一種多規(guī)格硅片檢驗盒的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明創(chuàng)造屬于硅片生產(chǎn)設(shè)備領(lǐng)域，尤其是涉及一種多規(guī)格硅片檢驗盒。
【背景技術(shù)】
[0002]硅片表面的顆粒、有機物、金屬、吸附分子、微粗糙度、自然氧化層等會嚴重影響器件性能，其中表面顆粒度會引起圖形缺陷、外延缺陷、影響布線的完整性，因此在檢驗過程中需要減少并控制硅表面顆粒度。目前通常采用對不同型號的硅片設(shè)置專用檢驗盒來達到減少硅片顆粒的目的。但是不同型號硅片設(shè)置不同規(guī)格檢驗盒，提高了生產(chǎn)企業(yè)生產(chǎn)成本，且降低了生產(chǎn)效率。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]本發(fā)明創(chuàng)造要解決以上技術(shù)問題，提供一種多規(guī)格硅片檢驗盒，可以適用于4寸、5寸硅片，可有效減少硅片顆粒度。
[0004]為解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明創(chuàng)造采用的技術(shù)方案是:一種多規(guī)格硅片檢驗盒，包括盒體、盒蓋、卡托和隔板，所述盒蓋和盒體通過合頁連接，所述盒蓋上設(shè)有卡扣，所述盒體底板上設(shè)有所述隔板，所述卡托可活動地設(shè)于所述盒體內(nèi)，所述卡托包括托板、支撐板和凹槽，所述支撐板與所述托板底面相連，用于支撐所述托板，所述托板與所述盒體底板形狀一致，所述托板上設(shè)有所述凹槽，所述凹槽將所述托板分為左托板和右托板，所述左托板設(shè)有多個第一卡槽和第一通孔，所述右托板上設(shè)有多個第二卡槽和第二通孔。
[0005]進一步，所述左托板上設(shè)有四個第一卡槽和兩個第一通孔，所述第一卡槽呈矩形分布，所述第一通孔位于所述左托板中部。
[0006]進一步，所述右托板上設(shè)有四個第二卡槽和兩個第二通孔，所述第二卡槽呈矩形分布，所述第二通孔位于所述右托板中部。
[0007]進一步，所述隔板與所述盒體側(cè)板平行，所述隔板將所述盒體底板分為左、右兩個對稱單元。
[0008]進一步，所述盒體外側(cè)設(shè)有凸臺，所述卡扣的一端與所述盒蓋鉸接，所述卡扣的另一端與所述凸臺卡接。
[0009]本發(fā)明創(chuàng)造具有的優(yōu)點和積極效果是:一種多規(guī)格硅片檢驗盒，可適用于4寸、5寸硅片，實現(xiàn)了一個盒體用于不同規(guī)格硅片的通用性功能。需要盛放5寸硅片時，將卡托取出，通過隔板將盒體內(nèi)部分為左右兩個對稱單元，每個存儲單元可固定存放一個硅片籃；需要盛放4寸硅片時，將卡托置于盒體內(nèi)部，通過一組卡槽對一個硅片籃進行固定。本發(fā)明創(chuàng)造結(jié)構(gòu)簡單，操作方便，對于減少硅片顆粒度起到了很好地作用。
【附圖說明】
[0010]圖1是本發(fā)明創(chuàng)造結(jié)構(gòu)示意圖；
[0011]圖2是卡托俯視圖；
[0012]圖3是卡托主視圖。
[0013]圖中:1、盒體；2、盒蓋；3、隔板；4、卡扣；5、托板；
[0014]6、支撐板；7、凹槽；8、第一卡槽；9、第一通孔；
[0015]10、第二卡槽；11、第二通孔；12、凸臺。
【具體實施方式】
[0016]下面結(jié)合附圖對本發(fā)明創(chuàng)造的具體實施例做詳細說明。
[0017]一種多規(guī)格硅片檢驗盒，包括盒體1、盒蓋2、卡托和隔板3，所述盒蓋2和盒體I通過合頁連接，所述盒蓋2上設(shè)有卡扣4，所述盒體I底板上設(shè)有所述隔板3，所述卡托可活動地設(shè)于所述盒體I內(nèi)，所述卡托包括托板5、支撐板6和凹槽7，所述支撐板6與所述托板5底面相連，用于支撐所述托板5，所述托板5與所述盒體I底板形狀一致，所述托板5上設(shè)有所述凹槽7，所述凹槽7將所述托板5分為左托板和右托板，所述左托板設(shè)有多個第一卡槽8和第一通孔9，所述右托板上設(shè)有多個第二卡槽10和第二通孔11。所述左托板上設(shè)有四個第一卡槽8和兩個第一通孔9，所述第一卡槽8呈矩形分布，所述第一通孔9位于所述左托板中部。所述右托板上設(shè)有四個第二卡槽10和兩個第二通孔11，所述第二卡槽10呈矩形分布，所述第二通孔11位于所述右托板中部。所述隔板3與所述盒體I側(cè)板平行，所述隔板3將所述盒體I底板分為左、右兩個對稱單元。所述盒體I外側(cè)設(shè)有凸臺12，所述卡扣4的一端與所述盒蓋2鉸接，所述卡扣4的另一端與所述凸臺12卡接。
[0018]一種多規(guī)格硅片檢驗盒，可適用于4寸、5寸硅片，實現(xiàn)了一個盒體用于不同規(guī)格硅片的通用性功能。檢驗盒為長方形殼體，材質(zhì)為PP。檢驗盒外表面設(shè)有靜電噴涂的黑色無塵漆。具體使用過程為:需要盛放5寸硅片時，將卡托取出，通過隔板3將盒體I內(nèi)部分為左右兩個對稱單元，每個存儲單元可固定存放一個娃片籃；需要盛放4寸娃片時，將卡托置于盒體I內(nèi)部，通過一組卡槽對一個硅片籃進行固定。每個檢驗盒均能放兩個硅片籃，每個硅片籃均是H面朝向檢驗盒前方。本發(fā)明創(chuàng)造結(jié)構(gòu)簡單，操作方便，對于減少硅片顆粒度起到了很好地作用。
[0019]以上對本發(fā)明創(chuàng)造的一個實施例進行了詳細說明，但所述內(nèi)容僅為本發(fā)明創(chuàng)造的較佳實施例，不能被認為用于限定本發(fā)明創(chuàng)造的實施范圍。凡依本發(fā)明創(chuàng)造申請范圍所作的均等變化與改進等，均應(yīng)仍歸屬于本發(fā)明創(chuàng)造的專利涵蓋范圍之內(nèi)。
【主權(quán)項】
1.一種多規(guī)格硅片檢驗盒，其特征在于:包括盒體、盒蓋、卡托和隔板，所述盒蓋和盒體通過合頁連接，所述盒蓋上設(shè)有卡扣，所述盒體底板上設(shè)有所述隔板，所述卡托可活動地設(shè)于所述盒體內(nèi)，所述卡托包括托板、支撐板和凹槽，所述支撐板與所述托板底面相連，用于支撐所述托板，所述托板與所述盒體底板形狀一致，所述托板上設(shè)有所述凹槽，所述凹槽將所述托板分為左托板和右托板，所述左托板設(shè)有多個第一卡槽和第一通孔，所述右托板上設(shè)有多個第二卡槽和第二通孔。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種多規(guī)格硅片檢驗盒，其特征在于:所述左托板上設(shè)有四個第一卡槽和兩個第一通孔，所述第一卡槽呈矩形分布，所述第一通孔位于所述左托板中部。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種多規(guī)格硅片檢驗盒，其特征在于:所述右托板上設(shè)有四個第二卡槽和兩個第二通孔，所述第二卡槽呈矩形分布，所述第二通孔位于所述右托板中部。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種多規(guī)格硅片檢驗盒，其特征在于:所述隔板與所述盒體側(cè)板平行，所述隔板將所述盒體底板分為左、右兩個對稱單元。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種多規(guī)格硅片檢驗盒，其特征在于:所述盒體外側(cè)設(shè)有凸臺，所述卡扣的一端與所述盒蓋鉸接，所述卡扣的另一端與所述凸臺卡接。
【專利摘要】本實用新型提供一種多規(guī)格硅片檢驗盒，包括盒體、盒蓋、卡托和隔板，盒蓋和盒體通過合頁連接，盒蓋上設(shè)有卡扣，盒體底板上設(shè)有隔板，卡托可活動地設(shè)于盒體內(nèi)，卡托包括托板、支撐板和凹槽，支撐板與托板底面相連，托板上設(shè)有凹槽，凹槽將托板分為左托板和右托板，左托板設(shè)有多個第一卡槽和第一通孔，右托板上設(shè)有多個第二卡槽和第二通孔。一種多規(guī)格硅片檢驗盒，可適用于4寸、5寸硅片，實現(xiàn)了一個盒體用于不同規(guī)格硅片的通用性功能。需要盛放5寸硅片時，將卡托取出，通過隔板將盒體內(nèi)部分為左右兩個對稱單元，每個存儲單元可固定存放一個硅片籃；需要盛放4寸硅片時，將卡托置于盒體內(nèi)部，通過一組卡槽對一個硅片籃進行固定。
【IPC分類】B65D85-86, B65D81-05
【公開號】CN204324008
【申請?zhí)枴緾N201420694500
【發(fā)明人】孫晨光, 張晉會, 李諾, 劉園, 王丹
【申請人】天津中環(huán)領(lǐng)先材料技術(shù)有限公司
【公開日】2015年5月13日
【申請日】2014年11月18日