專利名稱：刻蝕烘烤設(shè)備升降裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種刻蝕烘烤設(shè)備升降裝置，更具體地說(shuō)，涉及一種使用在氯氣或氯化物刻蝕烘烤設(shè)備中的升降裝置。
背景技術(shù)：
金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積設(shè)備(簡(jiǎn)稱M0CVD)以熱分解反應(yīng)方式在襯底上進(jìn)行化學(xué)沉積反應(yīng)，生長(zhǎng)各種II1-V族、I1-VI族化合物半導(dǎo)體以及它們的多元固溶體的薄層單晶材料。石墨盤作為襯底的承載平臺(tái)，在該反應(yīng)過(guò)程中會(huì)有多余的化學(xué)反應(yīng)殘留物沉積在石墨盤表面上。如果不對(duì)這些殘留物進(jìn)行清除的話，會(huì)在新的一爐外延片生長(zhǎng)過(guò)程中影響對(duì)應(yīng)的溫度控制和表面顆粒，并最終影響到外延片生長(zhǎng)的成品率。目前市場(chǎng)提供和業(yè)內(nèi)使用的石墨盤清潔裝置通常利用長(zhǎng)時(shí)間高溫烘烤的方式來(lái)清除沉積在石墨盤表面上的殘留物。但是，由于石墨盤需要放置在高溫環(huán)境中以進(jìn)行清除作業(yè)，因此需要利用升降裝置對(duì)其進(jìn)行升降，從而將待清除的石墨盤送入高溫反應(yīng)爐和/或從高溫反應(yīng)爐中運(yùn)出已清除的石墨盤。一種現(xiàn)有的升降裝置包括具有升降支架和尾氣收集器的升降機(jī)構(gòu)，其中尾氣收集器支承在升降支架上。在物料上升過(guò)程中，升降機(jī)構(gòu)將支承在升降支架上的尾氣收集器提升到上限位置以使該尾氣收集器通過(guò)反應(yīng)爐底座上的開口而與反應(yīng)爐連通。在物料下降過(guò)程中，升降機(jī)構(gòu)將支承在升降支架上的尾氣收集器下降到下限位置。但是，這樣的升降機(jī)構(gòu)會(huì)導(dǎo)致反應(yīng)爐密封性不佳的問題。由于升降機(jī)構(gòu)主要起到的是升降作用，其只能將尾氣收集器頂靠在反應(yīng)爐底座上，而無(wú)法在提升動(dòng)作完成之后進(jìn)一步將尾氣收集器嚴(yán)實(shí)地密封在反應(yīng)爐底座上，從而產(chǎn)生反應(yīng)爐密封性不佳的問題。因此，目前急需一種使用在氯氣或氯化物刻蝕烘烤設(shè)備中的升降裝置，其同時(shí)具有升降和自動(dòng)密封反應(yīng)爐的功能。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的一個(gè)目的在于提供一種使用在氯氣或氯化物刻蝕烘烤設(shè)備中的升降裝置，其同時(shí)具有升降和自動(dòng)密封反應(yīng)爐的功能，從而克服了先前提到的密封性不佳的問題。本發(fā)明涉及一種刻蝕烘烤設(shè)備升降裝置，包括升降機(jī)構(gòu)和支承在升降機(jī)構(gòu)上的尾氣收集器，尾氣收集器隨升降機(jī)構(gòu)在上限位置和下限位置之間升降，其中，裝置還包括氣缸組件，在升降機(jī)構(gòu)將尾氣收集器提升到上限位置時(shí)，使用氣缸組件進(jìn)一步提升尾氣收集器，以形成尾氣收集器與刻蝕烘烤設(shè)備的反應(yīng)爐之間的密封。較佳的是，升降機(jī)構(gòu)可包括升降支架和絲桿，絲桿通過(guò)絲桿螺母與其上方的升降支架關(guān)聯(lián)配合，以將絲桿的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)轉(zhuǎn)化為升降機(jī)構(gòu)的升降運(yùn)動(dòng)。絲杠可通過(guò)皮帶與驅(qū)動(dòng)電機(jī)相連，以接受來(lái)自驅(qū)動(dòng)電機(jī)的動(dòng)力。皮帶可具有張緊裝置，張緊裝置包括形成在升降機(jī)構(gòu)的滑板上的一對(duì)第一凸臺(tái)和一對(duì)旋合調(diào)節(jié)螺桿的孔；以及形成在升降機(jī)構(gòu)的底座上的一對(duì)凹槽和一對(duì)第二凸臺(tái)，調(diào)節(jié)螺桿通過(guò)頂靠第二凸臺(tái)，致使滑板利用凹槽和第一凸臺(tái)之間的滑動(dòng)配合沿凹槽的方向滑動(dòng)，從而張緊皮帶。在一個(gè)較佳實(shí)施例中，在升降裝置和尾氣收集器上可設(shè)有使兩者連動(dòng)的連動(dòng)裝置，連動(dòng)裝置包括銷軸、形成在尾氣收集器上的多個(gè)螺孔和形成在升降裝置上的多個(gè)通孔，螺孔和通孔經(jīng)由銷軸關(guān)聯(lián)配合。銷軸可具有固定在螺孔中的固定端和插入通孔的活動(dòng)端，銷軸的活動(dòng)端與通孔留有活動(dòng)間隙，且活動(dòng)端的長(zhǎng)度能完全穿透通孔。在又一個(gè)較佳實(shí)施例中，氣缸組件可包括至少一個(gè)氣缸、在氣缸中伸縮的氣軸、聯(lián)接在氣缸軸頂部的氣缸橫臂以及聯(lián)接在氣缸橫臂上的調(diào)節(jié)螺桿。尾氣收集器可設(shè)有與氣缸組件分布位置相對(duì)應(yīng)的多個(gè)凸臺(tái)，凸臺(tái)與旋轉(zhuǎn)到其下方的調(diào)節(jié)螺桿相頂合。在再一個(gè)較佳的實(shí)施例中，升降機(jī)構(gòu)還可包括安裝在升降機(jī)構(gòu)上下兩端的傳感器和安裝在升降機(jī)構(gòu)上的感應(yīng)塊，當(dāng)升降機(jī)構(gòu)上升到上限位置或下降到下限位置時(shí)，感應(yīng)塊感應(yīng)傳感器的輸出信號(hào)，驅(qū)動(dòng)升降機(jī)構(gòu)停止運(yùn)行。此外，尾氣收集器可具有倒置的T形形狀，氣缸組件可以三角形布置的方式布置。本發(fā)明的刻蝕烘烤設(shè)備升降裝置在將尾氣收集器頂靠在反應(yīng)爐底座上之后，通過(guò)擠壓反應(yīng)爐底座上的O圈而將尾氣收集器嚴(yán)實(shí)地密封在反應(yīng)爐底座上，從而克服先前所述的反應(yīng)爐密封性不佳的問題，獲得了有益的技術(shù)效果。


為了進(jìn)一步說(shuō)明本發(fā)明的刻蝕烘烤設(shè)備升降裝置的結(jié)構(gòu)，下面將結(jié)合附圖和具體實(shí)施方式
對(duì)本發(fā)明進(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明，其中圖1為本發(fā)明的刻蝕烘烤設(shè)備升降裝置的立體圖；以及圖2為圖1中的刻蝕烘烤設(shè)備升降裝置左側(cè)部分的放大示意圖。
具體實(shí)施例方式以下將結(jié)合

本發(fā)明的最佳實(shí)施例的結(jié)構(gòu)及運(yùn)行過(guò)程，其中相同的標(biāo)號(hào)表示相同的部件。圖1示出了本發(fā)明的刻蝕烘烤設(shè)備升降裝置的立體圖。如圖所示，該升降裝置主要由升降機(jī)構(gòu)1、尾氣收集器2和氣缸組件3組成。為方便起見，圖1中的升降裝置相對(duì)于實(shí)際使用位置順時(shí)針旋轉(zhuǎn)了 90°。也就是說(shuō)，圖1中的升降裝置左側(cè)對(duì)應(yīng)于實(shí)際使用時(shí)的下方位置，而右側(cè)則對(duì)應(yīng)于實(shí)際使用時(shí)的上方位置。升降機(jī)構(gòu)I的兩端固定在位于刻蝕烘烤設(shè)備上方的上側(cè)臺(tái)板5和下方的下側(cè)臺(tái)板4上，以使升降機(jī)構(gòu)I在上側(cè)臺(tái)板5和下側(cè)臺(tái)板4之間升降。在下文中，將升降機(jī)構(gòu)I運(yùn)動(dòng)到上側(cè)臺(tái)板5的位置稱為“上限位置”，將升降機(jī)構(gòu)I運(yùn)動(dòng)到下側(cè)臺(tái)板4的位置稱為“下限位置”。升降機(jī)構(gòu)I的升降支架109借助連接裝置(例如，螺絲)與位于其下方的絲桿螺母108和一對(duì)滑座110連接在一起。升降支架109利用絲桿螺母108將絲桿112的轉(zhuǎn)動(dòng)變換為自身的直線運(yùn)動(dòng)，從而在上限位置和下限位置之間進(jìn)行升降。該對(duì)滑座110安裝在一對(duì)導(dǎo)軌111上，該對(duì)導(dǎo)軌111布置在絲桿112兩側(cè)且以絲桿112為中心成直線對(duì)稱分布。升降機(jī)構(gòu)I的上下兩端還各自安裝有一個(gè)軸承。例如，圖1中示出了位于升降機(jī)構(gòu)I上端的軸承115，該軸承115固定在升降機(jī)構(gòu)I的頂座116上，以將絲桿112的上端容納在其中。雖然附圖中沒有示出，但本技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員易于理解的是，升降機(jī)構(gòu)I的下端也設(shè)有一個(gè)軸承，該軸承固定在升降機(jī)構(gòu)的底座106上，以將絲桿112的下端容納在其中。如圖1所示，升降支架109的頂面開設(shè)有四個(gè)通孔15，而在尾氣收集器2的底面突出地形成有四個(gè)對(duì)應(yīng)的螺孔16。在本實(shí)施例中，尾氣收集器2具有倒置的T形形狀，螺孔16設(shè)置在其下方橫向部的四個(gè)轉(zhuǎn)角處。當(dāng)然，本技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員也可以改變尾氣收集器的形狀，并根據(jù)尾氣收集器的形狀相應(yīng)地改變螺孔的數(shù)量，繼而改變通孔的數(shù)量。在升降支架109和尾氣收集器2上設(shè)有使兩者連動(dòng)的連動(dòng)裝置。具體地說(shuō)，該連動(dòng)裝置包括銷軸8、形成在尾氣收集器2上的多個(gè)螺孔16和形成在升降支架109上的多個(gè)通孔15。在運(yùn)行時(shí)，將銷軸8的固定端旋入并固定在螺孔16中，而將銷軸8的活動(dòng)端插入通孔15。該銷軸8的活動(dòng)端與升降支架109的通孔15留有一定的活動(dòng)間隙，且該活動(dòng)端的長(zhǎng)度能完全穿透通孔15。利用銷軸8的導(dǎo)向及定位作用，尾氣收集器2在上升或下降過(guò)程中只作上下直線運(yùn)動(dòng)，而不會(huì)發(fā)生前后、左右位移。升降機(jī)構(gòu)I的上下兩端還各自安裝有一個(gè)傳感器支架，例如，圖1中示出了位于升降機(jī)構(gòu)I上端的傳感器支架114，傳感器113安裝在該傳感器支架114上。雖然圖1中的傳感器支架114設(shè)置在升降機(jī)構(gòu)I的頂座116上且靠近軸承115，但本技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員易于理解的是，傳感器支架114也可以設(shè)置在任何適當(dāng)?shù)奈恢锰?。在絲桿螺母108面對(duì)傳感器113的那一側(cè)安裝有一個(gè)感應(yīng)塊107。當(dāng)然，感應(yīng)塊107的設(shè)置位置也不僅限與此。本技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員也可以將其設(shè)置在其它適當(dāng)位置處，例如，滑座110上。當(dāng)絲桿螺母108上升到上限位置時(shí)，隨升降機(jī)構(gòu)上升的感應(yīng)塊107觸發(fā)傳感器113輸出信號(hào)，指示驅(qū)動(dòng)電機(jī)101停止運(yùn)轉(zhuǎn)。此時(shí)，升降機(jī)構(gòu)I也隨著停止上升。反之亦然。驅(qū)動(dòng)電機(jī)101安裝在升降機(jī)構(gòu)I下端的滑板102上，并通過(guò)帶輪105和皮帶104聯(lián)接到絲桿112的下端。請(qǐng)參見圖2，為了使驅(qū)動(dòng)電機(jī)101與絲桿112之間的皮帶104張緊，本發(fā)明的升降機(jī)構(gòu)I還設(shè)計(jì)了一種皮帶張緊裝置。具體來(lái)說(shuō)，滑板102設(shè)計(jì)為長(zhǎng)方形結(jié)構(gòu)，沿其長(zhǎng)邊方向的一端安裝驅(qū)動(dòng)電機(jī)101，另一端與升降機(jī)構(gòu)I的底座106連接并形成一對(duì)第一凸臺(tái)11和一對(duì)旋合調(diào)節(jié)螺桿103的孔12。升降機(jī)構(gòu)I的底座106相應(yīng)地形成有一對(duì)凹槽13和一對(duì)第二凸臺(tái)14，其中，該對(duì)凹槽13可以與形成在滑板102上的第一凸臺(tái)11滑動(dòng)地配合，而第二凸臺(tái)14的突出方向與第一凸臺(tái)11相對(duì)。在調(diào)節(jié)驅(qū)動(dòng)電機(jī)101與絲桿112之間的皮帶104時(shí)，使調(diào)節(jié)螺桿103頂靠于形成在底座106上的第二凸臺(tái)14，致使滑板102可以通過(guò)凹槽13和第一凸臺(tái)11之間的滑動(dòng)配合沿凹槽13的方向滑動(dòng)，從而將皮帶104張緊。請(qǐng)返回圖1，氣缸組件3固定在位于刻蝕烘烤設(shè)備上方的上側(cè)臺(tái)板5下側(cè)，從而在升降機(jī)構(gòu)I的提升動(dòng)作完成之后，進(jìn)一步提升尾氣收集器2，使其嚴(yán)實(shí)地密封在反應(yīng)爐底座6上。根據(jù)尾氣收集器2的T形形狀，氣缸組件3以諸如三角形布置的方式固定在上側(cè)臺(tái)板5下側(cè)，以分別支承尾氣收集器2的三個(gè)端部。通過(guò)上述設(shè)置，可以在進(jìn)一步提升尾氣收集器2時(shí)，擠壓反應(yīng)爐底座6上的O圈7，形成尾氣收集器2與反應(yīng)爐之間的密封，從而平穩(wěn)且受力均勻地密封反應(yīng)爐。氣缸組件3包括至少一個(gè)氣缸301 (在本實(shí)施例中為三個(gè))、在氣缸301中伸縮的氣缸軸305、聯(lián)接在氣缸軸305頂部的氣缸橫臂302以及聯(lián)接在氣缸橫臂302上的調(diào)節(jié)螺桿303和螺母304。除了伸縮功能之外，氣缸軸305還具有旋轉(zhuǎn)功能。調(diào)節(jié)螺桿303具有球頭形狀，其一端固定在氣缸橫臂302上并用螺母304鎖緊，另一端在尾氣收集器2被進(jìn)一步提升時(shí)可用于支承尾氣收集器2，并可用于調(diào)節(jié)支承高度。在尾氣收集器2的三個(gè)端部上還各自設(shè)有與氣缸組件3分布位置相同的多個(gè)凸臺(tái)201，氣缸橫臂302在旋轉(zhuǎn)到相應(yīng)的凸臺(tái)201下方時(shí)，致動(dòng)氣缸組件3進(jìn)一步提升，帶動(dòng)調(diào)節(jié)螺桿303頂靠在該凸臺(tái)201的底面上并提升尾氣收集器2，從而將尾氣收集器2嚴(yán)實(shí)地密封在反應(yīng)爐底座6上。下面將簡(jiǎn)單地介紹本發(fā)明的刻蝕烘烤設(shè)備升降裝置的運(yùn)行過(guò)程。在物料上升過(guò)程中，首先對(duì)升降機(jī)構(gòu)I的皮帶張緊裝置進(jìn)行調(diào)節(jié)。通過(guò)將調(diào)節(jié)螺桿103頂靠于底座106的第二凸臺(tái)14，使滑板102通過(guò)其上的凹槽13和第二凸臺(tái)11之間的滑動(dòng)配合而沿凹槽13的方向滑動(dòng)，從而將皮帶104張緊。這樣，驅(qū)動(dòng)電機(jī)101將通過(guò)帶輪105驅(qū)動(dòng)絲桿112轉(zhuǎn)動(dòng)。隨著絲桿112的轉(zhuǎn)動(dòng)，升降支架109從下限位置開始提升，并通過(guò)一端旋入尾氣收集器2的螺孔16、另一端插入升降支架109的通孔15的銷軸8帶動(dòng)支承在其上的尾氣收集器2進(jìn)行提升，且不會(huì)發(fā)生前后、左右位移。當(dāng)尾氣收集器2移動(dòng)到達(dá)上限位置時(shí)，感應(yīng)塊107觸發(fā)傳感器113輸出信號(hào)，指示驅(qū)動(dòng)電機(jī)101停止運(yùn)轉(zhuǎn)。此時(shí)，升降機(jī)構(gòu)I也隨著停止提升。將氣缸組件3的氣缸橫臂302旋轉(zhuǎn)到尾氣收集器2的對(duì)應(yīng)凸臺(tái)201下方時(shí)，致動(dòng)氣缸組件3進(jìn)一步提升，帶動(dòng)調(diào)節(jié)螺桿303頂靠在該凸臺(tái)201的底面上并提升尾氣收集器2，通過(guò)擠壓反應(yīng)爐底座6上的O圈7而將尾氣收集器2嚴(yán)實(shí)地密封在反應(yīng)爐底座6上。對(duì)應(yīng)地，在物料下降過(guò)程中，氣缸組件3首先將尾氣收集器2下降到升降機(jī)構(gòu)I的升降支架109上，再由升降機(jī)構(gòu)I將尾氣收集器2下降到達(dá)下限位置。雖然以上結(jié)合了較佳實(shí)施例對(duì)本發(fā)明的刻蝕烘烤設(shè)備升降裝置的結(jié)構(gòu)和運(yùn)行過(guò)程作了進(jìn)一步說(shuō)明，但是本技術(shù)領(lǐng)域中的普通技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)認(rèn)識(shí)到，上述示例僅是用來(lái)說(shuō)明的，而不能作為對(duì)本發(fā)明的限制。因此，可以在權(quán)利要求書的實(shí)質(zhì)精神范圍內(nèi)對(duì)本發(fā)明進(jìn)行變型，例如，用其它將尾氣收集器與氣缸組件上的已知裝置來(lái)代替本發(fā)明的頂合裝置；對(duì)換螺孔和通孔的形成位置以適配銷軸的固定端和活動(dòng)端；以及用其它使升降支架和尾氣收集器連動(dòng)的已知裝置來(lái)代替本發(fā)明的連動(dòng)裝置等等。這些變型都將落在本發(fā)明的權(quán)利要求書所要求的范圍之內(nèi)。
權(quán)利要求
1.一種刻蝕烘烤設(shè)備升降裝置，包括升降機(jī)構(gòu)(I)和支承在所述升降機(jī)構(gòu)(I)上的尾氣收集器(2)，所述尾氣收集器(2)隨所述升降機(jī)構(gòu)(I)在上限位置和下限位置之間升降，其特征在于，所述裝置還包括氣缸組件(3)，在所述升降機(jī)構(gòu)(I)將所述尾氣收集器(2)提升到所述上限位置時(shí)，使用所述氣缸組件(3)進(jìn)一步提升所述尾氣收集器(2)，以形成所述尾氣收集器(2)與刻蝕烘烤設(shè)備的反應(yīng)爐之間的密封。
2.如權(quán)利要求1所述的刻蝕烘烤設(shè)備升降裝置，其特征在于，所述升降機(jī)構(gòu)(I)包括升降支架(109)和絲桿(112)，所述絲桿(112)通過(guò)絲桿螺母(108)與其上方的所述升降支架(109)關(guān)聯(lián)配合，以將所述絲桿(112)的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)轉(zhuǎn)化為所述升降機(jī)構(gòu)(109)的升降運(yùn)動(dòng)。
3.如權(quán)利要求2所述的刻蝕烘烤設(shè)備升降裝置，其特征在于，所述絲杠(112)通過(guò)皮帶(104)與驅(qū)動(dòng)電機(jī)(101)相連，以接受來(lái)自所述驅(qū)動(dòng)電機(jī)(101)的動(dòng)力。
4.如權(quán)利要求3所述的刻蝕烘烤設(shè)備升降裝置，其特征在于，所述皮帶(104)具有張緊裝置，所述張緊裝置包括:形成在所述升降機(jī)構(gòu)(I)的滑板(102)上的一對(duì)第一凸臺(tái)(11)和一對(duì)旋合調(diào)節(jié)螺桿(103)的孔(12);以及形成在所述升降機(jī)構(gòu)(I)的底座(106)上的一對(duì)凹槽(13)和一對(duì)第二凸臺(tái)(14)，所述調(diào)節(jié)螺桿(103)通過(guò)頂靠所述第二凸臺(tái)(14)，致使所述滑板(102)利用所述凹槽(13)和所述第一凸臺(tái)(11)之間的滑動(dòng)配合沿所述凹槽(13)的方向滑動(dòng)，從而張緊所述皮帶(104 )。
5.如權(quán)利要求1所述的刻蝕烘烤設(shè)備升降裝置，其特征在于，在所述升降裝置(I)和所述尾氣收集器(2 )上設(shè)有使兩者連動(dòng)的連動(dòng)裝置，所述連動(dòng)裝置包括銷軸(8 )、形成在所述尾氣收集器(2)上的多個(gè)螺孔(16)和形成在所述升降裝置(I)上的多個(gè)通孔(15)，所述螺孔(16 )和所述通孔(15 )經(jīng)由所述銷軸(8 )關(guān)聯(lián)配合。
6.如權(quán)利要求5所述的刻蝕烘烤設(shè)備升降裝置，其特征在于，所述銷軸(8)具有固定在所述螺孔(16)中的固定端和插入所述通孔(15)的活動(dòng)端，所述銷軸(8)的活動(dòng)端與所述通孔(15)留有活動(dòng)間隙，且所述活動(dòng)端的長(zhǎng)度能完全穿透所述通孔(15)。
7.如權(quán)利要求1所述的刻蝕烘烤設(shè)備升降裝置，其特征在于，所述氣缸組件(3)包括至少一個(gè)氣缸(301)、在所述氣缸(301)中伸縮的氣缸軸(305 )、聯(lián)接在所述氣缸軸(305 )頂部的氣缸橫臂(302)以及聯(lián)接在所述氣缸橫臂(302)上的調(diào)節(jié)螺桿(303)。
8.如權(quán)利要求7所述的刻蝕烘烤設(shè)備升降裝置，其特征在于，所述尾氣收集器(2)設(shè)有與所述氣缸組件(3)分布位置相對(duì)應(yīng)的多個(gè)凸臺(tái)，所述凸臺(tái)與旋轉(zhuǎn)到其下方的所述調(diào)節(jié)螺桿(303)相頂合。
9.如權(quán)利要求1所述的刻蝕烘烤設(shè)備升降裝置，其特征在于，所述升降機(jī)構(gòu)(I)還包括安裝在所述升降機(jī)構(gòu)(I)上下兩端的傳感器(113)和安裝在升降機(jī)構(gòu)上的感應(yīng)塊(107)，當(dāng)所述升降機(jī)構(gòu)(I)上升到所述上限位置或下降到所述下限位置時(shí)，所述感應(yīng)塊(107)感應(yīng)所述傳感器(113 )的輸出信號(hào)，驅(qū)動(dòng)所述升降機(jī)構(gòu)(I)停止運(yùn)行。
10.如權(quán)利要求1所述的刻蝕烘烤設(shè)備升降裝置，其特征在于，所述尾氣收集器(2)具有倒置的T形形狀，所述氣缸組件(3)以三角形布置的方式布置。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種刻蝕烘烤設(shè)備升降裝置。該裝置包括升降機(jī)構(gòu)(1)和支承在升降機(jī)構(gòu)(1)上的尾氣收集器(2)，該尾氣收集器(2)隨升降機(jī)構(gòu)(1)在上限位置和下限位置之間升降。該裝置還包括氣缸組件(3)，在升降機(jī)構(gòu)(1)將尾氣收集器(2)提升到上限位置時(shí)，使用氣缸組件(3)進(jìn)一步提升尾氣收集器(2)，以形成尾氣收集器(2)與刻蝕烘烤設(shè)備的反應(yīng)爐之間的密封。本發(fā)明的刻蝕烘烤設(shè)備升降裝置在將尾氣收集器頂靠在反應(yīng)爐底座上之后，通過(guò)擠壓反應(yīng)爐底座上的O圈而將尾氣收集器嚴(yán)實(shí)地密封在反應(yīng)爐底座上，從而克服先前所述的反應(yīng)爐密封性不佳的問題，獲得了有益的技術(shù)效果。
文檔編號(hào)F27D3/12GK103075890SQ201310039000
公開日2013年5月1日 申請(qǐng)日期2013年1月29日 優(yōu)先權(quán)日2013年1月29日
發(fā)明者丁云鑫, 徐小明, 周永君, 毛棋斌 申請(qǐng)人:杭州士蘭明芯科技有限公司