專利名稱：回繞式輻射熱補(bǔ)償保護(hù)加熱器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型是一種回繞式輻射熱補(bǔ)償保護(hù)加熱器，尤指一種可避免現(xiàn)有加熱器易因過熱而造成金屬污染及石英管體壽命降低的缺失，同時(shí)可使本實(shí)用新型以較短時(shí)間達(dá)到供應(yīng)制程所需溫度，進(jìn)而使本實(shí)用新型可達(dá)到提升生產(chǎn)效率與增加石英管體及加熱裝置使用壽命的目的。
背景技術(shù)：
一般的加熱器，請(qǐng)參閱圖1所示，其經(jīng)常使用于半導(dǎo)體制程如濕式蝕刻 (wetetching)的加熱，其包含一石英管體1，該石英管體1設(shè)有內(nèi)流道11與外流道13，該內(nèi)流道11與外流道13相貫通，該內(nèi)流道11設(shè)有入水口 12，該外流道13設(shè)有出水口 15，又該石英管體1設(shè)有中空部14，該中空部14位于外流道13與內(nèi)流道11之間；一加熱管體2， 該加熱管體2設(shè)于該中空部14內(nèi)，該加熱管體2設(shè)有二導(dǎo)電端點(diǎn)21、22 ；當(dāng)該加熱管體2其二導(dǎo)電端點(diǎn)21、22連接電源而電氣導(dǎo)通時(shí)，該加熱管體2即可對(duì)進(jìn)入該石英管體1內(nèi)的液體加熱，進(jìn)而使該加熱器可達(dá)到加熱液體的功效。該現(xiàn)有的加熱器雖可達(dá)到加熱液體的功效，但該加熱器使用的加熱管體2多為電熱絲管或鹵素絲燈管，其產(chǎn)生的高集熱點(diǎn)容易對(duì)該石英管體1的表面造成毛細(xì)孔洞或電流熱擊穿電極，進(jìn)而造成被加熱流體的金屬污染及該石英管體1的壽命降低，造成產(chǎn)品安全性危害，請(qǐng)?jiān)賲㈤喌诙D所示為現(xiàn)有加熱器的溫控曲線圖，由該溫控曲線圖可知，現(xiàn)有加熱器其溫控曲線的震蕩幅度較大，也即其加熱的功率及輸出較不穩(wěn)定，因此容易造成制程溫度品質(zhì)波動(dòng)，進(jìn)而導(dǎo)致生產(chǎn)效率降低及產(chǎn)品品質(zhì)不穩(wěn)定。因此，如何將上述等缺失加以摒除，即為本案創(chuàng)作人所欲解決的技術(shù)困難點(diǎn)之所在。
發(fā)明內(nèi)容有鑒于現(xiàn)有的加熱器，因其產(chǎn)生的高熱容易對(duì)石英管體的表面造成毛細(xì)孔洞，進(jìn)而造成金屬污染及該石英管體壽命降低，又其加熱的功率及輸出較不穩(wěn)定，因此達(dá)到制程溫度所需時(shí)間較久，進(jìn)而導(dǎo)致生產(chǎn)效率降低及使用上的不便，因此本實(shí)用新型的目的在于提供一種回繞式輻射熱補(bǔ)償保護(hù)加熱器，通過本實(shí)用新型其第一加熱裝置的材質(zhì)為碳化硅或?yàn)檠趸\或?yàn)檠趸a或?yàn)閷?dǎo)熱金屬材料，而可穩(wěn)定對(duì)該石英管體加熱，以避免現(xiàn)有加熱器易因過熱而對(duì)石英管體表面造成毛細(xì)孔洞或電流熱擊穿電極，而造成金屬污染及石英管體壽命降低的缺失，同時(shí)可使本實(shí)用新型以較短時(shí)間達(dá)到供應(yīng)制程所需穩(wěn)定溫度，進(jìn)而使本實(shí)用新型可達(dá)到提升生產(chǎn)效率及增加石英管體使用壽命的目的。為達(dá)成以上的目的，本實(shí)用新型提供了一種回繞式輻射熱補(bǔ)償保護(hù)加熱器，其包含—石英管體，該石英管體設(shè)有至少一第一流道，該石英管體設(shè)有至少一第二流道， 該第二流道與該第一流道相貫通，該石英管體設(shè)有第一中空部；[0008]一第一加熱裝置，該第一加熱裝置設(shè)于該石英管體的第一中空部內(nèi)，又該第一加熱裝置的材質(zhì)為碳化硅、氧化鋅、氧化錫或?qū)峤饘俨牧?，該第一加熱裝置設(shè)有第一導(dǎo)電端點(diǎn)與第二導(dǎo)電端點(diǎn)。實(shí)施時(shí)，該第一加熱裝置為管狀、片狀或鍍膜。實(shí)施時(shí)，該石英管體外包圍設(shè)有殼體組件，又該殼體組件設(shè)有殼體、第一蓋體及第二蓋體，該第一蓋體與該殼體一側(cè)相固設(shè)，該第二蓋體與該殼體另一側(cè)相固設(shè)。實(shí)施時(shí)，該殼體為高耐溫防酸堿材質(zhì)。本實(shí)用新型還提供了一種回繞式輻射熱補(bǔ)償保護(hù)加熱器，其包含一石英管體，該石英管體設(shè)有至少一第一流道，該石英管體設(shè)有至少一第二流道， 該第二流道與第一流道相貫通，該石英管體設(shè)有第一中空部，又該石英管體一側(cè)設(shè)有至少一第一感測(cè)器；一第一加熱裝置，該第一加熱裝置設(shè)于該石英管體的第一中空部內(nèi)，又該第一加熱裝置設(shè)有第一導(dǎo)電端點(diǎn)與第二導(dǎo)電端點(diǎn)。實(shí)施時(shí)，該第一感測(cè)器為漏液感知器、流量計(jì)或測(cè)溫裝置。實(shí)施時(shí)，該第一加熱裝置的材質(zhì)為碳化硅、氧化鋅、氧化錫或?qū)峤饘俨牧?。本?shí)用新型還提供了一種回繞式輻射熱補(bǔ)償保護(hù)加熱器，其包含一石英管體，該石英管體設(shè)有至少一第一流道，該石英管體設(shè)有至少一第二流道， 又該第一流道與第二流道之間設(shè)有至少一第三流道，該石英管體設(shè)有第一中空部，又該石英管體設(shè)有至少一第二中空部；一第一加熱裝置，該第一加熱裝置設(shè)于該石英管體的第一中空部內(nèi)，該第一加熱裝置設(shè)有第一導(dǎo)電端點(diǎn)與第二導(dǎo)電端點(diǎn)；至少一第二加熱裝置，該第二加熱裝置設(shè)于該石英管體的第二中空部內(nèi)，該第二加熱裝置設(shè)有第三導(dǎo)電端點(diǎn)與第四導(dǎo)電端點(diǎn)。實(shí)施時(shí)，該第一加熱裝置與第二加熱裝置的材質(zhì)為碳化硅、氧化鋅、氧化錫或?qū)峤饘俨牧?。?shí)施時(shí)，該第一加熱裝置與該第二加熱裝置分別使用不同電壓系統(tǒng)的電源。本實(shí)用新型提供一種回繞式輻射熱補(bǔ)償保護(hù)加熱器，其包含一石英管體，該石英管體設(shè)有至少一第一流道，該石英管體設(shè)有至少一第二流道， 該第二流道與第一流道相貫通，該石英管體設(shè)有第一中空部；一第一加熱裝置，該第一加熱裝置設(shè)于該石英管體其第一中空部內(nèi)，又該第一加熱裝置的材質(zhì)為碳化硅、氧化鋅、氧化錫或?qū)峤饘俨牧?，該第一加熱裝置可為管狀、片狀或鍍膜，該第一加熱裝置設(shè)有第一導(dǎo)電端點(diǎn)與第二導(dǎo)電端點(diǎn)；通過本實(shí)用新型其第一加熱裝置的材質(zhì)為碳化硅或?yàn)檠趸\或?yàn)檠趸a或?yàn)閷?dǎo)熱金屬材料，而可穩(wěn)定對(duì)該石英管體加熱，以避免現(xiàn)有加熱器易因過熱對(duì)石英管體表面造成毛細(xì)孔洞，而造成金屬污染及石英管體壽命降低的缺失，同時(shí)可使本實(shí)用新型以較短時(shí)間達(dá)到供應(yīng)制程所需穩(wěn)定溫度，進(jìn)而使本實(shí)用新型可達(dá)到提升生產(chǎn)效率及增加石英管體使用壽命的目的。

[0027]圖1是現(xiàn)有的立體分解示意圖。圖2是現(xiàn)有的加熱器溫控曲線示意圖。圖3是本實(shí)用新型的立體分解示意圖。圖4是本實(shí)用新型的組合示意圖。圖5是本實(shí)用新型的加熱器溫控曲線示意圖。圖6是本實(shí)用新型的第二蓋體的閥體可增加散熱效果的示意圖。圖7是本實(shí)用新型的第三實(shí)施例的分解示意圖。圖8是本實(shí)用新型的第三實(shí)施例的第一感測(cè)器可提升安全性的示意圖。圖9是本實(shí)用新型的第二實(shí)施例的分解示意圖。圖10是本實(shí)用新型的第二實(shí)施例可提升加熱效率的示意圖。附圖標(biāo)記說明1-石英管體；11-內(nèi)流道；12-入水口 ；13-外流道；14-中空部； 15-出水口 ；2-加熱管體；21-導(dǎo)電端點(diǎn)；22-導(dǎo)電端點(diǎn)；3-殼體組件；31-殼體；311-容置空間；35-第一蓋體；351-第一透孔；352-第二透孔；353-第三透孔；36-第二蓋體； 361-閥體；4-石英管體；41-第一流道；411-入水口 ；42-第二流道；421-出水口 ；43-第三流道；44-第一中空部；45-第二中空部；46-第一感測(cè)器；461-第五導(dǎo)線；5-第一加熱裝置；51-第一導(dǎo)電端點(diǎn)；511-第一導(dǎo)線；52-第二導(dǎo)電端點(diǎn)；521-第二導(dǎo)線；6-第二加熱裝置；61-第三導(dǎo)電端點(diǎn)；611-第三導(dǎo)線；62-第四導(dǎo)電端點(diǎn)；621-第四導(dǎo)線；7-被加熱流體； 8-電子式溫度控制器；9-電源開關(guān)。
具體實(shí)施方式
為使貴審查員方便簡捷了解本實(shí)用新型的其他特征內(nèi)容與優(yōu)點(diǎn)及其所達(dá)成的功效能夠更為顯現(xiàn)，茲將本實(shí)用新型配合附圖，詳細(xì)說明如下請(qǐng)參閱圖3、圖4所示，本實(shí)用新型提供一種回繞式輻射熱補(bǔ)償保護(hù)加熱器，其包含一石英管體4，該石英管體4設(shè)有至少一第一流道41，該第一流道41設(shè)有入水口 411，該石英管體4設(shè)有至少一第二流道42，該第二流道42與第一流道41相貫通，又該第二流道設(shè)有出水口 421，該石英管體4設(shè)有第一中空部44，該第一中空部44位于該第一流道 41與第二流道42之間； 一第一加熱裝置5，該第一加熱裝置5設(shè)于該石英管體4其第一中空部44內(nèi)，該第一加熱裝置5的材質(zhì)可為碳化硅、氧化鋅、氧化錫或?qū)峤饘俨牧?，又該第一加熱裝置5可為管狀、片狀或、為鍍膜，該第一加熱裝置5設(shè)有第一導(dǎo)電端點(diǎn)51，該第一導(dǎo)電端點(diǎn)51設(shè)有第一導(dǎo)線511，又該第一加熱裝置5設(shè)有第二導(dǎo)電端點(diǎn)52，該第二導(dǎo)電端點(diǎn)52設(shè)有第二導(dǎo)線 521 ； 一殼體組件3，該殼體組件3包圍設(shè)于該石英管體4外，該殼體組件3可為圓筒狀， 或請(qǐng)?jiān)倥浜蠀㈤唸D9所示，該殼體組件3也可為長方體狀，該殼體組件3設(shè)有殼體31，該殼體31設(shè)有容置空間311，該石英管體4位于該殼體31的容置空間311內(nèi)，又該殼體3可為高耐溫防酸堿材質(zhì)，該殼體組件3設(shè)有第一蓋體35，該第一蓋體35與殼體31 —側(cè)相固設(shè)， 又該第一蓋體35與殼體31之間可為密閉或部份開放，該第一蓋體35設(shè)有至少一第一透孔 351，該第一透孔351與石英管體4其第一流道41的入水口 411相穿設(shè)，該第一蓋體35設(shè)有至少一第二透孔352，該第二透孔352與石英管體4其第二流道42的出水口 421相穿設(shè)， 該第一蓋體35設(shè)有至少一第三透孔353，通過該第一蓋體35設(shè)有至少一第三透孔353，而使該第三透孔353可供該第一加熱裝置5其第一導(dǎo)線511與第二導(dǎo)線521相穿設(shè)，而如圖 4所示，使該第一導(dǎo)線511與第二導(dǎo)線521可與外部的電源或控制器相連接，該殼體組件3 設(shè)有第二蓋體36，該第二蓋體36與殼體3另一側(cè)相固設(shè)，該第二蓋體36與殼體31之間可為密閉或部份開放，又該第二蓋體36設(shè)有至少一閥體361，該閥體361可為散熱閥；請(qǐng)參閱圖3、圖5所示，通過本實(shí)用新型其第一加熱裝置5的材質(zhì)可為碳化硅或?yàn)檠趸\或?yàn)檠趸a或?yàn)閷?dǎo)熱金屬材料，而可以穩(wěn)定的功率及輸出對(duì)該石英管體4加熱，以避免現(xiàn)有加熱器易因過熱對(duì)石英管體1表面造成毛細(xì)孔洞或電流熱擊穿電極，而造成金屬污染及石英管體1壽命降低的缺點(diǎn)，同時(shí)也可使本實(shí)用新型其溫控曲線較為穩(wěn)定而如圖5 所示，也即達(dá)到供應(yīng)制程所需穩(wěn)定溫度的時(shí)間較短，進(jìn)而使本實(shí)用新型可達(dá)到提升生產(chǎn)效率與增加石英管體及第一加熱裝置使用壽命的目的。請(qǐng)?jiān)賲㈤唸D3、圖6所示，通過該殼體組件3其第二蓋體36設(shè)有至少一閥體361， 又該閥體361可為散熱閥，而可將該石英管體4于殼體31內(nèi)產(chǎn)生的熱氣排出，以避免該石英管體4與第一加熱裝置5過熱造成安全性的問題，進(jìn)而使本實(shí)用新型兼具提升散熱及安全性的效果。請(qǐng)?jiān)賲㈤唸D7所示為本實(shí)用新型的第二實(shí)施例，其中該石英管體4 一側(cè)可設(shè)有至少一第一感測(cè)器46，該第一感測(cè)器46設(shè)有第五導(dǎo)線461，該第一感測(cè)器46可為漏液感知器 (leak sensor)或?yàn)榱髁坑?jì)(flow meter)或?yàn)闇y(cè)溫裝置如熱電偶(thermalcouple)，請(qǐng)?jiān)倥浜蠀㈤唸D8所示，當(dāng)該石英管體4其第一感測(cè)器46的第五導(dǎo)線461與電子式溫度控制器 8電氣連接，通過該第一感測(cè)器46可為漏液感知器、流量計(jì)或測(cè)溫裝置，而使本實(shí)用新型于流量不足或過溫時(shí)可由該電子式溫度控制器8控制電源開關(guān)9，以進(jìn)行斷電或停止加熱的保護(hù)動(dòng)作；又，當(dāng)該被加熱流體7外漏時(shí)，該第一感測(cè)器46也可偵測(cè)得知，而使相關(guān)人員可于第一時(shí)間處理，進(jìn)而使本實(shí)用新型可達(dá)到提升安全性的功效。請(qǐng)?jiān)賲㈤唸D9為本實(shí)用新型的第三實(shí)施例，其中該石英管體4其第一流道41與第二流道42之間可再設(shè)有至少一第三流道43，該第三流道43分別與該第一流道41及第二流道42相貫通，且該石英管體4其第一中空部44位于該第一流道41與第三流道43之間，又該石英管體4可再設(shè)有至少一第二中空部45，該第二中空部45位于該第三流道43與第二流道42之間，另該第二中空部45內(nèi)可再設(shè)有至少一第二加熱裝置6，該第二加熱裝置6的材質(zhì)可為碳化硅、氧化鋅、氧化錫或?qū)峤饘俨牧希衷摰诙訜嵫b置6可為管狀、片狀或鍍膜，該第二加熱裝置6設(shè)有第三導(dǎo)電端點(diǎn)61，該第三導(dǎo)電端點(diǎn)61設(shè)有第三導(dǎo)線611，該第二加熱裝置6設(shè)有第四導(dǎo)電端點(diǎn)62，該第四導(dǎo)電端點(diǎn)62設(shè)有第四導(dǎo)線621，又，本實(shí)用新型其第一加熱裝置5與第二加熱裝置6可依照材質(zhì)特性與需求而分別使用不同電壓系統(tǒng)的電源，而使該第一加熱裝置5與第二加熱裝置6可分別以不同功率對(duì)該被加熱流體7加熱，而使本實(shí)用新型可達(dá)到更精密的補(bǔ)償加熱與溫度控制的功效，請(qǐng)?jiān)倥浜蠀㈤唸D10所示，當(dāng)被加熱流體7由該第一流道41的入水口 411進(jìn)入該石英管體4時(shí)，通過本實(shí)用新型其石英管體4的第一流道41與第二流道42之間設(shè)有至少一第三流道43，該第二中空部45內(nèi)設(shè)有至少一第二加熱裝置6，而可增加該被加熱流體7的加熱路徑與加熱面積，進(jìn)而使本實(shí)用新型可達(dá)到更佳加熱效率的功效。[0047]為使本實(shí)用新型更加顯現(xiàn)出其進(jìn)步性與實(shí)用性，茲與現(xiàn)有作一比較分析如下現(xiàn)有技術(shù)1、造成石英管體因過熱受損，導(dǎo)致石英管體的使用壽命降低。2、加熱功率不穩(wěn)定，達(dá)到制程溫度的時(shí)間較長，生產(chǎn)效率較低。本實(shí)用新型優(yōu)點(diǎn)1、加熱器可穩(wěn)定加熱，可提升石英管體及加熱裝置的使用壽命。2、加熱功率穩(wěn)定，達(dá)到制程溫度的時(shí)間較短，生產(chǎn)效率較高。以上說明對(duì)本實(shí)用新型而言只是說明性的，而非限制性的，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員理解，在不脫離所附權(quán)利要求所限定的精神和范圍的情況下，可做出許多修改，變化或等效，但都將落入本實(shí)用新型的保護(hù)范圍內(nèi)。
權(quán)利要求1.一種回繞式輻射熱補(bǔ)償保護(hù)加熱器，其特征在于，其包含一石英管體，該石英管體設(shè)有至少一第一流道，該石英管體設(shè)有至少一第二流道，該第二流道與該第一流道相貫通，該石英管體設(shè)有第一中空部；一第一加熱裝置，該第一加熱裝置設(shè)于該石英管體的第一中空部內(nèi)，又該第一加熱裝置的材質(zhì)為碳化硅、氧化鋅、氧化錫或?qū)峤饘俨牧希摰谝患訜嵫b置設(shè)有第一導(dǎo)電端點(diǎn)與第二導(dǎo)電端點(diǎn)。
2.如權(quán)利要求1所述的回繞式輻射熱補(bǔ)償保護(hù)加熱器，其特征在于，該第一加熱裝置為管狀、片狀或鍍膜。
3.如權(quán)利要求1所述的回繞式輻射熱補(bǔ)償保護(hù)加熱器，其特征在于，該石英管體外包圍設(shè)有殼體組件，又該殼體組件設(shè)有殼體、第一蓋體及第二蓋體，該第一蓋體與該殼體一側(cè)相固設(shè)，該第二蓋體與該殼體另一側(cè)相固設(shè)。
4.如權(quán)利要求3所述的回繞式輻射熱補(bǔ)償保護(hù)加熱器，其特征在于，該殼體為高耐溫防酸堿材質(zhì)。
5.一種回繞式輻射熱補(bǔ)償保護(hù)加熱器，其特征在于，其包含一石英管體，該石英管體設(shè)有至少一第一流道，該石英管體設(shè)有至少一第二流道，該第二流道與第一流道相貫通，該石英管體設(shè)有第一中空部，又該石英管體一側(cè)設(shè)有至少一第一感測(cè)器；一第一加熱裝置，該第一加熱裝置設(shè)于該石英管體的第一中空部內(nèi)，又該第一加熱裝置設(shè)有第一導(dǎo)電端點(diǎn)與第二導(dǎo)電端點(diǎn)。
6.如權(quán)利要求5所述的回繞式輻射熱補(bǔ)償保護(hù)加熱器，其特征在于，該第一感測(cè)器為漏液感知器、流量計(jì)或測(cè)溫裝置。
7.如權(quán)利要求5所述的回繞式輻射熱補(bǔ)償保護(hù)加熱器，其特征在于，該第一加熱裝置的材質(zhì)為碳化硅、氧化鋅、氧化錫或?qū)峤饘俨牧稀?br> 8.一種回繞式輻射熱補(bǔ)償保護(hù)加熱器，其特征在于，其包含一石英管體，該石英管體設(shè)有至少一第一流道，該石英管體設(shè)有至少一第二流道，又該第一流道與第二流道之間設(shè)有至少一第三流道，該石英管體設(shè)有第一中空部，又該石英管體設(shè)有至少一第二中空部；一第一加熱裝置，該第一加熱裝置設(shè)于該石英管體的第一中空部內(nèi)，該第一加熱裝置設(shè)有第一導(dǎo)電端點(diǎn)與第二導(dǎo)電端點(diǎn)；至少一第二加熱裝置，該第二加熱裝置設(shè)于該石英管體的第二中空部內(nèi)，該第二加熱裝置設(shè)有第三導(dǎo)電端點(diǎn)與第四導(dǎo)電端點(diǎn)。
9.如權(quán)利要求8所述的回繞式輻射熱補(bǔ)償保護(hù)加熱器，其特征在于，該第一加熱裝置與第二加熱裝置的材質(zhì)為碳化硅、氧化鋅、氧化錫或?qū)峤饘俨牧稀?br> 10.如權(quán)利要求8所述的回繞式輻射熱補(bǔ)償保護(hù)加熱器，其特征在于，該第一加熱裝置與該第二加熱裝置分別使用不同電壓系統(tǒng)的電源。
專利摘要本實(shí)用新型提供一種回繞式輻射熱補(bǔ)償保護(hù)加熱器，包含一石英管體，該石英管體設(shè)有至少一第一流道，該石英管體設(shè)有至少一第二流道，該第二流道與第一流道相貫通，該石英管體設(shè)有第一中空部；一第一加熱裝置，該第一加熱裝置設(shè)于該石英管體其第一中空部內(nèi)，又該第一加熱裝置的材質(zhì)為碳化硅、氧化鋅或氧化錫；通過本實(shí)用新型其第一加熱裝置的材質(zhì)為碳化硅、氧化鋅、氧化錫或?qū)峤饘俨牧希煞€(wěn)定對(duì)該石英管體加熱，以避免現(xiàn)有易因過熱對(duì)石英管體表面造成毛細(xì)孔洞，而造成金屬污染及石英管體壽命降低的缺失，同時(shí)可使本實(shí)用新型以較短時(shí)間達(dá)到供應(yīng)制程所需穩(wěn)定溫度，進(jìn)而使本實(shí)用新型可達(dá)到提升生產(chǎn)效率及增加石英管體使用壽命的目的。
文檔編號(hào)F24H1/12GK202119077SQ201120143800
公開日2012年1月18日 申請(qǐng)日期2011年5月6日 優(yōu)先權(quán)日2011年5月6日
發(fā)明者卜繁生, 李美慶 申請(qǐng)人:卜繁生, 李美慶