專利名稱：一種除塵系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及多晶硅工藝中除塵技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種除塵系統(tǒng)。
背景技術(shù)：
多晶硅產(chǎn)業(yè)中，目前無(wú)論是TCS (三氯氫硅法)還是硅烷法，在生產(chǎn)過(guò)程中難免會(huì)有反應(yīng)的副產(chǎn)物硅粉形成，以及在收獲的過(guò)程中產(chǎn)生碰撞而掉落的硅塊。部分生產(chǎn)企業(yè)為了減輕勞動(dòng)量，引進(jìn)了除塵系統(tǒng)，用以除去硅塊、硅渣、硅粉。由于除塵系統(tǒng)采用的是負(fù)壓系統(tǒng)，在吸除粉塵的過(guò)程中，硅塊、硅渣的相互摩擦靜電打火、或是粉塵的互相摩擦碰撞都有著火及爆炸的危險(xiǎn)。同時(shí)由于吸塵的過(guò)程是開放式的氧氣和粉塵混合，這加大了危險(xiǎn)性。有鑒于此，如何對(duì)現(xiàn)有技術(shù)中的除塵系統(tǒng)作出改進(jìn),從而避免除塵過(guò)程中爆炸的危險(xiǎn)，是本領(lǐng)域技術(shù)人員亟需解決的問(wèn)題。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型要解決的技術(shù)問(wèn)題為提供一種除塵系統(tǒng)，該除塵系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)能夠避免除塵過(guò)程中爆炸的危險(xiǎn)，從而保證了除塵作業(yè)的安全性。為解決上述技術(shù)問(wèn)題，本實(shí)用新型提供一種除塵系統(tǒng)，包括吸塵主管道、及多個(gè)設(shè)于吸塵主管道上的吸塵支管；所述除塵系統(tǒng)還包括噴霧接頭，所述噴霧接頭設(shè)于吸塵主管道上或吸塵支管上。優(yōu)選地，所述吸塵支管包括相互連接的支管彎頭根部、支管彎頭和支管本體，所述吸塵支管通過(guò)支管彎頭根部連接于所述吸塵主管道上。優(yōu)選地，所述噴霧接頭連接于所述支管彎頭根部上。優(yōu)選地，所述噴霧接頭連接于所述支管彎頭上。優(yōu)選地，所述噴霧接頭連接于所述支管本體上。優(yōu)選地，所述噴霧接頭進(jìn)一步連接于所述支管本體的末端。優(yōu)選地，所述除塵系統(tǒng)還包括水循環(huán)系統(tǒng)，所述水循環(huán)系統(tǒng)包括高壓水管及設(shè)于該高壓水管上的高壓水泵；所述高壓水管連接有多個(gè)高壓分水管，該高壓分水管與所述噴霧接頭連接。優(yōu)選地，所述吸塵主管道上進(jìn)一步設(shè)有防爆單向閥。優(yōu)選地，所述吸塵主管道上進(jìn)一步設(shè)有安全排氣閥。在現(xiàn)有技術(shù)的基礎(chǔ)上，本發(fā)明的除塵系統(tǒng)包括吸塵主管道、及多個(gè)設(shè)于吸塵主管道上的吸塵支管；所述除塵系統(tǒng)還包括噴霧接頭，所述噴霧接頭設(shè)于吸塵主管道上或吸塵支管上。該種結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)能夠保證吸塵過(guò)程中具有潮濕的環(huán)境，因而能夠避免爆炸危險(xiǎn)的發(fā)生，從而保證了除塵作業(yè)的安全性。

[0016]圖I為本實(shí)用新型一種實(shí)施例中除塵系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖。其中，圖I中附圖標(biāo)記與部件名稱之間的對(duì)應(yīng)關(guān)系為I吸塵主管道；2吸塵支管；21支管彎頭根部；22支管彎頭；23支管本體；3噴霧接頭；4高壓水管；5高壓水泵；6高壓分水管； 7防爆單向閥；8安全排氣閥。
具體實(shí)施方式
本實(shí)用新型的核心為提供一種除塵系統(tǒng)，該除塵系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)能夠避免除塵過(guò)程中爆炸的危險(xiǎn)，從而保證了除塵作業(yè)的安全性。為了使本領(lǐng)域的技術(shù)人員更好地理解本實(shí)用新型的技術(shù)方案，
以下結(jié)合附圖和具體實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步的詳細(xì)說(shuō)明。請(qǐng)參考圖1，圖I為本實(shí)用新型一種實(shí)施例中除塵系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖。在一種實(shí)施例中，如圖I所示，本發(fā)明的除塵系統(tǒng)包括吸塵主管道I、及多個(gè)設(shè)于吸塵主管道I上的吸塵支管2 ;除塵系統(tǒng)還包括噴霧接頭3，噴霧接頭3設(shè)于吸塵主管道I上或吸塵支管2上。該種結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)能夠保證吸塵過(guò)程中具有潮濕的環(huán)境，因而能夠避免爆炸危險(xiǎn)的發(fā)生，從而保證了除塵作業(yè)的安全性。具體地，可以對(duì)吸塵支管2作出具體設(shè)計(jì)。如圖I所示，吸塵支管2包括相互連接的支管彎頭根部21、支管彎頭22和支管本體23，吸塵支管2通過(guò)支管彎頭根部21連接于吸塵主管道I上。在上述結(jié)構(gòu)的基礎(chǔ)上，噴霧接頭3連接于支管彎頭根部21上；或者，噴霧接頭3連接于支管彎頭22上；或者，噴霧接頭3連接于支管本體23上；進(jìn)一步地，噴霧接頭3進(jìn)一步連接于支管本體23的末端。當(dāng)然，支管彎頭根部21、支管彎頭22和支管本體23可以均連接有噴霧接頭3。具體地，如圖I所示，在上述技術(shù)方案中，還可以作出進(jìn)一步設(shè)計(jì)。比如，除塵系統(tǒng)還包括水循環(huán)系統(tǒng)，水循環(huán)系統(tǒng)包括高壓水管4及設(shè)于該高壓水管4上的高壓水泵5 ;高壓水管4連接有多個(gè)聞壓分水管6,該聞壓分水管6與噴霧接頭3連接。該種結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)可以實(shí)現(xiàn)噴淋水的循環(huán)，因而防止車間溫度較低將水管凍壞。此外，在上述技術(shù)方案中，吸塵主管道I上進(jìn)一步設(shè)有防爆單向閥7，從而用于預(yù)防管道爆炸對(duì)車間的損壞。再者，吸塵主管道I上進(jìn)一步設(shè)有安全排氣閥8，當(dāng)吸塵主管道I內(nèi)的壓力大于等5KPa時(shí)，安全排氣閥8打開，釋放壓力。此外，上述技術(shù)方案，還可以作出如下設(shè)計(jì)第一，每條管線每個(gè)吸塵頭增加噴霧裝置，流量為每個(gè)噴霧頭50-200ml/min。第二，車間主管道增加噴淋裝置，噴嘴間隔2-5米，流量為每個(gè)噴霧頭50_200ml/min.由于車間溫度較低，為防止噴淋管被凍，噴淋供水采用循環(huán)水，供水閥門與主機(jī)聯(lián)動(dòng)主機(jī)啟動(dòng)時(shí)噴淋開始工作，主機(jī)正常停機(jī)噴淋停止。如果溫度或壓力報(bào)警主機(jī)停止時(shí)噴淋繼續(xù)工作，直至手動(dòng)停止。第三，所有管道連接改為法蘭連接。第四，每條管道設(shè)有二個(gè)機(jī)械真空壓力表。第五，吸塵主管道增加5KPa防爆正壓壓力開關(guān)檢測(cè)裝置，當(dāng)吸塵主管內(nèi)壓力大于等于5KPa時(shí)，中央吸塵系統(tǒng)報(bào)警停機(jī)。第六，控制系統(tǒng)設(shè)有管道壓力異常變化模塊。第七，遠(yuǎn)程開關(guān)設(shè)有噴淋手動(dòng)啟動(dòng)、關(guān)閉。以上對(duì)本實(shí)用新型所提供的一種除塵系統(tǒng)進(jìn)行了詳細(xì)介紹。本文中應(yīng)用了具體個(gè)例對(duì)本實(shí)用新型的原理及實(shí)施方式進(jìn)行了闡述，以上實(shí)施例的說(shuō)明只是用于幫助理解本實(shí)·用新型的方法及其核心思想。應(yīng)當(dāng)指出，對(duì)于本技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來(lái)說(shuō)，在不脫離本實(shí)用新型原理的前提下，還可以對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行若干改進(jìn)和修飾，這些改進(jìn)和修飾也落入本實(shí)用新型權(quán)利要求的保護(hù)范圍內(nèi)。
權(quán)利要求1.一種除塵系統(tǒng)，包括吸塵主管道(I)、及多個(gè)設(shè)于吸塵主管道(I)上的吸塵支管(2);其特征在于，所述除塵系統(tǒng)還包括噴霧接頭(3)，所述噴霧接頭(3)設(shè)于吸塵主管道(I)上或吸塵支管(2)上。
2.如權(quán)利要求I所述的除塵系統(tǒng)，其特征在于，所述吸塵支管(2)包括相互連接的支管彎頭根部(21)、支管彎頭(22)和支管本體(23)，所述吸塵支管(2)通過(guò)支管彎頭根部(21)連接于所述吸塵主管道(I)上。
3.如權(quán)利要求2所述的除塵系統(tǒng)，其特征在于，所述噴霧接頭(3)連接于所述支管彎頭根部(21)上。
4.如權(quán)利要求2所述的除塵系統(tǒng)，其特征在于，所述噴霧接頭(3)連接于所述支管彎頭(22)上。
5.如權(quán)利要求2所述的除塵系統(tǒng)，其特征在于，所述噴霧接頭(3)連接于所述支管本體(23)上。
6.如權(quán)利要求5所述的除塵系統(tǒng)，其特征在于，所述噴霧接頭(3)進(jìn)一步連接于所述支管本體(23)的末端。
7.如權(quán)利要求I至6任一項(xiàng)所述的除塵系統(tǒng)，其特征在于，所述除塵系統(tǒng)還包括水循環(huán)系統(tǒng)，所述水循環(huán)系統(tǒng)包括高壓水管(4)及設(shè)于該高壓水管(4)上的高壓水泵(5);所述高壓水管(4)連接有多個(gè)高壓分水管(6 )，該高壓分水管(6 )與所述噴霧接頭(3 )連接。
8.如權(quán)利要求I至6任一項(xiàng)所述的除塵系統(tǒng)，其特征在于，所述吸塵主管道上進(jìn)一步設(shè)有防爆單向閥(7)。
9.如權(quán)利要求I至6任一項(xiàng)所述的除塵系統(tǒng)，其特征在于，所述吸塵主管道上進(jìn)一步設(shè)有安全排氣閥(8)。
專利摘要本實(shí)用新型公開了一種除塵系統(tǒng)，包括吸塵主管道(1)、及多個(gè)設(shè)于吸塵主管道(1)上的吸塵支管(2)；所述除塵系統(tǒng)還包括噴霧接頭(3)，所述噴霧接頭(3)設(shè)于吸塵主管道(1)上或吸塵支管(2)上。該除塵系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)能夠避免除塵過(guò)程中爆炸的危險(xiǎn)，從而保證了除塵作業(yè)的安全性。
文檔編號(hào)B01D47/06GK202700303SQ20122038085
公開日2013年1月30日 申請(qǐng)日期2012年8月2日 優(yōu)先權(quán)日2012年8月2日
發(fā)明者賈兵 申請(qǐng)人:六九硅業(yè)有限公司