本技術(shù)涉及碳化硅晶片，具體涉及一種碳化硅晶片清洗用可調(diào)式固定組件。

背景技術(shù)：

1、中國(guó)專利公開(kāi)了一種碳化硅晶片清洗用固定機(jī)構(gòu)(公開(kāi)號(hào)：cn218014750u)，包括清洗機(jī)本體，所述清洗機(jī)本體的底部固定安裝有安裝輪，所述清洗機(jī)本體的內(nèi)頂部壁固定安裝有蓄水盒，所述蓄水盒的右側(cè)固定安裝有波紋管，所述波紋管的底部固定安裝有安裝筒；該碳化硅晶片清洗用固定機(jī)構(gòu)，通過(guò)設(shè)置夾持機(jī)構(gòu)，在兩個(gè)電動(dòng)推桿的作用下，兩個(gè)電動(dòng)推桿向相背離一側(cè)進(jìn)行收縮，帶動(dòng)兩個(gè)輸出軸處的安裝桿，通過(guò)兩個(gè)安裝套在支撐桿的外表面向相背離一側(cè)滑動(dòng)，兩個(gè)安裝桿運(yùn)動(dòng)的同時(shí)帶動(dòng)兩個(gè)活動(dòng)桿，使兩個(gè)活動(dòng)桿通過(guò)活動(dòng)軸在滑槽的內(nèi)部向相背離一側(cè)進(jìn)行滑動(dòng)，兩個(gè)穩(wěn)定桿通過(guò)兩個(gè)安裝軸帶動(dòng)兩個(gè)夾持桿，使兩個(gè)夾持桿之間的距離變大，這時(shí)可以將要進(jìn)行清洗的碳化硅晶片放入；

2、現(xiàn)在的碳化硅晶片在清洗之初需要利用潔凈水對(duì)碳化硅晶片清洗進(jìn)行持續(xù)沖洗，清除附著在碳化硅晶片表面的雜質(zhì)，現(xiàn)有的固定機(jī)構(gòu)難以在不拆卸碳化硅晶片的情況下將其翻轉(zhuǎn)，即使可以直接翻轉(zhuǎn)，但是其角度無(wú)法多角度的控制，且旋轉(zhuǎn)角度的精確性有限。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、本實(shí)用新型所要解決的技術(shù)問(wèn)題如下：

2、1、固定機(jī)構(gòu)的角度無(wú)法多角度調(diào)節(jié)，即使可以調(diào)節(jié)，旋轉(zhuǎn)角度的精確性有限。

3、本實(shí)用新型的目的可以通過(guò)以下技術(shù)方案實(shí)現(xiàn)：

4、一種碳化硅晶片清洗用可調(diào)式固定組件，包括工作臺(tái)，所述工作臺(tái)的一側(cè)固定連接有支撐板，所述支撐板的頂部固定連接有清洗噴頭，所述工作臺(tái)的上表面安裝有清洗箱，所述清洗噴頭斜向插入清洗箱，所述清洗箱的內(nèi)部開(kāi)設(shè)有位于工作臺(tái)上的落水口；所述工作臺(tái)的上表面一角設(shè)置有調(diào)節(jié)組件，所述工作臺(tái)的兩側(cè)設(shè)置有固定機(jī)構(gòu)；所述調(diào)節(jié)組件包括與工作臺(tái)固定連接的調(diào)節(jié)電機(jī)，所述調(diào)節(jié)電機(jī)的輸出端固定連接有驅(qū)動(dòng)盤，所述驅(qū)動(dòng)盤卡合連接有卡合盤，所述卡合盤貫穿連接有驅(qū)動(dòng)軸，所述驅(qū)動(dòng)軸上固定連接有驅(qū)動(dòng)輪，所述驅(qū)動(dòng)軸的另一端固定連接有蝸桿，所述蝸桿嚙合連接有蝸輪，所述蝸輪貫穿連接有伸入清洗箱內(nèi)部的推桿。

5、作為本實(shí)用新型進(jìn)一步的方案：所述驅(qū)動(dòng)盤的中部固定連接有限位盤，所述限位盤與卡合盤貼合，所述驅(qū)動(dòng)盤的邊緣固定連接有限位柱，所述卡合盤上開(kāi)設(shè)有卡合槽，所述限位柱與卡合槽卡合連接。

6、作為本實(shí)用新型進(jìn)一步的方案：所述驅(qū)動(dòng)輪上套設(shè)有傳送帶，所述傳送帶的另一端嚙合連接有從動(dòng)輪，所述從動(dòng)輪的側(cè)邊固定連接有另一個(gè)蝸桿。

7、作為本實(shí)用新型進(jìn)一步的方案：所述固定機(jī)構(gòu)包括安裝在工作臺(tái)側(cè)邊的第二電機(jī)，所述第二電機(jī)的輸出端固定連接有雙向螺桿，所述雙向螺桿，所述雙向螺桿上套設(shè)有滑套，所述滑套與推桿轉(zhuǎn)動(dòng)連接。

8、作為本實(shí)用新型進(jìn)一步的方案：所述推桿伸入清洗箱內(nèi)部的一端固定連接有夾持套，所述夾持套的內(nèi)部轉(zhuǎn)動(dòng)連接有微型螺桿，所述微型螺桿上套設(shè)有螺套，所述螺套的側(cè)邊與夾持套的底部均固定連接有固定夾板，所述微型螺桿的一端固定連接有微型馬達(dá)。

9、作為本實(shí)用新型進(jìn)一步的方案：所述蝸輪的側(cè)邊轉(zhuǎn)動(dòng)連接有與工作臺(tái)上表面固定連接的支撐架，所述蝸輪滑動(dòng)連接，所述推桿與支撐架貫穿連接。

10、作為本實(shí)用新型進(jìn)一步的方案：所述從動(dòng)輪與工作臺(tái)轉(zhuǎn)動(dòng)連接，兩個(gè)所述蝸桿均轉(zhuǎn)動(dòng)連接有工作臺(tái)。

11、本實(shí)用新型的有益效果：

12、1、通過(guò)設(shè)置帶有驅(qū)動(dòng)盤和卡合盤的調(diào)節(jié)組件，使得推桿可以在調(diào)節(jié)電機(jī)的控制下，自動(dòng)調(diào)節(jié)旋轉(zhuǎn)至特定角度，省時(shí)省力的同時(shí)，確保被夾持的碳化硅晶片能保持水平或垂直的角度被持續(xù)沖洗，并在沖洗的過(guò)程中逐漸旋轉(zhuǎn)，最終使得雜質(zhì)被有效清理。

13、2、通過(guò)設(shè)置帶有雙向螺桿和夾持套的固定組件，使得推桿可以推動(dòng)夾持套移動(dòng)，從而適應(yīng)多種大小的碳化硅晶片，而固定夾板能保證多種厚度的碳化硅晶片均能被有效夾持，避免碳化硅晶片在旋轉(zhuǎn)的過(guò)程中滑落。

技術(shù)特征：

1.一種碳化硅晶片清洗用可調(diào)式固定組件，包括工作臺(tái)(1)，所述工作臺(tái)(1)的一側(cè)固定連接有支撐板(101)，所述支撐板(101)的頂部固定連接有清洗噴頭(102)，所述工作臺(tái)(1)的上表面安裝有清洗箱(103)，所述清洗噴頭(102)斜向插入清洗箱(103)，所述清洗箱(103)的內(nèi)部開(kāi)設(shè)有位于工作臺(tái)(1)上的落水口(104)；

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種碳化硅晶片清洗用可調(diào)式固定組件，其特征在于：所述驅(qū)動(dòng)盤(202)的中部固定連接有限位盤(211)，所述限位盤(211)與卡合盤(203)貼合，所述驅(qū)動(dòng)盤(202)的邊緣固定連接有限位柱(212)，所述卡合盤(203)上開(kāi)設(shè)有卡合槽(213)，所述限位柱(212)與卡合槽(213)卡合連接。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種碳化硅晶片清洗用可調(diào)式固定組件，其特征在于：所述驅(qū)動(dòng)輪(205)上套設(shè)有傳送帶(206)，所述傳送帶(206)的另一端嚙合連接有從動(dòng)輪(207)，所述從動(dòng)輪(207)的側(cè)邊固定連接有另一個(gè)蝸桿(208)。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種碳化硅晶片清洗用可調(diào)式固定組件，其特征在于：所述固定機(jī)構(gòu)(3)包括安裝在工作臺(tái)(1)側(cè)邊的第二電機(jī)(301)，所述第二電機(jī)(301)的輸出端固定連接有雙向螺桿(302)，所述雙向螺桿(302)，所述雙向螺桿(302)上套設(shè)有滑套(303)，所述滑套(303)與推桿(304)轉(zhuǎn)動(dòng)連接。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種碳化硅晶片清洗用可調(diào)式固定組件，其特征在于：所述推桿(304)伸入清洗箱(103)內(nèi)部的一端固定連接有夾持套(305)，所述夾持套(305)的內(nèi)部轉(zhuǎn)動(dòng)連接有微型螺桿(307)，所述微型螺桿(307)上套設(shè)有螺套(308)，所述螺套(308)的側(cè)邊與夾持套(305)的底部均固定連接有固定夾板(309)，所述微型螺桿(307)的一端固定連接有微型馬達(dá)(306)。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種碳化硅晶片清洗用可調(diào)式固定組件，其特征在于：所述蝸輪(209)的側(cè)邊轉(zhuǎn)動(dòng)連接有與工作臺(tái)(1)上表面固定連接的支撐架(210)，所述蝸輪(209)與推桿(304)滑動(dòng)連接，所述推桿(304)與支撐架(210)貫穿連接。

7.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種碳化硅晶片清洗用可調(diào)式固定組件，其特征在于：所述從動(dòng)輪(207)與工作臺(tái)(1)轉(zhuǎn)動(dòng)連接，兩個(gè)所述蝸桿(208)均轉(zhuǎn)動(dòng)連接有工作臺(tái)(1)。

技術(shù)總結(jié)
本技術(shù)公開(kāi)了一種碳化硅晶片清洗用可調(diào)式固定組件，包括工作臺(tái)，所述工作臺(tái)的上表面安裝有清洗箱，所述清洗箱的內(nèi)部開(kāi)設(shè)有落水口；所述工作臺(tái)的上表面一角設(shè)置有調(diào)節(jié)組件，所述工作臺(tái)的兩側(cè)設(shè)置有固定機(jī)構(gòu)；所述調(diào)節(jié)組件包括與工作臺(tái)固定連接的調(diào)節(jié)電機(jī)，所述調(diào)節(jié)電機(jī)的輸出端固定連接有驅(qū)動(dòng)盤，所述驅(qū)動(dòng)盤卡合連接有卡合盤，所述卡合盤貫穿連接有驅(qū)動(dòng)軸，所述驅(qū)動(dòng)軸的另一端固定連接有蝸桿，所述蝸桿嚙合連接有蝸輪，所述蝸輪貫穿連接有伸入清洗箱內(nèi)部的推桿；通過(guò)卡合盤可以讓碳化硅晶片旋轉(zhuǎn)至特定角度，并特定角度被持續(xù)沖洗，省時(shí)省力的同時(shí)，可以自動(dòng)旋轉(zhuǎn)，最終使得雜質(zhì)被有效清理。

技術(shù)研發(fā)人員：陳宇翔,翟會(huì)陽(yáng),李永波,李紀(jì)宏
受保護(hù)的技術(shù)使用者：蘇州萬(wàn)龍達(dá)電子科技有限公司
技術(shù)研發(fā)日：20240423
技術(shù)公布日：2024/12/23