半導(dǎo)體元件測試用分選的制造方法
半導(dǎo)體元件測試用分選的制造方法
【專利摘要】本發(fā)明公開一種支持半導(dǎo)體元件測試的半導(dǎo)體元件測試用分選機。根據(jù)本發(fā)明，通過使構(gòu)成用于收容半導(dǎo)體元件的測試室的特定壁能夠滑動，從而為收容于測試室內(nèi)部的部件的更替提供方便。
【專利說明】半導(dǎo)體元件測試用分選機
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種測試半導(dǎo)體元件時使用的半導(dǎo)體元件測試用分選機。
【背景技術(shù)】
[0002]半導(dǎo)體元件測試用分選機(以下稱為分選機)是一種將通過預(yù)定制造工序制造的半導(dǎo)體元件電連接于測試機之后根據(jù)測試結(jié)果對半導(dǎo)體元件進行分類的裝置。
[0003]用于支持半導(dǎo)體元件測試的分選機已公開于韓國公開專利10-2002-0053406號、韓國授權(quán)專利10-0866364等多篇專利文獻中。
[0004]通常，由于半導(dǎo)體元件的使用環(huán)境(例如溫度環(huán)境)可能多種多樣，因此有必要使分選機除了支持常溫測試以外還支持高溫或低溫測試。為此，分選機根據(jù)其種類需要具備在一定程度上能夠?qū)⒋郎y半導(dǎo)體元件與外界環(huán)境進行阻斷的室(Chamber)。
[0005]另外，由于半導(dǎo)體元件的使用范圍廣泛而種類繁多，且由于集成技術(shù)的發(fā)展而使得其大小等規(guī)格可變，因此當(dāng)待測試的半導(dǎo)體元件被替換時需要替換構(gòu)成于分選機中的其他部件。
[0006]然而，對于收容于室內(nèi)部的收容空間中的部件而言，由于要打開室門而將工具放入其中進行作業(yè)，故與其他部件之間存在干擾，因此替換作業(yè)非常繁瑣而苛刻。并且，這一點最終將會導(dǎo)致人力損失、替換時間增加、分選機的運行率下降等。
【發(fā)明內(nèi)容】
[0007]本發(fā)明的目的在于提供一種使位于測試室的收容空間內(nèi)的部件能夠在維持結(jié)合于在主體側(cè)構(gòu)成測試室的壁面的狀態(tài)的條件下引出到測試室的收容空間外部的技術(shù)。
[0008]為了達到如上所述的目的，根據(jù)本發(fā)明的半導(dǎo)體元件測試用分選機包括:測試室，具有收容半導(dǎo)體元件的收容空間；往復(fù)裝置，將裝載(loading)的半導(dǎo)體元件搬入所述測試室的收容空間或者從所述測試室的收容空間搬出；移動裝置，將裝載于所述往復(fù)裝置的半導(dǎo)體元件移動至測試機的測試插座，或者將測試完畢的半導(dǎo)體元件從測試機的測試插座移動至所述往復(fù)裝置；裝載部，將半導(dǎo)體元件裝載于所述往復(fù)裝置；卸載部，將半導(dǎo)體元件從所述往復(fù)裝置卸載，其中，所述測試室的特定壁能夠滑動。
[0009]所述移動裝置設(shè)置于所述特定壁上。
[0010]所述移動裝置包括:拾取器，具有用于拾取位于所述測試室內(nèi)部的半導(dǎo)體元件的拾取端；驅(qū)動源，用于驅(qū)動所述拾取器，其中，所述特定壁的移動是在使所述拾取端從所述收容空間脫離或者使從所述收容空間脫離的所述拾取端移動至所述收容空間的范圍內(nèi)進行，而且，所述拾取器包括至少具有一個用于拾取半導(dǎo)體元件的拾取單元且該拾取單元被可拆卸地結(jié)合的拾取塊。
[0011]位于所述特定壁的移動路徑上的一側(cè)壁固定于所述特定壁而與所述特定壁一起移動。
[0012]還可以包括用于夾持所述特定壁的夾持裝置。[0013]所述夾持裝置包括:防脫部件，用于防止所述特定壁的脫離；氣缸，使所述防脫部件進退移動，從而防止所述特定壁脫離或者解除防脫；彈性部件，朝所述特定壁方向彈性支撐所述防脫部件。
[0014]所述防脫部件上形成有用于插入專門工具的工具插孔。
[0015]還可以包括用于緩沖所述特定壁的移動沖擊的緩沖件。
[0016]還可以包括用于確認(rèn)所述特定壁的位置的位置確認(rèn)裝置。
[0017]根據(jù)本發(fā)明，由于位于測試室的收容空間內(nèi)的部件(拾取端等)能夠伴隨特定壁的滑動而被引導(dǎo)到測試室的外部，因此對應(yīng)部件的替換作業(yè)變得容易，歸根到底具有能夠節(jié)省替換時間和人力并提高分選機運行率的效果。
【專利附圖】
【附圖說明】
[0018]圖1為根據(jù)本發(fā)明的分選機的概略性平面結(jié)構(gòu)圖。
[0019]圖2為圖1所示分選機主要部分的概略性立體圖。
[0020]圖3為用于說明圖1所示分選機中半導(dǎo)體元件的移動的參考圖。
[0021]圖4和圖5為用于說明圖1所示分選機的主要部分的參考圖。
[0022]圖6a至圖6d為用于說明根據(jù)本發(fā)明的分選機中的部件替換作業(yè)的參考圖。
[0023]符號說明:
[0024]100:半導(dǎo)體元件測試用分選機110:測試室
[0025]111:上側(cè)壁114:后側(cè)壁
[0026]120:往復(fù)裝置130:移動裝置
[0027]131A、131B:拾取器 131A-1、131B-1:拾取端
[0028]PB:拾取塊131A-2、131B_2:連接架
[0029]132AU32B:升降驅(qū)動源133:前后移動動力源
[0030]140:裝載部150:卸載部
[0031]160L、160R:夾持裝置161:防脫部件
[0032]161a:工具插孔162:氣缸
[0033]170:緩沖件180:位置確認(rèn)裝置
【具體實施方式】
[0034]以下，參照【專利附圖】
【附圖說明】上述根據(jù)本發(fā)明的優(yōu)選實施例，而為了說明的簡潔性，對于公知的或重復(fù)性的內(nèi)容則盡量省略或簡要說明。并且，圖中的所有方向均以圖1為基準(zhǔn)定義。
[0035]圖1為根據(jù)本發(fā)明的分選機100的示意性平面構(gòu)成圖。
[0036]如圖1所示，根據(jù)本發(fā)明的分選機100包括測試室110、往復(fù)裝置120、移動裝置130、裝載部140、以及卸載部150等。
[0037]測試室110具有用于收容半導(dǎo)體元件的收容空間S。測試室110被構(gòu)成為上側(cè)壁可沿著前后方向滑動，而前側(cè)壁和后側(cè)壁被固定。有關(guān)這種測試室110的詳細(xì)內(nèi)容將在后面敘述。
[0038]往復(fù)裝置120用于將半導(dǎo)體元件搬入測試室110的收容空間S或者從測試室110的收容空間S搬出。為此，往復(fù)裝置120具有一對往復(fù)件121a、121b和一對導(dǎo)軌122a、122b以及左右移動動力源123。
[0039]一對往復(fù)件121a、121b分別在左端具備8個裝載囊(LP)而在右端具備8個卸載囊(UP)，并分別沿左右方向移動，而且是相互聯(lián)動而朝相反方向移動。
[0040]一對導(dǎo)軌122a、122b分別引導(dǎo)一對往復(fù)件121a、121b的左右移動。
[0041]左右移動動力源123對朝著相反方向聯(lián)動的一對往復(fù)件121a、121b提供移動力。
[0042]移動裝置130用于將裝載(loading)于往復(fù)件121a、121b的裝載囊LP中的半導(dǎo)體元件移動至測試機的測試插座(TS:Test Sockets)，或者將測試完畢的半導(dǎo)體元件從測試插座TS移動至往復(fù)件121a、121b的卸載囊UP中。為此，如圖2所示，移動裝置130被設(shè)置于構(gòu)成測試室110的上側(cè)壁111上而得到支撐，且包括一對拾取器131AU31B和一對升降驅(qū)動源132AU32B以及前后移動動力源133。
[0043]一對拾取器131A、131B沿前后方向并排布置，并分別由拾取端131A-1、131B-1和連接架131A-2、131B-2構(gòu)成。
[0044]拾取端131A-1U31B-1具有用于從往復(fù)件121a、121b的裝載囊中拾取半導(dǎo)體元件或解除拾取的拾取塊(PB:Picker Block),并位于連接架131A-2、131B-2的下端。作為參考，在本實施例中，在一個拾取塊PB上，用于拾取8個半導(dǎo)體元件的8個拾取單元(p:Picker)如同一個部件一樣一同結(jié)合著，并且可拆卸地結(jié)合，由此構(gòu)成拾取端131A-1、131B-1。
[0045]連接架131A-2、131B-2將拾取端131A-1、131B-1連接于升降驅(qū)動源132A、132B。因此，借助升降驅(qū)動源132A、132B的工作而執(zhí)行拾取端131A-1、131B-1的升降動作。
[0046]—對升降驅(qū)動源132AU 32B相互結(jié)合著，并分別使連接于自身的拾取器131A、131B做升降運動。借助這種升降驅(qū)動源132A、132B的工作，拾取端131A-1、131B-1可以下降到從位于下方的往復(fù)件121a、121b拾取半導(dǎo)體元件或解除拾取的位置，也可以下降到能夠向位于下方的測試插座供應(yīng)半導(dǎo)體元件的同時能夠施壓為使拾取的半導(dǎo)體元件與測試插座之間形成適當(dāng)?shù)碾娺B接的位置。作為參考，為了便于說明，圖2中前方的第一拾取端131A-1表示為被上升的狀態(tài)而后方的第二拾取端131B-1表示為被下降的狀態(tài)。并且，測試插座TS為構(gòu)成測試機(未圖示)的要素而不是構(gòu)成分選機100的要素，然而為了便于說明，在圖1中用虛線進行了表示。
[0047]前后移動動力源133使相互結(jié)合的一對升降驅(qū)動源132A、132B—并向前后方向移動。因此，借助前后移動動力源133的工作，連接于一對升降驅(qū)動源132AU32B的拾取端131A-1U31B-1也向前后方向移動。
[0048]上述圖2表示了上側(cè)壁111向后方移動的狀態(tài)，用虛線表示的部分為構(gòu)成測試室的右側(cè)壁113和后側(cè)壁114。而且，未說明符號氏、!12為往復(fù)件121a、121b可以通過的通孔。收容空間S可通過這種通孔H1、H2而向外界露出，然而可通過在往復(fù)件121a、121b的中間段或者通孔氏、H2側(cè)設(shè)置遮擋板(未圖示)而使收容空間向外界露出的程度最小化，這種遮擋板可以用能夠彎曲的柔性材料實現(xiàn)。
[0049]并且，如圖2中部分揭示，測試室110的上側(cè)壁111上形成有沿前后方向延伸的連接孔111b，以用于使位于測試室110內(nèi)部(收容空間)的拾取端131A-1U31B-1通過連接架131A-2U31B-2連接于測試室110外部的升降驅(qū)動源132AU32B上，同時使拾取器131A、131B能夠?qū)崿F(xiàn)前后方向上的移動。其中，根據(jù)不同的實施方式，可以將單獨的板(未圖示)設(shè)置于連接架131A-2、131B-2上端，從而在連接架131A-2、131B-2進行移動時也能夠使延伸的連接孔暴露于外界的程度最小化。
[0050]作為參考，如圖1所示，在前方的第一往復(fù)件121a移動至右側(cè)而后方的第二往復(fù)件121b移動至左側(cè)的狀態(tài)下，位于第一往復(fù)件121a的裝載囊LP中的半導(dǎo)體元件被移動裝置130的第一拾取器131A拾取之后移動至測試插座TS，而測試完畢的半導(dǎo)體元件被移動裝置130的第二拾取器131B拾取之后移動至第二往復(fù)件131b的卸載囊UP。在進行這種過程的同時，在第一往復(fù)件121a上進行位于卸載囊UP中的半導(dǎo)體元件的卸載，而在第二往復(fù)件121b上進行半導(dǎo)體元件向裝載囊LP的裝載。
[0051]并且，如圖3所示，如果借助左右移動動力源123而使第一往復(fù)件121a向左側(cè)移動而第二往復(fù)件121b向右側(cè)移動，則位于測試插座TS上的測試完畢的半導(dǎo)體元件將被移動裝置130的第一拾取器131A拾取之后移動至第一往復(fù)件121a的卸載囊UP，而位于第二往復(fù)件121b的裝載囊LP中的半導(dǎo)體元件將被移動裝置130的第二拾取器131B拾取之后移動至測試插座TS。在進行這種過程的同時，在第一往復(fù)件121a上進行半導(dǎo)體元件向裝載囊LP的裝載，而在第二往復(fù)件121b上進行卸載囊UP中的半導(dǎo)體元件的卸載。
[0052]裝載部140用于將待測試的半導(dǎo)體元件裝載于往復(fù)件121a、121b的裝載囊，而卸載部150用于將測試完畢的半導(dǎo)體元件從往復(fù)件121a、121b的卸載囊中卸載。由于這種裝載部140和卸載部150與本發(fā)明的特征沒有關(guān)聯(lián)，且已被公開為多種形式，以服務(wù)半導(dǎo)體元件的裝卸，故省略其詳細(xì)說明。
[0053]繼而對作為本發(fā)明特征的測試室110及其相關(guān)構(gòu)成進行更為詳細(xì)的說明。
[0054]如圖2和圖4所示，測試室110的上側(cè)壁111被構(gòu)成為可從左側(cè)壁112和右側(cè)壁113分離地向后方滑動或返回前方。為此，上側(cè)壁111在其左右側(cè)具有形成有沿前后方向延伸的導(dǎo)軌(R:Rail)的導(dǎo)軌架111R、111L。并且，位于拾取端131A-1、131B-1朝后方的移動路徑上的測試室110的后側(cè)壁114固定于上側(cè)壁111并與上側(cè)壁111 一同朝前后方向移動，以避免妨礙與上側(cè)壁111 一起移動的移動裝置130的拾取器131AU31B的后方移動。而且，導(dǎo)軌架111RU11L的后端上的下端附近具有掛接部件111a。
[0055]而且，左側(cè)壁112和右側(cè)壁113上分別固定而設(shè)置有用于支撐并引導(dǎo)導(dǎo)軌R的導(dǎo)軌塊B。
[0056]另外，根據(jù)本發(fā)明的分選機100還包括夾持裝置160RU60L和緩沖件170以及位置確認(rèn)裝置180。
[0057]夾持裝置160RU60L分別固定于左側(cè)壁112和右側(cè)壁113且形成為成對，并包括防脫部件161、氣缸162、以及彈簧163。
[0058]防脫部件161用于掛住掛接部件111a而防止上側(cè)壁111的任意性向后移動所致的脫離或者解除掛接部件111a的掛接，從而使上側(cè)壁111能夠?qū)崿F(xiàn)向后移動。在此，如圖5所示，由于防脫部件161與前述掛接部件111a的抵接部分上具有傾斜面，因此防脫部件161可在上升的同時對上側(cè)壁111向前方施壓。
[0059]氣缸162用于使防脫部件161升降，從而使防脫部件161能夠掛住掛接部件111a或者解除與掛接部件111a的掛接。
[0060]彈簧163為用于朝上側(cè)壁111方向彈性支撐防脫部件161的彈性部件。因此，即使因氣缸162不良而導(dǎo)致氣壓被解除，也不會發(fā)生依賴于防脫部件161的掛接部件111a的任意性的解掛。并且，為了應(yīng)對這種情況，防脫部件161上形成有工具插孔161a，以用于插入專門的工具而使防脫部件161下降。
[0061]對于緩沖件170而言，可利用如彈簧等的彈性部件配備于上側(cè)壁111的前端，用于緩解上側(cè)壁111向后方移動而又返回原位時可能發(fā)生的接觸沖擊，從而保護拾取器131A、131B和升降驅(qū)動源132AU32B以及左右移動動力源133等。
[0062]位置確認(rèn)裝置180用于判斷移動至后方的上側(cè)壁111是否順利回到原來位置，其由光源181和收光部182構(gòu)成。光源181設(shè)置于上側(cè)壁111而收光部182固定于測試室110的底面，從而在光源181照射的光被收光部182感測時可判斷為上側(cè)壁111已位于適當(dāng)位置。當(dāng)然，光源181和收光部182的位置可以調(diào)換。
[0063]對具有如上所述構(gòu)成的分選機100的部件(拾取端的拾取塊)替換作業(yè)進行說明。
[0064]當(dāng)需要測試的半導(dǎo)體元件的規(guī)格發(fā)生變更時，拾取半導(dǎo)體元件的拾取端131A-1、131B-1的拾取塊PB也需要全部替換。
[0065]因此，作業(yè)人員應(yīng)首先如圖6a所示地在上側(cè)壁111通過夾持裝置160R、160L結(jié)合于左側(cè)壁112和右側(cè)壁113的狀態(tài)下，將氣缸162予以驅(qū)動而使防脫部件161下降，從而將上側(cè)壁111從左側(cè)壁112和右側(cè)壁113進行分離。如果氣缸162處于故障狀態(tài)，則由作業(yè)人員將專門的作業(yè)工具(未圖示)插入工具插孔161a而借助于人力來使防脫部件161下降。
[0066]而且，如圖6b所示，使上側(cè)壁111和與之結(jié)合的后側(cè)壁114向后方移動。此時，上側(cè)壁111的導(dǎo)軌R得到左側(cè)壁112和右側(cè)壁113上的導(dǎo)軌塊B的支撐和引導(dǎo)，同時上側(cè)壁111向后方滑動而做直線移動。在此，為了便于處在脫離收容空間S的位于作業(yè)位置WP的作業(yè)人員(未圖示)工作，優(yōu)選地，使拾取端131A-1U31B-1從收容空間S完全脫離。因此，上側(cè)壁111的前后方向上的移動優(yōu)選是在使拾取端131A-1、131B-1從收容空間S脫離或者使從收容空間S脫離的拾取端131A-1U31B-1移動至收容空間S原來位置的范圍內(nèi)進行。
[0067]接著如圖6c所示脫去已有的拾取塊PB，然后如圖6d所示結(jié)合新的拾取塊(NPB:New Picker Block)。在此，由于一個拾取塊上一并構(gòu)成有8個拾取單元P,因此替換一個拾取塊PB時將有8個拾取單元P被一并替換。
[0068]最后，作業(yè)人員向前方推動上側(cè)壁111之后將氣缸162予以驅(qū)動而使防脫部件161上升。由此，隨著防脫部件161上升而使防脫部件161與掛接部件111a的傾斜面抵接，而防脫部件161的繼續(xù)上升將使上側(cè)壁111向前方受壓，從而完成與左側(cè)壁112、右側(cè)壁113的結(jié)合。
[0069]另外，如上所述的作業(yè)完畢之后，利用位置確認(rèn)裝置180判斷上側(cè)壁111是否適當(dāng)?shù)亟Y(jié)合于左側(cè)壁112、右側(cè)壁113而回到原來的位置。
[0070]另外，在本發(fā)明中為了提高處理速度而在往復(fù)裝置120上設(shè)置2個往復(fù)件121a、121b，并在移動裝置130上也設(shè)置了 2個拾取器131A、131B，然而根據(jù)實施例的不同，也可以只設(shè)置一個往復(fù)件和一個拾取器。
[0071]如上所述，已參照附圖對本發(fā)明進行了具體說明，然而由于上述實施例只是本發(fā)明的優(yōu)選實施例，因此不能認(rèn)為本發(fā)明僅僅局限于上述實施例，本發(fā)明的權(quán)利范圍應(yīng)當(dāng)通過權(quán)利要求書及其等價概念理解。
【權(quán)利要求】
1.一種半導(dǎo)體元件測試用分選機，其特征在于，包括:測試室，具有收容半導(dǎo)體元件的收容空間；往復(fù)裝置，將裝載的半導(dǎo)體元件搬入所述測試室的收容空間或者從所述測試室的收容空間搬出；移動裝置，將裝載于所述往復(fù)裝置的半導(dǎo)體元件移動至測試機的測試插座，或者將測試完畢的半導(dǎo)體元件從測試機的測試插座移動至所述往復(fù)裝置；裝載部，將半導(dǎo)體元件裝載于所述往復(fù)裝置；卸載部，將半導(dǎo)體元件從所述往復(fù)裝置卸載，其中，所述測試室的特定壁能夠滑動。
2.如權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體元件測試用分選機，其特征在于，所述移動裝置設(shè)置于所述特定壁上。
3.如權(quán)利要求2所述的半導(dǎo)體元件測試用分選機，其特征在于，所述移動裝置包括:拾取器，具有用于拾取位于所述測試室內(nèi)部的半導(dǎo)體元件的拾取端；驅(qū)動源，用于驅(qū)動所述拾取器，其中，所述特定壁的移動是在使所述拾取端從所述收容空間脫離或者使從所述收容空間脫離的所述拾取端移動至所述收容空間的范圍內(nèi)進行，而且，所述拾取器包括至少具有一個用于拾取半導(dǎo)體元件的拾取單元且該拾取單元被可拆卸地結(jié)合的拾取塊。
4.如權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體元件測試用分選機，其特征在于，位于所述特定壁的移動路徑上的一側(cè)壁固定于所述特定壁而與所述特定壁一起移動。
5.如權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體元件測試用分選機，其特征在于，還包括用于夾持所述特定壁的夾持裝置。
6.如權(quán)利要求5所述的半導(dǎo)體元件測試用分選機，其特征在于，所述夾持裝置包括:防脫部件，用于防止所述特定壁的脫離；氣缸，使所述防脫部件進退移動，從而防止所述特定壁脫離或者解除防脫；彈性部件，朝所述特定壁方向彈性支撐所述防脫部件。
7.如權(quán)利要求6所述的半導(dǎo)體元件測試用分選機，其特征在于，所述防脫部件上形成有用于插入專門工具的工具插孔。
8.如權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體元件測試用分選機，其特征在于，還包括用于緩沖所述特定壁的移動沖擊的緩沖件。
9.如權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體元件測試用分選機，其特征在于，還包括用于確認(rèn)所述特定壁的位置的位置確認(rèn)裝置。
【文檔編號】B07C5/344GK103706576SQ201310455809
【公開日】2014年4月9日 申請日期:2013年9月24日 優(yōu)先權(quán)日:2012年10月5日
【發(fā)明者】羅閏成, 李鎮(zhèn)福, 金是勇 申請人:泰克元有限公司
【專利摘要】本發(fā)明公開一種支持半導(dǎo)體元件測試的半導(dǎo)體元件測試用分選機。根據(jù)本發(fā)明，通過使構(gòu)成用于收容半導(dǎo)體元件的測試室的特定壁能夠滑動，從而為收容于測試室內(nèi)部的部件的更替提供方便。
【專利說明】半導(dǎo)體元件測試用分選機
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種測試半導(dǎo)體元件時使用的半導(dǎo)體元件測試用分選機。
【背景技術(shù)】
[0002]半導(dǎo)體元件測試用分選機(以下稱為分選機)是一種將通過預(yù)定制造工序制造的半導(dǎo)體元件電連接于測試機之后根據(jù)測試結(jié)果對半導(dǎo)體元件進行分類的裝置。
[0003]用于支持半導(dǎo)體元件測試的分選機已公開于韓國公開專利10-2002-0053406號、韓國授權(quán)專利10-0866364等多篇專利文獻中。
[0004]通常，由于半導(dǎo)體元件的使用環(huán)境(例如溫度環(huán)境)可能多種多樣，因此有必要使分選機除了支持常溫測試以外還支持高溫或低溫測試。為此，分選機根據(jù)其種類需要具備在一定程度上能夠?qū)⒋郎y半導(dǎo)體元件與外界環(huán)境進行阻斷的室(Chamber)。
[0005]另外，由于半導(dǎo)體元件的使用范圍廣泛而種類繁多，且由于集成技術(shù)的發(fā)展而使得其大小等規(guī)格可變，因此當(dāng)待測試的半導(dǎo)體元件被替換時需要替換構(gòu)成于分選機中的其他部件。
[0006]然而，對于收容于室內(nèi)部的收容空間中的部件而言，由于要打開室門而將工具放入其中進行作業(yè)，故與其他部件之間存在干擾，因此替換作業(yè)非常繁瑣而苛刻。并且，這一點最終將會導(dǎo)致人力損失、替換時間增加、分選機的運行率下降等。
【發(fā)明內(nèi)容】
[0007]本發(fā)明的目的在于提供一種使位于測試室的收容空間內(nèi)的部件能夠在維持結(jié)合于在主體側(cè)構(gòu)成測試室的壁面的狀態(tài)的條件下引出到測試室的收容空間外部的技術(shù)。
[0008]為了達到如上所述的目的，根據(jù)本發(fā)明的半導(dǎo)體元件測試用分選機包括:測試室，具有收容半導(dǎo)體元件的收容空間；往復(fù)裝置，將裝載(loading)的半導(dǎo)體元件搬入所述測試室的收容空間或者從所述測試室的收容空間搬出；移動裝置，將裝載于所述往復(fù)裝置的半導(dǎo)體元件移動至測試機的測試插座，或者將測試完畢的半導(dǎo)體元件從測試機的測試插座移動至所述往復(fù)裝置；裝載部，將半導(dǎo)體元件裝載于所述往復(fù)裝置；卸載部，將半導(dǎo)體元件從所述往復(fù)裝置卸載，其中，所述測試室的特定壁能夠滑動。
[0009]所述移動裝置設(shè)置于所述特定壁上。
[0010]所述移動裝置包括:拾取器，具有用于拾取位于所述測試室內(nèi)部的半導(dǎo)體元件的拾取端；驅(qū)動源，用于驅(qū)動所述拾取器，其中，所述特定壁的移動是在使所述拾取端從所述收容空間脫離或者使從所述收容空間脫離的所述拾取端移動至所述收容空間的范圍內(nèi)進行，而且，所述拾取器包括至少具有一個用于拾取半導(dǎo)體元件的拾取單元且該拾取單元被可拆卸地結(jié)合的拾取塊。
[0011]位于所述特定壁的移動路徑上的一側(cè)壁固定于所述特定壁而與所述特定壁一起移動。
[0012]還可以包括用于夾持所述特定壁的夾持裝置。[0013]所述夾持裝置包括:防脫部件，用于防止所述特定壁的脫離；氣缸，使所述防脫部件進退移動，從而防止所述特定壁脫離或者解除防脫；彈性部件，朝所述特定壁方向彈性支撐所述防脫部件。
[0014]所述防脫部件上形成有用于插入專門工具的工具插孔。
[0015]還可以包括用于緩沖所述特定壁的移動沖擊的緩沖件。
[0016]還可以包括用于確認(rèn)所述特定壁的位置的位置確認(rèn)裝置。
[0017]根據(jù)本發(fā)明，由于位于測試室的收容空間內(nèi)的部件(拾取端等)能夠伴隨特定壁的滑動而被引導(dǎo)到測試室的外部，因此對應(yīng)部件的替換作業(yè)變得容易，歸根到底具有能夠節(jié)省替換時間和人力并提高分選機運行率的效果。
【專利附圖】
【附圖說明】
[0018]圖1為根據(jù)本發(fā)明的分選機的概略性平面結(jié)構(gòu)圖。
[0019]圖2為圖1所示分選機主要部分的概略性立體圖。
[0020]圖3為用于說明圖1所示分選機中半導(dǎo)體元件的移動的參考圖。
[0021]圖4和圖5為用于說明圖1所示分選機的主要部分的參考圖。
[0022]圖6a至圖6d為用于說明根據(jù)本發(fā)明的分選機中的部件替換作業(yè)的參考圖。
[0023]符號說明:
[0024]100:半導(dǎo)體元件測試用分選機110:測試室
[0025]111:上側(cè)壁114:后側(cè)壁
[0026]120:往復(fù)裝置130:移動裝置
[0027]131A、131B:拾取器 131A-1、131B-1:拾取端
[0028]PB:拾取塊131A-2、131B_2:連接架
[0029]132AU32B:升降驅(qū)動源133:前后移動動力源
[0030]140:裝載部150:卸載部
[0031]160L、160R:夾持裝置161:防脫部件
[0032]161a:工具插孔162:氣缸
[0033]170:緩沖件180:位置確認(rèn)裝置
【具體實施方式】
[0034]以下，參照【專利附圖】
【附圖說明】上述根據(jù)本發(fā)明的優(yōu)選實施例，而為了說明的簡潔性，對于公知的或重復(fù)性的內(nèi)容則盡量省略或簡要說明。并且，圖中的所有方向均以圖1為基準(zhǔn)定義。
[0035]圖1為根據(jù)本發(fā)明的分選機100的示意性平面構(gòu)成圖。
[0036]如圖1所示，根據(jù)本發(fā)明的分選機100包括測試室110、往復(fù)裝置120、移動裝置130、裝載部140、以及卸載部150等。
[0037]測試室110具有用于收容半導(dǎo)體元件的收容空間S。測試室110被構(gòu)成為上側(cè)壁可沿著前后方向滑動，而前側(cè)壁和后側(cè)壁被固定。有關(guān)這種測試室110的詳細(xì)內(nèi)容將在后面敘述。
[0038]往復(fù)裝置120用于將半導(dǎo)體元件搬入測試室110的收容空間S或者從測試室110的收容空間S搬出。為此，往復(fù)裝置120具有一對往復(fù)件121a、121b和一對導(dǎo)軌122a、122b以及左右移動動力源123。
[0039]一對往復(fù)件121a、121b分別在左端具備8個裝載囊(LP)而在右端具備8個卸載囊(UP)，并分別沿左右方向移動，而且是相互聯(lián)動而朝相反方向移動。
[0040]一對導(dǎo)軌122a、122b分別引導(dǎo)一對往復(fù)件121a、121b的左右移動。
[0041]左右移動動力源123對朝著相反方向聯(lián)動的一對往復(fù)件121a、121b提供移動力。
[0042]移動裝置130用于將裝載(loading)于往復(fù)件121a、121b的裝載囊LP中的半導(dǎo)體元件移動至測試機的測試插座(TS:Test Sockets)，或者將測試完畢的半導(dǎo)體元件從測試插座TS移動至往復(fù)件121a、121b的卸載囊UP中。為此，如圖2所示，移動裝置130被設(shè)置于構(gòu)成測試室110的上側(cè)壁111上而得到支撐，且包括一對拾取器131AU31B和一對升降驅(qū)動源132AU32B以及前后移動動力源133。
[0043]一對拾取器131A、131B沿前后方向并排布置，并分別由拾取端131A-1、131B-1和連接架131A-2、131B-2構(gòu)成。
[0044]拾取端131A-1U31B-1具有用于從往復(fù)件121a、121b的裝載囊中拾取半導(dǎo)體元件或解除拾取的拾取塊(PB:Picker Block),并位于連接架131A-2、131B-2的下端。作為參考，在本實施例中，在一個拾取塊PB上，用于拾取8個半導(dǎo)體元件的8個拾取單元(p:Picker)如同一個部件一樣一同結(jié)合著，并且可拆卸地結(jié)合，由此構(gòu)成拾取端131A-1、131B-1。
[0045]連接架131A-2、131B-2將拾取端131A-1、131B-1連接于升降驅(qū)動源132A、132B。因此，借助升降驅(qū)動源132A、132B的工作而執(zhí)行拾取端131A-1、131B-1的升降動作。
[0046]—對升降驅(qū)動源132AU 32B相互結(jié)合著，并分別使連接于自身的拾取器131A、131B做升降運動。借助這種升降驅(qū)動源132A、132B的工作，拾取端131A-1、131B-1可以下降到從位于下方的往復(fù)件121a、121b拾取半導(dǎo)體元件或解除拾取的位置，也可以下降到能夠向位于下方的測試插座供應(yīng)半導(dǎo)體元件的同時能夠施壓為使拾取的半導(dǎo)體元件與測試插座之間形成適當(dāng)?shù)碾娺B接的位置。作為參考，為了便于說明，圖2中前方的第一拾取端131A-1表示為被上升的狀態(tài)而后方的第二拾取端131B-1表示為被下降的狀態(tài)。并且，測試插座TS為構(gòu)成測試機(未圖示)的要素而不是構(gòu)成分選機100的要素，然而為了便于說明，在圖1中用虛線進行了表示。
[0047]前后移動動力源133使相互結(jié)合的一對升降驅(qū)動源132A、132B—并向前后方向移動。因此，借助前后移動動力源133的工作，連接于一對升降驅(qū)動源132AU32B的拾取端131A-1U31B-1也向前后方向移動。
[0048]上述圖2表示了上側(cè)壁111向后方移動的狀態(tài)，用虛線表示的部分為構(gòu)成測試室的右側(cè)壁113和后側(cè)壁114。而且，未說明符號氏、!12為往復(fù)件121a、121b可以通過的通孔。收容空間S可通過這種通孔H1、H2而向外界露出，然而可通過在往復(fù)件121a、121b的中間段或者通孔氏、H2側(cè)設(shè)置遮擋板(未圖示)而使收容空間向外界露出的程度最小化，這種遮擋板可以用能夠彎曲的柔性材料實現(xiàn)。
[0049]并且，如圖2中部分揭示，測試室110的上側(cè)壁111上形成有沿前后方向延伸的連接孔111b，以用于使位于測試室110內(nèi)部(收容空間)的拾取端131A-1U31B-1通過連接架131A-2U31B-2連接于測試室110外部的升降驅(qū)動源132AU32B上，同時使拾取器131A、131B能夠?qū)崿F(xiàn)前后方向上的移動。其中，根據(jù)不同的實施方式，可以將單獨的板(未圖示)設(shè)置于連接架131A-2、131B-2上端，從而在連接架131A-2、131B-2進行移動時也能夠使延伸的連接孔暴露于外界的程度最小化。
[0050]作為參考，如圖1所示，在前方的第一往復(fù)件121a移動至右側(cè)而后方的第二往復(fù)件121b移動至左側(cè)的狀態(tài)下，位于第一往復(fù)件121a的裝載囊LP中的半導(dǎo)體元件被移動裝置130的第一拾取器131A拾取之后移動至測試插座TS，而測試完畢的半導(dǎo)體元件被移動裝置130的第二拾取器131B拾取之后移動至第二往復(fù)件131b的卸載囊UP。在進行這種過程的同時，在第一往復(fù)件121a上進行位于卸載囊UP中的半導(dǎo)體元件的卸載，而在第二往復(fù)件121b上進行半導(dǎo)體元件向裝載囊LP的裝載。
[0051]并且，如圖3所示，如果借助左右移動動力源123而使第一往復(fù)件121a向左側(cè)移動而第二往復(fù)件121b向右側(cè)移動，則位于測試插座TS上的測試完畢的半導(dǎo)體元件將被移動裝置130的第一拾取器131A拾取之后移動至第一往復(fù)件121a的卸載囊UP，而位于第二往復(fù)件121b的裝載囊LP中的半導(dǎo)體元件將被移動裝置130的第二拾取器131B拾取之后移動至測試插座TS。在進行這種過程的同時，在第一往復(fù)件121a上進行半導(dǎo)體元件向裝載囊LP的裝載，而在第二往復(fù)件121b上進行卸載囊UP中的半導(dǎo)體元件的卸載。
[0052]裝載部140用于將待測試的半導(dǎo)體元件裝載于往復(fù)件121a、121b的裝載囊，而卸載部150用于將測試完畢的半導(dǎo)體元件從往復(fù)件121a、121b的卸載囊中卸載。由于這種裝載部140和卸載部150與本發(fā)明的特征沒有關(guān)聯(lián)，且已被公開為多種形式，以服務(wù)半導(dǎo)體元件的裝卸，故省略其詳細(xì)說明。
[0053]繼而對作為本發(fā)明特征的測試室110及其相關(guān)構(gòu)成進行更為詳細(xì)的說明。
[0054]如圖2和圖4所示，測試室110的上側(cè)壁111被構(gòu)成為可從左側(cè)壁112和右側(cè)壁113分離地向后方滑動或返回前方。為此，上側(cè)壁111在其左右側(cè)具有形成有沿前后方向延伸的導(dǎo)軌(R:Rail)的導(dǎo)軌架111R、111L。并且，位于拾取端131A-1、131B-1朝后方的移動路徑上的測試室110的后側(cè)壁114固定于上側(cè)壁111并與上側(cè)壁111 一同朝前后方向移動，以避免妨礙與上側(cè)壁111 一起移動的移動裝置130的拾取器131AU31B的后方移動。而且，導(dǎo)軌架111RU11L的后端上的下端附近具有掛接部件111a。
[0055]而且，左側(cè)壁112和右側(cè)壁113上分別固定而設(shè)置有用于支撐并引導(dǎo)導(dǎo)軌R的導(dǎo)軌塊B。
[0056]另外，根據(jù)本發(fā)明的分選機100還包括夾持裝置160RU60L和緩沖件170以及位置確認(rèn)裝置180。
[0057]夾持裝置160RU60L分別固定于左側(cè)壁112和右側(cè)壁113且形成為成對，并包括防脫部件161、氣缸162、以及彈簧163。
[0058]防脫部件161用于掛住掛接部件111a而防止上側(cè)壁111的任意性向后移動所致的脫離或者解除掛接部件111a的掛接，從而使上側(cè)壁111能夠?qū)崿F(xiàn)向后移動。在此，如圖5所示，由于防脫部件161與前述掛接部件111a的抵接部分上具有傾斜面，因此防脫部件161可在上升的同時對上側(cè)壁111向前方施壓。
[0059]氣缸162用于使防脫部件161升降，從而使防脫部件161能夠掛住掛接部件111a或者解除與掛接部件111a的掛接。
[0060]彈簧163為用于朝上側(cè)壁111方向彈性支撐防脫部件161的彈性部件。因此，即使因氣缸162不良而導(dǎo)致氣壓被解除，也不會發(fā)生依賴于防脫部件161的掛接部件111a的任意性的解掛。并且，為了應(yīng)對這種情況，防脫部件161上形成有工具插孔161a，以用于插入專門的工具而使防脫部件161下降。
[0061]對于緩沖件170而言，可利用如彈簧等的彈性部件配備于上側(cè)壁111的前端，用于緩解上側(cè)壁111向后方移動而又返回原位時可能發(fā)生的接觸沖擊，從而保護拾取器131A、131B和升降驅(qū)動源132AU32B以及左右移動動力源133等。
[0062]位置確認(rèn)裝置180用于判斷移動至后方的上側(cè)壁111是否順利回到原來位置，其由光源181和收光部182構(gòu)成。光源181設(shè)置于上側(cè)壁111而收光部182固定于測試室110的底面，從而在光源181照射的光被收光部182感測時可判斷為上側(cè)壁111已位于適當(dāng)位置。當(dāng)然，光源181和收光部182的位置可以調(diào)換。
[0063]對具有如上所述構(gòu)成的分選機100的部件(拾取端的拾取塊)替換作業(yè)進行說明。
[0064]當(dāng)需要測試的半導(dǎo)體元件的規(guī)格發(fā)生變更時，拾取半導(dǎo)體元件的拾取端131A-1、131B-1的拾取塊PB也需要全部替換。
[0065]因此，作業(yè)人員應(yīng)首先如圖6a所示地在上側(cè)壁111通過夾持裝置160R、160L結(jié)合于左側(cè)壁112和右側(cè)壁113的狀態(tài)下，將氣缸162予以驅(qū)動而使防脫部件161下降，從而將上側(cè)壁111從左側(cè)壁112和右側(cè)壁113進行分離。如果氣缸162處于故障狀態(tài)，則由作業(yè)人員將專門的作業(yè)工具(未圖示)插入工具插孔161a而借助于人力來使防脫部件161下降。
[0066]而且，如圖6b所示，使上側(cè)壁111和與之結(jié)合的后側(cè)壁114向后方移動。此時，上側(cè)壁111的導(dǎo)軌R得到左側(cè)壁112和右側(cè)壁113上的導(dǎo)軌塊B的支撐和引導(dǎo)，同時上側(cè)壁111向后方滑動而做直線移動。在此，為了便于處在脫離收容空間S的位于作業(yè)位置WP的作業(yè)人員(未圖示)工作，優(yōu)選地，使拾取端131A-1U31B-1從收容空間S完全脫離。因此，上側(cè)壁111的前后方向上的移動優(yōu)選是在使拾取端131A-1、131B-1從收容空間S脫離或者使從收容空間S脫離的拾取端131A-1U31B-1移動至收容空間S原來位置的范圍內(nèi)進行。
[0067]接著如圖6c所示脫去已有的拾取塊PB，然后如圖6d所示結(jié)合新的拾取塊(NPB:New Picker Block)。在此，由于一個拾取塊上一并構(gòu)成有8個拾取單元P,因此替換一個拾取塊PB時將有8個拾取單元P被一并替換。
[0068]最后，作業(yè)人員向前方推動上側(cè)壁111之后將氣缸162予以驅(qū)動而使防脫部件161上升。由此，隨著防脫部件161上升而使防脫部件161與掛接部件111a的傾斜面抵接，而防脫部件161的繼續(xù)上升將使上側(cè)壁111向前方受壓，從而完成與左側(cè)壁112、右側(cè)壁113的結(jié)合。
[0069]另外，如上所述的作業(yè)完畢之后，利用位置確認(rèn)裝置180判斷上側(cè)壁111是否適當(dāng)?shù)亟Y(jié)合于左側(cè)壁112、右側(cè)壁113而回到原來的位置。
[0070]另外，在本發(fā)明中為了提高處理速度而在往復(fù)裝置120上設(shè)置2個往復(fù)件121a、121b，并在移動裝置130上也設(shè)置了 2個拾取器131A、131B，然而根據(jù)實施例的不同，也可以只設(shè)置一個往復(fù)件和一個拾取器。
[0071]如上所述，已參照附圖對本發(fā)明進行了具體說明，然而由于上述實施例只是本發(fā)明的優(yōu)選實施例，因此不能認(rèn)為本發(fā)明僅僅局限于上述實施例，本發(fā)明的權(quán)利范圍應(yīng)當(dāng)通過權(quán)利要求書及其等價概念理解。
【權(quán)利要求】
1.一種半導(dǎo)體元件測試用分選機，其特征在于，包括:測試室，具有收容半導(dǎo)體元件的收容空間；往復(fù)裝置，將裝載的半導(dǎo)體元件搬入所述測試室的收容空間或者從所述測試室的收容空間搬出；移動裝置，將裝載于所述往復(fù)裝置的半導(dǎo)體元件移動至測試機的測試插座，或者將測試完畢的半導(dǎo)體元件從測試機的測試插座移動至所述往復(fù)裝置；裝載部，將半導(dǎo)體元件裝載于所述往復(fù)裝置；卸載部，將半導(dǎo)體元件從所述往復(fù)裝置卸載，其中，所述測試室的特定壁能夠滑動。
2.如權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體元件測試用分選機，其特征在于，所述移動裝置設(shè)置于所述特定壁上。
3.如權(quán)利要求2所述的半導(dǎo)體元件測試用分選機，其特征在于，所述移動裝置包括:拾取器，具有用于拾取位于所述測試室內(nèi)部的半導(dǎo)體元件的拾取端；驅(qū)動源，用于驅(qū)動所述拾取器，其中，所述特定壁的移動是在使所述拾取端從所述收容空間脫離或者使從所述收容空間脫離的所述拾取端移動至所述收容空間的范圍內(nèi)進行，而且，所述拾取器包括至少具有一個用于拾取半導(dǎo)體元件的拾取單元且該拾取單元被可拆卸地結(jié)合的拾取塊。
4.如權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體元件測試用分選機，其特征在于，位于所述特定壁的移動路徑上的一側(cè)壁固定于所述特定壁而與所述特定壁一起移動。
5.如權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體元件測試用分選機，其特征在于，還包括用于夾持所述特定壁的夾持裝置。
6.如權(quán)利要求5所述的半導(dǎo)體元件測試用分選機，其特征在于，所述夾持裝置包括:防脫部件，用于防止所述特定壁的脫離；氣缸，使所述防脫部件進退移動，從而防止所述特定壁脫離或者解除防脫；彈性部件，朝所述特定壁方向彈性支撐所述防脫部件。
7.如權(quán)利要求6所述的半導(dǎo)體元件測試用分選機，其特征在于，所述防脫部件上形成有用于插入專門工具的工具插孔。
8.如權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體元件測試用分選機，其特征在于，還包括用于緩沖所述特定壁的移動沖擊的緩沖件。
9.如權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體元件測試用分選機，其特征在于，還包括用于確認(rèn)所述特定壁的位置的位置確認(rèn)裝置。
【文檔編號】B07C5/344GK103706576SQ201310455809
【公開日】2014年4月9日 申請日期:2013年9月24日 優(yōu)先權(quán)日:2012年10月5日
【發(fā)明者】羅閏成, 李鎮(zhèn)福, 金是勇 申請人:泰克元有限公司
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