本技術(shù)涉及二氧化硫純化，具體涉及一種制備5n純度二氧化硫的裝置。

背景技術(shù)：

1、隨著先進半導(dǎo)體制程技術(shù)的發(fā)展，人們發(fā)現(xiàn)相對于氟碳類刻蝕氣體，二氧化硫具有更高的刻蝕選擇性，對掩膜介質(zhì)層的損壞更小，刻蝕精度更高，特別適用于28nm以下先進制程的工藝制造。目前國內(nèi)市場上的二氧化硫基本上均為工業(yè)級純度，含有非常多的其他組分雜質(zhì)，缺乏穩(wěn)定成熟的高純度二氧化硫批量制備生產(chǎn)技術(shù)，無法滿足國內(nèi)半導(dǎo)體和光電子微電子行業(yè)對高純度二氧化硫產(chǎn)品的需求。

技術(shù)實現(xiàn)思路

1、有鑒于此，本實用新型的目的在于提供一種制備5n純度二氧化硫的裝置。本實用新型提供的裝置可以制備得到的5n純度的二氧化硫。

2、為了實現(xiàn)上述目的，本實用新型提供如下技術(shù)方案：

3、本實用新型提供了一種制備5n純度二氧化硫的裝置，包括依次連通的原料罐1、汽化器2、吸附系統(tǒng)3、過濾系統(tǒng)4、液化收集罐5、精餾塔6和收集系統(tǒng)7；所述精餾塔6的頂部設(shè)置有冷凝器21，底部設(shè)置有加熱循環(huán)器18；

4、與所述汽化器2、液化收集罐5、冷凝器21連通的制冷機19；所述吸附系統(tǒng)3包括n個吸附器；n≥1，當(dāng)n＝1時，所述吸附器中包括分層裝填的多層吸附劑；每層吸附劑的種類不同；所述過濾系統(tǒng)4包括串聯(lián)的m個精密過濾器；所述m≥1。

5、優(yōu)選地，所述收集系統(tǒng)7包括依次連通的產(chǎn)品罐8、充裝泵9和鋼瓶14；

6、優(yōu)選地，還包括與精餾塔6頂部連通的回收罐10。

7、優(yōu)選地，還包括與精餾塔6頂部、底部和吸附系統(tǒng)3通過管道連通的尾氣處理塔11；

8、出口與汽化器2的進口連通的惰性氣體儲罐15；

9、通過電信號與所述裝置連通的自動控制系統(tǒng)16和緊急停車控制系統(tǒng)17；

10、所述吸附系統(tǒng)3和尾氣處理塔11的連通管道上還包括真空泵20。

11、優(yōu)選地，所述在線分析儀器包括氦離子化氣相色譜儀12和電解水分儀13。

12、優(yōu)選地，所述精密過濾器的過濾精度為0.003～10μm。

13、優(yōu)選地，所述吸附劑包括活性炭、分子篩、硅膠、氧化鋁和高分子多孔聚合物中的一種或幾種。

14、本實用新型提供了一種制備5n純度二氧化硫的裝置，包括依次連通的原料罐1、汽化器2、吸附系統(tǒng)3、過濾系統(tǒng)4、液化收集罐5、精餾塔6和收集系統(tǒng)7；所述精餾塔6的頂部設(shè)置有冷凝器21，底部設(shè)置有加熱循環(huán)器18；與所述汽化器2、液化收集罐5、冷凝器21連通的制冷機19；所述吸附系統(tǒng)3包括n個吸附器；n≥1，當(dāng)n＝1時，所述吸附器中包括分層裝填的多層吸附劑；每層吸附劑的種類不同；所述過濾系統(tǒng)4包括串聯(lián)的m個精密過濾器；所述m≥1。所述精餾塔6頂部設(shè)置有在線分析儀器。本裝置設(shè)置多級吸附器、過濾裝置和精餾塔，可有效去除二氧化硫中的雜質(zhì)，得到高純度二氧化硫。

技術(shù)特征：

1.一種制備5n純度二氧化硫的裝置，其特征在于，包括依次連通的原料罐(1)、汽化器(2)、吸附系統(tǒng)(3)、過濾系統(tǒng)(4)、液化收集罐(5)、精餾塔(6)和收集系統(tǒng)(7)；所述精餾塔(6)的頂部設(shè)置有冷凝器(21)，底部設(shè)置有加熱循環(huán)器(18)；所述精餾塔(6)頂部設(shè)置有在線分析儀器；

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于，所述收集系統(tǒng)(7)包括依次連通的產(chǎn)品罐(8)、充裝泵(9)和鋼瓶(14)。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于，還包括與精餾塔(6)頂部連通的回收罐(10)。

4.根據(jù)權(quán)利要求1～3任一項所述的裝置，其特征在于，還包括與精餾塔(6)頂部、底部和吸附系統(tǒng)(3)通過管道連通的尾氣處理塔(11)；

5.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的裝置，其特征在于，所述在線分析儀器包括氦離子化氣相色譜儀(12)和電解水分儀(13)。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于，所述精密過濾器的過濾精度為0.003～10μm。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝置，其特征在于，所述吸附劑包括活性炭、分子篩、硅膠、氧化鋁和高分子多孔聚合物中的一種或幾種。

技術(shù)總結(jié)
本技術(shù)涉及二氧化硫純化技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種制備5N純度二氧化硫的裝置。所述裝置，包括依次連通的原料罐、汽化器、吸附系統(tǒng)、過濾系統(tǒng)、液化收集罐、精餾塔和收集系統(tǒng)；所述精餾塔的頂部設(shè)置有冷凝器，底部設(shè)置有加熱循環(huán)器；與所述汽化器、液化收集罐、冷凝器連通的制冷機；所述吸附系統(tǒng)包括n個吸附器；n≥1，當(dāng)n＝1時，所述吸附器中包括分層裝填的多層吸附劑；每層吸附劑的種類不同；所述過濾系統(tǒng)包括串聯(lián)的m個精密過濾器；所述m≥1。所述精餾塔頂部設(shè)置有在線分析儀器。本裝置設(shè)置多級吸附器、過濾裝置和精餾塔，可有效去除二氧化硫中的雜質(zhì)，得到高純度二氧化硫。

技術(shù)研發(fā)人員：方建朝,任少科,張澈,蘇耀華,李子寬,牛迪
受保護的技術(shù)使用者：中昊光明化工研究設(shè)計院有限公司
技術(shù)研發(fā)日：20231215
技術(shù)公布日：2024/12/19