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多晶硅廢氣焚燒的分離除塵包裝系統(tǒng)的制作方法

文檔序號:5056775閱讀:240來源:國知局
專利名稱:多晶硅廢氣焚燒的分離除塵包裝系統(tǒng)的制作方法
技術領域
本發(fā)明關于一種分離除塵包裝系統(tǒng)的裝置,更具體地說,是關于應用于多晶硅廢氣焚燒的分離除塵包裝系統(tǒng)。
背景技術
多晶硅尾氣各主要成分的體積分數(shù)分別約為HC1 30%;H2 64. 2%;SiHCl3 5.4%; 其他0.2%。多晶硅尾氣均為可回收的產(chǎn)品或可循環(huán)使用的原料。對尾氣進行有效的治理, 不僅可以提高原料的利用率,還可以降低三廢的排放量。為了合理治理尾氣,必須根據(jù)尾氣的特性、成分、壓力等,選擇適當?shù)墓に嚵鞒毯图夹g條件。多晶硅生產(chǎn)中,對產(chǎn)生的廢氣進行處理,以前的處理方案和現(xiàn)在最新的工藝不同, 以前用堿性液體洗滌,現(xiàn)在采用高溫燃燒,被燃燒的物料為三氯氫硅,四氯化硅,二氯二氫硅,氫氣,氯化氫等,燃燒后產(chǎn)物固體為SiO2粉末,氣體部分為氯化氫等其它惰性氣體。需要將氣體中的SiA過濾并回收,氣體HCi要求絕對的潔凈,采用的設備目前是金屬燒結(jié)氈濾芯過濾器,經(jīng)過濾器過濾后的氣體非常干凈,但是被截留下來的SiO2由于過輕,形不成濾餅,無法反吹和卸料,基本漂浮在容器中,因此,造成設備很快又被堵塞,從而無法正常使用。當設備使用布袋時,也會因為布袋耐溫限制而造成燃燒危險,使得必須使用成本較高的金屬濾芯。生產(chǎn)中,經(jīng)過實際檢測的數(shù)據(jù)發(fā)現(xiàn)SiA粒徑小于1微米,分布于0. 3微米到1微米之間;其堆積密度為100kg/Nm3,非常輕;而工藝溫度為200°C到250°C間。目前,國內(nèi)一家采用濾芯,做了兩臺過濾器,1開1備。每3分鐘就反吹一次。堵的很厲害。濾芯很快就堵了,然后反吹,由于S^2太輕,反吹后都飄在容器中沒有形成足夠重的濾餅,不能分離出來, 當再投用時,結(jié)果漂浮的顆粒又被吸上,實際上大大加重了固體的負荷。開始使用1.5微米的濾芯,后來用3微米的濾芯。效果沒有改變。事實上,采用濾芯的精度不是問題,問題的關鍵是對如此輕浮的固體微粒如何卸料。本發(fā)明克服了現(xiàn)有技術不足,提供一種能分離和包裝極輕小顆粒,而且能連續(xù)運行的多晶硅廢氣焚燒分離除塵包裝系統(tǒng)。為了解決上述技術問題,本發(fā)明是通過以下技術方案實現(xiàn)的至少一個分離器和包裝機;一個或多個相互連結(jié)的分離器連接到料倉,料倉連接到包裝機。所述分離器為氣固分離器或是過濾器;所述分離器為分離室結(jié)構(gòu)或是并排連結(jié); 所述分離器為布袋式分離器;所述布袋式分離器含有三個或是三以上通管。本實驗新型還可以在所述分離器在連接到料倉前經(jīng)過緩沖罐;在所述分離器后面連接輸送器;所述料倉和包裝機連接到輔過濾器;所述輔過濾器連接到包裝風機,所述分離器前面有冷卻風機。由于采用上述技術方案,本發(fā)明提供的多晶硅廢氣焚燒分離除塵包裝系統(tǒng)具有這樣的有益效果,即可以在溫度超過分離組件抗溫時,降低危險。


下面結(jié)合附圖和實施例對本發(fā)明進一步說明。圖是本發(fā)明的實施例流程圖。圖中1.空氣加熱器,2.前分離器,3.三通管,4.主分離器,5.出料緩沖罐,6.料倉,7.包裝機,8.輔助過濾器,9.包裝風機。
具體實施例方式圖中一個(4)或多個相互連結(jié)(2)的分離器連接到料倉(6),料倉(6)連接到包裝機(7)。分離器( 、(4)在連接到料倉(6)前經(jīng)過緩沖罐( 。分離器( 、(4)后面連接輸送器。所述料倉(6)和包裝機(7)連接到輔助過濾器(8)。輔助過濾器(8)連接到包裝風機(7)。分離器O)、(4)為氣固分離器或是過濾器,為分離室結(jié)構(gòu)或者并排連結(jié),1開1 備,1臺在線使用,另1臺離線反吹,并備用,可含有三通管(3)。分離器O)、(4)和鍋爐出口之間有冷卻風機。所述氣固分離器為布袋式分離器。多晶硅自動反吹過濾器采用的是離線自動反吹方式,典型的用在多晶硅生產(chǎn)的還原爐尾氣和氫化爐尾氣雙筒自動反沖洗過濾器。主要除去氣體中所含微量硅粉。該裝置包括過濾器2臺,1開1備,1臺在線使用,另1臺離線反吹,并備用。由于SiA細粉粒徑及密度都較小,因此要嚴格控制過濾速度,才能使SiA細粉完全分離并沉降,在進行超聲波振蕩脫灰時,為防止揚塵,采取分室離線清灰的方式;根據(jù)白炭黑行業(yè)上的使用經(jīng)驗,過濾速度要控制在0. 4m/min以下,才能達到分離沉降的目的,此方式的缺點是使用金屬濾芯成本較尚ο來自廢熱鍋爐的焚燒氣體,進入分離器(4)進行SiO2顆粒的分離,分離下來的S^2 顆粒經(jīng)底部輸料器通過熱空氣送往料倉(6),溫度在220 250°C左右的含SW2煙氣從分離器( 上部出口出來進入主分離器(4)過濾,附著在濾袋上的SiO2粉末通過袋濾器行脈沖裝置振落并最終沉降在袋濾器錐體內(nèi),經(jīng)設置在袋濾器底部的輸料器通過熱空氣送往料倉(6),料倉(6)頂部設置輔助袋濾器(8)分離,廢氣排空,SiO2粉末回收進入料倉(6),經(jīng)包裝機(7)包裝。包裝(7)和輔助過濾器(8)通過包裝風機(9)保持適當?shù)恼婵斩?,以防止粉塵溢出。經(jīng)主分離器(4)分離出來的氯化氫等氣體去其他工序進一步處理?;谀壳盀V袋材料和制造工藝,聚四氟乙烯覆膜材料的濾袋能長期耐250°C使用, 但不能耐300°C以上的高溫;所以采取了兩個措施防止濾袋被高溫沖擊在鍋爐煙氣出口處設計了冷卻風,此冷空氣來自于助燃風機,通過溫控自動調(diào)節(jié)風量,以控制煙氣溫度穩(wěn)定在250°C左右;主分離器(4)設計了內(nèi)旁路系統(tǒng)(3),一旦溫度超過^0°C,通過盤式三通閥自動打開內(nèi)旁路,同時切斷主分離器G),煙氣通過三通管(3)直接進入水洗系統(tǒng)而不進入濾袋ο當焚燒氣溫度超過220°C時,冷卻風調(diào)節(jié)閥自動調(diào)節(jié)冷卻風量向分離器供風(2)、 G),進行降溫;當焚燒氣溫度超過260°C時,主分離器內(nèi)旁路自動啟動(3),含5102煙氣不通過濾袋而經(jīng)出口直接進入其他工序處理;當焚燒氣溫度超過280°C,且主分離器(4) 內(nèi)旁路(3)無法正常啟動時,焚燒系統(tǒng)聯(lián)鎖停車。
權利要求
1.一種多晶硅廢氣焚燒的分離除塵包裝系統(tǒng),包括分離器和包裝機,其特征在于至少一個分離器和包裝機;一個或多個相互連結(jié)的分離器連接到料倉,料倉連接到包裝機。
2.根據(jù)權利要求1所述的多晶硅廢氣焚燒的分離除塵包裝系統(tǒng),其特征在于所述分離器在連接到料倉前經(jīng)過緩沖罐。
3.根據(jù)權利要求1或2所述的多晶硅廢氣焚燒的分離除塵包裝系統(tǒng),其特征在于所述分離器后面連接輸送器。
4.根據(jù)權利要求1所述的多晶硅廢氣焚燒的分離除塵包裝系統(tǒng),其特征在于所述料倉和包裝機連接到輔助過濾器。
5.根據(jù)權利要求4所述的多晶硅廢氣焚燒的分離除塵包裝系統(tǒng),其特征在于所述輔助過濾器連接到包裝風機。
6.根據(jù)權利要求1所述的多晶硅廢氣焚燒的分離除塵包裝系統(tǒng),其特征在于所述分離器為氣固分離器或者過濾器。
7.根據(jù)權利要求1或6所述的多晶硅廢氣焚燒的分離除塵包裝系統(tǒng),其特征在于所述分離器為分離室結(jié)構(gòu)或者并排連結(jié)。
8.根據(jù)權利要求1或6所述的多晶硅廢氣焚燒的分離除塵包裝系統(tǒng),其特征在于所述分離器含有三通管。
9.根據(jù)權利要求1所述的多晶硅廢氣焚燒的分離除塵包裝系統(tǒng),其特征在于所述分離器前面有冷卻風機。
10.根據(jù)權利要求6所述的多晶硅廢氣焚燒的分離除塵包裝系統(tǒng),其特征在于所述氣固分離器為布袋式分離器。
全文摘要
一種能分離和包裝極輕小顆粒,而且能連續(xù)運行的多晶硅廢氣焚燒分離除塵包裝系統(tǒng)。至少一個分離器和包裝機;一個或多個相互連結(jié)的分離器連接到料倉,料倉連接到包裝機。本發(fā)明提供的多晶硅廢氣焚燒分離除塵包裝系統(tǒng)具有這樣的有益效果,即可以在溫度超過分離組件抗溫時,降低危險。
文檔編號B01D46/42GK102416280SQ20101051236
公開日2012年4月18日 申請日期2010年10月20日 優(yōu)先權日2010年9月27日
發(fā)明者孫保華, 李洪喜, 董智群, 顧元任 申請人:北京柯蘭富爾過濾技術有限公司
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