噴頭調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及半導(dǎo)體設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，更具體地說，涉及半導(dǎo)體設(shè)備中噴頭的三維調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)。
【背景技術(shù)】
[0002]使用各種化學(xué)液體和化學(xué)溶劑是半導(dǎo)體加工工藝過程中必不可少的工藝過程。于是，在半導(dǎo)體設(shè)備中會(huì)設(shè)置多個(gè)用于噴灑液體或者溶劑的噴頭。出于加工工藝的要求，考慮到工件位置、均勻度等等的因素，要求噴頭能夠在三維空間內(nèi)作自由旋轉(zhuǎn)。在三維空間內(nèi)的自由旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)雖然不難實(shí)現(xiàn)，但是對(duì)于半導(dǎo)體設(shè)備來說，其難度在于緊湊性和實(shí)現(xiàn)的成本。半導(dǎo)體設(shè)備內(nèi)部的空間十分有限，因此要求三維空間的旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)能夠占據(jù)盡量小的空間。并且希望該旋轉(zhuǎn)結(jié)構(gòu)具有較低的實(shí)現(xiàn)成本和良好的可靠性。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]本發(fā)明旨在提出一種具有緊湊結(jié)構(gòu)和較低實(shí)現(xiàn)成本的噴頭調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)，能夠在三維空間內(nèi)實(shí)現(xiàn)旋轉(zhuǎn)。
[0004]根據(jù)本發(fā)明的一實(shí)施例，提出一種噴頭調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)，包括:基座、調(diào)節(jié)軸、噴頭固定塊和噴頭?；囊欢司哂袏A緊塊，基座沿X向設(shè)置。調(diào)節(jié)軸安裝在夾緊塊上，調(diào)節(jié)軸能相對(duì)于夾緊塊繞Z向軸旋轉(zhuǎn)，調(diào)節(jié)軸還能相對(duì)于夾緊塊沿Z向軸移動(dòng)。噴頭固定塊轉(zhuǎn)動(dòng)安裝在調(diào)節(jié)軸的底端，噴頭固定塊能相對(duì)于調(diào)節(jié)軸繞Y向軸旋轉(zhuǎn)。噴頭安裝在噴頭固定塊上，噴頭的噴嘴位于噴頭固定塊的第一側(cè)，噴頭的接頭位于噴頭固定塊的第二側(cè)。
[0005]在一個(gè)實(shí)施例中，夾緊塊的中心形成圓柱形的槽，夾緊塊的一側(cè)側(cè)壁上具有調(diào)節(jié)間隙，一組調(diào)節(jié)螺栓穿過調(diào)節(jié)間隙。
[0006]在一個(gè)實(shí)施例中，調(diào)節(jié)軸呈圓柱形，底端形成平面，調(diào)節(jié)軸安裝在圓柱形的槽中，旋緊調(diào)節(jié)螺栓，夾緊塊夾緊調(diào)節(jié)軸，放松調(diào)節(jié)螺栓，夾緊塊放松，調(diào)節(jié)軸能相對(duì)于夾緊塊沿Z向軸移動(dòng)。
[0007]在一個(gè)實(shí)施例中，噴頭固定塊通過轉(zhuǎn)軸安裝在調(diào)節(jié)軸底端的平面上，轉(zhuǎn)軸是Y向軸。
[0008]在一個(gè)實(shí)施例中，噴頭固定塊的第一端通過轉(zhuǎn)軸安裝在調(diào)節(jié)軸底端的平面上，噴頭貫穿噴頭固定塊的第二端。
[0009]本發(fā)明的噴頭調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單可靠、占空空間小、緊湊，并且能夠提供在三維空間內(nèi)的旋轉(zhuǎn)功能，適合于在半導(dǎo)體設(shè)備中使用。
【附圖說明】
[0010]本發(fā)明上述的以及其他的特征、性質(zhì)和優(yōu)勢(shì)將通過下面結(jié)合附圖和實(shí)施例的描述而變的更加明顯，在附圖中相同的附圖標(biāo)記始終表示相同的特征，其中:
[0011]圖1揭示了根據(jù)本發(fā)明的一實(shí)施例的噴頭調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)圖。
【具體實(shí)施方式】
[0012]參考圖1所示，揭示了根據(jù)本發(fā)明的一實(shí)施例的噴頭調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)。該噴頭調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)100包括:基座102、調(diào)節(jié)軸104、噴頭固定塊106和噴頭108。在圖1中，以如下的標(biāo)準(zhǔn)設(shè)置參考三維坐標(biāo)系:以基座102的延伸方向作為X向、以調(diào)節(jié)軸104的方向作為Z向、根據(jù)X向和Z向定義Y向。
[0013]基座102的一端具有夾緊塊121，基座102沿X向設(shè)置。夾緊塊121的中心形成圓柱形的槽，夾緊塊121的一側(cè)側(cè)壁上具有調(diào)節(jié)間隙122，一組調(diào)節(jié)螺栓123穿過調(diào)節(jié)間隙122。通過旋轉(zhuǎn)調(diào)節(jié)螺栓123，就能調(diào)節(jié)調(diào)節(jié)間隙122的大小，使得槽夾緊調(diào)節(jié)軸104或者放松調(diào)節(jié)軸104。
[0014]調(diào)節(jié)軸104呈圓柱形，調(diào)節(jié)軸104安裝在夾緊塊121上，在圖示的實(shí)施例中，調(diào)節(jié)軸104安裝在圓柱形的槽中。調(diào)節(jié)軸104能相對(duì)于夾緊塊121繞Z向軸旋轉(zhuǎn)，調(diào)節(jié)軸104還能相對(duì)于夾緊塊121沿Z向軸移動(dòng)。在圖1所示的實(shí)施例中，調(diào)節(jié)軸104自身就是沿Z向設(shè)置，放松調(diào)節(jié)螺栓123，夾緊塊121放松，此時(shí)能夠旋轉(zhuǎn)調(diào)節(jié)軸104，使得調(diào)節(jié)軸104在圓柱形的槽中繞Z向軸轉(zhuǎn)動(dòng)。在夾緊塊121放松的狀態(tài)下，還能夠使得調(diào)節(jié)軸104在圓柱形的槽內(nèi)移動(dòng)，相對(duì)于夾緊塊121沿Z向軸移動(dòng)。在調(diào)節(jié)軸104旋轉(zhuǎn)并且移動(dòng)到位后，旋緊調(diào)節(jié)螺栓123，夾緊塊121夾緊調(diào)節(jié)軸104。
[0015]繼續(xù)參考圖1所示，在調(diào)節(jié)軸104的底部，圓柱形被削去一塊，形成一個(gè)平面141，該平面141用于安裝噴頭固定塊106。
[0016]噴頭固定塊106轉(zhuǎn)動(dòng)安裝在調(diào)節(jié)軸104的底端，即平面141上。噴頭固定塊106能相對(duì)于調(diào)節(jié)軸104繞Y向軸旋轉(zhuǎn)。在圖1所示的實(shí)施例中，噴頭固定塊106是通過轉(zhuǎn)軸161安裝在調(diào)節(jié)軸底端的平面141上，轉(zhuǎn)軸161是Y向軸。
[0017]噴頭108安裝在噴頭固定塊106上，噴頭的噴嘴181位于噴頭固定塊161的第一偵牝在圖1所示的實(shí)施例中第一側(cè)是位于噴頭固定塊161的下側(cè)。噴頭的接頭182位于噴頭固定塊106的第二側(cè)，在圖1所示的實(shí)施例中第二側(cè)是位于噴頭固定塊161的上側(cè)。繼續(xù)參考圖1所示，噴頭固定塊106的第一端通過轉(zhuǎn)軸161安裝在調(diào)節(jié)軸底端的平面141上，噴頭108貫穿噴頭固定塊106的第二端。
[0018]本發(fā)明的噴頭調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)100，通過調(diào)節(jié)軸104和轉(zhuǎn)軸161實(shí)現(xiàn)了在XY平面內(nèi)和ZY平面內(nèi)的旋轉(zhuǎn)，并且能夠在Z向進(jìn)行移動(dòng)，能滿足半導(dǎo)體設(shè)備中噴頭的三維旋轉(zhuǎn)以及定位的要求。
[0019]本發(fā)明的噴頭調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單可靠、占空空間小、緊湊，并且能夠提供在三維空間內(nèi)的旋轉(zhuǎn)功能，適合于在半導(dǎo)體設(shè)備中使用。
[0020]上述實(shí)施例是提供給熟悉本領(lǐng)域內(nèi)的人員來實(shí)現(xiàn)或使用本發(fā)明的，熟悉本領(lǐng)域的人員可在不脫離本發(fā)明的發(fā)明思想的情況下，對(duì)上述實(shí)施例做出種種修改或變化，因而本發(fā)明的保護(hù)范圍并不被上述實(shí)施例所限，而應(yīng)該是符合權(quán)利要求書提到的創(chuàng)新性特征的最大范圍。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種噴頭調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)，其特征在于，包括: 基座，基座的一端具有夾緊塊，基座沿X向設(shè)置； 調(diào)節(jié)軸，調(diào)節(jié)軸安裝在夾緊塊上，調(diào)節(jié)軸能相對(duì)于夾緊塊繞Z向軸旋轉(zhuǎn)，調(diào)節(jié)軸還能相對(duì)于夾緊塊沿Z向軸移動(dòng)； 噴頭固定塊，轉(zhuǎn)動(dòng)安裝在調(diào)節(jié)軸的底端，噴頭固定塊能相對(duì)于調(diào)節(jié)軸繞Y向軸旋轉(zhuǎn)； 噴頭，安裝在噴頭固定塊上，噴頭的噴嘴位于噴頭固定塊的第一側(cè)，噴頭的接頭位于噴頭固定塊的第二側(cè)。2.如權(quán)利要求1所述的噴頭調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述夾緊塊的中心形成圓柱形的槽，所述夾緊塊的一側(cè)側(cè)壁上具有調(diào)節(jié)間隙，一組調(diào)節(jié)螺栓穿過所述調(diào)節(jié)間隙。3.如權(quán)利要求2所述的噴頭調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述調(diào)節(jié)軸呈圓柱形，底端形成平面，所述調(diào)節(jié)軸安裝在所述圓柱形的槽中，旋緊調(diào)節(jié)螺栓，夾緊塊夾緊調(diào)節(jié)軸，放松調(diào)節(jié)螺栓，夾緊塊放松，調(diào)節(jié)軸能相對(duì)于夾緊塊沿Z向軸移動(dòng)。4.如權(quán)利要求3所述的噴頭調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述噴頭固定塊通過轉(zhuǎn)軸安裝在所述調(diào)節(jié)軸底端的平面上，所述轉(zhuǎn)軸是Y向軸。5.如權(quán)利要求4所述的噴頭調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)，其特征在于，所述噴頭固定塊的第一端通過轉(zhuǎn)軸安裝在調(diào)節(jié)軸底端的平面上，所述噴頭貫穿噴頭固定塊的第二端。
【專利摘要】本發(fā)明揭示了一種噴頭調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)，包括：基座、調(diào)節(jié)軸、噴頭固定塊和噴頭?；囊欢司哂袏A緊塊，基座沿X向設(shè)置。調(diào)節(jié)軸安裝在夾緊塊上，調(diào)節(jié)軸能相對(duì)于夾緊塊繞Z向軸旋轉(zhuǎn)，調(diào)節(jié)軸還能相對(duì)于夾緊塊沿Z向軸移動(dòng)。噴頭固定塊轉(zhuǎn)動(dòng)安裝在調(diào)節(jié)軸的底端，噴頭固定塊能相對(duì)于調(diào)節(jié)軸繞Y向軸旋轉(zhuǎn)。噴頭安裝在噴頭固定塊上，噴頭的噴嘴位于噴頭固定塊的第一側(cè)，噴頭的接頭位于噴頭固定塊的第二側(cè)。本發(fā)明的噴頭調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單可靠、占空空間小、緊湊，并且能夠提供在三維空間內(nèi)的旋轉(zhuǎn)功能，適合于在半導(dǎo)體設(shè)備中使用。
【IPC分類】H01L21/68, B05B13/02
【公開號(hào)】CN105312176
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201410365766
【發(fā)明人】張鎮(zhèn)磊, 金一諾, 張懷東, 王堅(jiān), 王暉
【申請(qǐng)人】盛美半導(dǎo)體設(shè)備（上海）有限公司
【公開日】2016年2月10日
【申請(qǐng)日】2014年7月29日