專利名稱：超純氣體生產(chǎn)中氣瓶全自動(dòng)預(yù)處理裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種超純氣體生產(chǎn)中氣瓶全自動(dòng)預(yù)處理裝置。
背景技術(shù)：
超純氣體通常指純度在99. 9999%以上的氣體。在瓶裝超純氣體生產(chǎn)中，氣體包裝物(氣瓶)的預(yù)處理是一個(gè)關(guān)鍵。如果氣瓶處理稍有不慎，就會(huì)導(dǎo)致氣體純度的極大波動(dòng)。在氣瓶預(yù)處理的諸多步驟中，水分處理又顯得尤為關(guān)鍵。和其他常見(jiàn)的不冷凝雜質(zhì)不同的是，水的附著力較強(qiáng)，容易附著在氣瓶?jī)?nèi)壁上。如果氣瓶?jī)?nèi)壁沒(méi)有經(jīng)過(guò)特殊的拋光處理，氣瓶中水分的處理就變得非常困難。現(xiàn)行的方法首先是采用氣瓶真空干燥裝置將氣瓶加熱61小時(shí)，干燥氣瓶里的水 分。然后再將干燥好的氣瓶連接到匯流排，使用超純氣體對(duì)干燥后氣瓶進(jìn)行反復(fù)的抽空置換處理。抽空置換的次數(shù)通常在5 8遍，耗時(shí)在3飛個(gè)小時(shí)。氣瓶真空干燥裝置有兩類，一類是密閉式加熱，另一類是外露式加熱。密閉式干燥裝置的特點(diǎn)是加熱溫度高，水分氣化相對(duì)較快；但過(guò)高的加熱溫度(通常超過(guò)IO(TC)也導(dǎo)致了對(duì)氣瓶閥門有損害。所以使用密閉式干燥裝置前，需要?dú)馄啃断麻y門；在氣瓶干燥完后再將氣瓶閥門裝上。外露式真空干燥裝置是將氣瓶的瓶閥和瓶頸裸露在外，僅對(duì)氣瓶的瓶身加熱。缺點(diǎn)是加熱溫度低(通常在80°c左右)、保溫較差，加熱時(shí)間長(zhǎng)；優(yōu)點(diǎn)是不需卸下氣瓶閥門。氣體公司通常使用密閉式干燥裝置，但是密閉式干燥裝置有幾個(gè)缺點(diǎn)第一是沒(méi)有對(duì)氣體閥門進(jìn)行干燥；第二是氣瓶干燥后安裝閥門的國(guó)產(chǎn)中氣瓶?jī)?nèi)部會(huì)進(jìn)入空氣和水分。經(jīng)過(guò)實(shí)驗(yàn),超純氣體的生產(chǎn)中,這兩個(gè)缺點(diǎn)會(huì)較明顯的增加氣瓶中的雜質(zhì)含量。氣體公司通常采用手動(dòng)的抽空置換裝置。手動(dòng)置換裝置雖然安裝簡(jiǎn)單，但是過(guò)多人為操作可能會(huì)導(dǎo)致產(chǎn)品質(zhì)量的波動(dòng)。而且由于該步驟周期較長(zhǎng)，也浪費(fèi)人力物力。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型提出一種超純氣體生產(chǎn)中氣瓶全自動(dòng)預(yù)處理裝置，它能夠有效地克服現(xiàn)有技術(shù)中的不足，氣瓶抽空置換全部采用電磁閥和程序自動(dòng)控制，在真空加熱的同時(shí)，不斷用超純氣體對(duì)氣瓶進(jìn)行抽空和置換，將氣瓶真空干燥和氣瓶抽空置換的同時(shí)處理，使用外露式真空干燥裝置，將氣瓶瓶身加熱并保持在70°C。本實(shí)用新型的技術(shù)方案是這樣實(shí)現(xiàn)的一種超純氣體生產(chǎn)中氣瓶全自動(dòng)預(yù)處理裝置，包括外露式氣瓶烘箱和氣路總管，氣路總管上分別連接有自動(dòng)排空單元、自動(dòng)置換單元和自動(dòng)抽空單元。作為優(yōu)選，所述自動(dòng)排空單元包括依次連接的排空電磁閥和排空單向閥。作為優(yōu)選，所述排空電磁閥為電磁隔膜閥。作為優(yōu)選，所述自動(dòng)置換單元包括依次連接的置換氣瓶、減壓閥、純化器、置換電磁閥。作為優(yōu)選，所述置換電磁閥為電磁隔膜閥。[0012]作為優(yōu)選，所述自動(dòng)抽空單元包括依次連接的真空泵和抽空電磁閥。作為優(yōu)選，所述抽空電磁閥為電磁隔膜閥。作為優(yōu)選，所述真空泵為雙極真空泵。本實(shí)用新型的有益效果在于(I)使用外露式氣瓶真空干燥裝置，不需卸下氣瓶閥門，保證氣瓶干燥效果。(2)加熱溫度為70°C;在近真空的環(huán)境下，水的沸點(diǎn)大大降低。水分能夠氣化。經(jīng)溫度檢測(cè)，在瓶身溫度達(dá)到70°C時(shí)，氣瓶閥門溫度也能夠達(dá)到40°C左右，在該溫度和壓力下，水分也能沸騰氣化。( 3 )采用全自動(dòng)抽空置換裝置，節(jié)省人力物力。(4)氣瓶真空干燥和抽空置換同時(shí)進(jìn)行，大大節(jié)省時(shí)間，而且比兩個(gè)步驟依次進(jìn)行的效果更好。(5)系統(tǒng)全部采用電磁隔膜閥，氣瓶閥門采用隔膜瓶閥，并使用雙極真空泵，依次提高真空度。真空度越高，水分越易氣化，抽空置換的效率也更高。(6)使用減壓閥控制置換氣壓力，減少置換氣的消耗。(7)顯著減少處理的置換次數(shù)，減少置換氣的消耗，節(jié)省時(shí)間。

為了更清楚地說(shuō)明本實(shí)用新型實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對(duì)實(shí)施例描述中所需要使用的附圖作簡(jiǎn)單地介紹，顯而易見(jiàn)地，下面描述中的附圖僅僅是本實(shí)用新型的其中一個(gè)實(shí)施例，對(duì)于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來(lái)講，在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)性的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。圖I為本實(shí)用新型實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施方式
下面將結(jié)合本實(shí)用新型實(shí)施例中的附圖，對(duì)本實(shí)用新型實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實(shí)施例僅僅是本實(shí)用新型其中一個(gè)實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例?；诒緦?shí)用新型中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒(méi)有作出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的所有其他實(shí)施例，都屬于本實(shí)用新型保護(hù)的范圍。如圖I所示，一種超純氣體生產(chǎn)中氣瓶全自動(dòng)預(yù)處理裝置，包括外露式氣瓶烘箱I和氣路總管2，氣路總管2上分別連接有自動(dòng)排空單元、自動(dòng)置換單元和自動(dòng)抽空單元。所述自動(dòng)排空單元包括依次連接的排空電磁閥3和排空單向閥4，該排空電磁閥3為電磁隔膜閥。所述自動(dòng)置換單元包括依次連接的置換氣瓶5、減壓閥6、純化器7、置換電磁閥8，該置換電磁閥8為電磁隔膜閥。所述自動(dòng)抽空單元包括依次連接的真空泵9和抽空電磁閥10，該抽空電磁閥10為電磁隔膜閥，真空泵9為雙極真空泵。在使用時(shí)，將氣瓶11置于外露式氣瓶烘箱I內(nèi)，用連接支管12將各個(gè)氣瓶11連接于氣路總管2上，打開(kāi)氣瓶瓶閥；將減壓閥6的出口壓力設(shè)定到O. IMPa，開(kāi)啟置換氣氣瓶瓶閥。氣瓶全自動(dòng)處理的程序設(shè)置為[0031]加熱抽空53分鐘，此時(shí)抽空電磁閥10開(kāi)啟，其他電磁閥關(guān)閉。氣體置換5分裝，此時(shí)置換電磁閥8開(kāi)啟，其他電磁閥關(guān)閉。氣體放空2分鐘，此時(shí)排空電磁閥3開(kāi)啟，其他電磁閥關(guān)閉。再重復(fù)上述周期4次后，關(guān)閉所有的電磁閥，關(guān)閉氣瓶閥門，關(guān)閉烘箱。全自動(dòng)處理氣瓶時(shí)間共計(jì)5小時(shí)。經(jīng)分析，經(jīng)過(guò)此方法處理的氣瓶雜質(zhì)含量能夠達(dá)到超純氣體的預(yù)處理要求。水含量小于Ippm,其他雜質(zhì)小于O. 3ppm。相比較，經(jīng)過(guò)密閉式真空干燥裝置加熱4小時(shí)，另抽空置換5次的水含量均超過(guò)2ppm,其他雜質(zhì)在O. 3ppm左右,共計(jì)耗時(shí)7小時(shí)。相比較，經(jīng)過(guò)外露式真空干燥裝置加熱5小時(shí)，另抽空置換5次的水含量均超過(guò)I. 3ppm，其他雜質(zhì)在O. 3ppm左右，共計(jì)耗時(shí)8小時(shí)。 使用外露式氣瓶真空干燥裝置，不需卸下氣瓶閥門，又保證了氣瓶的干燥效果，將氣瓶真空干燥和抽空置換同時(shí)進(jìn)行，大大節(jié)省時(shí)間，而且比兩個(gè)步驟依次進(jìn)行的效果更好。以上所述僅為本實(shí)用新型的較佳實(shí)施例而已，并不用以限制本實(shí)用新型，凡在本實(shí)用新型的精神和原則之內(nèi)，所作的任何修改、等同替換、改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。
權(quán)利要求1.一種超純氣體生產(chǎn)中氣瓶全自動(dòng)預(yù)處理裝置，其特征在于包括外露式氣瓶烘箱和氣路總管，氣路總管上分別連接有自動(dòng)排空單元、自動(dòng)置換單元和自動(dòng)抽空單元。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的超純氣體生產(chǎn)中氣瓶全自動(dòng)預(yù)處理裝置，其特征在于所述自動(dòng)排空單元包括依次連接的排空電磁閥和排空單向閥。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的超純氣體生產(chǎn)中氣瓶全自動(dòng)預(yù)處理裝置，其特征在于所述排空電磁閥為電磁隔膜閥。
4.根據(jù)權(quán)利要求I所述的超純氣體生產(chǎn)中氣瓶全自動(dòng)預(yù)處理裝置，其特征在于所述自動(dòng)置換單元包括依次連接的置換氣瓶、減壓閥、純化器、置換電磁閥。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的超純氣體生產(chǎn)中氣瓶全自動(dòng)預(yù)處理裝置，其特征在于所述置換電磁閥為電磁隔膜閥。
6.根據(jù)權(quán)利要求I所述的超純氣體生產(chǎn)中氣瓶全自動(dòng)預(yù)處理裝置，其特征在于所述自動(dòng)抽空單元包括依次連接的真空泵和抽空電磁閥。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的超純氣體生產(chǎn)中氣瓶全自動(dòng)預(yù)處理裝置，其特征在于所述抽空電磁閥為電磁隔膜閥。
8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的超純氣體生產(chǎn)中氣瓶全自動(dòng)預(yù)處理裝置，其特征在于所述真空泵為雙極真空泵。
專利摘要本實(shí)用新型提出了一種超純氣體生產(chǎn)中氣瓶全自動(dòng)預(yù)處理裝置。它包括外露式氣瓶烘箱和氣路總管，氣路總管上分別連接有自動(dòng)排空單元、自動(dòng)置換單元和自動(dòng)抽空單元。本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)是氣瓶抽空置換全部采用電磁閥和程序自動(dòng)控制，在真空加熱的同時(shí)，不斷用超純氣體對(duì)氣瓶進(jìn)行抽空和置換，將氣瓶真空干燥和氣瓶抽空置換的同時(shí)處理，使用外露式真空干燥裝置，將氣瓶瓶身加熱并保持在70℃。
文檔編號(hào)F26B9/06GK202660860SQ20122027310
公開(kāi)日2013年1月9日 申請(qǐng)日期2012年6月11日 優(yōu)先權(quán)日2012年6月11日
發(fā)明者金星屹, 張根華 申請(qǐng)人:重慶瑞信氣體有限公司