專利名稱：微透鏡陣列基板的制造方法及制造裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及例如在高清晰液晶顯示裝置中的具有作為象素的聚焦元件的微透鏡用的微透鏡陣列基板的制造方法及制造裝置。
背景技術(shù)：
以往已經(jīng)知道，在將圖像向屏幕投影的投影儀中，有采用液晶顯示板的投影儀。而且還知道，近年來(lái)在上述投影儀中，根據(jù)圖像的高清晰度及高分辨率的要求，以提高光利用效率為目的，有液晶顯示板上采用具有微透鏡陣列的微透鏡陣列基板的投影儀。
圖3所示為以往的裝有微透鏡陣列基板的液晶投影儀的簡(jiǎn)要構(gòu)成主視圖。另外，圖4所示為上述液晶投影儀的微透鏡陣列基板的主要部分構(gòu)成主視圖。
如圖3及圖4所示，上述液晶投影儀具有白色光源11、聚光鏡12、分色鏡13、微透鏡陣列基板14、液晶板15、物鏡16及投影透鏡17，使圖像投影到屏幕18上。
白色光源11照射的光，通過(guò)聚光鏡12形成平行光束，向分色鏡13照射。分色鏡13由以不同角度配置的3種反射鏡13R、13G及13B構(gòu)成。而反射鏡13R、13G及13B具有有選擇地分別使與紅色、綠色及藍(lán)色對(duì)應(yīng)的各種波長(zhǎng)的光反射、同時(shí)讓其它波長(zhǎng)的光透射的特性，在光軸上按照紅、綠及藍(lán)的順序即反射鏡13R、13G及13B的順序配置。
在上述液晶投影儀中，利用上述分色鏡13R、13G及13B分割的各光束19分別以不同的角度入射微透鏡陣列基板14。然后，通過(guò)上述微透鏡陣列基板14的各光束19，在通過(guò)各自對(duì)應(yīng)的液晶板15上的開(kāi)口部分之后，用物鏡16變換光軸，通過(guò)投影透鏡17投影到屏幕18上。
但是，采用上述微透鏡陣列基板14將產(chǎn)生下述的問(wèn)題。
利用微透鏡陣列基板14聚焦在液晶板15的開(kāi)口部分的各光束19，在通過(guò)液晶板15之后，將在一個(gè)較大的角度范圍內(nèi)發(fā)散出去。因此，若不用大口徑的投影透鏡17，則光利用效率下降，將導(dǎo)致圖像質(zhì)量降低。
對(duì)于上述的問(wèn)題，例如在USP5633737(日本專利申請(qǐng)的特開(kāi)平7-181487號(hào)公報(bào)(
公開(kāi)日1995年7月21日))中提出了下述的方法，即如圖5所示，在液晶板21與第一微透鏡陣列22之間配置第二微透鏡陣列23，將利用光束入射側(cè)的第一微透鏡陣列22聚焦的各光束24進(jìn)行光軸變換，使得用第二微透鏡陣列23出射的出射光的光軸方向平行，通過(guò)這樣來(lái)抑制各光束24的發(fā)散，以圖不用大口徑的投影透鏡而改善光利用效率。
另外，關(guān)于雙層結(jié)構(gòu)的微透鏡陣列基板的制造方法，例如有日本國(guó)專利申請(qǐng)的特開(kāi)2000-147500號(hào)公報(bào)(
公開(kāi)日2000年5月26日)所揭示的方法。
下面參照?qǐng)D6a～圖6h說(shuō)明上述雙層結(jié)構(gòu)的微透鏡陣列基板的制造方法。
如圖6a～圖6h所示，首先在形成第一微透鏡陣列32的反轉(zhuǎn)圖形的壓模35上供給第一紫外線固化樹(shù)脂39(圖6a)。然后，從其上方貼緊玻璃基板37，使第一紫外線固化樹(shù)脂39在壓模35與玻璃基板37之間攤開(kāi)后，通過(guò)玻璃基板37照射紫外線(圖6b)，這樣使第一紫外線固化樹(shù)脂39固化，形成第一微透鏡陣列32。然后，將樹(shù)脂固化后的第一微透鏡陣列32從壓模35剝離(圖6c)。
另外，第二微透鏡陣列33采用與上述第一微透鏡陣列32的形成方法相同的方法形成。具體來(lái)說(shuō)，首先在形成第二微透鏡陣列33的反轉(zhuǎn)圖形的壓模36上供給第一紫外線固化樹(shù)脂39(圖6d)。然后，從其上方貼緊玻璃基板38，使第一紫外線固化樹(shù)脂39在壓模36與玻璃基板38之間攤開(kāi)后，通過(guò)玻璃基板38照射紫外線(圖6e)，這樣使第一紫外線固化樹(shù)脂39固化，形成第二微透鏡陣列33。樹(shù)脂固化后將第二微透鏡陣列33從壓模36剝離(圖6f)。
接著，向在玻璃基板38上形成的第二微透鏡陣列33供給第二紫外線固化樹(shù)脂40(圖6g)，將第一微透鏡陣列32朝下的玻璃基板37重疊在第二紫外線固化樹(shù)脂40上加壓，調(diào)整微透鏡陣列32與33之間的距離之后，照射紫外線，通過(guò)這樣使第二紫外線固化樹(shù)脂40固化，制成微透鏡陣列基板(圖6h)。
但是，采用具有上述雙層結(jié)構(gòu)的微透鏡陣列基板的制造方法，將產(chǎn)生下述的問(wèn)題。
具體來(lái)說(shuō)，在上述日本國(guó)專利申請(qǐng)的特開(kāi)平2000-147500號(hào)公報(bào)揭示的制造方法中，是將形成第一微透鏡陣列32的玻璃基板37與形成第二微透鏡陣列33的玻璃基板38是作為獨(dú)立的部分分別形成的，然后將2塊玻璃基板貼合，通過(guò)這樣制成微透鏡陣列基板。但是，在上述公報(bào)中，關(guān)于微透鏡陣列相互之間的對(duì)準(zhǔn)方法，是既沒(méi)有揭示，也沒(méi)有啟發(fā)，在照原樣簡(jiǎn)單地重疊后貼合的情況下，第一微透鏡陣列32與第二微透鏡陣列33的光軸產(chǎn)生傾斜或偏移，導(dǎo)致光利用效率下降及由于各光束的混色而引起的分辨率降低。
對(duì)于該問(wèn)題，可以考慮將上述玻璃基板裝在模架式組合模(die、set)中進(jìn)行貼合的方法。下面說(shuō)明使用上述模架式組合模的微透鏡陣列制造方法的具體例子(第一方法及第二方法)。
作為第一方法，如圖7a～圖7c所示，首先將形成第一微透鏡陣列32的玻璃基板37固定在模架式組合模的上平臺(tái)201上，而將形成第二微透鏡陣列33的玻璃基板38固定在下平臺(tái)202上(圖7a)。然后，在玻璃基板38上供給第二紫外線固化樹(shù)脂40后(圖7b)，使上平臺(tái)201接近下平臺(tái)202，將第二紫外線固化樹(shù)脂40在第一與第二微透鏡陣列之間攤開(kāi)(圖7c)。然后，照射紫外線，使第二紫外線固化樹(shù)脂固化，能夠?qū)⒉ＡЩ?7與38以保持兩塊基板平行度的狀態(tài)下進(jìn)行貼合。
另外，作為制造上述雙層結(jié)構(gòu)的微透鏡陣列基板的第二方法，如圖8a～圖8f所示，在模架式組合模的上平臺(tái)201與下平臺(tái)202之間，將壓模35及36固定在能夠沿導(dǎo)桿203移動(dòng)并保持的中間平臺(tái)204上。這時(shí)，壓模35及36以各自的微透鏡陣列型相互之間能夠調(diào)整光軸的狀態(tài)保持在模架式組合模上。在上述的構(gòu)成中，首先將玻璃基板37固定在上平臺(tái)201上，將玻璃基板38固定在下平臺(tái)202上(圖8a)。在壓模35及玻璃基板38上供給第一紫外線固化樹(shù)脂39(圖8b)，使玻璃基板37接近壓模35，使壓模36接近玻璃基板38。這時(shí)，下平臺(tái)的202固定，使上平臺(tái)201及壓模35及36向下平臺(tái)202的方向移動(dòng)。然后，將第一紫外線固化樹(shù)脂39分別在玻璃基板與壓模之間壓下攤開(kāi)(圖8c)，再照射紫外線，使第一紫外線固化樹(shù)脂39固化。然后，將玻璃基板37從壓模35剝離，將壓模36從玻璃基板38剝離(圖8d)，在玻璃基板37上形成第一微透鏡陣列32，在玻璃基板38上形成第二微透鏡陣列33。然后，將壓模35及36從模架式組合模拆下，向玻璃基板38上形成的第二微透鏡陣列33供給第二紫外線固化樹(shù)脂40(圖8e)。然后，使已固定形成了第一微透鏡陣列32的玻璃基板37的上平臺(tái)201接近下平臺(tái)202，將第二紫外線固化樹(shù)脂40在第一微透鏡陣列32與第二微透鏡陣列33之間壓下攤開(kāi)(圖8f)，再照射紫外線，使第二紫外線固化樹(shù)脂40固化，從而制成微透鏡陣列基板。通過(guò)采用這樣的制造方法，能夠調(diào)整微透鏡陣列相互之間的光軸及傾斜。
但是，在使用上述模架式組合模的第一及第二制造方法中，將產(chǎn)生下述的問(wèn)題。
首先，在上述第一方法中，由于在玻璃基板37及38上形成微透鏡陣列32及33之后，要固定在模架式組合模中，因此產(chǎn)生的問(wèn)題是，另外還需要形成微透鏡陣列的裝置，設(shè)備費(fèi)用將增加。另外，除了上述問(wèn)題以外，由于在將形成第一微透鏡陣列32的玻璃基板37與形成第二微透鏡陣列33的玻璃基板38貼合時(shí)，每一次都必須進(jìn)行光軸調(diào)整，因此制造微透鏡陣列基板需要較長(zhǎng)的時(shí)間，不適合于大量生產(chǎn)。
其次，在第二方法中，雖然能夠用一臺(tái)裝置制成微透鏡陣列基板，但由于在使基板37與38貼合時(shí)，要將壓模35及36從模架式組合模拆下，然后在再一次將壓模裝在模架式組合模上時(shí)，要重新設(shè)置壓模35及36，因此必須將壓模相互之間對(duì)準(zhǔn)。所以，與第一方法的問(wèn)題相同，不適合于大量產(chǎn)生。另外，為了拆下壓模35及36，必須增大玻璃基板37與壓模35之間和玻璃基板38與壓模36之間的距離，由于延長(zhǎng)了上平臺(tái)201及壓模35在模架式組合模內(nèi)的移動(dòng)距離，因此有可能會(huì)在移動(dòng)時(shí)增加光軸傾斜或偏移。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于，通過(guò)與以往相比更減少制造工序，以提供能夠更簡(jiǎn)單地大量生產(chǎn)微透鏡陣列基板的制造方法及制造裝置。
為了達(dá)到上述的目的，本發(fā)明的微透鏡陣列基板的制造方法，是在相互相對(duì)的第一與第二透明基板之間配置形成微透鏡陣列型的壓模，在第一透明基板與所述壓模之間及第二透明基板與所述壓模之間分別形成由第一或第二透光性樹(shù)脂構(gòu)成的微透鏡陣列之后，使所述壓模移開(kāi)，將微透鏡陣列相互之間用第三透光性樹(shù)脂固定，通過(guò)這樣制成微透鏡陣列基板，在所述微透鏡陣列基板的制造方法中，將第二透明基板的移動(dòng)限制在僅與第一透明基板的基板表面垂直的方向上，同時(shí)將第一透明基板的移動(dòng)限制在僅與第二透明基板的基板表面垂直的方向上，所述壓模在一個(gè)表面形成第一微透鏡陣列型，同時(shí)在另一個(gè)表面形成第二微透鏡陣列型。
為了達(dá)到上述的目的，本發(fā)明的微透鏡陣列基板的制造方法，是在模架式組合模中保持的互相相對(duì)的第一與第二透明基板之間，配置形成微透鏡陣列型的壓模，在第一透明基板與所述壓模之間及第二透明基板與所述壓模之間分別形成由第一或第二透光性樹(shù)脂構(gòu)成的微透鏡陣列之后，使所述壓模移開(kāi)，將微透鏡陣列相互之間用第三透光性樹(shù)脂固定，通過(guò)這樣制成微透鏡陣列基板，在所述微透鏡陣列基板的制造方法中，所述壓模在一個(gè)表面形成第一微透鏡陣列型，同時(shí)在另一個(gè)表面形成第二微透鏡陣列型。
根據(jù)上述構(gòu)成，對(duì)模架式組合模中保持的透明基板，采用兩面形成微透鏡陣列型的壓模，制成微透鏡陣列基板。具體來(lái)說(shuō)，是使第一透明基板與第二透明相對(duì)配置，同時(shí)在所述第一與第二透明基板之間配置所述壓模，在各自透明基板上形成由透光性樹(shù)脂構(gòu)成的微透鏡陣列之后，移去壓模。然后，將所述兩個(gè)微透鏡陣列之間用第三透光性樹(shù)脂固定，通過(guò)這樣制成。即，在所述第一微透鏡陣列與第二微透鏡陣列之間，形成由第三透光性樹(shù)脂構(gòu)成的微透鏡。這時(shí)，上述壓模由于在兩面形成微透鏡陣列型，因此在透鏡陣列型之間相互不需要進(jìn)行位置調(diào)整。
因而，與以往那樣用互相不同的壓模來(lái)制造微透鏡陣列基板的情況相比，在將壓模裝到模架式組合模中時(shí)，由于不需要對(duì)壓模相互之間進(jìn)行位置調(diào)整，因此能夠以更少的工序而且更簡(jiǎn)單地制成所述基板。另外，與以往相比，由于能夠以更少的工序而且更簡(jiǎn)單地制成所述基板，因此能夠更簡(jiǎn)單地進(jìn)行大量生產(chǎn)。
為了達(dá)到上述的目的，本發(fā)明的微透鏡陣列基板的制造裝置，是在互相相對(duì)的第一透明基板與第二透明基板上分別形成由第一透光性樹(shù)脂或第二透光性樹(shù)脂構(gòu)成的微透鏡陣列，同時(shí)所述微透鏡陣列相互之間用第三透光性樹(shù)脂固定，這樣制成微透鏡陣列基板，在所述微透鏡陣列基板的制造裝置中，具有使第一與第二透明基板相互相對(duì)分別保持這些透明基板的第一及第二保持裝置(保持構(gòu)件)、在所述第一與第二透明基板之間保持形成微透鏡陣列型的壓模的壓模保持裝置(壓模保持構(gòu)件)、以及將第一保持裝置及第二保持裝置及壓模保持裝置的移動(dòng)限制在相對(duì)于第一透明基板的基板表面垂直方向上的限制構(gòu)件，所述壓模保持裝置能夠使所述壓模從所述第一與第二保持裝置之間移開(kāi)，同時(shí)所述壓模在一個(gè)表面形成第一微透鏡陣列型，同時(shí)在另一個(gè)表面形成第二微透鏡陣列型。
根據(jù)上述構(gòu)成，由于在所述壓模的兩面形成不同的微透鏡陣列型，因此在微透鏡陣列相互之間不需要進(jìn)行對(duì)準(zhǔn)。因而，與以往的制造裝置相比，能夠更簡(jiǎn)單地制成微透鏡陣列基板。
本發(fā)明的其它目的、特征及優(yōu)點(diǎn)，根據(jù)以下所述的內(nèi)容將非常清楚。另外，本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)根據(jù)參照附圖的下列說(shuō)明也可以了解。


圖1a所示為本發(fā)明的微透鏡陣列基板的制造工序主視圖。
圖1b所示為本發(fā)明的微透鏡陣列基板的制造工序主視圖。
圖1c所示為本發(fā)明的微透鏡陣列基板的制造工序主視圖。
圖1d所示為本發(fā)明的微透鏡陣列基板的制造工序主視圖。
圖1e所示為本發(fā)明的微透鏡陣列基板的制造工序主視圖。
圖1f所示為本發(fā)明的微透鏡陣列基板的制造工序主視圖。
圖2a所示為上述微透鏡陣列基板的制造裝置的簡(jiǎn)要構(gòu)成主視圖。
圖2b所示為上述微透鏡陣列基板的制造裝置中移開(kāi)壓模的狀態(tài)下的簡(jiǎn)要主視圖。
圖2c所示為比較本發(fā)明與以往的制造裝置用的以往的制造裝置的簡(jiǎn)要主視圖。
圖3所示為以往的液晶投影儀的構(gòu)成主視圖。
圖4所示為上述以往的液晶投影儀中安裝的微透鏡陣列基板的主要部分構(gòu)成主視圖。
圖5所示為以往的微透鏡陣列基板的其它構(gòu)成主視圖。
圖6a所示為以往的微透鏡陣列基板的制造工序主視圖。
圖6b所示為以往的微透鏡陣列基板的制造工序主視圖。
圖6c所示為以往的微透鏡陣列基板的制造工序主視圖。
圖6d所示為以往的微透鏡陣列基板的制造工序主視圖。
圖6e所示為以往的微透鏡陣列基板的制造工序主視圖。
圖6f所示為以往的微透鏡陣列基板的制造工序主視圖。
圖6g所示為以往的微透鏡陣列基板的制造工序主視圖。
圖6h所示為以往的微透鏡陣列基板的制造工序主視圖。
圖7a所示為以往的使用模架式組合模的微透鏡陣列基板的制造工序主視圖。
圖7b所示為以往的使用模架式組合模的微透鏡陣列基板的制造工序主視圖。
圖7c所示為以往的使用模架式組合模的微透鏡陣列基板的制造工序主視圖。
圖8a所示為以往的使用模架式組合模的微透鏡陣列基板其它制造工序主視圖。
圖8b所示為以往的使用模架式組合模的微透鏡陣列基板其它制造工序主視圖。
圖8c所示為以往的使用模架式組合模的微透鏡陣列基板其它制造工序主視圖。
圖8d所示為以往的使用模架式組合模的微透鏡陣列基板其它制造工序主視圖。
圖8e所示為以往的使用模架式組合模的微透鏡陣列基板其它制造工序主視圖。
圖8f所示為以往的使用模架式組合模的微透鏡陣列基板其它制造工序主視圖。
具體實(shí)施例方式下面根據(jù)圖1a～圖1f及圖2a～圖2c說(shuō)明本發(fā)明一實(shí)施形態(tài)。
本實(shí)施形態(tài)有關(guān)的微透鏡陣列基板的制造裝置是這樣構(gòu)成的，它是在相互相對(duì)的一對(duì)透明基板上分別形成由透光性樹(shù)脂構(gòu)成的微透鏡陣列，同時(shí)上述微透鏡陣列相互之間用其它的透光性樹(shù)脂固定，這樣制成微透鏡陣列基板，在所述微透鏡陣列基板的制造裝置中，具有使上述一對(duì)透明基板相互相向?qū)χ帽３诌@些透明基板的第一及第二保持裝置、在上述一對(duì)透明基板之間具有的保持形成微透鏡陣列型的壓模的壓模保持裝置、以及將第一保持裝置及第二保持裝置及壓模保持裝置的移動(dòng)限制在相對(duì)于一個(gè)透明基板的基板表面垂直方向上的限制構(gòu)件，上述壓模保持裝置能夠使上述壓模從上述第一與第二保持裝置之間移開(kāi)，同時(shí)上述壓模在一個(gè)表面形成第一微透鏡陣列型，還在另一個(gè)表面形成第二微透鏡陣列型。
下面以圖2a及圖2b所示的模架式組合模100來(lái)說(shuō)明本實(shí)施形態(tài)有關(guān)的微透鏡陣列基板的制造裝置。模架式組合模是用于成形的工夾具，它是上平臺(tái)與下平臺(tái)的至少一個(gè)平臺(tái)能夠沿著導(dǎo)桿高精度移動(dòng)而構(gòu)成的。
圖2a及圖2b所示為本實(shí)施形態(tài)的模架式組合模100(微透鏡陣列基板的制造裝置)的構(gòu)成。具體來(lái)說(shuō)，上述模架式組合模100具有上平臺(tái)101(第一保持裝置)、下平臺(tái)102(第二保持裝置)、中間平臺(tái)104(壓模保持裝置)、壓模1及導(dǎo)桿103(限制構(gòu)件)。
上平臺(tái)101用來(lái)保持第一透明基板2。而下平臺(tái)102用來(lái)保持第二透明基板3。具體來(lái)說(shuō)，將第一透明基板2放置在上平臺(tái)101的基板放置面上，而第二透明基板3放置在下平臺(tái)102的基板放置面上。該上平臺(tái)101的基板放置面及下平臺(tái)102的基板放置面分別是平面，而且相互平行相向?qū)χ?。另外，上述第一透明基?及第二透明基板3只要是有透光性的材料，則無(wú)特別限定，可以用相互相同的材料構(gòu)成，也可以用相互不同的材料構(gòu)成。作為上述第一透明基板2及第二透明基板3，例如可以舉出有玻璃基板或塑料基板等。
然后，上述上平臺(tái)101及下平臺(tái)102能夠沿著至少一根導(dǎo)桿103，在相對(duì)于第一透明基板2的基板表面垂直的方向(上下方向)上移動(dòng)。即，上述模架式組合模100能夠使上述第一透明基板2即第二透明基板3以始終滿足相互平行關(guān)系的狀態(tài)移動(dòng)。另外，所謂上述第一透明基板2的基板表面表示基板放置面。
中間平臺(tái)104保持壓模1。具體來(lái)說(shuō)，中間平臺(tái)104保持壓模1，使得壓模1相對(duì)于上述第一及第二透明基板2、3相互平行。上述中間平臺(tái)104安裝在導(dǎo)桿上，而且設(shè)置在上平臺(tái)101及下平臺(tái)102之間。另外，在本實(shí)施形態(tài)中，中間平臺(tái)104以固定其位置的狀態(tài)安裝在導(dǎo)桿103上。具體來(lái)說(shuō)，中間平臺(tái)104安裝在導(dǎo)桿上，使其不沿上下方向移動(dòng)。除此之外，該中間平臺(tái)104設(shè)置成能夠以一個(gè)導(dǎo)桿103為中心轉(zhuǎn)動(dòng)。即，上述中間平臺(tái)104設(shè)置成不會(huì)在導(dǎo)桿103上沿上下方向移動(dòng)，但能夠轉(zhuǎn)動(dòng)。而且，該中間平臺(tái)104保持有壓模1。具體來(lái)說(shuō)，中間平臺(tái)104保持著該壓模1，使得能夠?qū)耗?配置在第一透明基板2與第二透明基板3之間。因而，壓模1也與中間平臺(tái)104相同，能夠以上述一個(gè)導(dǎo)桿103為中心轉(zhuǎn)動(dòng)。而且，上述第一及第二透明基板2及3相對(duì)于壓模1移動(dòng)，并始終滿足相互平行的關(guān)系。
另外，在下面的說(shuō)明中，有時(shí)從中間平臺(tái)104來(lái)看，將設(shè)置上平臺(tái)101的方向作為上方向，將設(shè)置下平臺(tái)102的方向作為下方，將與導(dǎo)桿的延伸方向垂直的方向作為橫向來(lái)進(jìn)行說(shuō)明。因而，上述壓模1能夠沿橫向移動(dòng)。
下面說(shuō)明本實(shí)施形態(tài)有關(guān)的壓模1。上述壓模1具有兩面形成微透鏡陣列型的結(jié)構(gòu)。具體來(lái)說(shuō)，在壓模1的與第一透明基板2對(duì)向的表面，形成第一微透鏡陣列型。另外，在壓模1的與第二透明基板3對(duì)向的表面，形成第二微透鏡陣列型。該所謂上述第一及第二微透鏡陣列型，是制成微透鏡陣列用的型，形成的是微透鏡陣列的反轉(zhuǎn)圖形。
然后，在上述第一透明基板2與第一微透鏡陣列型之間填入第一透光性樹(shù)脂，將兩者隔著該透光性樹(shù)脂貼緊，通過(guò)這樣形成第一微透鏡陣列2a。另外，同樣在上述第二透明基板3與第二微透鏡陣列型之間填入第二透光性樹(shù)脂，將兩者隔著該透光性樹(shù)脂貼緊，通過(guò)這樣形成第二微透鏡陣列3a。
然后，將上述第一微透鏡陣列2a與第二微透鏡陣列3a隔著第三透光性樹(shù)脂貼緊，構(gòu)成本實(shí)施形態(tài)有關(guān)的微透鏡陣列基板。
作為上述第一、第二及第三透光性樹(shù)脂材料，只要是透光性的樹(shù)脂，則沒(méi)有特別限定。具體來(lái)說(shuō)，可以采用紫外線固化樹(shù)脂或熱固化樹(shù)脂等。另外，上述第一透光性樹(shù)脂與第二透光性樹(shù)脂，可以用相互相同的材料構(gòu)成，另外也可以用相互不同的材料構(gòu)成。
另外，在本實(shí)施形態(tài)中，如圖2b及圖2c所示，采用使保持壓模1的中間平臺(tái)104沿橫方向移動(dòng)的結(jié)構(gòu)，通過(guò)這樣與使壓模1沿上下方向即使透明基板在直行的方向上移動(dòng)而拆下的情況相比，在上下方向上不需要太大的空間，能夠縮短第一透明基板2與第二透明基板3的移動(dòng)距離，能夠?qū)⒁苿?dòng)時(shí)產(chǎn)生的微透鏡陣列相互之間的光軸傾斜及偏移抑制為最低限度。
下面說(shuō)明本實(shí)施形態(tài)有關(guān)的微透鏡陣列基板的制造方法。
本實(shí)施形態(tài)有關(guān)的微透鏡陣列基板的制造方法，是對(duì)在模架式組合模中保持的第一及第二透明基板2及3，采用形成微透鏡陣列型的壓模1，在第一透明基板與上述壓模之間及第二透明基板與上述壓模之間分別形成由第一或第二透光性樹(shù)脂構(gòu)成的微透鏡陣列之后，將上述壓模1移開(kāi)，通過(guò)微透鏡陣列相互之間用第三透光性樹(shù)脂固定，從而制成微透鏡陣列基板，在所述微透鏡陣列基板的制造方法中，包含采用在一個(gè)表面形成第一微透鏡陣列型同時(shí)在另一個(gè)表面形成第二微透鏡陣列型的壓模、并在上述第一透明基板2與形成壓模1的第一微透鏡陣列型的表面之間及上述第二透明基板3與形成壓模1的第二微透鏡陣列型的表面之間分別供給第一透光性樹(shù)脂或第二透光性樹(shù)脂的樹(shù)脂供給工序；將上述第一透明基板2與壓模1及上述第二透明基板3與壓模1分別隔著第一透光性樹(shù)脂及第二透光性樹(shù)脂貼緊的貼緊工序；使上述第一透光性樹(shù)脂及第二透光性樹(shù)脂固化而形成微透鏡陣列的形成工序；從上述壓模1上將上述第一透明基板2及第二透明基板3剝離的剝離工序；將上述壓模從第一透明基板2與第二透明基板3之間移開(kāi)的移開(kāi)工序；在上述第一透明基板2與第二透明基板3的相互形成微透鏡陣列的表面之間供給第三透光性樹(shù)脂的第三樹(shù)脂供給工序；將上述第一透明基板2與第二透明基板3隔著第三透光性樹(shù)脂貼緊的基板貼緊工序；以及使上述第三透光性樹(shù)脂固化的第三樹(shù)脂固化工序。
下面參照?qǐng)D1a～圖1f說(shuō)明本實(shí)施形態(tài)有關(guān)的微透鏡陣列基板的制造方法。另外，在以下的說(shuō)明中，說(shuō)明的是對(duì)第一透光性樹(shù)脂及第二透光性樹(shù)脂采用相同材料而構(gòu)成的情況。具體來(lái)說(shuō)，作為第一透光性樹(shù)脂及第二透光性樹(shù)脂，說(shuō)明的是采用第一紫外線固化樹(shù)脂4而構(gòu)成的情況，另外作為第三透光性樹(shù)脂，說(shuō)明的是采用第二紫外線固化樹(shù)脂5而構(gòu)成的情況。
在本實(shí)施形態(tài)有關(guān)的微透鏡陣列基板的制造方法中，如圖1a所示，在兩面形成微透鏡陣列型的壓模1、第一透明基板2及第二透明基板3以分別保持平行的狀態(tài)，保持在規(guī)定的位置X。換句話說(shuō)，在第一及第二透明基板2及3處于上述規(guī)定的位置X時(shí)，壓模1、第一透明基板2及第二透明基板3相互平行配置。而且，壓模1是這樣固定的，它不能沿上下方向移動(dòng)，但能夠轉(zhuǎn)動(dòng)，同時(shí)第一及第二透明基板2及3能夠在上述規(guī)定的位置X到壓模1之間移動(dòng)。
首先，如圖1a所示，在第一及第二透明基板2及3配置在規(guī)定位置X時(shí)，在壓模1及第二透明基板3上分別供給第一紫外線固化樹(shù)脂4(樹(shù)脂供給工序)。然后，將第一透明基板2及第二透明基板3與壓模1貼緊，通過(guò)這樣將第一紫外線固化樹(shù)脂4在第一透明基板2與壓模1之間及第二透明基板3與壓模1之間攤開(kāi)(貼緊工序)。然后，如圖1b所示，通過(guò)第一透明基板2及第二透明基板3，照射紫外線，使第一紫外線固化樹(shù)脂4固化。通過(guò)這樣，在第一透明基板2上形成第一微透鏡陣列2a，在第二透明基板3上形成第二微透鏡陣列3a(形成工序)。
接著，如圖1c所示，使第一透明基板2及第二透明基板3移動(dòng)至規(guī)定位置X，從壓模1剝離上述第一紫外線固化樹(shù)脂4(剝離工序)。即，在上述工序工序中，從壓模1剝離微透鏡陣列2a即3a。然后，如圖1d所示，使壓模1從第一透明基板2與第二透明基板3之間移開(kāi)(移開(kāi)工序)。然后，如圖1e所示，在第二透明基板3上形成的第二微透鏡陣列3a上供給第二紫外線固化樹(shù)脂5(第三樹(shù)脂供給工序)。接著，將第一透明基板2與第二透明基板3貼緊，將第二紫外線固化樹(shù)脂5在第一透明基板2上形成的第一微透鏡陣列2a與第二透明基板2上形成的第一微透鏡陣列2a與第二透明基板3上形成的第二微透鏡陣列3a之間攤開(kāi)(基板貼緊工序)。然后，如圖1f所示，通過(guò)照射紫外線，使第二紫外線固化樹(shù)脂5固化，將第一透明基板2與第二紫外線固化樹(shù)脂5固化，將第一透明基板2與第二透明基板3貼合，通過(guò)這樣制成微透鏡陣列基板(第三樹(shù)脂固化工序)。
這時(shí)，在各工序中，第一透明基板2及第二透明基板3從規(guī)定位置X起的移動(dòng)及移向規(guī)定位置X的移動(dòng)，是在保持平行度及相對(duì)位置的狀態(tài)下移動(dòng)的。作為這樣的使壓模1、第一透明基板2及第二透明基板3在相互保持平行度及相對(duì)位置的狀態(tài)下移動(dòng)的方法，可以利用例如將它們分別固定在用于成型的模架式組合模上等的方法。
另外，作為在兩面形成微透鏡陣列型的壓模1的制造方法，例如可以舉出以下說(shuō)明的三種方法等。具體來(lái)說(shuō)，作為第一種方法，是首先在基板的一面利用光刻法形成第一微透鏡陣列型及對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記的抗蝕劑圖形，然后利用RIE(Reactive-Ion-Etching，反應(yīng)離子蝕刻)或濕法蝕刻等，在基板上形成微透鏡陣列型及對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記。在該基板的背面也重復(fù)同樣的工序，通過(guò)這樣形成在兩面有微透鏡陣列型的壓模1。
作為第二種方法，是將采用與上述相同的方法在單面形成微透鏡陣列型及對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記的二塊基板相互之間貼合，通過(guò)這樣形成壓模1。
作為第三種方法，是采用與上述相同的方法，制成在單面形成第一微透鏡陣列型及對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記的基板，然后在該基板的未形成微透鏡陣列型的表面涂布抗蝕劑或紫外線固化樹(shù)脂，從第一微透鏡陣列型一側(cè)入射曝光光源發(fā)出的光，利用第一微透鏡陣列型的聚光特性，通過(guò)形成第二微透鏡陣列型的自對(duì)準(zhǔn)曝光法從而形成壓模1。
在上述第一及第二種的壓模制造方法中，必須將與第一微透鏡陣列型同時(shí)形成的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記作為基準(zhǔn)，使第二微透鏡陣子型對(duì)準(zhǔn)，雖然如此，但由于對(duì)準(zhǔn)作業(yè)僅在制成壓模1時(shí)進(jìn)行，因此在制造微透鏡陣列基板時(shí)不需要進(jìn)行對(duì)準(zhǔn)，所以對(duì)批量生產(chǎn)沒(méi)有影響。
另外，作為在上述透明基板上形成微透鏡陣列的方法，除了上述說(shuō)明的光刻法以外，還可以舉出下列各種方法，例如有1)通過(guò)在透明基板上滴下抗蝕劑或熱固化樹(shù)脂并加熱而形成透鏡圖形的熱滴法；2)在透明基板上用紫外線固化樹(shù)脂形成透鏡圖形的2p(Photo-Polymerization，光聚合)法；3)通過(guò)機(jī)械加工制成的方法等。而且，這些方法要根據(jù)微透鏡陣列基板制造所用的樹(shù)脂材料的特性適當(dāng)進(jìn)行選擇即可。
在上述說(shuō)明中，說(shuō)明的方法是，在第一或第二透明基板2或3與壓模1之間，首先供給第一紫外線固化樹(shù)脂4，然后將上述第一或第二透明基板2或3與壓模1隔著上述第一紫外線固化樹(shù)脂4貼緊。但是，作為形成第一及第二微透鏡陣列2a、3a的方法不限定于上述方法，例如也可以將第一或第二透明基板2或3與壓模1的間隔預(yù)先調(diào)整為最終形成的微透鏡陣列的厚度，再對(duì)其中不留縫隙地供入紫外線固化樹(shù)脂(透光性樹(shù)脂)，通過(guò)這樣來(lái)形成。
如上所述，本實(shí)施形態(tài)有關(guān)的微透鏡陣列基板的制造方法，是在模架式組合模中保持的互相相向?qū)χ玫牡谝慌c第二透明基板2與3之間，配置形成微透鏡陣列型的壓模1，在第一透明基板2與上述壓模1之間及第二透明基板3與上述壓模1之間分別形成由第一紫外線固化樹(shù)脂4構(gòu)成的第一及第二微透鏡陣列2a、3a后，使壓模1移開(kāi)，將微透鏡陣列相互之間用第三透光性樹(shù)脂固定，通過(guò)這樣制成微透鏡陣列基板，在所述微透鏡陣列基板的制造方法中，包含采用在一個(gè)表面形成第一微透鏡陣列型同時(shí)在另一個(gè)表面形成第二微透鏡陣列型的上述壓模1、并在第一透明基板2與壓模1之間形成由第一紫外線固化樹(shù)脂4構(gòu)成的第一微透鏡陣列2a的第一陣列形成工序；在第二透明基板3與壓模1之間形成由第一紫外線固化樹(shù)脂4構(gòu)成的第二微透鏡陣列3a的第二陣列形成工序；從上述第一微透鏡陣列2a與第二微透鏡陣列3a之間剝離壓模并移開(kāi)的除去工序(剝離工序及移開(kāi)工序)；以及將上述第一微透鏡陣列2a與第二微透鏡陣列3a之間用第二紫外線固化樹(shù)脂5固定的固定工序(第三樹(shù)脂固化工序)。
更具體來(lái)說(shuō)，是在模架式組合模100中保持的互相相向?qū)χ玫牡谝慌c第二透明基板2與3之間，配置形成微透鏡陣列型的壓模1，在第一透明基板2與上述壓模1之間及第二透明基板3與上述壓模1之間分別形成由第一及第二透光性樹(shù)脂(第一紫外線固化樹(shù)脂4)構(gòu)成的第一及第二微透鏡陣列2a、3a，然后將微透鏡陣列相互之間用第三透光性樹(shù)脂(第二紫外線固化樹(shù)脂5)固定，通過(guò)這樣制成微透鏡陣列基板，在所述微透鏡陣列基板的制造方法中，進(jìn)行采用在一個(gè)表面形成第一微透鏡陣列型同時(shí)在另一個(gè)表面形成第二微透鏡陣列型的上述壓模1、并在上述第一透明基板2與形成上述壓模1的第一微透鏡陣列型的表面之間供給第一透光性樹(shù)脂(第一紫外線固化樹(shù)脂4)的第一樹(shù)脂供給工序；在上述第二透明基板3與形成上述壓模1的第二微透鏡陣列型的表面之間供給第二透光性樹(shù)脂(第二紫外線固化樹(shù)脂4)的第二樹(shù)脂供給工序；將上述第一透明基板2與上述壓模1隔著第一透光性樹(shù)脂(第一紫外線固化樹(shù)脂4)貼緊的第一樹(shù)脂貼緊工序；將上述第二透明基板3與上述壓模1隔著第二透光性樹(shù)脂(第一紫外線固化樹(shù)脂4)貼緊的第二樹(shù)脂貼緊工序；通過(guò)使上述第一及第二透光性樹(shù)脂(第一紫外線固化樹(shù)脂4)固化而分別形成微透鏡陣列的形成工序；從上述壓模剝離在上述第一透明基板及第二透明基板形成的各自微透鏡陣列的剝離工序；將上述壓模1從上述第一透明基板2與上述第二透明基板3形成的微透鏡陣列之間移開(kāi)的移開(kāi)工序；在上述第一透明基板2與第二透明基板3形成的微透鏡陣列的表面相互之間供給第三透光性樹(shù)脂(第二紫外線固化樹(shù)脂5)的第三樹(shù)脂供給工序；隔著第三透光性樹(shù)脂；(第二紫外線固化樹(shù)脂5)貼緊上述第一透明基板2及上述第二透明基板3的第三樹(shù)脂貼緊工序；以及使上述第三透光性樹(shù)脂(第二紫外線固化樹(shù)脂5)固化的第三樹(shù)脂固化工序。
這樣，在將第一透明基板2及第二透明基板3隔著第一紫外線固化樹(shù)脂4與在兩面形成微透鏡陣列型的壓模1貼緊后，即在第一及第二透明基板2與壓模1之間供給第一紫外線固化樹(shù)脂，通過(guò)對(duì)第一、及第二透明基板2及3照射紫外線，從而使第一紫外線固化樹(shù)脂4固化。然后，在使第一紫外線固化樹(shù)脂4固化之后，從壓模1剝離第一透明基板2及第二透明基板3，在第一透明基板2上形成第一微透鏡陣列2a，在第二透明基板3上形成第二微透鏡陣列3a。然后，將第一透明基板2與第二透明基板3隔著第二紫外線固化樹(shù)脂5貼緊，照射紫外線，通過(guò)這樣使第二紫外線固化樹(shù)脂5固化，制成微透鏡陣列基板。通過(guò)這樣，能夠簡(jiǎn)單地而且以較少的工序制成雙層結(jié)構(gòu)的微透鏡陣列基板。
另外，在上述制造方法中，最好將上述第一透明基板2、上述第二透明基板3及上述壓模1在樹(shù)脂供給工序及剝離工序中保持在規(guī)定位置。
即，最好將在兩面形成微透鏡陣列型的壓模1、第一透明基板2、第二透明基板3在分別維持平行和相對(duì)位置的狀態(tài)下保持，在每個(gè)工序中，使其從規(guī)定位置X起移動(dòng)或向規(guī)定位置X移動(dòng)。換句話說(shuō)，預(yù)先設(shè)定相互保持平行的狀態(tài)，然后從該位置起進(jìn)行移動(dòng)，或者向該位置進(jìn)行移動(dòng)，通過(guò)這樣例如即使在連續(xù)制造微透鏡陣列基板時(shí)，也可以不必每次對(duì)準(zhǔn)，而能夠在第一與第二透明基板2與3上形成的第一微透鏡陣列2a與第二微透鏡陣列3a保持高精度的平行及相對(duì)位置的狀態(tài)下制造出微透鏡陣列基板，能夠高效地大量生產(chǎn)。
另外，在初始狀態(tài)下，例如即使第一透明基板2與第二透明基板3的相對(duì)位置有偏移，但由于對(duì)第一微透鏡陣列2a與第二微透鏡陣列3a的相對(duì)位置也不產(chǎn)生任何影響，因此不需要對(duì)基板進(jìn)行高精度定位，能夠縮短生產(chǎn)所需要的時(shí)間。
再有，通過(guò)使用第一紫外線固化樹(shù)脂4與第二紫外線固化樹(shù)脂5在固化后的折射率之差達(dá)到0.1及以上的紫外線固化樹(shù)脂，由于能夠提高第一微透鏡陣列2a的聚光特性及第二微透鏡陣列3a的使利用第一微透鏡陣列聚光的光的光軸折射的特性，因此能夠更進(jìn)一步提高光利用效率及由于各光束的混色減少而實(shí)現(xiàn)高分辨率。另外，特別是最好第二紫外線固化樹(shù)脂5在固化后的折射率與第一紫外線固化樹(shù)脂4在固化后的折射率相比，要大0.1以上。
另外，作為本實(shí)施形態(tài)所用的壓模1的厚度，最好在1～20mm的范圍內(nèi)。在壓模1的厚度小于1mm的情況下，在從壓模1剝離第一透明基板2及第二透明基板3時(shí)，該壓模1有破損的危險(xiǎn)。另外，在壓模1的厚度超過(guò)20mm的情況下，第一透明基板2及第二透明基板3從規(guī)定位置X起的移動(dòng)距離延長(zhǎng)，第一透明基板2與第二透明基板3之間的平行度及相對(duì)位置精度有可能惡化。所謂該移動(dòng)距離，表示從設(shè)置基板的位置起到最終將2塊基板貼合的位置為止的距離。
另外，在本實(shí)施形態(tài)的微透鏡陣列基板的制造方法中，說(shuō)明的是采用相同的第一紫外線固化樹(shù)脂4形成第一微透鏡陣列2a及第二微透鏡陣列3a的方法。但是，第一微透鏡陣列2a及第二微透鏡陣列3a不一定必須使用相同的樹(shù)脂材料，例如也可以使用不同的紫外線固化樹(shù)脂來(lái)形成各自的微透鏡陣列。在這種情況下，最好選擇上述樹(shù)脂，使得當(dāng)中的第二紫外線固化樹(shù)脂5在固化后的折射率為最高。
另外，在本實(shí)施形態(tài)中，雖沒(méi)有說(shuō)明液晶面板部分的形成，但例如可以在壓模1上形成微透鏡陣列型的同時(shí)，形成對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記，通過(guò)這樣在微透鏡陣列基板上形成對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記。然后，以該對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記為基準(zhǔn)，形成(安裝)液晶面板部分，通過(guò)這樣能夠更簡(jiǎn)單對(duì)微透鏡陣列與液晶面板部分進(jìn)行對(duì)準(zhǔn)。
另外，在上述說(shuō)明中，是使第一透明基板2及第二透明基板3相對(duì)于壓模1沿上下方向移動(dòng)，但也可以是例如1)使壓模1及第二透明基板3相對(duì)于第一透明基板2移動(dòng)的方法，或者是2)使壓模1及第一透明基板2相對(duì)于第二透明基板3移動(dòng)的方法。但是，在這些移動(dòng)方法中，在制造微透鏡陣列基板時(shí)，壓模1必須從第一透明基板2與第二透明基板3之間移開(kāi)，在使壓模1上下移動(dòng)時(shí)，由于必須進(jìn)行上下方向及橫向的二維高精度移動(dòng)，因此微透鏡陣列基板制造裝置的構(gòu)造變得復(fù)雜。所以，最好是使第一透明基板2及第二透明基板3相對(duì)于壓模1移動(dòng)的方法。
另外，在上述移開(kāi)工序中，最好是將壓模1沿著與上述剝離工序中第一透明基板2(或第二透明基板3)的移動(dòng)方向(剝離方向)垂直的方向移開(kāi)。通過(guò)使壓模1沿著相對(duì)于第一透明基板2或第二透明基板3的移動(dòng)方向垂直的方向移開(kāi)，能夠?qū)崿F(xiàn)微透鏡陣列基板的制造裝置的裝置小型化。
另外，在上述說(shuō)明中，說(shuō)明的是采用2根導(dǎo)桿103的結(jié)構(gòu)，但關(guān)于導(dǎo)桿的根數(shù)不是特別限定的，只要是使得上述第一透明基板2、第二透明基板3與壓模1能夠相互平行移動(dòng)即可。
另外，在上述微透鏡陣列基板的制造中，在將微透鏡陣列相互之間用第三透光性樹(shù)脂固定時(shí)，必須從第一與第二透明基板2與3之間除去上述壓模1。然后，在制造下一塊微透鏡陣列基板時(shí)，必須再在第一與第二透明基板之間裝上上述壓模1。在本實(shí)施形態(tài)中，是安裝壓模1，使其在相對(duì)于第一透明基板2(第二透明基板3)的移動(dòng)方向垂直的平面內(nèi)轉(zhuǎn)動(dòng)。具體來(lái)說(shuō)，使利用中間平臺(tái)104保持的壓模1的一端，在保持(固定)在模架式組合模100上的狀態(tài)下，即安裝在模架式組合模100上的狀態(tài)下旋轉(zhuǎn)移動(dòng)。因而，在再次安裝上述壓模1時(shí)，只要將壓模1的未安裝在模架式組合模上的另一端安裝到該模架式組合模的未安裝壓模的另一方的中間平臺(tái)104上即可完成。因而，與以往相比，能夠更簡(jiǎn)單地對(duì)第一及第二透明基板2、3與壓模1進(jìn)行位置調(diào)整。
另外，本發(fā)明有關(guān)的微透鏡陣列基板的制造方法，是在相互相向?qū)χ玫牡谝煌该骰迮c第二透明基板2、3之間，配置形成微透鏡陣列型的壓模，在分別形成由第一透光性樹(shù)脂或第二透光性樹(shù)脂4構(gòu)成的微透鏡陣列2a、3a后，使上述壓模移開(kāi)，將微透鏡陣列相互之間用第三透光性樹(shù)脂5固定，通過(guò)這樣制成微透鏡陣列基板，在所述微透鏡陣列基板的制造方法中是這樣構(gòu)成，它使得第二透明基板的移動(dòng)限制在僅與第一透明基板的基板表面垂直的方向上，使得第一透明基板的移動(dòng)限制在僅與第二透明基板的基板表面垂直的方向上，上述壓模在一個(gè)表面上形成第一微透鏡陣列型，同時(shí)在另一個(gè)表面上形成第二微透鏡陣列型。
另外，本發(fā)明有關(guān)的微透鏡陣列基板的制造方法，是在模架式組合模中保持的而且相互相向?qū)χ玫囊粚?duì)透明基板之間，配置形成微透鏡陣列型的壓模，在一塊透明基板與上述壓模之間及另一塊透明基板與上述壓模之間分別形成由透光性樹(shù)脂構(gòu)成的微透鏡陣列2a、3a后，使壓模從上述一對(duì)透明基板之間移開(kāi)，上述微透鏡陣列之間用其它的透光性樹(shù)脂5固定，通過(guò)這樣制成微透鏡陣列基板，在該制造方法中是這樣構(gòu)成，上述壓模在一個(gè)表面上形成第一微透鏡陣列型，同時(shí)在另一個(gè)表面上形成第二微透鏡陣列型。
根據(jù)上述構(gòu)成，是對(duì)模架式組合模100中保持的透明基板，采用兩面形成微透鏡陣列型的壓模1，制成微透鏡陣列基板。具體來(lái)說(shuō)，是使第一透明基板2與第二透明基板3對(duì)向配置，同時(shí)將上述壓模1配置在上述第一及第二透明基板之間，在各透明基板上形成由透光性樹(shù)脂構(gòu)成的微透鏡陣列之后，除去壓模1。然后，上述二個(gè)微透鏡陣列之間用第三透光性樹(shù)脂固定，通過(guò)這樣制成。即，在上述第一微透鏡陣列2a與第二微透鏡陣列2b之間，形成由第三透光性樹(shù)脂5構(gòu)成的微透鏡。這時(shí)，由于上述壓模1在兩面形成微透鏡陣列型，因此微透鏡陣列型相互之間不需要進(jìn)行位置調(diào)整。
因而，與以往那樣采用彼此不同的壓模來(lái)制成微透鏡陣列基板的構(gòu)成相比，由于在模架式組合模中安裝壓模時(shí)，不需要在壓模相互之間進(jìn)行位置調(diào)整，同此能夠以更少的工序而且更簡(jiǎn)單地制造上述基板。另外，與以往相比，由于能夠以更少的工序而且更簡(jiǎn)單地制造上述基板，因此能夠更簡(jiǎn)單地進(jìn)行大量生產(chǎn)。
本發(fā)明的微透鏡陣列基板的制造方法最好是這樣構(gòu)成，它使第一透明基板2、第二透明基板相對(duì)于壓模1移動(dòng)，使得上述第一透明基板2、上述第二透明基板3與上述壓模1相互平行。
根據(jù)上述構(gòu)成，第一透明基板2、第二透明基板3與壓模1保持相互平行。因而，即使不進(jìn)行對(duì)準(zhǔn)，也能夠在第一透明基板上形成的微透鏡陣列2a與第二透明基板上形成的微透鏡陣列3a的平行度及相對(duì)位置保持高精度的狀態(tài)下制造微透鏡陣列基板。通過(guò)這樣，能夠高精度而且高效地大批量生產(chǎn)雙層結(jié)構(gòu)的微透鏡陣列基板。
本發(fā)明的微透鏡陣列基板的制造方法最好是這樣構(gòu)成，它在將上述壓模1的位置固定的狀態(tài)下，分別形成由上述第一或第二透光性樹(shù)脂構(gòu)成的微透鏡陣列2a、3a。
根據(jù)上述構(gòu)成，在將壓模的位置固定的狀態(tài)下，通過(guò)使第一及第二透明基板移動(dòng)，分別形成由上述第一或第二透光性樹(shù)脂構(gòu)成的微透鏡陣列2a、3a。通過(guò)這樣，在例如將曾一度除去的壓模再一次安裝時(shí)，能夠更簡(jiǎn)單地將壓模進(jìn)行對(duì)準(zhǔn)。通過(guò)這樣，能夠更簡(jiǎn)單地大批量生產(chǎn)微透鏡陣列基板。
本發(fā)明的微透鏡陣列基板的制造方法最好是這樣構(gòu)成，它的上述第一透光性樹(shù)脂4與第三透光性樹(shù)脂5在固化后的折射率之差及/或上述第二透光性樹(shù)脂4與第三透光性樹(shù)脂5的折射率之差為0.1以上。
根據(jù)上述構(gòu)成，通過(guò)使上述第一透光性樹(shù)脂4與上述第三透光性樹(shù)脂5及/或上述第二透光性樹(shù)脂4與上述第三透光性樹(shù)脂5在各自固化后的折射率之差為0.1及以上，由于能夠提高第一微透鏡陣列2a的聚光特性及第二微透鏡陣列3a的光軸變換特性，因此能夠更進(jìn)一步提高光利用效率及由于各光束的混色減少而實(shí)現(xiàn)高分辨率。
本發(fā)明的微透鏡陣列基板的制造裝置是這樣構(gòu)成，它在互相相向?qū)χ玫牡谝煌该骰寮暗诙该骰?及3上分別形成由第一透光性樹(shù)脂或第二透光性樹(shù)脂構(gòu)成的微透鏡陣列2a、3a，同時(shí)在上述微透鏡陣列之間用第三透光性樹(shù)脂5固定，這樣制成微透鏡陣列基板，在所述微透鏡陣列基板的制造裝置中，具有使第一與第二透明基板2與3相互相向?qū)χ枚謩e保持各透明基板的第一及第二保持裝置101及102、在上述第一與第二透明基板之間保持形成微透鏡陣列型的壓模1的壓模保持裝置104、將第一保持裝置101及第二保持裝置102及壓模保持裝置104的移動(dòng)限制在相對(duì)于第一透明基板的基板表面垂直的方向的限制構(gòu)件103，上述壓模保持裝置104能夠使上述壓模1從上述第一與第二保持裝置之間移開(kāi)，同時(shí)上述壓模1在一個(gè)表面上形成第一微透鏡陣列型，同時(shí)在另一個(gè)表面上形成第二微透鏡陣列型。
根據(jù)上述構(gòu)成，在上述壓模1的兩面形成不同的微透鏡陣列型。因而，與以往的制造裝置相比，在微透鏡陣列相互之間不需要進(jìn)行對(duì)準(zhǔn)。因而，與以往相比，能夠更簡(jiǎn)單地制造微透鏡陣列。
本發(fā)明的微透鏡陣列基板的制造裝置最好是這樣構(gòu)成，它的上述壓模保持裝置104保持壓模1，能夠以與第一透明基板2的基板表面垂直的方向?yàn)檩S轉(zhuǎn)動(dòng)。
根據(jù)上述構(gòu)成，上述壓模保持裝置104保持壓模1，使其能夠相對(duì)于與第一透明基板2的基板表面垂直的方向轉(zhuǎn)動(dòng)。通過(guò)這樣，例如在將形成微透鏡陣列的第一與第二透明基板2與3用第三透光性樹(shù)脂貼合時(shí)，通過(guò)使壓模1轉(zhuǎn)動(dòng)，能夠使其從第一與第二透明基板之間移開(kāi)。因而，與上述以往那樣將壓模拆下而移開(kāi)的構(gòu)成相比，能夠更簡(jiǎn)單地實(shí)現(xiàn)移開(kāi)，同時(shí)能夠使裝置小型化。另外，例如在將壓模1配置在上述第一與第二透明基板之間時(shí)，由于在壓模保持裝置104上保持壓模1的一端，因此能夠更簡(jiǎn)單地以高精度配置上述壓模1。另外，由于使壓模1沿與第一透明基板的基板表面平行的方向移開(kāi)，因此在從壓模剝離第一及第二透明基板2及3時(shí)，能夠縮短該第一透明基板及第二透明基板的移動(dòng)距離。通過(guò)這樣，能夠?qū)⒁苿?dòng)時(shí)產(chǎn)生的第一及第二透明基板的光軸傾斜及偏移抑制在最低限度。
本發(fā)明的微透鏡陣列基板的制造方法最好是這樣構(gòu)成，它的上述壓模1的厚度在1～20mm的范圍內(nèi)。
通過(guò)使上述壓模的厚度為1～20mm，能夠防止壓模破損，另外由于減少第一及第二透明基板的移動(dòng)量，因此能夠高精度保持各透明基板與壓模的平行度及相對(duì)位置精度。
本發(fā)明的詳細(xì)說(shuō)明事項(xiàng)中說(shuō)明的具體實(shí)施形態(tài)或?qū)嵤├?，歸根結(jié)底是說(shuō)明本發(fā)明的技術(shù)內(nèi)容，而不應(yīng)僅限于上述的具體示例而作狹義解釋，在本發(fā)明的精神及下述的權(quán)利要求項(xiàng)的范圍內(nèi)，能夠進(jìn)行各種各樣變化來(lái)實(shí)施。
權(quán)利要求
1.一種微透鏡陣列基板的制造方法，是在相互相向?qū)χ玫牡谝煌该骰?2)與第二透明基板(3)之間配置形成微透鏡陣列型的壓模(1)，在第一透明基板(2)與所述壓模(1)之間形成由第一透光性樹(shù)脂(4)構(gòu)成的微透鏡陣列(2a)，同時(shí)在第二透明基板(3)與所述壓模(1)之間形成由第二透光性樹(shù)脂(4)構(gòu)成的微透鏡陣列(3a)之后，使所述壓模(1)移開(kāi)，微透鏡陣列(2a、3a)相互之間用第三透光性樹(shù)脂(5)固定，通過(guò)這樣制成微透鏡陣列基板，其特征在于，在使所述壓模移開(kāi)時(shí)，將所述第一透明基板與第二透明基板維持在相互相向?qū)χ玫臓顟B(tài)，同時(shí)將第二透明基板(3)的移動(dòng)限制在僅與第一透明基板(2)的基板表面垂直的方向，同時(shí)將第一透明基板(2)的移動(dòng)限制在僅與第二透明基板(3)的基板表面垂直的方向，所述壓模(1)在一個(gè)表面形成第一微透鏡陣列型，同時(shí)在另一個(gè)表面形成第二微透鏡陣列型。
2.一種微透鏡陣列基板的制造方法，是在模架式組合模(100)中保持的互相相向?qū)χ玫牡谝煌该骰?2)與第二透明基板(3)之間，配置形成微透鏡陣列型的壓模(1)，在第一透明基板(2)與所述壓模(1)之間形成由第一透光性樹(shù)脂(4)構(gòu)成的微透鏡陣列(2a)，同時(shí)在第二透明基板(3)與所述壓模(1)之間形成由第二透光性樹(shù)脂(4)構(gòu)成的微透鏡陣列(3a)之后，使所述壓模(1)移開(kāi)，將微透鏡陣列(2a、3a)相互之間用第三透光性樹(shù)脂(5)固定，通過(guò)這樣制成微透鏡陣列基板，其特征在于，所述壓模(1)在一個(gè)表面形成第一微透鏡陣列型，同時(shí)在另一個(gè)表面形成第二微透鏡陣列型。
3.如權(quán)利要求1或2所述的微透鏡陣列基板的制造方法，其特征在于，保持第一透明基板(2)、第二透明基板(3)與壓模(1)，使其互相平行。
4.如權(quán)利要求1或2所述的微透鏡陣列基板的制造方法，其特征在于，在將所述壓模(1)的位置固定的狀態(tài)下，分別形成由所述第一或第二透光性樹(shù)脂(4)構(gòu)成的微透鏡陣列(2a、3a)。
5.如權(quán)利要求1或2所述的微透鏡陣列基板的制造方法，其特征在于，所述第一透光性樹(shù)脂(4)與第三透光性樹(shù)脂(5)在固化后的折射率之差及/或所述第二透光性樹(shù)脂(4)與第三透光性樹(shù)脂(5)在固化后的折射率之差為0.1以上。
6.如權(quán)利要求1或2所述的微透鏡陣列基板的制造方法，其特征在于，第三透光性樹(shù)脂(5)在固化后的折射率大于第一及第二透光性樹(shù)脂(4)在固化后的折射率。
7.如權(quán)利要求1或2所述的微透鏡陣列基板的制造方法，其特征在于，所述第一透光性樹(shù)脂、第二透光性樹(shù)脂及第三透光性樹(shù)脂中，至少一種透光性樹(shù)脂是紫外線固化樹(shù)脂。
8.如權(quán)利要求1或2所述的微透鏡陣列基板的制造方法，其特征在于，所述第一透光性樹(shù)脂與第二透光性樹(shù)脂用相同材料構(gòu)成。
9.如權(quán)利要求1或2所述的微透鏡陣列基板的制造方法，其特征在于，包括向所述第一透明基板(2)與形成第一微透鏡陣列型的表面之間供給第一透光性樹(shù)脂(4)，而且向所述第二透明基板(3)與形成第二微透鏡陣列型的表面之間供給第二透光性樹(shù)脂(4)的樹(shù)脂供給工序、將所述第一透明基板(2)與壓模(1)及所述第二透明基板(3)與壓模(1)分別隔著第一透光性樹(shù)脂(4)及第二透光性樹(shù)脂(4)貼緊的貼緊工序、使所述第一透光性樹(shù)脂(4)及第二透光性樹(shù)脂(4)固化而形成微透鏡陣列(2a、3a)的形成工序、從所述壓模(1)剝離所述微透鏡陣列(2a、3a)的剝離工序、使所述壓模(1)從微透鏡陣列(2a、3a)之間移開(kāi)的移開(kāi)工序、在形成所述二個(gè)微透鏡陣列(2a、3a)的表面之間供給第三透光性樹(shù)脂(5)的第三樹(shù)脂供給工序、使所述二個(gè)微透鏡陣列(2a、3a)通過(guò)第三透光性樹(shù)脂(5)貼緊的基板貼緊工序、以及使所述第三透光性樹(shù)脂(5)固化的第三樹(shù)脂固化工序。
10.一種微透鏡陣列基板的制造裝置，是在互相相向?qū)χ玫牡谝煌该骰?2)與第二透明基板(3)上分別形成由第一透光性樹(shù)脂(4)或第二透光性樹(shù)脂(4)構(gòu)成的微透鏡陣列(2a、3a)，同時(shí)所述微透鏡陣列(2a、3a)相互之間用第三透光性樹(shù)脂(5)固定，這樣制成微透鏡陣列基板，其特征在于，包括使第一透明基板(2)與第二透明基板(3)相互相向?qū)χ玫刂С诌@些透明基板的第一保持裝置(101)及第二保持裝置(102)、在所述第一透明基板(2)與第二透明基板(3)之間保持形成微透鏡陣列型的壓模(1)的壓模保持裝置(104)、以及將第一保持裝置(101)、第二保持裝置(102)及壓模保持裝置(104)的移動(dòng)限制在相對(duì)于第一透明基板(2)的基板表面垂直方向上的限制構(gòu)件(103)，所述壓模保持裝置(104)能夠使所述壓模(1)從所述第一保持裝置(101)與第二保持裝置(102)之間移開(kāi)，同時(shí)所述壓模(1)在一個(gè)表面形成第一微透鏡陣列型，同時(shí)在另一個(gè)表面形成第二微透鏡陣列型。
11.如權(quán)利要求10所述的微透鏡陣列基板的制造裝置，其特征在于，所述壓模保持裝置(104)固定在限制構(gòu)件(103)上。
12.如權(quán)利要求10所述的微透鏡陣列基板的制造裝置，其特征在于，所述壓模保持裝置(104)保持壓模(1)，使其能夠以與第一透明基板(2)的基板表面垂直的方向?yàn)檩S轉(zhuǎn)動(dòng)。
13.如權(quán)利要求10所述的微透鏡陣列基板的制造裝置，其特征在于，所述壓模保持裝置(104)將所述壓模(1)的一端固定，而保持壓模(1)的另一端能夠裝拆。
14.如權(quán)利要求10所述的微透鏡陣列基板的制造裝置，其特征在于，所述壓模(1)的厚度在1～20mm的范圍內(nèi)。
全文摘要
本發(fā)明揭示一種微透鏡陣列基板的制造方法，是在相互相向?qū)χ玫牡谝煌该骰迮c第二透明基板之間配置在一個(gè)表面形成第一微透鏡陣列型、同時(shí)在另一個(gè)表面形成第二微透鏡陣列型的壓模，在第一及第二透明基板與上述壓模之間分別形成各自由第一透光性樹(shù)脂及第二透光性樹(shù)脂構(gòu)成的微透鏡陣列之后，使壓模移開(kāi)，上述兩個(gè)微透鏡陣列之間用第三透光性樹(shù)脂固定，通過(guò)這樣制成微透鏡陣列基板。這樣，由于對(duì)第一與第二透明基板上分別形成的微透鏡陣列相互之間不需要進(jìn)行光軸調(diào)整，因此能夠簡(jiǎn)化制造工序，同時(shí)能夠高效地大量生產(chǎn)高精度的微透鏡陣列基板。
文檔編號(hào)B29D11/00GK1501140SQ03159308
公開(kāi)日2004年6月2日 申請(qǐng)日期2003年9月2日 優(yōu)先權(quán)日2002年11月13日
發(fā)明者藤田升 申請(qǐng)人:夏普株式會(huì)社