專利名稱：無機酸氣體的處理方法與裝置的制作方法
技術領域：
本發(fā)明是關于一種氣體處理方法與裝置，尤指一種適用于無機酸氣體的處理方法與裝置。
背景技術：
半導體產業(yè)由于使用大量無機酸(主要為鹽酸、氫氟酸、硫酸及硝酸)進行晶圓的酸洗或蝕刻，導致其制程所排放的廢氣與廢水含有無機酸，易產生環(huán)境污染。傳統上常使用填充式濕式洗滌塔進行無機酸氣體的移除，氣體洗滌過程中，大量洗滌液被循環(huán)噴灑于填充物上以產生氣液接觸移除無機酸氣的效果。雖然一般于填充式洗滌塔皆設有除霧器以去除洗滌尾氣的液滴，但仍難以避免有較微細的液滴隨氣流而被攜出。利用除霧器雖可擋除部分上述尾氣的液滴，但擋除的液滴易累積于除霧器上，長時間操作仍有微量無機酸蒸氣易因洗滌液本身或擋除的液滴接近氣液平衡而隨尾氣排出。
目前，半導體業(yè)者既設的無機酸濕式洗滌設備皆難以達到95％排放削減率的要求，因此在已有適用于濕式洗滌設備后高含水率排氣的排放管道無機酸氣檢測方法后，半導體產業(yè)制程低濃度無機酸排氣面臨嚴峻的環(huán)保壓力，也是其它高科技產業(yè)，如TFT-LCD液晶顯示器產業(yè)必須克服的環(huán)保問題。
對于這類含無機酸的排氣一般皆以添加堿液的水洗方式進行吸收或洗滌處理，雖然溶入液相中的氣相污染物(無機酸氣體)因迅速進行酸堿中和反應而形成離子態(tài)，不致構成氣相至液相間質傳的阻力(resistance ofmass transfer)。但由于半導體及光電制程排氣的無機酸污染物濃度并不高，氣相中質傳驅動力(濃度差)并不明顯，無法通過氣相主體與氣液界面間的濃度差產生較大的擴散質傳效應，因此，傳統上利用化學工程氣體吸收雙膜理論所設計的濕式洗滌塔，在處理低濃度(＜10ppmv，特別是＜5ppmv)的無機酸排氣時效率較差。
對于上述低濃度無機酸氣的處理目前并無較佳處理方式，檢視已發(fā)展用以避免上述濕式洗滌塔缺點的一些技術，如利用潮濕的活性碳吸附熱廢氣中的SO2與HCl，吸附于活性碳上的SO2將受其催化而轉化成H2SO4，再利用水將之洗出，洗出的H2SO4水溶液經濃縮后再重新注入于活性碳床將被吸附的HCl置換趕出，并由后置的濕式洗滌塔及堿性水溶液將之吸收洗除；此外，亦可在活性碳上注入堿金屬氫氧化物或碳酸鹽，于高溫下(120至160℃)烘干后使活性碳中的鉀濃度達到5.9～9.4％，才能對SO2及HCN有吸收能力；另外亦有技術提及含20～30wt％鈣的活性碳可去除煤氣中的含氯或含硫成份的氣體；然而，上述技術均未提及低濃度(＜10ppmv，特別是＜5ppmv)無機酸氣體的處理方式，與吸附能力耗竭后活性碳的再生方式。
在吸附劑再生利用的相關技術中，有一處理污水場中硫化氫廢氣的設備，是利用浸漬氫氧化鈉水溶液后的活性碳床做為吸附劑，吸附劑床的厚度3ft；然而，當活性碳床的吸附力耗竭時，需利用另一增設的備用活性碳床，輪流交替上線，同時以離線的方式進行活性碳床吸附力的再生；此必須離線才能進行再生的技術，不利于土地空間有限的地區(qū)使用，此外，由于該吸附劑床再生操作需費時五天至十五天，加上該處理方式的活性碳床僅能再生三至四次，再生次數有限，造成吸附劑的使用壽命短暫。
因此亟需提供一長期穩(wěn)定的無機酸氣處理方法及裝置，以解決半導體、光電產業(yè)處理低濃度無機酸排氣的困境。

發(fā)明內容
本發(fā)明是提供一種無機酸氣體的再生性除酸裝置，其裝置包括一具有一進氣口與一出氣口的槽體；至少一含有一吸附劑的吸附劑床體，是位于槽體內；至少一堿液供應單元，位于槽體內，并提供至少一堿液于該至少一吸附劑床體；以及至少一清洗液提供單元，位于槽體內并提供清洗該至少一吸附劑用的液體；其中，堿液供應單元是位于吸附劑床體與該進氣口之間。
本發(fā)明亦提供一種吸附劑的再生方法，包含以下步驟(a)以一清洗液清洗一吸附劑；以及(b)將一堿液霧化噴灑或浸泡吸附劑上。
本發(fā)明亦提供一種無機酸氣體的處理方法，包含以下步驟(a)將無機酸氣體與一霧化堿液形成一混合物，其中霧化堿液可連續(xù)性或間歇性產生；(b)將該混合物通過一具有吸附劑的床體，其中該吸附劑是經水清洗、堿液噴灑或浸泡處理；以及(c)排出處理過的氣體。
本發(fā)明更提供一種無機酸氣體的再生性除酸系統，是包括一具有復數個連接口的接管；以及復數個無機酸氣體的再生性除酸裝置。其中，每一再生性除酸裝置是包含一具有一進氣口與一出氣口的槽體；至少一吸附劑床體，是位于槽體內并含有一吸附劑；至少一堿液供應單元，是位于槽體內并提供至少一堿液于該至少一吸附劑床體；以及至少一清洗液提供單元，是位于槽體內并提供清洗該至少一吸附劑用的液體；其中，堿液供應單元位于吸附劑床體與進氣口之間；且每一槽體的進氣口是與接管之一連接口相連接。
本發(fā)明無機酸氣體的再生性除酸系統的應用領域不限，如現有的無機酸氣處理領域皆可應用；其中，本系統的接管亦可與現有處理無機酸氣的裝置，如濕式洗滌塔中無機酸氣體排放的管道相連結，以進一步進行低濃度無機酸氣體的處理，且其濕式洗滌塔可為任何現有的洗滌塔；較佳為文氏塔、氣液同向流、氣液逆向流、氣液交流的填充洗滌塔、噴霧塔或等效功能的洗滌塔。
本發(fā)明裝置及方法可處理任何濃度的無機酸氣體，甚至為低濃度的無機酸氣體，其較佳處理無機酸氣體的濃度低于約5ppmv以下，其處理效率高達95％以上。
本發(fā)明的再生性除酸系統可同時設置多組無機酸氣體的再生性處理裝置，所以吸附劑床可直接輪流在線再生，不需離線處理，而減少吸附劑耗竭更換的成本，及制程的整體作業(yè)時間與設備占用的空間。并可定時、分區(qū)噴灑、淋灑、浸泡清水或熱水以洗除酸堿中和產生的鹽類，如此更無需停俥更換耗竭的吸附劑，并可長時間維持穩(wěn)定的整體壓損，以及提供低濃度無機酸氣的高處理效率，解決光電及半導體產業(yè)利用傳統濕式洗滌塔無法有效處理無機酸排氣的環(huán)保壓力。
于本發(fā)明方法中適用的堿液可以是現有的任何一種堿液，較佳為氫氧化鉀水溶液、氫氧化鈉水溶液或其混合液；所使用的堿液濃度不限，其次佳的重量百分比濃度為5wt％以上，較佳為15wt％以上，更佳為25wt％以上，最佳為飽和濃度90％的堿液。其中，本發(fā)明堿液霧化而產生的微細液滴的直徑約小于2厘米，較佳為直徑小于500微米，更佳為直徑小于100微米，最佳為直徑小于50微米的液滴。
本發(fā)明中所使用的吸附劑床體可為現有的厚度，次佳吸附劑床體的厚度為1cm至60cm，較佳為2cm至45cm，最佳為2cm至30cm。
本發(fā)明可處理任何現有的無機酸排氣，其較佳的無機酸排氣為氫氟酸、氫氯酸、硝酸、硫酸、磷酸或前述兩者以上的混合等無機酸氣體。
本發(fā)明中適用于溶解鹽類結晶的用水可為任何現有的水，較佳為溫度在20℃以上的去離子水、逆滲透處理的純水、蒸餾水或自來水或前述兩者以上的混合溶液等。
本發(fā)明中所使用的吸附劑可為現有的吸附劑，較佳為選自圓柱狀活性碳、顆粒狀活性碳、破碎狀活性碳、活性碳纖維布、沸石吸附劑中或前述兩者以上的混合物等具有吸附性的物質。
本發(fā)明的再生性除酸裝置可視需要增設復數個功能性單元，以改善其功能，較佳為每個進氣口設有一閘門，于一清洗液單元清洗一吸附劑時關閉，避免污染。
本發(fā)明的吸附劑床體設置的方式不限，其較佳的設置為鋸齒型方式、中空甜甜圈狀圓柱體方式、或獨立片狀分離并聯方式；另外，噴灑再生用堿液所需的堿液供應單元的配置可為任何現有的配置，較佳為其對應于每一組吸附劑床設置一組堿液供應單元為佳。


圖1是本發(fā)明無機酸氣體的再生性除酸裝置的剖視圖；圖2是本發(fā)明無機酸氣體的再生性除酸系統的系統架構圖。
主要組件符號說明1堿液供應單元7清洗液提供單元2吸附劑床體 8出氣口3進氣口 9連接口4清洗液、堿液排放閥 10接管5槽體20再生性除酸裝置6閘門30酸氣排放來源具體實施方式
請參照圖1所示，本發(fā)明無機酸氣體的再生性除酸裝置20包括含一進氣口3與一出氣口8的槽體5；此槽體5內包含有堿液供應單元1、吸附劑床體2(較佳為活性碳的吸附劑床體)、清洗液提供單元7、與清洗液、堿液排放閥4。此堿液供應單元1位于進氣口3與吸附劑床體2之間，清洗液提供單元7可位于吸附劑床體2的上方、下方或側邊的任何位置，且堿液供應單元1與清洗液提供單元7可為同一裝置；進氣口3與出氣口8可皆有一可開關式閘門6，或僅進氣口3或出氣口8設有該可開關式閘門6，或將可開關式閘門6設置于任何可阻斷氣流經過吸附床體2的位置，以控制氣體進出之用。
本發(fā)明無機酸氣體的處理方法的實施，是依下列步驟進行當一無機酸氣體由進氣口3進入后，堿液供應單元1將堿液霧化而產生微細液滴(堿液的供應可為連續(xù)性或間歇性產生)，其霧化液滴可隨著無機酸氣體一同帶入中空甜甜圈狀圓柱體的吸附劑床體2中，無機酸氣體及其酸堿中和產生的鹽類結晶會被吸附于吸附劑床體2中，并由出氣口8排出已去除酸氣的氣體。
由于使用過一段時間的吸附劑床體2其上的堿液會被中和并帶有許多酸堿中和后的鹽類，久之將造成吸附效率下降，因此為使吸附劑床體2可延長其使用期限，可以水洗方式將吸附劑床體2的鹽類溶出，再以堿液噴灑或浸泡清洗后的吸附劑床體2，以達吸附劑床體2的再生，其具體的實施方法略述如下。
首先，將設置于進氣口3及該吸附劑床體2之間阻斷氣流的閘門6關閉，使該吸附劑床體2與其它無機酸氣體的處理裝置隔離；或直接利用清洗液提供單元7提供大量清洗用水，將欲進行鹽類結晶洗除的吸附劑床體2完全淹沒，如此可形成氣流通過的阻力隔絕氣流的通過，以避免廢氣進入。
當一特定吸附劑床體2進行鹽類結晶的溶解洗除時，將清洗液注入淹沒該特定吸附劑床體后，關閉清洗液提供單元，然后通過循環(huán)幫浦(圖中未顯示)于該吸附劑床體的兩側形成循環(huán)流動，于循環(huán)一段時間后(可為數分鐘至數十分鐘)汰換清洗液，而達到溶解洗除鹽類結晶的作用(亦可于清洗液排放后再次注入清洗液進行循環(huán)洗除，以達到更佳的洗除效果)；或通過由清洗液的連續(xù)注入、流穿過吸附劑床體而達到溶解洗除鹽類結晶的作用。在前后兩次進行溶解洗除鹽類結晶操作之間，至少以堿液供應單元1提供高濃度堿液的霧化液滴或以高濃度堿液直接浸泡吸附劑，以再生吸附劑一次。結束溶解洗除鹽類的操作后，其溶解有離子的水溶液，可利用處理后的尾氣將水溶液中的水份揮發(fā)帶走；或將水溶液分布于陽光曝曬或其它方式加熱的表面蒸發(fā)器，使該溶解有鹽類離子的溶液因水份蒸發(fā)、濃縮，減少廢水的排放量，或甚而析出鹽類結晶，達到無廢水排放的效果。
以上述方法洗除吸附劑床上的鹽類結晶后將清洗的廢水排出后，利用進氣口3后裝設的堿液供應單元1，定時定量將一高濃度的堿液霧化，提供于吸附劑床體2，使該吸附劑床體2進入吸附處理的狀態(tài)，再重新開啟阻斷氣流的閘門6，使含無機酸氣的氣體流鞥吸附劑床后，將處理完的氣體由出氣口8帶出。
本發(fā)明的更一具體實施例為低濃度無機酸氣體的除酸系統，參考圖2所示，其中酸氣排放來源30可為工廠排放酸氣的管道、機械作動完所產生的酸氣排放管或處理酸氣的裝置，于本實施例中為濕式洗滌塔。在濕式洗滌塔后連接一具有復數個連接口9的接管10，并且在每個連接口后，相連一組再生性除酸裝置20，以過濾吸附濕式洗滌塔的尾氣。并在吸附劑床體2前配置的堿液供應單元1，將堿液水溶液細霧化，使其隨欲處理的洗滌塔尾氣帶入吸附劑床體2，以再生吸附劑，維持低濃度無機酸氣的處理效率。
以下為本發(fā)明利用無機酸氣體的再生性除酸系統進行測試的實施說明。
實施例1將重量約4.08kg、直徑0.5cm、長度約1cm的圓柱狀活性碳經完全浸泡于3N的KOH水溶液4小時后，取出瀝除KOH水溶液并自然風干后，填充于活性碳吸附劑床體中，填充厚度約15cm，通以2m3/min含低濃度HCl的氣體，開始進行無機酸氣體處理系統的操作。
經持續(xù)操作48小時后，以環(huán)保署公告的『排放管道氫氟酸、鹽酸、硝酸、磷酸及硫酸檢測方法-等速吸引法』，進行處理前后廢氣濃度的采樣分析，可得處理前后廢氣中HCl的濃度分別為27.0mg/Nm3(16.6ppm)及0.231mg/Nm3(0.142ppm)，低濃度HCl廢氣的處理效率可達99.1％。
實施例2將重量約4.08kg、直徑0.5cm、長度約1cm的圓柱狀活性碳經完全浸泡于3N的KOH水溶液4小時后，取出瀝除KOH水溶液并自然風干后，填充于活性碳吸附劑床體中，填充厚度約15cm，通以2m3/min含低濃度HCl的氣體，開始進行無機酸氣體處理系統的操作。經持續(xù)操作15小時后，以環(huán)保署公告的『排放管道氫氟酸、鹽酸、硝酸、磷酸及硫酸檢測方法-等速吸引法』，進行處理前后廢氣濃度的采樣分析，可得處理前后廢氣中HCl的濃度分別為2.07mg/Nm3(1.271ppm)及0.0635mg/Nm3(0.039ppm)，低濃度HCl廢氣的處理效率可達96.9％。
實施例3將重量約4.08kg、直徑0.5cm、長度約1cm的圓柱狀活性碳經完全浸泡于3N的KOH水溶液4小時后，取出瀝除KOH水溶液并陰干后，填充于活性碳吸附劑床體中，填充厚度約15cm，通以4.5m3/min含低濃度HCl的氣體，開始進行無機酸氣體處理系統的操作。
經持續(xù)操作15小時后，以環(huán)保署公告的『排放管道氫氟酸、鹽酸、硝酸、磷酸及硫酸檢測方法-等速吸引法』，進行處理前后廢氣濃度的采樣分析，可得處理前后廢氣中HCl的濃度分別為0.245mg/Nm3(150ppb)及0.0205mg/Nm3(13ppb)，低濃度HCl廢氣的處理效率可達91.6％。
實施例4將重量約3.40kg、直徑0.5cm、長度約1cm的圓柱狀活性碳經完全浸泡于3N的KOH水溶液4小時后，取出瀝除KOH水溶液并陰干后，填充于活性碳吸附劑床體中，填充厚度約12.5cm，通以4.5m3/min含低濃度HCl的氣體，開始進行無機酸氣體處理系統的操作。
經持續(xù)操作8小時后，以環(huán)保署公告的『排放管道氫氟酸、鹽酸、硝酸、磷酸及硫酸檢測方法-等速吸引法』，進行處理前后廢氣濃度的采樣分析，可得處理前后廢氣中HCl的濃度分別為0.920mg/Nm3(565ppb)及0.0381mg/Nm3(23ppb)，低濃度HCl廢氣的處理效率可達95.9％。
實施例5將重量約3.40kg、直徑0.5cm、長度約1cm的圓柱狀活性碳經完全浸泡于6N的KOH水溶液4小時后，取出瀝除KOH水溶液并陰干后，填充于低濃度無機酸氣處理的測試設備中，填充厚度約12.5cm，通以3.5m3/min含低濃度HCl的氣體。
經持續(xù)操作13小時后，以環(huán)保署公告的『排放管道氫氟酸、鹽酸、硝酸、磷酸及硫酸檢測方法-等速吸引法』，進行處理前后廢氣濃度的采樣分析，可得處理前后廢氣中HCl的濃度分別為0.715mg/Nm3(439ppb)及0.021mg/Nm3(13ppb)，低濃度HCl廢氣的處理效率可達97.1％。
實施例6將重量約3.40kg、直徑0.5cm、長度約1cm的圓柱狀活性碳經完全浸泡于6N的KOH水溶液4小時后，取出瀝除KOH水溶液并陰干后，填充于活性碳吸附劑床體中，填充厚度約12.5cm，通以3.5m3/min含低濃度HCl的氣體。
經持續(xù)操作4小時后，以環(huán)保署公告的『排放管道氫氟酸、鹽酸、硝酸、磷酸及硫酸檢測方法-等速吸引法』，進行處理前后廢氣濃度的采樣分析，可得處理前后廢氣中HCl的濃度分別為8.550mg/Nm3(5,250ppb)及0.201mg/Nm3(123ppb)，低濃度HCl廢氣的處理效率可達97.6％。
實施例7將重量約120克、直徑0.5cm、長度約1cm的圓柱狀活性碳經完全浸泡于3N的KOH水溶液4小時后，取出瀝除KOH水溶液并自然風干后，分別填充于兩組活性碳吸附劑床體中，填充厚度約2.5cm，通以300LPM含低濃度HCl的氣體(經利用HCl檢知管測得的濃度約2～3ppmv、標準抽氣量為100mL)，利用刻度為1ppmv的HCl檢知管，每隔0.25小時進行處理后廢氣中HCl濃度的量測，當同一檢知管抽氣五次(抽氣量為500mL)，于檢知管進氣端發(fā)生顏色變化時，將其認定已貫穿，此時處理后廢氣中HCl濃度約為0.02ppmv。
貫穿后的活性碳經利用清水洗除吸附濾除的HCl后，再噴灑10～15mL、3N的KOH水溶液于圓柱狀活性碳床上，然后重新通以300LPM含低濃度HCl的氣體，再以檢知管持續(xù)每隔0.25小時進行處理后廢氣中HCl濃度的量測，直至活性碳床再次貫穿。如此反復進行(1)通氣吸附濾除，(2)貫穿失效、洗除吸附的HCl，(3)噴灑堿液再生吸附能力，(4)重新通氣濾除吸附等測試步驟，經反復六次的測試皆能于重新噴灑堿液后達到濾除廢氣中低濃度HCl的功用(測量結果整理于表1)。
貫穿后的活性碳分別以25℃去離子水進行持續(xù)1小時的循環(huán)洗滌，洗滌后水樣經利用離子分析儀分析，可測得洗滌后水樣中的氯離子濃度分別為1,040ppm(mg/L)、1,110ppm(mg/L)、1,210ppm(mg/L)、1,350ppm(mg/L)及1,640ppm(mg/L)，其中對第五次測試后的活性碳除采取洗滌1小時后的水樣進行分析外，并持續(xù)循環(huán)洗滌2小時及3小時，經采樣分析，其水中氯離子濃度分別為506ppm(mg/L)及164ppm(mg/L)。驗證利用清水清洗及重新噴灑高濃度堿液確實可將吸附已貫穿的活性碳再生。

實施例8將重量約240克、直徑0.5cm、長度約1cm的圓柱狀活性碳經完全浸泡于3N的KOH水溶液4小時后，取出瀝除KOH水溶液并自然風干后，分別填充于兩組活性碳吸附劑床體中，填充厚度約5.0cm，分別通以300LPM含低濃度HCl的氣體(利用檢知管測得的濃度約2～3ppmv、標準抽氣量為100mL)。
重復兩組各兩次實驗，并將貫穿后的活性碳分別以500mL的25℃及50℃的去離子水進行持續(xù)1小時的循環(huán)洗滌，洗滌后水樣經利用離子分析儀分析，可測得利用25℃水洗滌后水樣中氯離子濃度分別為1,880ppm(mg/L)及2,160ppm(mg/L)，而利用50℃水洗滌后水樣中氯離子濃度分別為2,330ppm(mg/L)及3,360ppm(mg/L)，因此可知利用熱水清洗可得到較佳的洗滌再生效果。
實施例9將重量約120克、直徑0.5cm、長度約1cm的圓柱狀活性碳經完全浸泡于6N的KOH水溶液4小時后，取出瀝除KOH水溶液并自然風干后，填充于兩組活性碳吸附劑床體中，填充厚度各約2.5cm，分別通以300LPM含低濃度HCl的氣體(經利用HCl檢知管測得的濃度范圍約在1.5～3.5ppmv、標準抽氣量為100mL)，利用刻度為1ppmv的HCl檢知管，每隔0.25小時進行處理后廢氣中HCl濃度的量測，當同一檢知管抽氣五次(抽氣量為500mL)，于檢知管進氣端發(fā)生顏色變化時，將其認定已貫穿，此時處理后廢氣中HCl濃度估計約為0.02ppmv。
貫穿后的活性碳，重新噴灑25～30mL、6N的KOH水溶液于圓柱狀活性碳床上，然后再次通以300LPM含低濃度HCl的氣體，以檢知管持續(xù)每隔0.25小時進行處理后廢氣中HCl濃度的量測，直至活性碳床再次貫穿。如此反復進行(1)通氣吸附濾除，(2)吸附貫穿失效，(3)噴灑堿液再生吸附能力，(4)重新通氣濾除吸附等循環(huán)測試步驟，經反復五次(一個循環(huán))的測試后，通入50℃熱水浸泡活性碳床并循環(huán)洗滌1小時以洗除吸附濾除的HCl，排出洗滌液后于活性碳床中注入6N的KOH水溶液，重新浸泡堿液再生，再次反復進行五次的(1)通氣吸附濾除，(2)吸附貫穿失效，(3)噴灑堿液再生吸附能力，(4)重新通氣濾除吸附等循環(huán)測試步驟，經過三個循環(huán)合計15次的再生測試后，皆能于在線經重新噴灑堿液(或經熱水洗除吸附的HCl，并浸泡堿液)再生后達到濾除廢氣中低濃度HCl的功用(測量結果整理于表2)，且經多次反復再生后吸附能力并未有明顯衰竭情形產生。驗證利用50℃熱水清洗及重新噴灑或浸泡高濃度堿液，配合多吸附劑床體的設計，確實可于在線將吸附已貫穿的活性碳再生而反復使用，達到穩(wěn)定有效處理低濃度無機酸氣的功效。

因此，利用本發(fā)明無機酸氣處理設備進行此一無機酸氣處理方式的測試驗證，確認對于低濃度(＜5ppm)氫氯酸氣體可達到良好的去除效果且在長時間的操作下亦可維持系統的穩(wěn)定性?？捎行Ы鉀Q傳統濕式洗滌塔無法有效處理半導體業(yè)低濃度(特別是＜5ppmv)無機酸氣的困境。
上述實施例僅是為了方便說明而舉例而已，本發(fā)明所主張的權利范圍自應以申請專利范圍所述為準，而非僅限于上述實施例。
權利要求
1.一種無機酸氣處理用吸附劑的再生方法，其特征在于，包含以下步驟(a)以一清洗液清洗一吸附劑；以及(b)將一堿液霧化噴灑或浸泡該吸附劑上。
2.如權利要求1所述的再生方法，其特征在于，所述該清洗液為去離子水、逆滲透處理的純水、蒸餾水、自來水或前述兩者以上的混合水溶液。
3.如權利要求1所述的再生方法，其特征在于，所述該堿液為氫氧化鉀、氫氧化鈉水溶液或其混合液。
4.如權利要求1所述的再生方法，其特征在于，所述該吸附劑是圓柱狀活性碳、顆粒狀活性碳、破碎狀活性碳、活性碳纖維布、沸石吸附劑或前述兩者以上混合物。
5.一種無機酸氣體的再生性除酸裝置，其特征在于，裝置包括一具有一進氣口與一出氣口的槽體；至少一吸附劑床體，是位于該槽體內并含有至少一吸附劑；至少一堿液供應單元，是位于該槽體內并提供一堿液于該至少一吸附劑床體；以及至少一清洗液提供單元，是位于該槽體內并提供清洗該至少一吸附劑用的液體；其中，該至少一堿液供應單元是位于該至少一吸附劑床體與該進氣口之間。
6.如權利要求5所述的再生性除酸裝置，其特征在于，所述該堿液為氫氧化鉀水溶液、氫氧化鈉水溶液或其混合液。
7.如權利要求5所述的再生性除酸裝置，其特征在于，所述該至少一吸附劑為圓柱狀活性碳、顆粒狀活性碳、破碎狀活性碳、活性碳纖維布、沸石吸附劑其中或前述兩者以上的混合。
8.如權利要求5所述的再生性除酸裝置，其特征在于，所述該至少一吸附劑床體的厚度以1cm至60cm為佳。
9.如權利要求5所述的再生性除酸裝置，其特征在于，所述該清洗液提供裝置是提供去離子水、逆滲透處理的純水、蒸餾水、自來水或前述兩者以上的混合液。
10.如權利要求5所述的再生性除酸裝置，其特征在于，所述該進氣口包含一閘門，是關閉于該清洗液單元清洗該吸附劑時。
11.如權利要求5所述的再生性除酸裝置，其特征在于，更包含一位于該進氣口與該吸附劑床體之間的閘門，以于該清洗液單元清洗該吸附劑時關閉。
12.一種無機酸氣體的再生性除酸系統，其特征在于，是包括一具有復數個連接口的接管；以及復數個無機酸氣體的再生性除酸裝置，每一再生性除酸裝置是包含一具有一進氣口與一出氣口的槽體；至少一吸附劑床體，是位于該槽體內并含有至少一吸附劑；至少一堿液供應單元，是位于該槽體內并提供一堿液于該至少一吸附劑床體；以及至少一清洗液提供單元，是位于該槽體內并提供清洗該至少一吸附劑用的液體；其中，該堿液供應單元是位于該至少一吸附劑床體與該進氣口之間；且每一槽體的進氣口與該接管的一連接口相連接。
13.如權利要求11所述的再生性除酸裝置，其特征在于，所述該堿液為氫氧化鉀水溶液、氫氧化鈉水溶液或其混合液。
14.如權利要求11所述的再生性除酸裝置，其特征在于，所述該至少一吸附劑為圓柱狀活性碳、顆粒狀活性碳、破碎狀活性碳、活性碳纖維布、沸石吸附劑其中或前述兩者以上的混合。
15.如權利要求11所述的再生性除酸裝置，其特征在于，所述該進氣口包含一閘門，是關閉于該清洗液單元清洗該吸附劑時。
16.一種無機酸氣體的處理方法，其特征在于，包含以下步驟(a)將該無機酸氣體與一霧化堿液形成一混合物，其中霧化堿液可連續(xù)性或間歇性產生；(b)將該混合物通過一具有吸附劑的床體，其中該吸附劑是經水清洗、堿液噴灑或浸泡處理；以及(c)排出處理過的氣體。
17.如權利要求15所述的處理方法，其特征在于，更包括(d)重復步驟(b)將該混合物通過具有該吸附劑的該床體，其中該吸附劑是經水清洗、堿液噴灑或浸泡處理，與(c)排出處理過的氣體；以及(e)以一清洗液清洗該吸附劑并且將一堿液霧化噴灑或浸泡該吸附劑上。
18.如權利要求15所述的處理方法，其特征在于，所述該無機酸氣為氫氟酸、氫氯酸、硝酸、硫酸、磷酸或前述兩者以上的混合。
19.如專利申請范圍第15項所述的處理方法，其特征在于，所述該堿液為氫氧化鉀水溶液、氫氧化鈉水溶液或其混合液。
20.如權利要求15所述的處理方法，其特征在于，所述該吸附劑為圓柱狀活性碳、顆粒狀活性碳、破碎狀活性碳、活性碳纖維布、沸石吸附劑或前述兩者以上的混合。
全文摘要
本發(fā)明是關于一種無機酸氣體的處理方法與裝置，其方法步驟包括(a)將無機酸氣體與一霧化堿液形成一混合物，其中霧化堿液可連續(xù)性或間歇性產生；(b)將混合物通過一具有吸附劑的床體，其中吸附劑可經水清洗、堿液噴灑或浸泡處理；以及(c)排出處理過的氣體；本發(fā)明的再生性除酸系統可同時設置多組無機酸氣體的再生性處理裝置，所以每組吸附劑床可直接線上再生，而減少吸附劑吸附耗竭更換的成本、制程作業(yè)時間與設備占用空間；本發(fā)明對無機酸氣體處理進行測試，諸如氫氯酸氣體可達到良好的去除效果，長時間操作亦可維持系統的穩(wěn)定性。
文檔編號B01D53/78GK1775343SQ20041009260
公開日2006年5月24日 申請日期2004年11月15日 優(yōu)先權日2004年11月15日
發(fā)明者沈克鵬, 王麗婷 申請人:財團法人工業(yè)技術研究院