專利名稱：機(jī)械握爪干燥方法和干燥裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及半導(dǎo)體制造工藝，且特別涉及機(jī)械握爪干燥方法和機(jī)械握爪干燥裝置。
背景技術(shù)：
在半導(dǎo)體制作過程中，往往需要將晶片依次放置于若干種不同的化學(xué)溶液中進(jìn)行反應(yīng)，并反復(fù)進(jìn)行將晶片從化學(xué)溶液池中取出及放入的動(dòng)作。在目前的工藝制程中，通常采用機(jī)械握爪完成上述晶片的抓取和運(yùn)輸，機(jī)械握爪能夠替代人手，準(zhǔn)確快速地抓取和運(yùn)輸晶片，從而提高生產(chǎn)效率。同時(shí)，由于采用了機(jī)械自動(dòng)化的生產(chǎn)流程，有效地減少了對晶片的污染，提高了成品率。然而，由于機(jī)械握爪需要從化學(xué)溶液中抓取晶片，部分化學(xué)溶液將不可避免地沾染在機(jī)械握爪上，而隨著晶片的運(yùn)輸流程，機(jī)械握爪所攜帶的部分化學(xué)溶液將會(huì)污染機(jī)臺等設(shè)備儀器，為此，現(xiàn)有的生產(chǎn)流程中需要對機(jī)械握爪進(jìn)行清洗和干燥。以SCP9415工具臺為例。參考圖1和圖2，為了實(shí)現(xiàn)對機(jī)械握爪110的清洗和干燥，通常將機(jī)械握爪Iio放入一個(gè)用于清洗和干燥的容器120，該容器120中至少包括用于清洗的噴射裝置121以及用于輸入氣體進(jìn)行干燥的干燥管道122。當(dāng)機(jī)械握爪110進(jìn)入預(yù)定位置后，先通過噴射裝置121用清洗液對其清洗預(yù)定時(shí)間，然后再通過干燥管道122輸入成份穩(wěn)定的惰性氣體，例如氮?dú)?，對其進(jìn)行干燥。由于化學(xué)溶液自身屬性存在差異，從嚴(yán)格清洗干燥的角度來說，應(yīng)該對進(jìn)入不同化學(xué)溶液的機(jī)械握爪采取不同時(shí)長的清洗和干燥， 然而，在實(shí)際操作過程中，并非所有化學(xué)溶液都會(huì)對機(jī)臺造成很大的污染，并且也并非機(jī)械握爪進(jìn)入所有的化學(xué)溶液都會(huì)沾染上一定量的化學(xué)溶液，而如果清洗干燥的時(shí)長過長，將會(huì)影響整個(gè)生產(chǎn)線的生產(chǎn)效率。因此，為了保證生產(chǎn)效率和生產(chǎn)品質(zhì)的平衡，對機(jī)械握爪的清洗和干燥通常采用固定的時(shí)長，且時(shí)長較短。例如，在SCP9415工具臺中，通常將干燥時(shí)間設(shè)定為10秒。在實(shí)際生產(chǎn)過程中，機(jī)械握爪往往無法干燥徹底，而這使得其所沾染的化學(xué)溶液仍有可能對機(jī)臺等設(shè)備造成污染。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明提出一種機(jī)械握爪干燥方法和干燥裝置，在無需增加干燥時(shí)長的前提下實(shí)現(xiàn)了干燥效果的改善，節(jié)約了生產(chǎn)成本和工藝時(shí)間，提高了生產(chǎn)效率。為了實(shí)現(xiàn)上述技術(shù)目的，本發(fā)明提出一種機(jī)械握爪干燥方法，至少包括加熱用于干燥的惰性氣體；通過加熱后的惰性氣體對機(jī)械握爪進(jìn)行干燥。可選的，所述加熱用于干燥的惰性氣體包括一邊輸入惰性氣體，一邊對其進(jìn)行加熱；或者預(yù)先對惰性氣體進(jìn)行加熱，然后再將加熱后的惰性氣體輸入?？蛇x的，所述加熱用于干燥的惰性氣體包括將所述惰性氣體加熱至40攝氏度以上?？蛇x的，所述惰性氣體為氮?dú)狻?br> 此外，本發(fā)明還提出一種機(jī)械握爪干燥裝置，至少包括干燥管道，用于通入惰性氣體對機(jī)械握爪進(jìn)行干燥；加熱裝置，用于對所述干燥管道中的惰性氣體進(jìn)行加熱?？蛇x的，所述惰性氣體為氮?dú)狻？蛇x的，所述加熱裝置為貼附于所述干燥管道外側(cè)的加溫帶?？蛇x的，通過控制所述加溫帶貼附于所述干燥管道外側(cè)的纏繞面積，或通過控制加溫帶自身的溫度，實(shí)現(xiàn)所述加熱裝置對所述干燥管道中惰性氣體的溫度調(diào)節(jié)?？蛇x的，所述加熱裝置位于所述干燥管道的進(jìn)氣口，預(yù)先對進(jìn)入所述干燥管道的惰性氣體進(jìn)行加熱。本發(fā)明的有益效果為通過對用于干燥的惰性氣體預(yù)先進(jìn)行加熱，然后再將其對機(jī)械握爪進(jìn)行干燥，不僅在無需增加干燥時(shí)長的前提下實(shí)現(xiàn)了干燥效果的改善，而且結(jié)構(gòu)簡單，實(shí)施方便，易于有效地利用現(xiàn)有的機(jī)臺設(shè)備，從而節(jié)省了生產(chǎn)成本，提高了生產(chǎn)效率。


圖1和圖2為現(xiàn)有機(jī)械握爪干燥裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；圖3為本發(fā)明機(jī)械握爪干燥方法一種實(shí)施方式的流程示意圖；圖4為本發(fā)明機(jī)械握爪干燥裝置一種實(shí)施方式的剖面結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施例方式發(fā)明人發(fā)現(xiàn)，為了不影響生產(chǎn)效率，延長干燥機(jī)械握爪的時(shí)長通常不太現(xiàn)實(shí)，而為了實(shí)現(xiàn)對機(jī)械握爪進(jìn)一步的徹底干燥，可通過改善其干燥溫度來實(shí)現(xiàn)。事實(shí)上，現(xiàn)有生產(chǎn)流程中，對機(jī)械握爪的清洗和干燥通常都是在常溫下進(jìn)行的，特別是干燥過程，而發(fā)明人經(jīng)過多次試驗(yàn)發(fā)現(xiàn)，提高干燥溫度能夠有效增強(qiáng)機(jī)械握爪的干燥效果。下面將結(jié)合具體實(shí)施例和附圖，對本發(fā)明機(jī)械握爪干燥方法和干燥裝置進(jìn)行詳細(xì)闡述。參考圖3，本發(fā)明機(jī)械握爪干燥方法的一種具體實(shí)施方式
至少包括步驟Si，加熱用于干燥的惰性氣體；步驟S2，通過加熱后的惰性氣體對機(jī)械握爪進(jìn)行干燥。具體來說，在步驟Sl中，可一邊輸入惰性氣體，一邊對其進(jìn)行加熱，也可預(yù)先對惰性氣體進(jìn)行加熱，然后再將加熱后的惰性氣體輸入。其中，所述惰性氣體可根據(jù)具體生產(chǎn)要求進(jìn)行設(shè)定，例如，可采用氮?dú)獾?。具體加熱溫度可根據(jù)實(shí)際生產(chǎn)要求進(jìn)行調(diào)節(jié)，在具體實(shí)施中，可加熱至40攝氏度以上，例如可加熱至50攝氏度-60攝氏度。在步驟S2中，由于采用加熱后的惰性氣體進(jìn)行干燥，高溫氣體加速了機(jī)械握爪上所沾染的化學(xué)溶液中的水分蒸發(fā)，在不改變干燥時(shí)長的前提下有效地改善了干燥的效果。以SCP9415工具臺為具體實(shí)施例。其中，可一邊將氮?dú)廨斎胫吝m于對機(jī)械握爪進(jìn)行干燥的管道，一邊對氮?dú)膺M(jìn)行加熱，當(dāng)將氮?dú)饧訜嶂?0攝氏度以上，例如50攝氏度-60 攝氏度，使其對機(jī)械握爪進(jìn)行干燥。在原定的干燥時(shí)長內(nèi)，機(jī)械握爪的干燥效果能夠得到明顯的提升。此外，參考圖4，本發(fā)明還提供了機(jī)械握爪干燥裝置的一種具體實(shí)施方式
，至少包括
干燥管道210，用于通入惰性氣體對機(jī)械握爪進(jìn)行干燥；加熱裝置220，用于對干燥管道210中的惰性氣體進(jìn)行加熱。具體來說，干燥管道210可采用現(xiàn)有工具臺中所設(shè)計(jì)的氣體管道，用于通入惰性氣體，例如氮?dú)?。在一種實(shí)施方式中，加熱裝置220可采用貼附于干燥管道210外側(cè)的加溫帶，對干燥管道210中的惰性氣體進(jìn)行加熱，可根據(jù)實(shí)際生產(chǎn)需要，對加溫帶的溫度進(jìn)行調(diào)節(jié)而實(shí)現(xiàn)所述惰性氣體的加熱溫度。例如，可將用于干燥的惰性氣體加熱至40攝氏度以上，具體來說，可加熱至50攝氏度-60攝氏度，從而使得加熱后的惰性氣體能夠明顯地改善對機(jī)械握爪的干燥效果。在具體實(shí)現(xiàn)中，調(diào)節(jié)加溫帶對干燥氣體的加熱溫度，可通過控制加溫帶貼附于干燥管道210外側(cè)的纏繞面積來實(shí)現(xiàn)，也可通過控制加溫帶的溫度來調(diào)節(jié)。在其它實(shí)施方式中，加熱裝置220還可位于干燥管道210的進(jìn)氣口，從而使得待用于干燥的惰性氣體在進(jìn)入干燥管道210之前預(yù)先被加熱。本領(lǐng)域技術(shù)人員應(yīng)能理解，在上述各實(shí)施方式中，例如清洗、干燥、加熱等工藝的具體實(shí)現(xiàn)和步驟并不對本發(fā)明機(jī)械握爪干燥方法和干燥裝置的發(fā)明構(gòu)思造成限制，上述各工藝步驟中可采用但并不限于現(xiàn)有的常規(guī)工藝參數(shù)、原料及設(shè)備。相較于現(xiàn)有技術(shù)，本發(fā)明機(jī)械握爪干燥方法和干燥裝置通過對用于干燥的惰性氣體預(yù)先進(jìn)行加熱，然后再將其對機(jī)械握爪進(jìn)行干燥，不僅在無需增加干燥時(shí)長的前提下實(shí)現(xiàn)了干燥效果的改善，而且結(jié)構(gòu)簡單，實(shí)施方便，易于有效地利用現(xiàn)有的機(jī)臺設(shè)備，從而節(jié)省了生產(chǎn)成本，提高了生產(chǎn)效率。本發(fā)明雖然已以較佳實(shí)施例公開如上，但其并不是用來限定本發(fā)明，任何本領(lǐng)域技術(shù)人員在不脫離本發(fā)明的精神和范圍內(nèi)，都可以利用上述揭示的方法和技術(shù)內(nèi)容對本發(fā)明技術(shù)方案做出可能的變動(dòng)和修改，因此，凡是未脫離本發(fā)明技術(shù)方案的內(nèi)容，依據(jù)本發(fā)明的技術(shù)實(shí)質(zhì)對以上實(shí)施例所作的任何簡單修改、等同變化及修飾，均屬于本發(fā)明技術(shù)方案的保護(hù)范圍。
權(quán)利要求
1.一種機(jī)械握爪干燥方法，其特征在于，至少包括加熱用于干燥的惰性氣體；通過加熱后的惰性氣體對機(jī)械握爪進(jìn)行干燥。
2.如權(quán)利要求1所述的機(jī)械握爪干燥方法，其特征在于，所述加熱用于干燥的惰性氣體包括一邊輸入惰性氣體，一邊對其進(jìn)行加熱；或者預(yù)先對惰性氣體進(jìn)行加熱，然后再將加熱后的惰性氣體輸入。
3.如權(quán)利要求1所述的機(jī)械握爪干燥方法，其特征在于，所述加熱用于干燥的惰性氣體包括將所述惰性氣體加熱至40攝氏度以上。
4.如權(quán)利要求1所述的機(jī)械握爪干燥方法，其特征在于，所述惰性氣體為氮?dú)狻?br> 5.一種機(jī)械握爪干燥裝置，其特征在于，至少包括干燥管道，用于通入惰性氣體對機(jī)械握爪進(jìn)行干燥；加熱裝置，用于對所述干燥管道中的惰性氣體進(jìn)行加熱。
6.如權(quán)利要求5所述的機(jī)械握爪干燥裝置，其特征在于，所述惰性氣體為氮?dú)狻?br> 7.如權(quán)利要求5所述的機(jī)械握爪干燥裝置，其特征在于，所述加熱裝置為貼附于所述干燥管道外側(cè)的加溫帶。
8.如權(quán)利要求7所述的機(jī)械握爪干燥裝置，其特征在于，通過控制所述加溫帶貼附于所述干燥管道外側(cè)的纏繞面積，或通過控制加溫帶自身的溫度，實(shí)現(xiàn)所述加熱裝置對所述干燥管道中惰性氣體的溫度調(diào)節(jié)。
9.如權(quán)利要求5所述的機(jī)械握爪干燥裝置，其特征在于，所述加熱裝置位于所述干燥管道的進(jìn)氣口，預(yù)先對進(jìn)入所述干燥管道的惰性氣體進(jìn)行加熱。
全文摘要
一種機(jī)械握爪干燥方法和機(jī)械握爪干燥裝置，其中，所述機(jī)械握爪干燥方法至少包括加熱用于干燥的惰性氣體；通過加熱后的惰性氣體對機(jī)械握爪進(jìn)行干燥。本發(fā)明通過對用于干燥的惰性氣體預(yù)先進(jìn)行加熱，然后再將其對機(jī)械握爪進(jìn)行干燥，從而在無需增加干燥時(shí)長的前提下實(shí)現(xiàn)了干燥效果的改善，結(jié)構(gòu)簡單，易于有效地利用現(xiàn)有的機(jī)臺設(shè)備，節(jié)省了生產(chǎn)成本，提高了生產(chǎn)效率。
文檔編號F26B3/00GK102506561SQ201110298659
公開日2012年6月20日 申請日期2011年9月30日 優(yōu)先權(quán)日2011年9月30日
發(fā)明者包中誠, 鈕晨光 申請人:上海宏力半導(dǎo)體制造有限公司