一種用于防止硅芯氧化的加熱裝置的制造方法
【專利摘要】本實(shí)用新型涉及硅芯生產(chǎn)技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種用于防止硅芯氧化的加熱裝置。本實(shí)用新型的主要技術(shù)方案為：一種用于防止硅芯氧化的加熱裝置，包括:工作箱，為具有開口的容器；所述工作箱的頂部具有排氣孔，底部具有進(jìn)氣孔；所述工作箱為聚四氟乙烯材料；支架，設(shè)置在所述工作箱內(nèi)，用于支撐硅芯；所述支架為聚四氟乙烯材料；加熱腔，設(shè)置在所述工作箱的底部，通過所述進(jìn)氣孔與所述工作箱連通；加熱組件，設(shè)置在所述加熱腔中，用于供熱；風(fēng)機(jī)，所述風(fēng)機(jī)的出風(fēng)口與所述加熱腔連通，使氣流在所述加熱腔加熱后，再通過所述進(jìn)氣孔流入所述工作箱，用于給所述硅芯加熱。采用本實(shí)用新型可以防止硅芯氧化，提升硅芯質(zhì)量。
【專利說明】
一種用于防止硅芯氧化的加熱裝置
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本實(shí)用新型涉及硅芯生產(chǎn)技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種用于防止硅芯氧化的加熱裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]隨著半導(dǎo)體和太陽能行業(yè)的不斷發(fā)展壯大，硅料的需求量越來越大。硅料的純度對(duì)最終產(chǎn)品的質(zhì)量至關(guān)重要，有些硅料表面附帶有很多雜質(zhì)，對(duì)之必須用酸洗的方法將表面雜質(zhì)去除，然后再進(jìn)行清洗。清洗過的硅料在存儲(chǔ)前須經(jīng)過加熱烘干處理，以去除附著在硅料上的水份，防止硅料氧化。目前市場上加熱裝置的箱體均為金屬材料，易產(chǎn)生金屬雜質(zhì)；由于硅芯表面吸附能力非常強(qiáng)，加熱時(shí)易與吸附在表面的金屬化學(xué)反應(yīng)，從而嚴(yán)重影響娃芯的質(zhì)量。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0003]有鑒于此，本實(shí)用新型提供一種用于防止硅芯氧化的加熱裝置，主要目的在于防止硅芯氧化，提升硅芯質(zhì)量。
[0004]為達(dá)到上述目的，本實(shí)用新型主要提供如下技術(shù)方案:
[0005]本實(shí)用新型的實(shí)施例提供一種用于防止硅芯氧化的加熱裝置，包括:
[0006]工作箱，為具有開口的容器;所述工作箱的頂部具有排氣孔，底部具有進(jìn)氣孔;所述工作箱為聚四氟乙烯材料；
[0007]支架，設(shè)置在所述工作箱內(nèi)，用于支撐硅芯;所述支架為聚四氟乙烯材料；
[0008]加熱腔，設(shè)置在所述工作箱的底部，通過所述進(jìn)氣孔與所述工作箱連通；
[0009]加熱組件，設(shè)置在所述加熱腔中，用于供熱；
[0010]風(fēng)機(jī)，所述風(fēng)機(jī)的出風(fēng)口與所述加熱腔連通，使氣流在所述加熱腔加熱后，再通過所述進(jìn)氣孔流入所述工作箱，用于給所述硅芯加熱。
[0011]進(jìn)一步地，所述加熱組件上設(shè)有防護(hù)機(jī)構(gòu)，用于防止所述加熱組件爆炸影響硅芯。
[0012]進(jìn)一步地，所述工作箱的頂部設(shè)有懸掛機(jī)構(gòu)，用于懸吊所述工作箱。
[0013]進(jìn)一步地，所述工作箱上設(shè)置有密封板，用于密封所述工作箱的開口；
[0014]所述工作箱的至少一側(cè)設(shè)置有所述開口。
[0015]進(jìn)一步地，所述工作箱的底部設(shè)置有行走機(jī)構(gòu)，用于所述工作箱的移動(dòng)。
[0016]進(jìn)一步地，所述支架上平行地設(shè)置有凹槽或通孔，用于放置硅芯。
[0017]進(jìn)一步地，還包括:
[0018]照明裝置，設(shè)置在所述工作箱的頂部內(nèi)側(cè)。
[0019]進(jìn)一步地，還包括:
[0020]感溫元件，設(shè)置在所述工作箱內(nèi)，用于檢測所述工作箱內(nèi)的溫度。
[0021 ]進(jìn)一步地，所述進(jìn)氣孔分布在所述工作箱的兩側(cè)。
[0022]進(jìn)一步地，所述加熱組件具有不銹鋼加熱管。
[0023]借由上述技術(shù)方案，本實(shí)用新型用于防止硅芯氧化的加熱裝置至少具有下列優(yōu)占.V.
[0024]結(jié)構(gòu)簡單，成本低，使用方便，可以防止硅芯氧化，提升硅芯質(zhì)量。
[0025]上述說明僅是本實(shí)用新型技術(shù)方案的概述，為了能夠更清楚了解本實(shí)用新型的技術(shù)手段，并可依照說明書的內(nèi)容予以實(shí)施，以下以本實(shí)用新型的較佳實(shí)施例并配合附圖詳細(xì)說明如后。
【附圖說明】
[0026]圖1為本實(shí)用新型實(shí)施例提供的一種用于防止硅芯氧化的加熱裝置的示意圖。
[0027]圖中所示:
[0028]I為工作箱，1-1為開口，1-2為進(jìn)氣孔，1-3為排氣孔，1-4為密封板，2為支架，3為懸掛機(jī)構(gòu)4為加熱組件，4-1為防護(hù)機(jī)構(gòu)，5為行走機(jī)構(gòu)，6為加熱腔，7為風(fēng)機(jī)，8為感溫元件，9為照明裝置，10為溫度控制器。
【具體實(shí)施方式】
[0029]為更進(jìn)一步闡述本實(shí)用新型為達(dá)成預(yù)定實(shí)用新型目的所采取的技術(shù)手段及功效，以下結(jié)合附圖及較佳實(shí)施例，對(duì)依據(jù)本實(shí)用新型申請(qǐng)的【具體實(shí)施方式】、結(jié)構(gòu)、特征及其功效，詳細(xì)說明如后。在下述說明中，不同的“一實(shí)施例”或“實(shí)施例”指的不一定是同一實(shí)施例。此外，一或多個(gè)實(shí)施例中的特定特征、結(jié)構(gòu)、或特點(diǎn)可由任何合適形式組合。
[0030]如圖1所示，本實(shí)用新型的一個(gè)實(shí)施例提出的一種用于防止硅芯氧化的加熱裝置，包括:工作箱1、支架2、加熱腔6、加熱組件4和風(fēng)機(jī)7。
[0031]工作箱I為具有開口1-1的容器，工作箱I的開口 1-1用于硅芯的放入和取出；工作箱I的頂部具有排氣孔1-3，用于排氣;底部具有進(jìn)氣孔1-2，用于進(jìn)氣;工作箱I為聚四氟乙烯材料，防止對(duì)硅芯污染;工作箱I的壁厚至少為3_。
[0032]支架2設(shè)置在工作箱I內(nèi)，用于支撐硅芯;本實(shí)施例優(yōu)選將支架2固定在工作箱I的底部;支架2為聚四氟乙烯材料，防止對(duì)硅芯污染；
[0033]加熱腔6設(shè)置在工作箱I的底部，加熱腔6通過緊固件固定地連接在工作箱I的底部外側(cè);通過進(jìn)氣孔1-2與工作箱I連通;加熱組件4設(shè)置在加熱腔6中，用于供熱，加熱加熱腔6中的氣流;加熱組件4的溫度由設(shè)置在工作箱I外壁的溫度控制器10控制，操作人員根據(jù)需要對(duì)加熱組件4的加熱溫度進(jìn)行調(diào)節(jié)。
[0034]風(fēng)機(jī)7的出風(fēng)口與加熱腔6連通，使氣流通過加熱腔6加熱后，在通過進(jìn)氣孔1-2流入工作箱1，用于給硅芯加熱。風(fēng)機(jī)7可以設(shè)置在工作箱I附近的地面上，避免對(duì)工作箱I進(jìn)行振動(dòng)，風(fēng)機(jī)7被電機(jī)驅(qū)動(dòng)轉(zhuǎn)動(dòng)。
[0035]作為上述實(shí)施例的優(yōu)選，加熱組件4上設(shè)有防護(hù)機(jī)構(gòu)4-1，用于防止加熱組件4爆炸影響硅芯。防護(hù)機(jī)構(gòu)4-1優(yōu)選聚四氟乙烯材料的板件，當(dāng)然也不排除為鋼化玻璃材料的板件。
[0036]作為上述實(shí)施例的優(yōu)選，工作箱I的頂部設(shè)有懸掛機(jī)構(gòu)3，用于懸吊工作箱I，本實(shí)施例優(yōu)選懸掛機(jī)構(gòu)3為吊環(huán)或吊鉤；吊環(huán)或吊鉤分別設(shè)置在工作箱I頂部的四角上。
[0037]作為上述實(shí)施例的優(yōu)選，工作箱I上設(shè)置有密封板1-4，用于密封工作箱I的開口1-1;在對(duì)硅芯進(jìn)行加熱處理時(shí)，需要將工作箱I上的開口 1-1密封，以使工作箱I內(nèi)的氣流穩(wěn)定流動(dòng)。工作箱I的至少一側(cè)設(shè)置有開口 1-1，本實(shí)施例優(yōu)選工作箱I的相對(duì)兩側(cè)設(shè)置有開口1-1，以方便硅芯棒料的抽取和放入。
[0038]作為上述實(shí)施例的優(yōu)選，工作箱I的底部設(shè)置有行走機(jī)構(gòu)5，用于工作箱I的移動(dòng)。本實(shí)施例優(yōu)選行走機(jī)構(gòu)5為橡膠行走輪，方便移動(dòng)，成本較低；當(dāng)然也不排除為剛性滾輪，在地面的導(dǎo)軌上行走，使工作箱I進(jìn)行移動(dòng)。本實(shí)施例安裝4個(gè)能載重至少I噸的車輪，便于轉(zhuǎn)運(yùn)。
[0039]作為上述實(shí)施例的優(yōu)選，支架2上平行地設(shè)置有凹槽或通孔，用于放置硅芯。凹槽或通孔平行設(shè)置，可以放置多個(gè)硅芯棒料，以同時(shí)對(duì)多個(gè)硅芯進(jìn)行加熱。
[0040]作為上述實(shí)施例的優(yōu)選，還包括:照明裝置9;
[0041]照明裝置9設(shè)置在工作箱I的頂部內(nèi)側(cè)，用于操作人員對(duì)硅芯進(jìn)行操作時(shí)，進(jìn)行照明。
[0042]作為上述實(shí)施例的優(yōu)選，還包括:感溫元件8。
[0043]感溫元件8設(shè)置在工作箱I內(nèi)，用于檢測工作箱I內(nèi)的溫度，以使操作人員實(shí)時(shí)掌握工作箱I內(nèi)的溫度，以進(jìn)行及時(shí)調(diào)節(jié)。
[0044]作為上述實(shí)施例的優(yōu)選，進(jìn)氣孔1-2分布在工作箱I的兩側(cè)，熱氣流從工作箱I的兩側(cè)進(jìn)入工作箱I，對(duì)工作箱I內(nèi)的硅芯進(jìn)行加熱，然后氣流從工作箱I的頂部排出，使對(duì)硅芯的加熱更均勻。
[0045]作為上述實(shí)施例的優(yōu)選，加熱組件4具有不銹鋼加熱管。優(yōu)選304不銹鋼管。
[0046]以上所述，僅是本實(shí)用新型的較佳實(shí)施例而已，并非對(duì)本實(shí)用新型作任何形式上的限制，依據(jù)本實(shí)用新型的技術(shù)實(shí)質(zhì)對(duì)以上實(shí)施例所作的任何簡單修改、等同變化與修飾，均仍屬于本實(shí)用新型技術(shù)方案的范圍內(nèi)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種用于防止硅芯氧化的加熱裝置，其特征在于，包括: 工作箱，為具有開口的容器;所述工作箱的頂部具有排氣孔，底部具有進(jìn)氣孔;所述工作箱為聚四氟乙烯材料； 支架，設(shè)置在所述工作箱內(nèi)，用于支撐硅芯;所述支架為聚四氟乙烯材料； 加熱腔，設(shè)置在所述工作箱的底部，通過所述進(jìn)氣孔與所述工作箱連通； 加熱組件，設(shè)置在所述加熱腔中，用于供熱； 風(fēng)機(jī)，所述風(fēng)機(jī)的出風(fēng)口與所述加熱腔連通，使氣流在所述加熱腔加熱后，再通過所述進(jìn)氣孔流入所述工作箱，用于給所述硅芯加熱。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于防止硅芯氧化的加熱裝置，其特征在于， 所述加熱組件上設(shè)有防護(hù)機(jī)構(gòu)，用于防止所述加熱組件爆炸影響硅芯。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于防止硅芯氧化的加熱裝置，其特征在于， 所述工作箱的頂部設(shè)有懸掛機(jī)構(gòu)，用于懸吊所述工作箱。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于防止硅芯氧化的加熱裝置，其特征在于， 所述工作箱上設(shè)置有密封板，用于密封所述工作箱的開口； 所述工作箱的至少一側(cè)設(shè)置有所述開口。5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于防止硅芯氧化的加熱裝置，其特征在于， 所述工作箱的底部設(shè)置有行走機(jī)構(gòu)，用于所述工作箱的移動(dòng)。6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于防止硅芯氧化的加熱裝置，其特征在于， 所述支架上平行地設(shè)置有凹槽或通孔，用于放置硅芯。7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于防止硅芯氧化的加熱裝置，其特征在于，還包括: 照明裝置，設(shè)置在所述工作箱的頂部內(nèi)側(cè)。8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于防止硅芯氧化的加熱裝置，其特征在于，還包括: 感溫元件，設(shè)置在所述工作箱內(nèi)，用于檢測所述工作箱內(nèi)的溫度。9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于防止硅芯氧化的加熱裝置，其特征在于， 所述進(jìn)氣孔分布在所述工作箱的兩側(cè)。10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于防止硅芯氧化的加熱裝置，其特征在于，所述加熱組件具有不銹鋼加熱管。
【文檔編號(hào)】F26B23/00GK205482163SQ201620321763
【公開日】2016年8月17日
【申請(qǐng)日】2016年4月15日
【發(fā)明人】阮江海
【申請(qǐng)人】新疆大全新能源股份有限公司