專(zhuān)利名稱(chēng)：蝕刻廢水回用與重金屬回收系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及污水處理領(lǐng)域，具體涉及一種蝕刻廢水回用與重金屬回收系統(tǒng)。
背景技術(shù)：
蝕刻是將材料使用化學(xué)反應(yīng)或物理撞擊作用而移除的技術(shù)。通常所指蝕刻也稱(chēng)光化學(xué)蝕 刻，指通過(guò)曝光制版、顯影后，將要蝕刻區(qū)域的保護(hù)摸去處，在蝕刻時(shí)接觸化學(xué)溶液，達(dá)到 溶解腐蝕的作用，形成凹凸或者鏤空成型的效果。蝕刻技術(shù)可以分為濕蝕刻及干蝕刻兩類(lèi)。
蝕刻最早用來(lái)制造銅版、鋅版等印刷凹凸版，也廣泛地被使用于減輕重量?jī)x器鑲板、名 牌及傳統(tǒng)加工法難以加工之薄形工件等之加工；經(jīng)過(guò)不斷改良和工藝設(shè)備發(fā)展，蝕刻可以用 于航空、機(jī)械、化學(xué)工業(yè)中電子薄片零件精密蝕刻產(chǎn)品的加工，特別在半導(dǎo)體制程上，蝕刻 更是不可或缺的技術(shù)。
蝕刻工序主要有三種，即堿性蝕刻工序、微蝕(過(guò)硫酸銨-硫酸)工序、酸性蝕刻工藝 。其中，堿性蝕刻工序廢水中主要含Cu"及NH3 H20，當(dāng)NH"含量較高以及在堿性條件下， CJ+與NH"可形成銅氨絡(luò)合物，無(wú)法用中和沉淀的方法來(lái)處理；微蝕(過(guò)硫酸銨-硫酸)工序 :廢水中主要含C^+及NH"，在酸性條件下，廢水中的Cu"與NH"無(wú)法生成絡(luò)合物，但在堿性 條件下，可形成絡(luò)合物；酸性蝕刻工藝它的原料主要有鹽酸、雙氧水，因此廢液中主要含 有雙氧水、氯離子、銅離子等。
目前關(guān)于蝕刻的研究大都集中在蝕刻工藝及其裝置本身，如CN200610123185. 0公開(kāi)一種 不銹鋼蝕刻工藝；CN200710143238. X公開(kāi)一種用于光掩模等離子體蝕刻的方法和裝置。蝕刻 廢水中在電鍍行業(yè)中產(chǎn)量不大，但是，由于其中含有銅離子，直接混入污水處理系統(tǒng)容易造 成資源浪費(fèi)，且銅本身毒性很大，有必要對(duì)蝕刻廢水進(jìn)行單獨(dú)處理與回用，以降低后續(xù)處理 負(fù)荷，目前專(zhuān)門(mén)用于解決蝕刻廢水的處理手段比較少，如CN03125565.5公開(kāi)一種專(zhuān)門(mén)用于含 硅化合物的蝕刻液的再生方法，其方法是蝕刻液中加水使硅化物沉淀以除之，顯然此法不能 適用于酸性蝕刻工藝廢水。
發(fā)明內(nèi)容
針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)存在的上述問(wèn)題，本實(shí)用新型的目的主要是提供一種回用效果好的電鍍蝕
3刻廢水回用與重金屬回收系統(tǒng)，以解決現(xiàn)有電鍍廢水處理與回用中工藝流程復(fù)雜等技術(shù)問(wèn)題 本實(shí)用新型提供如下的技術(shù)方案
一種蝕刻廢水回用與重金屬回收系統(tǒng)，包括管道相連的蝕刻廢水收集池、高壓泵、反滲 透裝置、電解裝置及回用水箱，其中，所述蝕刻廢水收集池連接高壓泵，高壓泵連接反滲透 裝置，反滲透裝置清水端連接回用水箱，反滲透裝置濃水端連接電解裝置。
首先將電鍍車(chē)間的蝕刻廢水排入蝕刻廢水收集池，蝕刻廢水收集池內(nèi)的廢水通過(guò)管道連 接在反滲透裝置上，通過(guò)反滲透裝置進(jìn)行凈化處理，經(jīng)過(guò)處理的蝕刻廢水分成兩部分， 一部 分能通過(guò)反滲透膜的直接用于回用，不能通過(guò)反滲透膜的廢水從反滲透裝置濃水口排出，反 滲透濃水一部分回流到高壓泵前端， 一部分通過(guò)電解裝置并排放到污水綜合處理系統(tǒng)，所述 綜合污水處理系統(tǒng)包括調(diào)節(jié)池和沉淀池。
電解是電流通過(guò)物質(zhì)而引起化學(xué)變化的過(guò)程，其中化學(xué)變化是物質(zhì)失去或獲得電子(氧 化或還原)的過(guò)程。電解過(guò)程是在電解池中進(jìn)行的，電解池是由分別浸沒(méi)在含有正、負(fù)離子 的溶液中的陰、陽(yáng)兩個(gè)電極構(gòu)成。電解時(shí)，電流流進(jìn)負(fù)電極(陰極)，溶液中帶正電荷的正離 子迀移到陰極，并與電子結(jié)合，變成中性的元素或分子；帶負(fù)電荷的負(fù)離子迀移到另一電極 (陽(yáng)極)，給出電子，變成中性元素或分子。
作為優(yōu)選，根據(jù)本實(shí)用新型所述的蝕刻廢水回用與重金屬回收系統(tǒng)，其中，所述的反滲 透裝置與高壓泵之間設(shè)有保安過(guò)濾器。
作為優(yōu)選，根據(jù)本實(shí)用新型所述的蝕刻廢水回用與重金屬回收系統(tǒng)，其中，所述蝕刻廢 水回用與重金屬回收系統(tǒng)還包括與電解裝置相連的綜合污水處理系統(tǒng)，所述綜合污水處理系 統(tǒng)包括調(diào)節(jié)池和沉淀池。沉淀池的目的是使絮凝物以及捕集的金屬離子沉淀下來(lái)。
作為更優(yōu)選，根據(jù)本實(shí)用新型所述的蝕刻廢水回用與重金屬回收系統(tǒng)，其中，所述電解 裝置連接調(diào)節(jié)池的管路上設(shè)有絮凝加藥裝置和金屬捕捉劑加藥裝置。
作為更優(yōu)選，根據(jù)本實(shí)用新型所述的蝕刻廢水回用與重金屬回收系統(tǒng)，其中，所述沉淀 池采用斜板沉淀池。
作為優(yōu)選，根據(jù)本實(shí)用新型所述的蝕刻廢水回用與重金屬回收系統(tǒng)，其中，所述的蝕刻 廢水為電子電鍍生產(chǎn)中的酸性蝕刻工藝的蝕刻廢水。
作為優(yōu)選，根據(jù)本實(shí)用新型所述的蝕刻廢水回用與重金屬回收系統(tǒng)，其中，所述的電解 裝置為可拆卸的極板式電解裝置。
作為優(yōu)選，根據(jù)本實(shí)用新型所述的酸性蝕刻廢水回用與重金屬回收系統(tǒng)，其中，所述的回用水箱通過(guò)管道連接到蝕刻工藝工序。
作為優(yōu)選，根據(jù)本實(shí)用新型所述的蝕刻廢水回用與重金屬回收系統(tǒng)，其中，所述的反滲 透裝置中反滲透膜采用材料為聚酰亞胺的巻式膜，巻式膜處理效果好，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單。
本實(shí)用新型的蝕刻廢水回用與重金屬回收系統(tǒng)統(tǒng)具有下述優(yōu)點(diǎn)
用反滲透裝置分離蝕刻廢水中的鹽類(lèi)物質(zhì)并回用水資源，再用電解裝置回收反滲透廢水 中的重金屬，反滲透工序與電解工序的結(jié)合工藝，降低了藥劑的消耗，降低了能耗，簡(jiǎn)化了 操作流程；同時(shí)本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)緊湊，結(jié)構(gòu)工藝相對(duì)簡(jiǎn)單；本套系統(tǒng)拆卸、組裝方便，可以 反復(fù)多次使用，因此，本實(shí)用新型的系統(tǒng)具有酸性蝕刻廢水回用率高，處理工藝簡(jiǎn)單，處理 效果好的特點(diǎn)。


圖1為本實(shí)用新型的工藝流程示意圖； 圖2是本實(shí)用新型沉淀池示意圖，
圖中l(wèi)為蝕刻廢水收集池，2為高壓泵，3為保安過(guò)濾器，4為反滲透裝置，5為回用水 箱，6為電解槽，7是綜合污水處理系統(tǒng)，A是進(jìn)水口， B是出水口， C是清水區(qū)，D是污泥區(qū)， E是沉淀區(qū)，F(xiàn)是配水區(qū)，G污泥斗，H是排泥管，I是斜板。
具體實(shí)施方式
下面通過(guò)實(shí)施例，并結(jié)合附圖，對(duì)本實(shí)用新型的技術(shù)方案作進(jìn)一步具體的說(shuō)明。 實(shí)施例l:
如附圖1所示，電鍍車(chē)間的蝕刻廢水通過(guò)管道收集在蝕刻廢水收集池(1)，蝕刻廢水收 集池(1)連接高壓泵(2)，高壓泵(2)連接到反滲透裝置(4)，反滲透通過(guò)分離鹽類(lèi)與 水分得到回用廢水的目的，反滲透裝置(4)與高壓泵(2)之前設(shè)有保安過(guò)濾器(3)，反 滲透裝置(4)的清水端連接到回用水箱(5)，回用水箱通過(guò)管道連接到蝕刻工藝工序；反 滲透裝置(4)的濃水端連接電解槽(6)在電解槽中，重金屬離子帶正電，在電流的作用下 ，這些重金屬離子向陰極移動(dòng)并得到電子，被還原成金屬單質(zhì)，包裹在陰極表面，經(jīng)過(guò)電解 槽(6)處理后的廢水排放到綜合污水處理系統(tǒng)(7)，綜合污水處理系統(tǒng)(7)包括調(diào)節(jié)池 和沉淀池，調(diào)節(jié)池內(nèi)設(shè)置有絮凝加藥裝置和金屬捕捉劑加藥裝置，其中絮凝劑使用聚合氯 化鋁(PAC) /聚丙烯酰胺(PAM)復(fù)合絮凝劑，PAC使用量為調(diào)節(jié)池體積的7 8卯m、 PAM使 用量為調(diào)節(jié)池體積的l卯m;金屬捕捉劑采用黃原酸酯類(lèi)和二硫代胺基甲酸鹽類(lèi)衍生物(DTC類(lèi))，使用量為調(diào)節(jié)池體積的5卯m，采用的沉淀池其結(jié)構(gòu)見(jiàn)附圖2，如圖2所示，沉淀池包括 位于中部的進(jìn)水口A，位于上部的出水口B和位于下部的排泥管H，在排泥管H的上方設(shè)有污泥 斗G，污泥斗G與進(jìn)水管之間為污泥區(qū)D，在污泥區(qū)D上方為配水區(qū)F。在沉淀池的中部固定有 斜板I，在斜板I內(nèi)為沉淀區(qū)E，沉淀區(qū)E的上方為清水區(qū)C。本實(shí)用新型系統(tǒng)能實(shí)現(xiàn)對(duì)水資源 的回收和重金屬的回收。
本實(shí)施例得到的相關(guān)檢測(cè)結(jié)果如下
水綜合回用率>85%，
金屬回用率>90%，
回用水電導(dǎo)率〈20y s/cm。
權(quán)利要求1.蝕刻廢水回用與重金屬回收系統(tǒng)，包括管道相連的蝕刻廢水收集池(1)、高壓泵(2)、反滲透裝置(4)、回用水箱(5)及電解裝置(6)，其特征在于，所述蝕刻廢水收集池(1)連接高壓泵(2)，高壓泵(2)連接反滲透裝置(4)，反滲透裝置(4)清水端連接回用水箱(5)，反滲透裝置(4)濃水端連接電解裝置(6)。
2.根據(jù)權(quán)利要求l所述的蝕刻廢水回用與重金屬回收系統(tǒng)，其特征在于，所述的反滲透裝置(4)與高壓泵(2)之間設(shè)有保安過(guò)濾器(3)。
3.根據(jù)權(quán)利要求l所述的蝕刻廢水回用與重金屬回收系統(tǒng)，其特征在于，所述蝕刻廢水回用與重金屬回收系統(tǒng)還包括與電解裝置相連的綜合污水處理系統(tǒng)(7)，所述綜合污水處理系統(tǒng)(7)包括調(diào)節(jié)池和沉淀池。
4.根據(jù)權(quán)利要求l所述的蝕刻廢水回用與重金屬回收系統(tǒng)，其特征在于，所述電解裝置連接調(diào)節(jié)池的管路上設(shè)有絮凝加藥裝置和金屬捕捉劑加藥裝置。
5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的蝕刻廢水回用與重金屬回收系統(tǒng)，其特征在于，所述沉淀池采用斜板沉淀池。
6.根據(jù)權(quán)利要求l所述的蝕刻廢水回用與重金屬回收系統(tǒng)，其特征在于，所述的蝕刻廢水為電子電鍍生產(chǎn)中的酸性蝕刻工藝的蝕刻廢水。
7.根據(jù)權(quán)利要求l所述的蝕刻廢水回用與重金屬回收系統(tǒng)，其特征在于，所述的回用水箱通過(guò)管道連接到蝕刻工藝工序。
專(zhuān)利摘要本實(shí)用新型公開(kāi)一種蝕刻廢水回用與重金屬回收系統(tǒng)，包括管道相連的蝕刻廢水收集池(1)、高壓泵(2)、反滲透裝置(4)、回用水箱(5)及電解裝置(6)，所述蝕刻廢水收集池(1)連接高壓泵(2)，高壓泵(2)連接反滲透裝置(4)，反滲透裝置(4)清水端連接回用水箱(5)，反滲透裝置(4)濃水端連接電解裝置(6)；本實(shí)用新型的蝕刻廢水回用與重金屬回收系統(tǒng)具有廢水回用率高，處理工藝簡(jiǎn)單，處理效果好等優(yōu)點(diǎn)。
文檔編號(hào)C02F1/461GK201390684SQ200920302270
公開(kāi)日2010年1月27日 申請(qǐng)日期2009年4月17日 優(yōu)先權(quán)日2009年4月17日
發(fā)明者任曉哲, 濤 何, 奕 方, 沈海軍 申請(qǐng)人:湖州森藍(lán)環(huán)境工程有限公司;浙江東洋環(huán)境工程有限公司