技術(shù)編號：5267382
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及mems 3D技術(shù)(mems微機(jī)電系統(tǒng))，或moems 3D技術(shù)(moems光學(xué)微機(jī)電系統(tǒng))，并且更準(zhǔn)確地說，涉及在例如由于有蝕刻或凹陷而具有不規(guī)則表面的模具上均勻敷設(shè)光致抗蝕劑的方法。背景技術(shù) 圖1中描述的是作為moems技術(shù)應(yīng)用的非限制性例子集成在模具51上的光電子裝置10的軸測法圖示，該模具作為非限制性例子可以是一般為硅的半導(dǎo)體材料。在模具51的上表面11上形成例如用于安裝光纖所需的蝕刻12。而且在這一上表面11上有焊接了光電子元件53的外...
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