等于1400°C)陶瓷燒結(jié)；
c.燒結(jié)為一個(gè)整體的陶瓷體后，在兩個(gè)端面預(yù)留有金屬漿料露出，通過(guò)化學(xué)鍍或者電鍍方式在兩個(gè)陶瓷體端面進(jìn)行金屬化；
d.在金屬化的兩個(gè)端面，通過(guò)高溫焊料釬焊或者激光點(diǎn)焊的方式，將金屬引線固定在陶瓷體的兩個(gè)端面，實(shí)現(xiàn)對(duì)熱子結(jié)構(gòu)通電加熱電極的連接。
[0011]優(yōu)選地，所述步驟c)中，陶瓷體外形可以是立方體或圓柱體或三角棱柱體或多面棱柱體。
[0012]本發(fā)明的有益效果:
1.采用陶瓷印刷金屬漿料的工藝可準(zhǔn)確的控制金屬漿料層的厚度、長(zhǎng)度、寬度，從而可以實(shí)現(xiàn)精確的控制金屬漿料層的電阻，并且能夠有效實(shí)現(xiàn)不同器件熱子電阻值的偏差可以控制在±5%以下，保障了不同器件電阻值有非常好的一致性；
2.在陶瓷體上進(jìn)行金屬漿料印刷，通過(guò)控制金屬漿料層的截面積和長(zhǎng)度，可以獲得比傳統(tǒng)金屬絲熱子更大的電阻，大電阻的陶瓷體熱子，在實(shí)現(xiàn)通電加熱激活的過(guò)程中，可以通過(guò)調(diào)整電壓方式進(jìn)行激活加熱控制，比傳統(tǒng)調(diào)整電流方式，在控制方面更加簡(jiǎn)便易行，對(duì)激活供電電源和電路的要求也簡(jiǎn)化了很多；
3.陶瓷體本身的絕緣特性和良好的機(jī)械性能，再加上其經(jīng)過(guò)上千度(大于等于1400°C)的高溫?zé)Y(jié)而成，因此在足夠量的陶瓷體的包裹下，金屬漿料層不會(huì)與吸氣材料發(fā)生短路，從而避免這個(gè)因素造成器件失效；
4.陶瓷體熱子的表面積通常都比金屬絲要大很多，因此在通電加熱金屬漿料層時(shí)，陶瓷體散熱傳導(dǎo)的表面積更大，可以快速地均勻地將熱量傳遞到吸氣材料上，為吸氣材料激活創(chuàng)造良好的加熱條件，確保激活的效率和激活效果達(dá)到最佳；
5.陶瓷體熱子所用到的原材料成本很低，在批量生產(chǎn)時(shí)，單件元件的生產(chǎn)成本可以控制在非常低的水平，是傳統(tǒng)金屬絲熱子的十分之一甚至幾十分之一；同時(shí)陶瓷體熱子也非常容易導(dǎo)入大規(guī)模生產(chǎn)工藝，生產(chǎn)良率高，產(chǎn)品一致性好，具有物美價(jià)廉的特點(diǎn)。
【附圖說(shuō)明】
[0013]為了更清楚地說(shuō)明本發(fā)明實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對(duì)實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡(jiǎn)單地介紹，顯而易見(jiàn)地，對(duì)于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來(lái)講，在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。
[0014]圖1是本發(fā)明熱子結(jié)構(gòu)的縱切剖面圖；
圖2是本發(fā)明熱子結(jié)構(gòu)的橫切剖面圖；
其中，1.陶瓷體，2.金屬漿料，3.金屬鍍層，4.金屬引線。
【具體實(shí)施方式】
[0015]為使本發(fā)明實(shí)施例的目的、技術(shù)方案和優(yōu)點(diǎn)更加清楚，下面將結(jié)合本發(fā)明實(shí)施例中的附圖，對(duì)本發(fā)明實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述?；诒景l(fā)明中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒(méi)有作出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的所有其他實(shí)施例，都屬于本發(fā)明保護(hù)的范圍。
[0016]現(xiàn)有技術(shù)中，如用于真空封裝所用的體積較小的微小型自身加熱型吸氣劑，通常問(wèn)題在于作為加熱子的金屬絲的電阻不可能加工得很大;如果要滿足金屬絲熱子通電加熱達(dá)到吸氣材料理想的激活溫度所需功率，激活時(shí)所需的電流都比較大(3A-7A)。如此大的電流給激活所用的通電電路設(shè)計(jì)提出了較高的設(shè)計(jì)要求。
[0017]同理，作為加熱電阻的金屬絲其本身的電阻差異，這類(lèi)電阻偏差的存在嚴(yán)重影響吸氣劑激活狀態(tài)的穩(wěn)定性和一致性，最終會(huì)影響真空封裝器件的生產(chǎn)良品率，其質(zhì)量的穩(wěn)定性和一致性也受到影響。對(duì)于金屬絲的絕緣處理，現(xiàn)有技術(shù)加工工藝復(fù)雜，良率低，成本較高，甚至超過(guò)了吸氣劑材料本身的成本。在實(shí)際使用過(guò)程中，也經(jīng)常會(huì)出現(xiàn)由于金屬絲表面絕緣層破裂，導(dǎo)致金屬絲與吸氣材料短路，造成吸氣劑直接失效作廢也經(jīng)常發(fā)生。
[0018]基于此，本發(fā)明提供了一種專(zhuān)門(mén)用于加熱激活微小型自加熱吸氣劑的熱子結(jié)構(gòu)，以及該熱子結(jié)構(gòu)的制作方法。
[0019]本發(fā)明所提供的具體方案如下:
如圖1、圖2所示，用于加熱激活微小型自加熱吸氣劑的熱子結(jié)構(gòu)，包括陶瓷體、金屬漿料、金屬鍍層和金屬引線，陶瓷體包裹多層金屬漿料在內(nèi)，每層的金屬漿料上下連通形成一整體，有效的延長(zhǎng)金屬漿料層長(zhǎng)度，用以獲得更大的熱子電阻，陶瓷體兩端焊接連接加熱電極引線，形成一個(gè)外表面絕緣但導(dǎo)熱良好的熱子元件。在激活時(shí)，通過(guò)電源與金屬引線連接供電，實(shí)現(xiàn)對(duì)熱子電阻通電發(fā)熱功能。
[0020]該熱子結(jié)構(gòu)制作工藝如下: 步驟一:首先是把金屬漿料印刷在陶瓷體生料上，然后將若干個(gè)印刷了一層金屬漿料的陶瓷體生料疊加后上下灌漿連通，然后，再進(jìn)行高溫陶瓷燒結(jié)，高溫?zé)Y(jié)溫度一般大于等于 HOO0C0
[0021]進(jìn)一步地，陶瓷體外形可以是立方體，或者圓柱體，三角棱柱體或多面棱柱體。
[0022]步驟二:當(dāng)燒結(jié)為一個(gè)整體的陶瓷熱子(陶瓷體)，在其兩個(gè)端面預(yù)留有金屬漿料露出，通過(guò)化學(xué)鍍或者電鍍方式在兩個(gè)陶瓷體端面進(jìn)行金屬化。
[0023]進(jìn)一步地，通常使用金屬鎳來(lái)做鍍層，當(dāng)然也可以根據(jù)實(shí)際需要選擇其他金屬進(jìn)行金屬化。
[0024]步驟三:在金屬化的兩個(gè)陶瓷體端面，通過(guò)焊接方式，將金屬引線固定在陶瓷體的兩個(gè)端面上，從而實(shí)現(xiàn)與熱子通電加熱電極的連接。
[0025]進(jìn)一步地，焊接采用高溫釬焊或激光點(diǎn)焊方式固定電極引線，用以確保在后面完成吸氣材料燒結(jié)和激活加熱時(shí)，不會(huì)出現(xiàn)連接處金屬熔化或者斷裂的問(wèn)題。
[0026]進(jìn)一步地，金屬引線可使用鉬絲，鎳絲或者其他高溫合金絲。
[0027]在本發(fā)明中，采用微小陶瓷體(AL203等)表面印刷金屬漿料方法制作用于自熱型吸氣劑加熱熱子。其最大的特點(diǎn)在于:陶瓷表面上印刷的金屬漿料層可以作為加熱的熱子電阻，金屬漿料厚度可以做到幾十微米，如此小的截面積可以獲得較大的熱子電阻；同時(shí)，采取三明治結(jié)構(gòu)，多層陶瓷中間包裹金屬漿料層，金屬漿料層上下連通形成一個(gè)整體后，就可以有效的延長(zhǎng)金屬漿料層的長(zhǎng)度，從而獲得更大的熱子電阻。
[0028]與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明的有益效果如下:
第一、采用陶瓷印刷金屬漿料的工藝可以準(zhǔn)確的控制金屬漿料層的厚度、長(zhǎng)度、寬度，從而可以實(shí)現(xiàn)精確的控制金屬漿料層的電阻，并且能夠有效實(shí)現(xiàn)不同器件熱子電阻值的偏差可以控制在±5%以下，保障了不同器件電阻值有非常好的一致性。
[0029]與傳統(tǒng)吸氣劑金屬絲熱子電阻偏差都在±10%以上相比，相同的通電加熱條件下，陶瓷體熱子在激活時(shí)的加熱功率也會(huì)一致，也就有效的保障了吸氣劑激活效果的一致性。
[0030]第二、一般用于加熱電阻的鎢、鉬等耐熱金屬都是金屬漿料的主要選擇材料。在進(jìn)行陶瓷體上進(jìn)行金屬漿料印刷，通過(guò)控制金屬漿料層的截面積和長(zhǎng)度，可以獲得比傳統(tǒng)金屬絲熱子更大的電阻。
[0031]—般長(zhǎng)度不超過(guò)10mm，長(zhǎng)寬或者截面直徑小于Imm的陶瓷體加熱熱子的電阻可以做到I?10歐姆，遠(yuǎn)遠(yuǎn)大于金屬絲熱子的電阻幾十到幾百豪歐姆的電阻。大電阻的陶瓷體熱子，在實(shí)現(xiàn)通電加熱激活的過(guò)程中，可以通過(guò)調(diào)整電壓方式進(jìn)行激活加熱控制，比傳統(tǒng)調(diào)整電流方式，在控制方面更加簡(jiǎn)便易行，對(duì)激活供電電源和電路的要求也簡(jiǎn)化了很多。同時(shí)，加熱子本身電阻較大，激活電路和電極接觸電阻相比而言就很小了，即便有幾百豪歐姆，相同通電條件下，這些發(fā)熱功率也比加熱子的發(fā)熱功率要小很多，對(duì)吸氣劑的激活效果影響就非常小了。吸氣劑激活效果的一致性也保證吸氣劑吸氣效能的一致性，確保真空封裝器件的質(zhì)量的一致性。
[0032]第三、傳統(tǒng)金屬絲熱子絕緣處理后，還有可能在運(yùn)輸、拿取、裝配等操作過(guò)程中，導(dǎo)致絕緣層破裂，與吸氣材料短路，造成器件失效。陶瓷體本身的絕緣特性和良好的機(jī)械性能，陶瓷體經(jīng)過(guò)上千度(大于等于1400°C)的高溫?zé)Y(jié)而成，因此在足夠量的陶瓷體的包裹下，金屬漿料層不會(huì)與吸氣材料發(fā)生短路，從而避免這個(gè)因素造成器件失效。
[0033]第四、傳統(tǒng)金屬絲熱子在做絕緣化處理后，由于結(jié)構(gòu)和絕緣處理工藝原因，絕緣層的厚度會(huì)不一致，而且金屬絲通常都比較細(xì)(一般直徑在0.2mm左右)，其表面與吸氣材料的接觸面積也相比陶瓷體熱子要小很多，這種情況有可能導(dǎo)致金屬絲熱量在傳導(dǎo)到外敷吸氣材料上的均勻性不佳，可能會(huì)出現(xiàn)局部溫度較高，激活不均勻，從而影響了吸氣劑激活的效果。陶瓷體熱子，特別是AL203等材料的陶瓷體，本身除了具有優(yōu)異的絕緣特性，還具有非常好的熱導(dǎo)性能，比很多金屬的熱傳導(dǎo)性能都要好。陶瓷體熱子的表面積通常都比金屬絲要大很多，因此在通電加熱金屬漿料層時(shí)，陶瓷體散熱傳導(dǎo)的表面積更大，可以快速地均勻地將熱量傳遞到吸氣材料上，為吸氣材料激活創(chuàng)造良好的加熱條件，確保激活的效率和激活效果達(dá)到最佳。
[0034]第五、傳統(tǒng)金屬絲熱子要先制作加工成螺旋形、S形等形狀后，還要進(jìn)行表面絕緣化處理，電泳氧化鋁等絕緣工藝比較特殊，非常規(guī)工藝，工藝流程復(fù)雜，容易出現(xiàn)殘次品，良率低而生產(chǎn)成本高。而陶瓷體熱子的加工生產(chǎn)工藝與現(xiàn)有普通的陶瓷金屬化加工工藝相同，非常成熟。這種陶瓷體熱子所用到的原材料也是非常常見(jiàn)的原料，原料的成本很低。在批量生產(chǎn)時(shí)，單件元件的生產(chǎn)成本可以控制在非常低的水平，是傳統(tǒng)金屬絲熱子的十分一甚至幾十分之一；同時(shí)陶瓷體熱子也非常容易導(dǎo)入大規(guī)模生產(chǎn)工藝，生產(chǎn)良率高，產(chǎn)品一致性好，具有物美價(jià)廉的特點(diǎn)。
[0035]以上實(shí)施例僅用以說(shuō)明本發(fā)明的技術(shù)方案，而非對(duì)其限制；盡管參照前述實(shí)施例對(duì)本發(fā)明進(jìn)行了詳細(xì)的說(shuō)明，本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)理解:其依然可以對(duì)前述各實(shí)施例所記載的技術(shù)方案進(jìn)行修改，或者對(duì)其中部分技術(shù)特征進(jìn)行等同替換;而這些修改或者替換，并不使相應(yīng)技術(shù)方案的本質(zhì)脫離本發(fā)明各實(shí)施例技術(shù)方案的精神和范圍。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.用于加熱激活微小型自加熱吸氣劑的熱子結(jié)構(gòu)，其特征在于:所述熱子結(jié)構(gòu)包括陶瓷體、金屬漿料、金屬鍍層和金屬引線，所述陶瓷體內(nèi)部分為多層，每層包裹金屬漿料，每層金屬漿料上下連通，所述陶瓷體兩個(gè)端面預(yù)留有金屬漿料露出，通過(guò)化學(xué)鍍或者電鍍方式在所述陶瓷體兩個(gè)端面形成金屬鍍層，所述金屬鍍層的兩個(gè)端面焊接加熱電極的金屬引線。2.如權(quán)利要求1所述的一種用于加熱激活微小型自加熱吸氣劑的熱子結(jié)構(gòu)，其特征在于:所述金屬漿料選用鎢或鉬。3.如權(quán)利要求1所述的一種用于加熱激活微小型自加熱吸氣劑的熱子結(jié)構(gòu)，其特征在于:所述陶瓷體內(nèi)部采用多層三明治結(jié)構(gòu)包裹金屬漿料層。4.一種用于加熱激活微小型自加熱吸氣劑的熱子結(jié)構(gòu)的制作方法，其特征在于，包括以下步驟: a.首先將金屬漿料印刷在陶瓷體生料上，然后將印刷了一層金屬漿料的若干個(gè)陶瓷體生料疊加后上下灌漿連通； b.進(jìn)行高溫(大于等于1400°C)陶瓷燒結(jié)； c.燒結(jié)為一個(gè)整體的陶瓷體后，在兩個(gè)端面預(yù)留有金屬漿料露出，通過(guò)化學(xué)鍍或者電鍍方式在兩個(gè)陶瓷體端面進(jìn)行金屬化； d.在金屬化的兩個(gè)端面，通過(guò)高溫焊料釬焊或者激光點(diǎn)焊的方式，將金屬引線固定在陶瓷體的兩個(gè)端面，實(shí)現(xiàn)對(duì)熱子結(jié)構(gòu)通電加熱電極的連接。5.如權(quán)利要求4所述的一種用于加熱激活微小型自加熱吸氣劑的熱子結(jié)構(gòu)的制作方法，其特征在于，所述步驟c)中，陶瓷體外形可以是立方體或圓柱體或三角棱柱體或多面棱柱體。
【文檔編號(hào)】B81B7/00GK105858587SQ201610411291
【公開(kāi)日】2016年8月17日
【申請(qǐng)日】2016年6月14日
【發(fā)明人】趙照
【申請(qǐng)人】合肥芯福傳感器技術(shù)有限公司