本技術涉及晶圓清洗，特別涉及一種用于晶圓的超聲波清洗設備。

背景技術：

1、超聲波清洗是利用超聲波在液體中的空化作用、加速度作用及直進流作用對液體和污物直接、間接的作用，使污物層被分散、乳化、剝離而達到清洗目的，目前所用的超聲波清洗機中，空化作用和直進流作用應用得更多，超聲波的傳播要依靠彈性介質，其傳播時,使彈性介質中的粒子振蕩,并通過介質按超聲波的傳播方向傳遞能量,這種波可分為縱向波和橫向波。

2、但是上述結構在使用時的一種用于晶圓的超聲波清洗設備在清洗時，由于晶圓材料的特殊性，放置后不夠穩(wěn)定，在清洗時難免相互碰撞相互影響，這樣會降低清洗的效率，同時在放置后，接觸面積過大，會導致清洗時不夠均勻，會提高清洗的時間。

技術實現(xiàn)思路

1、本實用新型的目的在于至少解決現(xiàn)有技術中存在的技術問題之一，提供一種用于晶圓的超聲波清洗設備在清洗時，由于晶圓材料的特殊性，放置后不夠穩(wěn)定，在清洗時難免相互碰撞相互影響，這樣會降低清洗的效率，同時在放置后，接觸面積過大，會導致清洗時不夠均勻，會提高清洗的時間。

2、為實現(xiàn)上述目的，提供一種用于晶圓的超聲波清洗設備，包括超聲波清洗主體，所述超聲波清洗主體內部安裝有放置板，且放置板頂端活動套接有轉桿，所述轉桿底端安裝有第一錐齒輪，且第一錐齒輪表面嚙合連接有第二錐齒輪，所述第二錐齒輪安裝在螺桿外壁，且螺桿表面螺紋連接有活動塊，所述活動塊頂端活動連接有連接塊，且連接塊頂端固定連接有支撐桿，所述支撐桿頂端固定連接有支撐塊。

3、將晶圓放置在放置板上，在擰動轉桿進行轉動，帶動第一錐齒輪進行轉動，通過第一錐齒輪嚙合帶動第二錐齒輪進行轉動，在帶動螺桿進行轉動，然后活動塊在螺桿表面進行螺紋移動，在通過活動塊推動連接塊進行移動，在推動支撐桿進行滑動，在通過支撐桿推動支撐塊滑出放置板，通過放置板頂端設置的支撐塊，使在放置時增加了支撐點，減少接觸與放置板之間的接觸面積，使得超聲波在清洗時更加的快捷，提高清洗的效率。

4、根據(jù)所述的一種用于晶圓的超聲波清洗設備，所述支撐塊底端安裝有伸縮彈簧，且伸縮彈簧套接在支撐桿外壁。

5、根據(jù)所述的一種用于晶圓的超聲波清洗設備，所述放置板兩側對稱安裝有螺紋塊，且螺紋塊螺紋連接在螺紋桿外壁，所述螺紋桿活動套接在超聲波清洗主體內部，且螺紋塊活動套接在超聲波清洗主體內壁。

6、根據(jù)所述的一種用于晶圓的超聲波清洗設備，所述放置板頂端安裝有隔板。

7、根據(jù)所述的一種用于晶圓的超聲波清洗設備，所述隔板內部開設有限位槽，且限位槽內部活動套接有墊塊，所述墊塊固定套接在活動桿外壁，且活動桿一側固定安裝有限位板。

8、根據(jù)所述的一種用于晶圓的超聲波清洗設備，所述墊塊一側固定安裝有復位彈簧，且復位彈簧另一側安裝在限位槽內部。

9、根據(jù)所述的一種用于晶圓的超聲波清洗設備，所述限位板一側安裝有若干軟塊。

10、當晶圓放置在放置板上后，推動限位板，推動活動桿在限位槽內部向內滑動，也帶動墊塊進行滑動，使得復位彈簧進行收縮，在沒有推動力后，通過復位彈簧的伸縮性，推動限位板進行復位移動，對晶圓進行限位夾持，保證晶圓在清洗時的穩(wěn)定性，避免相互碰撞相互影響，在擰動螺紋桿，使得螺紋塊在螺紋桿表面進行螺紋移動，從而帶動放置板的下降，滑入到超聲波清洗主體內部中進行清洗，然后帶動放置板進行上下，便于清洗前后的拿放。

11、本實用新型的附加方面和優(yōu)點將在下面的描述中部分給出，部分將從下面的描述中變得明顯，或通過本實用新型的實踐了解到。

技術特征：

1.一種用于晶圓的超聲波清洗設備，其特征在于，包括超聲波清洗主體(1)，所述超聲波清洗主體(1)內部安裝有放置板(2)，且放置板(2)頂端活動套接有轉桿(3)，所述轉桿(3)底端安裝有第一錐齒輪(4)，且第一錐齒輪(4)表面嚙合連接有第二錐齒輪(5)，所述第二錐齒輪(5)安裝在螺桿(6)外壁，且螺桿(6)表面螺紋連接有活動塊(7)，所述活動塊(7)頂端活動連接有連接塊(8)，且連接塊(8)頂端固定連接有支撐桿(9)，所述支撐桿(9)頂端固定連接有支撐塊(10)。

2.根據(jù)權利要求1所述的一種用于晶圓的超聲波清洗設備，其特征在于，所述支撐塊(10)底端安裝有伸縮彈簧(11)，且伸縮彈簧(11)套接在支撐桿(9)外壁。

3.根據(jù)權利要求1所述的一種用于晶圓的超聲波清洗設備，其特征在于，所述放置板(2)兩側對稱安裝有螺紋塊(12)，且螺紋塊(12)螺紋連接在螺紋桿(13)外壁，所述螺紋桿(13)活動套接在超聲波清洗主體(1)內部，且螺紋塊(12)活動套接在超聲波清洗主體(1)內壁。

4.根據(jù)權利要求1所述的一種用于晶圓的超聲波清洗設備，其特征在于，所述放置板(2)頂端安裝有隔板(14)。

5.根據(jù)權利要求4所述的一種用于晶圓的超聲波清洗設備，其特征在于，所述隔板(14)內部開設有限位槽(15)，且限位槽(15)內部活動套接有墊塊(16)，所述墊塊(16)固定套接在活動桿(17)外壁，且活動桿(17)一側固定安裝有限位板(18)。

6.根據(jù)權利要求5所述的一種用于晶圓的超聲波清洗設備，其特征在于，所述墊塊(16)一側固定安裝有復位彈簧(19)，且復位彈簧(19)另一側安裝在限位槽(15)內部。

7.根據(jù)權利要求5所述的一種用于晶圓的超聲波清洗設備，其特征在于，所述限位板(18)一側安裝有若干軟塊(20)。

技術總結
本技術公開了一種用于晶圓的超聲波清洗設備，包括超聲波清洗主體，所述超聲波清洗主體內部安裝有放置板，且放置板頂端活動套接有轉桿，所述轉桿底端安裝有第一錐齒輪。將晶圓放置在放置板上，在擰動轉桿進行轉動，帶動第一錐齒輪進行轉動，通過第一錐齒輪嚙合帶動第二錐齒輪進行轉動，在帶動螺桿進行轉動，然后活動塊在螺桿表面進行螺紋移動，在通過活動塊推動連接塊進行移動，同時活動塊在放置板內部向上滑動，在推動支撐桿進行滑動，在通過支撐桿推動支撐塊滑出放置板，通過放置板頂端設置的支撐塊，使在放置時增加了支撐點，減少接觸與放置板之間的接觸面積，使得超聲波在清洗時更加的快捷，提高清洗的效率。

技術研發(fā)人員：王婷婷,曾獻金
受保護的技術使用者：恒超源洗凈科技（深圳）有限公司
技術研發(fā)日：20240701
技術公布日：2024/12/23