1.一種管口裝置，包括：
第一開(kāi)口；
多個(gè)第二開(kāi)口；以及
包括至少一個(gè)第一分岔部分的第一管路部分，所述至少一個(gè)第一分岔部分具有在第一方向上延伸的第一部分和連接到所述第一部分的第一端并且在與所述第一方向相交的各方向上延伸的多個(gè)第二部分，所述第一管路部分連接所述第一開(kāi)口和所述第二開(kāi)口，在從所述第一開(kāi)口延伸到所述第二開(kāi)口的路徑中被所述第一分岔部分分岔至少一次，并在所述第一開(kāi)口和所述第二開(kāi)口之間具有相同的路徑長(zhǎng)度和相同數(shù)量的第一分岔部分，其中
所述第一部分的所述第一端的橫截面積小于所述第一部分的第二端的橫截面積。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的管口裝置，其中
所述第一分岔部分的所述第一部分的所述第二端連接到另一第一分岔部分的第二部分，
所述第一部分的所述第一端和所述第二端的寬度是在所述第一部分延伸的方向上的平面視圖中所述另一第一分岔部分與所述第一部分正交的第二部分延伸的方向上的長(zhǎng)度，并且
所述第一部分的所述第一端的寬度小于所述第一部分的所述第二端的寬度。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的管口裝置，其中所述第一部分的所述第一端的寬度小于或等于所述第一部分的所述第二端的寬度的80％。
4.一種管口裝置，包括：
第一開(kāi)口；
多個(gè)第二開(kāi)口；以及
包括至少一個(gè)第一分岔部分的第一管路部分，所述至少一個(gè)第一分岔部分具有在第一方向上延伸的第一部分和連接到所述第一部分的第一端并且在與所述第一方向相交的各方向上延伸的多個(gè)第二部分，所述第一管路部分連接所述第一開(kāi)口和所述第二開(kāi)口，在從所述第一開(kāi)口延伸到所述第二開(kāi)口的路徑中被所述第一分岔部分分岔至少一次，并且在所述第一開(kāi)口和所述第二開(kāi)口之間具有相同的路徑長(zhǎng)度和相同數(shù)量的第一分岔部分，其中
所述第一部分的寬度是在所述第一部分延伸的方向上的平面視圖中另一第一分岔部分與所述第一部分正交的第二部分延伸的方向上的長(zhǎng)度，并且從所述第一部分的所述第一端到第二端的長(zhǎng)度等于或大于所述第一部分的寬度的五倍。
5.一種管口裝置，包括：
第一開(kāi)口；
多個(gè)第二開(kāi)口；以及
包括至少一個(gè)第一分岔部分的第一管路部分，所述至少一個(gè)第一分岔部分具有在第一方向上延伸的第一部分、在與所述第一方向相交的各方向上延伸的多個(gè)第二部分、連接所述第一部分的第一端和所述第二部分的連接部分以及在面向所述第一部分的所述第一端處設(shè)置到所述連接部分并且相對(duì)于所述第一端突出或凹陷的分叉部分，所述第一管路部分連接所述第一開(kāi)口和所述第二開(kāi)口，在從所述第一開(kāi)口延伸到所述第二開(kāi)口的路徑中被所述第一分岔部分分岔至少一次并且在所述第一開(kāi)口和所述第二開(kāi)口之間具有相同的路徑長(zhǎng)度和相同數(shù)量的第一分岔部分。
6.根據(jù)權(quán)利要求1至5中任一項(xiàng)所述的管口裝置，其中所述第一部分的橫截面形狀在所述第一部分延伸的方向上的平面視圖中在另一第一分岔部分與所述第一部分正交的第二部分延伸的方向上的長(zhǎng)度小于其在與所述第一方向和所述第二部分延伸的方向都正交的第二方向上的長(zhǎng)度。
7.根據(jù)權(quán)利要求1至6中任一項(xiàng)所述的管口裝置，進(jìn)一步包括：
第三開(kāi)口；
多個(gè)第四開(kāi)口；以及
包括至少一個(gè)第二分岔部分的第二管路部分，所述至少一個(gè)第二分岔部分具有在所述第一方向上延伸的第三部分和連接到所述第三部分的第一端并且在與所述第一方向相交的各方向上延伸的多個(gè)第四部分，所述第二管路部分連接所述第三開(kāi)口和所述第四開(kāi)口，在從所述第三開(kāi)口延伸到所述第四開(kāi)口的路徑中被所述第二分岔部分分岔至少一次，并且在所述第三開(kāi)口和所述第四開(kāi)口之間具有相同的路徑長(zhǎng)度和相同數(shù)量的第二分岔部分，其中
所述第一管路部分進(jìn)一步包括第一管口部分，所述第一管口部分在從所述第一開(kāi)口延伸到所述第二開(kāi)口的路徑中將所述第一分岔部分最靠近所述第二開(kāi)口的所述第二部分連接到各第二開(kāi)口，
所述第二管路部分進(jìn)一步包括第二管口部分，所述第二管口部分在從所述第三開(kāi)口延伸到所述第四開(kāi)口的路徑中將所述第二分岔部分最靠近所述第四開(kāi)口的所述第四部分連接到各第四開(kāi)口，并且以相交的方式連接到所述第一管口部分，
所述第一管口部分具有第一小直徑部分，所述第一小直徑部分在從所述第一開(kāi)口延伸到所述第二開(kāi)口的路徑中設(shè)置在比連接到所述第二管口部分的部分更靠近所述第一開(kāi)口的位置處并且在所述第一管口部分中具有較小的橫截面積，并且
所述第二管口部分具有第二小直徑部分，所述第二小直徑部分在從所述第三開(kāi)口延伸到所述第四開(kāi)口的路徑中設(shè)置在比連接到所述第一管口部分的部分更靠近所述第三開(kāi)口的位置處并且在所述第二管口部分中具有較小的橫截面積。
8.根據(jù)權(quán)利要求1至7中任一項(xiàng)所述的管口裝置，其中所述第二部分在以小于90度的角與所述第一方向相交的方向上延伸。
9.一種處理設(shè)備，包括：
根據(jù)權(quán)利要求1至8中任一項(xiàng)所述的管口裝置；
配置為容納流體的容納單元；以及
配置為將所述容納單元中的所述流體供應(yīng)到所述第一開(kāi)口的供應(yīng)單元。