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毛細管放電z箍縮極紫外光刻光源光路中雜質(zhì)過濾裝置的制造方法

文檔序號:10981290閱讀:344來源:國知局
毛細管放電z箍縮極紫外光刻光源光路中雜質(zhì)過濾裝置的制造方法
【專利摘要】毛細管放電Z箍縮極紫外光刻光源光路中雜質(zhì)過濾裝置,涉及雜質(zhì)過濾技術(shù),為了滿足極紫外光刻光源光路中雜質(zhì)過濾的需求。金屬箔片冷阱包括多層金屬箔片,每層金屬箔片均為圓錐面,多層金屬箔片與極紫外光刻光源同軸且依次嵌套,空心支撐管位于金屬箔片冷阱的軸線上,支撐條的一端固定在空心支撐管的一端,空心支撐管的另一端固定在收集鏡支架上,多根支撐條以空心支撐管為中心,呈放射狀均勻分布,金屬箔片的一端固定在支撐條的側(cè)部,噴氣裝置位于毛細管與金屬箔片冷阱之間,噴氣裝置的噴氣方向與極紫外光刻光源的中心軸垂直。本實用新型能清除光路中的雜質(zhì),保證了光學收集鏡不受污染,適用于過濾紫外光刻光源光路中的雜質(zhì)。
【專利說明】
毛細管放電Z箍縮極紫外光刻光源光路中雜質(zhì)過濾裝置
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本實用新型涉及雜質(zhì)過濾技術(shù),具體涉及極紫外光刻光源光路中雜質(zhì)的過濾技術(shù)。
【背景技術(shù)】
[0002]在高純度陶瓷毛細管大電流快脈放電中,通過Z箍縮,工作介質(zhì)氙氣(Xe)高價電離出Xelt3+,其復(fù)合退激發(fā)過程將輻射極紫外光,其輻射的13.5nm極紫外光就可做為極紫外光刻的光源。
[0003]但是在毛細管放電過程中,伴隨著碎肩的雜質(zhì)產(chǎn)生,通過電鏡觀察得到的毛細管內(nèi)表面的圖像可以看出,在毛細管內(nèi)表面附著大量的白色點狀物,通過對內(nèi)表面沉積的物質(zhì)測到的質(zhì)譜圖,對質(zhì)譜圖重構(gòu),可知它們都是銅、鋅、硅、鋁等物質(zhì)的特征譜,這說明毛細管放電過程中,毛細管兩端的電極和陶瓷毛細管,都有相當數(shù)量的碎肩噴射出來,這些碎肩一旦投射到后續(xù)的光學收集鏡上,對昂貴的收集鏡的污染會是十分嚴重的,所以在收集鏡前一定要設(shè)置一雜質(zhì)過濾裝置。
【實用新型內(nèi)容】
[0004]本實用新型是為了滿足極紫外光刻光源光路中雜質(zhì)過濾的需求,從而提供毛細管放電Z箍縮極紫外光刻光源光路中雜質(zhì)過濾裝置。
[0005]本實用新型所述的毛細管放電Z箍縮極紫外光刻光源光路中雜質(zhì)過濾裝置,包括噴氣裝置、金屬箔片冷阱、多根支撐條和空心支撐管;
[0006]金屬箔片冷阱包括多層金屬箔片,每層金屬箔片均為圓錐面,多層金屬箔片與極紫外光刻光源同軸且依次嵌套,多層金屬箔片的小口徑端的開口朝向毛細管,空心支撐管位于金屬箔片冷阱的軸線上,支撐條的一端固定在空心支撐管的一端,空心支撐管的另一端固定在收集鏡支架上,多根支撐條以空心支撐管為中心,呈放射狀均勻分布,金屬箔片的一端固定在支撐條的側(cè)部,噴氣裝置位于毛細管與金屬箔片冷阱之間,噴氣裝置的噴氣方向與極紫外光刻光源的中心軸垂直。
[0007]本實用新型的雜質(zhì)過濾裝置,是為了清除極紫外光出射光路中夾雜的毛細管放電電極、陶瓷毛細管本身在大電流快脈沖、高重頻放電過程中噴射的極微小的碎肩狀雜質(zhì),在毛細管出口處,設(shè)置一噴氣裝置,工作時氣體通過噴氣裝置的氣嘴出射氣體,氣流將以某種流量吹偏光路中有一定質(zhì)量的雜質(zhì)碎肩,使之偏離光路的光軸方向,這些碎肩雜質(zhì)物,將附著到雜質(zhì)過濾裝置上,做到通過雜質(zhì)過濾裝置后的極紫外光中,清除了有害的雜質(zhì)成份,保證了光學收集鏡不受污染。
[0008]本實用新型適用于過濾紫外光刻光源光路中的雜質(zhì)。
【附圖說明】
[0009]圖1是【背景技術(shù)】中的電鏡觀察到的毛細管內(nèi)表面的圖像;
[0010]圖2是【具體實施方式】一所述的毛細管放電Z箍縮極紫外光刻光源光路中雜質(zhì)過濾裝置在應(yīng)用系統(tǒng)中的示意圖;
[0011]圖3是【具體實施方式】一所述的毛細管放電Z箍縮極紫外光刻光源光路中雜質(zhì)過濾裝置的結(jié)構(gòu)示意圖;
[0012]圖4是圖3的左視圖。
【具體實施方式】
[0013]【具體實施方式】一:參照圖2至圖4具體說明本實施方式,本實施方式所述的毛細管放電Z箍縮極紫外光刻光源光路中雜質(zhì)過濾裝置,包括噴氣裝置1、金屬箔片冷阱2、多根支撐條3和空心支撐管4;
[0014]金屬箔片冷阱2包括多層金屬箔片,每層金屬箔片均為圓錐面,多層金屬箔片與極紫外光刻光源同軸且依次嵌套,多層金屬箔片的小口徑端的開口朝向毛細管5,空心支撐管4位于金屬箔片冷阱2的軸線上,支撐條3的一端固定在空心支撐管4的一端,空心支撐管4的另一端固定在收集鏡支架7上,多根支撐條3以空心支撐管4為中心,呈放射狀均勻分布,金屬箔片的一端固定在支撐條3的側(cè)部,噴氣裝置I位于毛細管5與金屬箔片冷阱2之間,噴氣裝置I的噴氣方向與極紫外光刻光源的中心軸垂直。
[0015]【具體實施方式】二:本實施方式是對【具體實施方式】一所述的毛細管放電Z箍縮極紫外光刻光源光路中雜質(zhì)過濾裝置作進一步說明,本實施方式中,所述空心支撐管4的外徑為30mm,壁厚 6mm。
[0016]【具體實施方式】三:本實施方式是對【具體實施方式】一或二所述的毛細管放電Z箍縮極紫外光刻光源光路中雜質(zhì)過濾裝置作進一步說明,本實施方式中,金屬箔片的厚度均為
0.5mm ο
[0017]該雜質(zhì)過濾裝置,與其后緊接著的極紫外光收集系統(tǒng)匹配,極紫外光收集系統(tǒng)是一個多層(通常8-10層)雙非球面面型(橢圓面型加雙曲面面型)的薄殼的收集鏡片6組成的。所以雜質(zhì)過濾裝置應(yīng)是一種多層的,層數(shù)與光學收集鏡系統(tǒng)一致,故這一裝置是從口徑小到口徑大,一層層套裝的組合。甚薄的錐筒式金屬箔片冷阱,它的壁厚應(yīng)小于收集鏡片6的壁厚,收集鏡通常壁厚2mm,雜質(zhì)過濾裝置每層錐筒式金屬箔片的厚度應(yīng)小于3mm,本實施方式取0.5mm的金屬金屬箔片。
[0018]【具體實施方式】四:本實施方式是對【具體實施方式】一或二所述的毛細管放電Z箍縮極紫外光刻光源光路中雜質(zhì)過濾裝置作進一步說明,本實施方式中,支撐條3為四根。
[0019]【具體實施方式】五:本實施方式是對【具體實施方式】一或二所述的毛細管放電Z箍縮極紫外光刻光源光路中雜質(zhì)過濾裝置作進一步說明,本實施方式中,最外層金屬箔片的圓錐角α為60°,最內(nèi)層金屬箔片的圓錐角β為22.1022°。
[0020]錐筒式雜質(zhì)過濾裝置,在錐筒小口徑端,錐筒的張角需充分覆蓋毛細管中極紫外光出射的出射角方向,即與面對毛細管出口方向極紫外光收集角覆蓋的空間相匹配,大口徑端一一對應(yīng)光學收集鏡,這樣一個精細設(shè)計,確保毛細管極紫外光通過雜質(zhì)過濾裝置,不會減少空間收集效率。
【主權(quán)項】
1.毛細管放電Z箍縮極紫外光刻光源光路中雜質(zhì)過濾裝置,其特征在于,包括噴氣裝置(I)、金屬箔片冷阱(2)、多根支撐條(3)和空心支撐管(4);金屬箔片冷阱(2)包括多層金屬箔片,每層金屬箔片均為圓錐面,多層金屬箔片與極紫外光刻光源同軸且依次嵌套,多層金屬箔片的小口徑端的開口朝向毛細管(5),空心支撐管(4)位于金屬箔片冷阱(2)的軸線上,支撐條(3)的一端固定在空心支撐管(4)的一端,空心支撐管(4)的另一端固定在收集鏡支架(7)上,多根支撐條(3)以空心支撐管(4)為中心,呈放射狀均勻分布,金屬箔片的一端固定在支撐條(3)的側(cè)部,噴氣裝置(I)位于毛細管(5)與金屬箔片冷阱(2)之間,噴氣裝置(I)的噴氣方向與極紫外光刻光源的中心軸垂直。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的毛細管放電Z箍縮極紫外光刻光源光路中雜質(zhì)過濾裝置,其特征在于,所述空心支撐管(4)的外徑為30mm,壁厚6_。3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的毛細管放電Z箍縮極紫外光刻光源光路中雜質(zhì)過濾裝置,其特征在于,金屬箔片的厚度均為0.5mm。4.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的毛細管放電Z箍縮極紫外光刻光源光路中雜質(zhì)過濾裝置,其特征在于,支撐條(3)為四根。5.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的毛細管放電Z箍縮極紫外光刻光源光路中雜質(zhì)過濾裝置,其特征在于,最外層金屬箔片的圓錐角α為60°,最內(nèi)層金屬箔片的圓錐角β為22.1022°。
【文檔編號】B08B5/02GK205673292SQ201620569387
【公開日】2016年11月9日
【申請日】2016年6月13日 公開號201620569387.7, CN 201620569387, CN 205673292 U, CN 205673292U, CN-U-205673292, CN201620569387, CN201620569387.7, CN205673292 U, CN205673292U
【發(fā)明人】趙永蓬, 徐強, 王騏
【申請人】哈爾濱工業(yè)大學
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