專利名稱：爐體溫度梯度實時可調(diào)機構(gòu)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及晶體生長設(shè)備和高溫設(shè)備，屬于晶體生長設(shè)備和半導(dǎo)體設(shè)備制造
技術(shù)領(lǐng)域，具體是一種爐體溫度梯度實時可調(diào)機構(gòu)。
背景技術(shù)：
隨著現(xiàn)代工業(yè)的發(fā)展，在新材料行業(yè)和半導(dǎo)體行業(yè)中對高溫設(shè)備的需求越來越 多，這些設(shè)備包括晶體生長爐、高溫?zé)Y(jié)爐、CVD和M0CVD設(shè)備、濺射設(shè)備。在設(shè)備需求增加 的同時，對工藝要求也越來越高，對設(shè)備的要求也越來越高。 這些相關(guān)的熱處理設(shè)備根據(jù)不同的工藝要求，對設(shè)備爐膛內(nèi)的溫度梯度有一定的 特殊要求，往往在設(shè)備運行時候會發(fā)現(xiàn)溫場不是太合適，現(xiàn)有設(shè)備的爐膛結(jié)構(gòu)由于熱傳輸 時固定的，所以要調(diào)節(jié)溫場只能把設(shè)備停機進行調(diào)節(jié)，極大的浪費了時間和成本。同時調(diào)節(jié) 的難度也很大，需要多次的摸索，積累經(jīng)驗才可以實現(xiàn)。

實用新型內(nèi)容本實用新型所解決的技術(shù)問題在于提供一種可以在高溫設(shè)備不停機的情況就可 以實現(xiàn)溫場調(diào)節(jié)的爐體溫度梯度實時可調(diào)機構(gòu)。 本實用新型所解決的技術(shù)問題采用以下技術(shù)方案來實現(xiàn) —種爐體溫度梯度實時可調(diào)機構(gòu)，主要為爐體，由爐壁和爐蓋構(gòu)成，爐蓋放置在爐 壁上下端面，其特征在于所述爐壁和上下爐蓋在垂直方向上分成一層或多層，在水平方向 上分成一塊或多塊。 所述分割后的爐壁和爐蓋將爐體分成多塊獨立或半獨立腔室，在所述的腔室內(nèi)設(shè) 置導(dǎo)流板或不設(shè)置導(dǎo)流板，每塊獨立的腔室獨立控制流體、液體或氣體的流量和溫度，利用 流體帶走熱量的同時還利用流量的不同帶走不同的熱量從而制造出不同的溫差達到精確 控制爐內(nèi)溫場梯度的目的。 本實用新型的進一步技術(shù)方案是在所述爐體上的各種水冷晶體提拉桿、水冷托 桿、水冷壓頭、水冷電極和附著在爐體外表面和爐內(nèi)的各種水冷部件，利用精確控制通過上 述獨立腔室部位流體的流量從而精確溫差。 本實用新型可以使用在晶體生長爐、高溫?zé)Y(jié)爐、CVD和M0CVD設(shè)備、濺射設(shè)備，以 及一切有加熱源和利用流體冷卻的設(shè)備。 本實用新型的有益效果是將爐壁分割成若干個獨立室、爐蓋也分割成若干個獨立 冷卻室的爐膛，在應(yīng)用中每個腔室的冷卻流體、液體或氣體的溫度和流量都可以分別控制， 控制每個小腔室的流量和溫度，就可以在爐膛的空間內(nèi)實現(xiàn)對溫度梯度的精確控制。

圖1是本實用新型的結(jié)構(gòu)示意圖； 圖2是圖1的俯視3[0013] 圖3是本實用新型分割后腔室原理圖。
具體實施方式
為了使本實用新型實現(xiàn)的技術(shù)手段、創(chuàng)作特征、達成目的與功效易于明白了解，下 面結(jié)合具體圖示，進一步闡述本實用新型。 如圖1和2所示， 一種爐體溫度梯度實時可調(diào)機構(gòu)，主要為爐體1，由爐壁和爐蓋構(gòu) 成，爐蓋放置在爐壁上下端面為一完整的爐體腔室，將爐壁和上下爐蓋在垂直方向上分成 一層或多層，在水平方向上分成一塊或多塊，將爐體1分成多塊獨立或半獨立腔室ll，腔室 11內(nèi)設(shè)置導(dǎo)流板或不設(shè)置導(dǎo)流板，每塊獨立的腔室11獨立控制流體、液體或氣體的流量和 溫度，利用流體帶走熱量的同時還利用流量的不同帶走不同的熱量從而制造出不同的溫差 達到精確控制爐內(nèi)溫場梯度。 以上顯示和描述了本實用新型的基本原理和主要特征和本實用新型的優(yōu)點。本行 業(yè)的技術(shù)人員應(yīng)該了解，本實用新型不受上述實施例的限制，上述實施例和說明書中描述 的只是說明本實用新型的原理，在不脫離本實用新型精神和范圍的前提下，本實用新型還 會有各種變化和改進，這些變化和改進都落入要求保護的本實用新型范圍內(nèi)。本實用新型 要求保護范圍由所附的權(quán)利要求書及其等效物界定。
權(quán)利要求一種爐體溫度梯度實時可調(diào)機構(gòu)，主要為爐體，由爐壁和爐蓋構(gòu)成，爐蓋放置在爐壁上下端面，其特征在于所述爐壁和上下爐蓋在垂直方向上分成一層或多層，在水平方向上分成一塊或多塊。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述爐體溫度梯度實時可調(diào)機構(gòu)，其特征在于所述分割后的爐壁 和爐蓋將爐體分成多塊獨立或半獨立腔室，在所述的腔室內(nèi)設(shè)置導(dǎo)流板或不設(shè)置導(dǎo)流板， 每塊獨立的腔室獨立控制流體、液體或氣體的流量和溫度。
專利摘要一種爐體溫度梯度實時可調(diào)機構(gòu)，涉及晶體生長設(shè)備和高溫設(shè)備，屬于晶體生長設(shè)備和半導(dǎo)體設(shè)備制造技術(shù)領(lǐng)域，主要為爐體，由爐壁和爐蓋構(gòu)成，爐蓋放置在爐壁上下端面，其特征在于所述爐壁和上下爐蓋在垂直方向上分成一層或多層，在水平方向上分成一塊或多塊。有益效果是將爐壁分割成若干個獨立室、爐蓋也分割成若干個獨立冷卻室的爐膛，在應(yīng)用中每個腔室的冷卻流體、液體或氣體的溫度和流量都可以分別控制，控制每個小腔室的流量和溫度，就可以在爐膛的空間內(nèi)實現(xiàn)對溫度梯度的精確控制。
文檔編號F27D1/00GK201514120SQ20092021023
公開日2010年6月23日 申請日期2009年9月27日 優(yōu)先權(quán)日2009年9月27日
發(fā)明者黃小衛(wèi) 申請人:上海元亮光電科技有限公司