專利名稱：氣體處理裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及現(xiàn)代工廠制造領(lǐng)域、例如化工、制藥及半導(dǎo)體等相關(guān)行業(yè)，尤其涉及一種氣體處理裝置。
背景技術(shù)：
在工廠生產(chǎn)過程中，例如化工、制藥及半導(dǎo)體企業(yè)，會(huì)產(chǎn)生各類有毒，刺激性的尾氣，對(duì)人體及自然有害，因此，在排放尾氣時(shí)需要對(duì)有毒有害氣體進(jìn)行相應(yīng)的處理，以達(dá)到國(guó)家規(guī)定的排放標(biāo)準(zhǔn)，所以通常需要在工藝機(jī)臺(tái)的排放口或者廠務(wù)排風(fēng)系統(tǒng)的排放口設(shè)置氣體處理裝置。·現(xiàn)有的氣體處理裝置如圖I. I、圖I. 2、圖I. 3所示，其中，圖I. I是現(xiàn)有的用于處理工藝機(jī)臺(tái)尾氣的氣體處理裝置的結(jié)構(gòu)示意圖，圖I. 2是現(xiàn)有的(立式)工廠排風(fēng)系統(tǒng)水淋填充式氣體處理裝置的結(jié)構(gòu)示意圖，圖I. 3是現(xiàn)有的(臥式)工廠排風(fēng)系統(tǒng)水淋填充式氣體處理裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。如圖I. I所示，現(xiàn)有的用于處理工藝機(jī)臺(tái)尾氣的氣體處理裝置，包括腔體I、噴水裝置4以及過濾裝置2，所述腔體I的一側(cè)的下部設(shè)有尾氣進(jìn)氣口 11，所述腔體I的另一側(cè)上部設(shè)有尾氣排放口 7所述腔體I的底部設(shè)有排水口 10，所述噴水裝置4和過濾裝置2設(shè)于所述腔體I內(nèi)，所述噴水裝置4設(shè)于過濾裝置2的上方，所述噴水裝置4具有向下霧狀噴水的噴口，所述噴口均勻布置于所述過濾裝置2的上方，所述過濾裝置2是以內(nèi)部填充過濾單元的網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)過濾層。如圖I. 2所示，現(xiàn)有的(立式)工廠排風(fēng)系統(tǒng)水淋填充式氣體處理裝置的結(jié)構(gòu)基本和現(xiàn)有的(立式)工廠排風(fēng)系統(tǒng)水淋填充式氣體處理裝置相同，區(qū)別在于，所述腔體I的一側(cè)的下部設(shè)有尾氣進(jìn)氣口 11，所述腔體I的頂部設(shè)有尾氣排放口 7，以適應(yīng)工廠排風(fēng)處理。如圖I. 3所示，現(xiàn)有的(臥式)工廠排風(fēng)系統(tǒng)水淋填充式氣體處理裝置，包括腔體
I、噴水裝置4以及過濾裝置2，所述腔體I的兩側(cè)中部位置分別設(shè)有尾氣進(jìn)氣口 11與尾氣排放口 7，所述腔體I的底部還設(shè)有排水口 10，所述噴水裝置4和過濾裝置2設(shè)于所述腔體I內(nèi)，所述噴水裝置4設(shè)于過濾裝置2的上方，所述噴水裝置4具有向下霧狀噴水的噴口，所述噴口均勻布置于所述過濾裝置2的上方，所述過濾裝置2是以內(nèi)部填充過濾單元的網(wǎng)狀結(jié)構(gòu)過濾層。但是使用下來發(fā)現(xiàn)，由于這些需要處理的氣體具有有毒氣體，需要通過水洗方式進(jìn)行尾氣處理，噴水是從上往下，所以過濾裝置2中的過濾層會(huì)從底部即由下至上開始堵塞，當(dāng)過濾層堵塞后，過濾單元的過濾作用將失效，因此必須停機(jī)并進(jìn)行清理工作，將過濾單元清洗，現(xiàn)階段每月必須進(jìn)行清洗，才能保證氣體處理裝置正常工作，然而，頻繁地清洗過濾層，會(huì)降低氣體處理裝置的尾氣處理能力，同時(shí)，也降低生產(chǎn)線上的生產(chǎn)效率。因此，如何提供一種可以提高過濾效率并延長(zhǎng)裝置使用壽命的氣體處理裝置是本領(lǐng)域技術(shù)人員亟待解決的一個(gè)技術(shù)問題。
實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型的目的在于提供一種氣體處理裝置，通過設(shè)置用于帶動(dòng)所述過濾單元螺旋上升翻滾的螺旋旋轉(zhuǎn)裝置，既可以提高氣體處理裝置的尾氣處理效率，又可以提高氣體處理裝置的使用壽命。為了達(dá)到上述的目的，本實(shí)用新型采用如下技術(shù)方案一種氣體處理裝置，用于處理尾氣，包括腔體、過濾裝置以及用于清洗所述過濾裝置的噴水裝置，所述腔體設(shè)有尾氣進(jìn)氣口與尾氣排放口，所述腔體的底部設(shè)有排水口，所述過濾裝置設(shè)于所述腔體內(nèi)，所述噴水裝置設(shè)置于所述過濾裝置的上方，所述過濾裝置包括過濾網(wǎng)以及設(shè)于所述過濾網(wǎng)上的若干過濾單元，所述氣體處理裝置還設(shè)有用于帶動(dòng)所述過濾單元螺旋上升翻滾的螺旋旋轉(zhuǎn)裝置。優(yōu)選的，在上述的氣體處理裝置中，所述螺旋旋轉(zhuǎn)裝置包括馬達(dá)、旋轉(zhuǎn)軸以及螺旋 葉片，所述螺旋葉片以螺旋上升形式設(shè)置于所述旋轉(zhuǎn)軸上，所述馬達(dá)帶動(dòng)所述旋轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)動(dòng)，所述過濾單元填充于所述螺旋葉片、過濾網(wǎng)、腔體內(nèi)壁以及旋轉(zhuǎn)軸所隔成的空間內(nèi)。優(yōu)選的，在上述的氣體處理裝置中，所述馬達(dá)設(shè)置于所述腔體的上方，所述旋轉(zhuǎn)軸的主體位于所述腔體的內(nèi)部，所述旋轉(zhuǎn)軸的上端從所述腔體的頂部伸出并與所述馬達(dá)的輸出部連接。優(yōu)選的，在上述的氣體處理裝置中，所述氣體處理裝置是立式結(jié)構(gòu)，所述尾氣進(jìn)氣口設(shè)置于所述腔體的一側(cè)下部或底部，所述尾氣排放口設(shè)置于所述腔體的另一側(cè)上部或頂部。優(yōu)選的，在上述的氣體處理裝置中，所述氣體處理裝置是臥式結(jié)構(gòu)，所述尾氣進(jìn)氣口與尾氣排放口分別位于所述腔體的兩側(cè)的中部位置。優(yōu)選的，在上述的氣體處理裝置中，還包括除霧裝置，所述除霧裝置設(shè)置于所述噴水裝置的上方。優(yōu)選的，在上述的氣體處理裝置中，所述噴水裝置具有若干具有向下霧狀噴水的噴口，所述噴口均勻布置于所述過濾裝置的上方。優(yōu)選的，在上述的氣體處理裝置中，所述過濾網(wǎng)水平設(shè)置于所述腔體內(nèi)，所述過濾網(wǎng)采用金屬制成，呈網(wǎng)狀分布。優(yōu)選的，在上述的氣體處理裝置中，所述過濾單元是球狀體或方形體或橢球狀體。優(yōu)選的，在上述的氣體處理裝置中，所述過濾單元的外徑比所述過濾網(wǎng)的孔徑大，所述過濾單元的外徑是2. 5 4厘米，所述過濾網(wǎng)的孔徑是I. 5 2厘米。本實(shí)用新型提供的氣體處理裝置，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，使用方便，通過設(shè)置用于帶動(dòng)所述過濾單元螺旋上升翻滾的螺旋旋轉(zhuǎn)裝置，從尾氣進(jìn)氣口進(jìn)入腔體的尾氣，在螺旋旋轉(zhuǎn)裝置的旋轉(zhuǎn)帶動(dòng)下，會(huì)在過濾裝置中螺旋式上升，一方面，可以增加尾氣在過濾裝置中的流經(jīng)路徑，從而增加過濾裝置過濾尾氣的有效面積，提高過濾裝置的過濾效率；另一方面，通過螺旋旋轉(zhuǎn)裝置旋轉(zhuǎn)帶動(dòng)過濾單元上下翻滾以及噴水裝置對(duì)流動(dòng)的過濾單元的噴霧作用，可以起到清潔各個(gè)過濾單元的作用，避免過濾裝置出現(xiàn)堵塞現(xiàn)象，增加氣體處理裝置的使用期限，降低裝置停機(jī)進(jìn)行大型保養(yǎng)的頻率，從而提高生產(chǎn)效率。本實(shí)用新型提供的氣體處理裝置，既可以用于工藝機(jī)臺(tái)的尾氣處理，也可以用于工廠排風(fēng)系統(tǒng)的氣體處理。
本實(shí)用新型的氣體處理裝置由以下的實(shí)施例及附圖給出。圖I. I是現(xiàn)有的用于處理工藝機(jī)臺(tái)尾氣的氣體處理裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。圖I. 2是現(xiàn)有的(立式)工廠排風(fēng)系統(tǒng)水淋填充式氣體處理裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。圖I. 3是現(xiàn)有的(臥式)工廠排風(fēng)系統(tǒng)水淋填充式氣體處理裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。圖2. I是本實(shí)用新型實(shí)施例一的(立式)氣處理裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。圖2. 2是本實(shí)用新型實(shí)施例二的(立式)氣處理裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。圖2. 3是本實(shí)用新型實(shí)施例三的(臥式)氣體處理裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。圖中，I-腔體、2-過濾裝置、3-螺旋旋轉(zhuǎn)裝置、4-噴水裝置、5-螺旋軸、6-馬達(dá)、7-尾氣排放口、8_螺旋葉片、9-過濾網(wǎng)、10-排水口，11-尾氣進(jìn)氣口、12-除霧裝置。
具體實(shí)施方式
以下將對(duì)本實(shí)用新型的氣體處理裝置作進(jìn)一步的詳細(xì)描述。下面將參照附圖對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行更詳細(xì)的描述，其中表示了本實(shí)用新型的優(yōu)選實(shí)施例，應(yīng)該理解本領(lǐng)域技術(shù)人員可以修改在此描述的本實(shí)用新型而仍然實(shí)現(xiàn)本實(shí)用新型的有利效果。因此，下列描述應(yīng)當(dāng)被理解為對(duì)于本領(lǐng)域技術(shù)人員的廣泛知道，而并不作為對(duì)本實(shí)用新型的限制。為了清楚，不描述實(shí)際實(shí)施例的全部特征。在下列描述中，不詳細(xì)描述公知的功能和結(jié)構(gòu)，因?yàn)樗鼈儠?huì)使本實(shí)用新型由于不必要的細(xì)節(jié)而混亂。應(yīng)當(dāng)認(rèn)為在任何實(shí)際實(shí)施例的開發(fā)中，必須作出大量實(shí)施細(xì)節(jié)以實(shí)現(xiàn)開發(fā)者的特定目標(biāo)，例如按照有關(guān)系統(tǒng)或有關(guān)商業(yè)的限制，由一個(gè)實(shí)施例改變?yōu)榱硪粋€(gè)實(shí)施例。另外，應(yīng)當(dāng)認(rèn)為這種開發(fā)工作可能是復(fù)雜和耗費(fèi)時(shí)間的，但是對(duì)于本領(lǐng)域技術(shù)人員來說僅僅是常規(guī)工作。為使本實(shí)用新型的目的、特征更明顯易懂，
以下結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型的具體實(shí)施方式
作進(jìn)一步的說明。需說明的是，附圖均采用非常簡(jiǎn)化的形式且均使用非精準(zhǔn)的比率，僅用以方便、明晰地輔助說明本實(shí)用新型實(shí)施例的目的。實(shí)施例一請(qǐng)參閱圖2. 1，圖2. I是本實(shí)用新型實(shí)施例一的(立式)氣體處理裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。由圖2. I可見，這種氣體處理裝置，主要用于處理機(jī)臺(tái)尾氣，包括腔體I、過濾裝置2以及用于清洗所述過濾裝置2的噴水裝置4，所述腔體I設(shè)有尾氣進(jìn)氣口 11與尾氣排放口7，所述尾氣進(jìn)氣口 11可以設(shè)置于所述腔體I的一側(cè)下部或底部，所述尾氣排放口 7設(shè)置于所述腔體I的另一側(cè)上部或者頂部，本實(shí)施例中，所述尾氣進(jìn)氣口 11可以設(shè)置于所述腔體I的一側(cè)下部，所述尾氣排放口 7設(shè)置于所述腔體I的另一側(cè)上部，所述尾氣排放口 7用于連接廠務(wù)排風(fēng)系統(tǒng)(未圖示)，所述腔體I的底部設(shè)有排水口 10，所述過濾裝置2設(shè)于所述腔體I內(nèi)，所述噴水裝置4設(shè)置于所述過濾裝置2的外側(cè)，用于向所述過濾裝置2噴水，從尾氣進(jìn)氣口 11進(jìn)入腔體的尾氣經(jīng)過所述過濾裝置2后從尾氣排放口 7流出所述腔體。所述過濾裝置2包括水平設(shè)置于所述腔體I內(nèi)的過濾網(wǎng)9以及設(shè)于所述過濾網(wǎng)9上的若干過濾單元。所述氣體處理裝置還設(shè)有用于帶動(dòng)所述過濾單元螺旋上升翻滾的螺旋旋轉(zhuǎn)裝置3。所述氣體處理裝置是立式結(jié)構(gòu)，所述尾氣進(jìn)氣口 11與所述尾氣排放口 7不再同一水平位置上，分別設(shè)置于所述腔體I兩側(cè)的下部位置和上部位置。采用立式結(jié)構(gòu)可以減少占地面積。通過設(shè)置用于帶動(dòng)所述過濾單元螺旋上升翻滾的螺旋旋轉(zhuǎn)裝置3，從尾氣進(jìn)氣口11進(jìn)入腔體I的尾氣，在螺旋旋轉(zhuǎn)裝置3的旋轉(zhuǎn)帶動(dòng)下，會(huì)在過濾裝置2中螺旋式上升，一方面，可以增加尾氣在過濾裝置2中的流經(jīng)路徑，從而增加過濾裝置2過濾尾氣的有效面積，提高過濾裝置的過濾效率；另一方面，螺旋旋轉(zhuǎn)裝置3慢速旋轉(zhuǎn)，其轉(zhuǎn)速設(shè)置為一圈每分鐘，螺旋旋轉(zhuǎn)裝置3緩慢帶動(dòng)過濾單元旋轉(zhuǎn)上升翻滾，并通過噴水裝置4向流動(dòng)的過濾單元噴灑清洗液，可以起到依次清潔各個(gè)過濾單元的作 用，進(jìn)而可以防止裝置堵塞，從而提高過濾裝置的使用壽命。本實(shí)施例中，所述螺旋旋轉(zhuǎn)裝置3包括馬達(dá)6、旋轉(zhuǎn)軸5以及螺旋葉片8，所述螺旋葉片8以螺旋上升形式設(shè)置于所述旋轉(zhuǎn)軸5上，所述馬達(dá)6帶動(dòng)所述旋轉(zhuǎn)軸5轉(zhuǎn)動(dòng)，所述過濾單元填充于所述螺旋葉片8、過濾網(wǎng)9、腔體I內(nèi)壁以及旋轉(zhuǎn)軸5所隔成的空間內(nèi)，所述馬達(dá)6設(shè)置于所述腔體I的上方，所述旋轉(zhuǎn)軸5的主體位于所述腔體I的內(nèi)部，所述旋轉(zhuǎn)軸5的上端從所述腔體I的頂部伸出并與所述馬達(dá)6的輸出部連接。較佳的，在本實(shí)施例的氣體處理裝置中，所述噴水裝置4設(shè)置于所述腔體I的頂部，所述噴水裝置4具有若干具有向下霧狀噴水的噴口，所述噴口均勻布置于所述腔體I的頂部。本實(shí)施例中，所述噴口的數(shù)量是4個(gè)。將4個(gè)噴口均勻布置于所述腔體I的頂部，可以實(shí)現(xiàn)對(duì)過濾裝置2的全面、均勻清洗。較佳的，在本實(shí)施例的氣體處理裝置中，還包括除霧裝置12，所述除霧裝置12設(shè)置于所述噴水裝置4的上方，用于排除霧氣。較佳的，在本實(shí)施例的氣體處理裝置中，所述過濾單元的外徑比所述過濾網(wǎng)9的孔徑大。所述過濾網(wǎng)9采用金屬制成，呈網(wǎng)狀分布，所述過濾網(wǎng)9的孔徑是I. 5 2厘米。所述過濾單元是可以球狀體或方形體或橢球狀體。本實(shí)施例中，所述過濾單元采用球狀體，俗稱過濾球，所述過濾單元的材質(zhì)是塑料，所述過濾單元的直徑是2. 5 4厘米。經(jīng)多次實(shí)驗(yàn)證明，采用直徑范圍是2. 5 4厘米的過濾球，對(duì)尾氣的處理效果較好，處理效率較高。本實(shí)施例的氣體處理裝置的使用方法如下該實(shí)施例是以半導(dǎo)體生產(chǎn)使用情況加以說明，從半導(dǎo)體制造設(shè)備排放出來的有毒尾氣，經(jīng)氣體處理裝置的腔體I底部的尾氣進(jìn)氣口 11，進(jìn)入氣體處理裝置的腔體I內(nèi)，尾氣向上進(jìn)入過濾裝置2內(nèi)，由于馬達(dá)6帶動(dòng)旋轉(zhuǎn)軸5及其上的螺旋葉片8轉(zhuǎn)動(dòng)，當(dāng)尾氣進(jìn)入過濾裝置2后，會(huì)沿著螺旋旋轉(zhuǎn)裝置3的螺旋路徑螺旋上升式經(jīng)過過濾單元，當(dāng)噴水裝置4噴灑水霧后，尾氣的有毒成份會(huì)被過濾單元過濾掉，最后通過尾氣排放口 7進(jìn)入廠務(wù)排風(fēng)系統(tǒng)。由于尾氣在過濾裝置2中螺旋式上升，相比現(xiàn)有技術(shù)中尾氣在過濾裝置2中直線式上升，可以顯著增加尾氣流經(jīng)過濾裝置2的路徑，因而，可以增加尾氣和過濾單元的有效接觸面積，從而，提高過濾裝置2的過濾效率，即提高氣體處理裝置處理尾氣的效率；與此同時(shí)，螺旋旋轉(zhuǎn)裝置3的慢速旋轉(zhuǎn)，可以緩慢帶動(dòng)過濾單元旋轉(zhuǎn)上升翻滾，并通過噴水裝置4噴灑清洗翻滾的過濾單元，可以實(shí)現(xiàn)對(duì)各個(gè)過濾單元的清洗工作，防止過濾裝置2出現(xiàn)堵塞現(xiàn)象，從而提高該氣體處理裝置的使用壽命。實(shí)施例二請(qǐng)參閱圖2. 2，圖2. 2所示是本實(shí)用新型實(shí)施例二的(立式)氣體處理裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。由圖2. 2可見，本實(shí)施例的氣體處理裝置與實(shí)施例一的氣體處理裝置的區(qū)別在于所述尾氣進(jìn)氣口 11設(shè)置于所述腔體I的一側(cè)下部，所述尾氣排放口 7設(shè)置于所述腔體I的頂部，以適應(yīng)廠務(wù)排風(fēng)系統(tǒng)氣體處理的需要。實(shí)施例三請(qǐng)參閱圖2. 3，圖2. 3是本實(shí)用新型實(shí)施例三的(臥式)氣體處理裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。由圖2. 3可見，本實(shí)施例的氣體處理裝置與實(shí)施例一的氣體處理裝置的區(qū)別在于所述氣體處理裝置是臥式結(jié)構(gòu)，所述尾氣進(jìn)氣口 11與尾氣排放口 4分別位于所述腔體的兩側(cè)的中部位置，也就是說，所述尾氣進(jìn)氣口 11與所述尾氣排放口 7基本上處于同一水平位置上，并且所述噴水裝置4有兩組，設(shè)置于所述腔體I的頂部，每組噴水裝置4分別具有若干具有向所述過濾裝置進(jìn)行霧狀噴水的噴口，所述噴口分別均勻布置于所述腔體的頂部與，分別對(duì)過濾裝置2的上部進(jìn)行沖洗。本實(shí)施例的使用方法與實(shí)施例一基本相同，在此不再贅述。
本實(shí)施例相比實(shí)施例一，可以相對(duì)減少該裝置的所需的高度空間，以適應(yīng)不同的應(yīng)用場(chǎng)合。顯然，本領(lǐng)域的技術(shù)人員可以對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行各種改動(dòng)和變型而不脫離本實(shí)用新型的精神和范圍。這樣，倘若本實(shí)用新型的這些修改和變型屬于本實(shí)用新型權(quán)利要求及其等同技術(shù)的范圍之內(nèi)，則本實(shí)用新型也意圖包含這些改動(dòng)和變型在內(nèi)。
權(quán)利要求1.一種氣體處理裝置，用于處理尾氣，其特征在于，包括腔體、過濾裝置以及用于清洗所述過濾裝置的噴水裝置，所述腔體設(shè)有尾氣進(jìn)氣口與尾氣排放口，所述腔體的底部設(shè)有排水口，所述過濾裝置設(shè)于所述腔體內(nèi)，所述噴水裝置設(shè)置于所述過濾裝置的上方，所述過濾裝置包括過濾網(wǎng)以及設(shè)于所述過濾網(wǎng)上的若干過濾單元，所述氣體處理裝置還設(shè)有用于帶動(dòng)所述過濾單元螺旋上升翻滾的螺旋旋轉(zhuǎn)裝置。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的氣體處理裝置，其特征在于，所述螺旋旋轉(zhuǎn)裝置包括馬達(dá)、旋轉(zhuǎn)軸以及螺旋葉片，所述螺旋葉片以螺旋上升形式設(shè)置于所述旋轉(zhuǎn)軸上，所述馬達(dá)帶動(dòng)所述旋轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)動(dòng)，所述過濾單元填充于所述螺旋葉片、過濾網(wǎng)、腔體內(nèi)壁以及旋轉(zhuǎn)軸所隔成的空間內(nèi)。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的氣體處理裝置，其特征在于，所述馬達(dá)設(shè)置于所述腔體的上方，所述旋轉(zhuǎn)軸的主體位于所述腔體的內(nèi)部，所述旋轉(zhuǎn)軸的上端從所述腔體的頂部伸出并與所述馬達(dá)的輸出部連接。
4.根據(jù)權(quán)利要求I所述的氣體處理裝置，其特征在于，所述氣體處理裝置是立式結(jié)構(gòu)， 所述尾氣進(jìn)氣口設(shè)置于所述腔體的一側(cè)下部或底部，所述尾氣排放口設(shè)置于所述腔體的另一側(cè)上部或頂部。
5.根據(jù)權(quán)利要求I所述的氣體處理裝置，其特征在于，所述氣體處理裝置是臥式結(jié)構(gòu)，所述尾氣進(jìn)氣口與尾氣排放口分別位于所述腔體的兩側(cè)的中部位置。
6.根據(jù)權(quán)利要求I所述的氣體處理裝置，其特征在于，還包括除霧裝置，所述除霧裝置設(shè)置于所述噴水裝置的上方。
7.根據(jù)權(quán)利要求I所述的氣體處理裝置，其特征在于，所述噴水裝置具有若干具有向下霧狀噴水的噴口，所述噴口均勻布置于所述過濾裝置的上方。
8.根據(jù)權(quán)利要求I所述的氣體處理裝置，其特征在于，所述過濾網(wǎng)水平設(shè)置于所述腔體內(nèi)，所述過濾網(wǎng)采用金屬制成，呈網(wǎng)狀分布。
9.根據(jù)權(quán)利要求I所述的氣體處理裝置，其特征在于，所述過濾單元是球狀體或方形體或橢球狀體。
10.根據(jù)權(quán)利要求I 9中任意一項(xiàng)所述的氣體處理裝置，其特征在于，所述過濾單元的外徑比所述過濾網(wǎng)的孔徑大，所述過濾單元的外徑是2. 5 4厘米，所述過濾網(wǎng)的孔徑是I. 5 2厘米。
專利摘要本實(shí)用新型公開了一種氣體處理裝置，用于處理尾氣，包括腔體、過濾裝置以及用于清洗所述過濾裝置的噴水裝置，所述腔體設(shè)有尾氣進(jìn)氣口與尾氣排放口，腔體的底部設(shè)有排水口，噴水裝置和過濾裝置設(shè)于腔體內(nèi)，且噴水裝置設(shè)置于過濾裝置的上方，所述過濾裝置包括過濾網(wǎng)以及設(shè)于所述過濾網(wǎng)上的若干過濾單元，所述氣體處理裝置還設(shè)有用于帶動(dòng)所述過濾單元螺旋上升翻滾的螺旋旋轉(zhuǎn)裝置。通過設(shè)置螺旋旋轉(zhuǎn)裝置，一方面，可以增加尾氣經(jīng)過過濾裝置的路徑，從而增加尾氣和過濾單元的有效接觸面積，提高過濾效率，另一方面，通過螺旋旋轉(zhuǎn)裝置旋轉(zhuǎn)帶動(dòng)過濾單元上下翻滾以及噴水裝置的噴霧作用，可以起到清潔各個(gè)過濾單元作用，延長(zhǎng)裝置的使用壽命。
文檔編號(hào)B01D53/18GK202478747SQ201220089389
公開日2012年10月10日 申請(qǐng)日期2012年3月9日 優(yōu)先權(quán)日2012年3月9日
發(fā)明者錢剛, 陶金龍, 顧曉冬 申請(qǐng)人:上海集成電路研發(fā)中心有限公司