專利名稱：吹氣鑷子的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及一種檢夾薄、細(xì)小樣品的工具，例如檢夾生產(chǎn)過程中的半導(dǎo)體器件的芯片。
目前檢夾薄形、細(xì)小物體，物別是半導(dǎo)體器件樣品的工具，常見的有兩種，一是普通型鑷子和真空吸住，雖然操作簡單方便，但卻常會造成對被夾物體的損壞，例如，使用普通型鑷子來檢夾加工過程中的半導(dǎo)體器件芯片，若夾持其兩邊，會損壞邊角，若夾持其上、下二表面，則會損壞已經(jīng)制備好了的表面圖形；又如，使用真空吸住，被吸芯片的表面或側(cè)邊，其表面上制作的圖形或邊角也常被損壞，這對工藝員來說，是十分棘手的難題，因此，便有人用吹氣球與濾紙的配合來將生產(chǎn)過程中的半導(dǎo)體芯片從這道工序搬移至下一道工序，其作法是先將濾紙置于欲搬移的芯片前方，再用吹氣球輕輕對著該芯片吹氣，將它吹在濾紙上再行搬移，但是這種操作雖然可減少對被搬移之芯片的損壞(因有時對吹氣球吹氣過大，使該芯片吹翻)，但操作太麻煩，效率也較低。
本實用新型的目的在于克服已有技術(shù)的缺點，提供一種對薄形、細(xì)小物體的檢夾，特別是對生產(chǎn)過程中的半導(dǎo)體器件的芯片的檢夾，具有操作簡單方便和不易造成對受檢夾物體的損壞的吹氣鑷子。
本實用新型是這樣實現(xiàn)的，其包括左、右兩只夾腳，特點是a、它們的上端以連接環(huán)聯(lián)結(jié)成一體，而末端則分別設(shè)有左、右半瓣斗；b、還有一吹氣構(gòu)件，其主要含有依次相聯(lián)結(jié)的驅(qū)氣部件，容氣部件和噴氣部件，其中該容氣部件位于該左、右夾腳之間，且與該連接環(huán)相固接，而該驅(qū)氣部件系自上而下穿經(jīng)該連接環(huán)而一端位于該容氣部件內(nèi)，另該噴氣部件的出口端則位于該左、右半瓣斗所圍成的空間內(nèi)。這樣，先對待檢夾的樣品，例如生產(chǎn)過程中的半導(dǎo)體器件芯片使其置于兩夾腳末端連線之前方，即噴氣部件出口端的前方，再推動該驅(qū)氣部件，使噴氣部件的出口端對著該芯片吹氣使其進(jìn)入由左、右半瓣斗圍成的瓣斗內(nèi)，最后鎖定該二夾腳，使該芯片穩(wěn)定地處于瓣斗上，可靠、安全地將其搬運至下道工藝流程進(jìn)行加工。
進(jìn)一步，本實用新型中的吹氣構(gòu)件中的容氣部件包括緊密相連接的上缸體和下缸體，該上缸體的內(nèi)管壁設(shè)螺紋，并由一管狀螺桿穿經(jīng)該二夾腳連接環(huán)而螺接緊固；而驅(qū)氣部件，其包括緊連接的推桿和活塞，該推桿自上穿經(jīng)管狀螺桿、連接環(huán)、上缸體、下缸體，活板和管狀限位塊末端連接該活塞，在限位塊和活塞之間套有壓簧，另該推桿上位于該管狀限位壓塊的上方適當(dāng)處還開設(shè)推桿活鎖定槽。并有一端設(shè)套孔和另一端設(shè)與該推桿活鎖定槽相配合的腰子形孔的限位活板，該左夾腳的適當(dāng)處設(shè)凸起，與限位活板套孔相配合，該管狀限位壓塊分別與該上、下缸體的相鄰端口相螺接，該管狀螺桿上方設(shè)有避震圈，在該管狀螺桿與該避震圈之間設(shè)有旋動墊塊，以便改變推桿在該缸體的滑動距離，從而達(dá)到調(diào)節(jié)對下缸體內(nèi)的受壓迫的氣體的推動，最終調(diào)節(jié)了噴出的空氣對芯片的吹動力。
本實用新型具有如下的積極進(jìn)步效果1、操作方便，基本和對普通鑷子的操作類同，但不損壞受檢夾樣品的表面和邊角；
2、結(jié)構(gòu)簡單，層次分明，易于實施；3、不需要外接氣源，可隨時隨地使用，實用性強。
本實用新型的附圖簡單說明如下


圖1是本實用新型的外觀立體示意圖。
圖2是本實用新型的結(jié)構(gòu)示意圖。
圖3是本實用新型圖2的A-A剖面示意圖。
下面根據(jù)
圖1～圖3給出本實用新型一個較好的實施例，并予以詳細(xì)描述，目的是使其能更好地說明本實用新型的結(jié)構(gòu)特征和性能，而不是用來限制本實用新型的權(quán)利要求保護(hù)范圍。
如
圖1、圖2和圖3所示，本實用新型的實施例，其包括左夾腳2和右夾腳2’，且它們的上端有一把它們連接成一體的連接環(huán)20，而它們的末端分別連接左半瓣斗21和右半瓣斗22，該二瓣斗21、22可以是分離件或與該夾腳2、2’分別成一體的成型件。另有一吹氣構(gòu)件1與該二夾腳2、2’相聯(lián)結(jié)而構(gòu)成本實用新型的吹氣鑷子，本實施例中的該吹氣構(gòu)件1包含有依次相聯(lián)結(jié)的驅(qū)氣部件10、容氣部件11和噴氣部件12，容氣部件11呈筒形狀，其分成上缸體111和下缸體112，它們的端口部分別設(shè)有內(nèi)螺紋，有一限位管狀壓塊113位于該容氣部件11內(nèi)，其設(shè)有外螺紋，分別與上、下缸體111、112的鄰接端口的內(nèi)螺紋相連接，使其上、下缸體111、112連成一整體，該上缸體111的上端口籍其內(nèi)螺紋與一管狀螺桿114穿經(jīng)連接夾腳2、2’的連接環(huán)20而螺接緊固，該吹氣部件1中的驅(qū)氣部件10，系包括緊密聯(lián)結(jié)的推桿101和位于上、下缸體111、112內(nèi)的活塞102，該推桿101自上而下穿經(jīng)該管狀螺桿114，連接環(huán)20而進(jìn)入上、下缸體111、112，且在其下端部位于該限位管狀壓塊113上方適當(dāng)處開設(shè)推桿活鎖定槽104，并在推桿101處于該壓塊113和活塞102之間套設(shè)壓簧103，而又在左夾腳2上設(shè)凸起23，和由一端設(shè)有與該凸起23相配的套孔240和另端設(shè)與該推桿101上的活鎖定槽104相配合的腰子形孔241的活板24，從而形成對該推桿101的活鎖定，即平時，左、右夾腳2、2’分開，活板24上的腰子形孔241與推桿101上的活鎖定槽104緊配合，形成對推桿101的鎖定，當(dāng)攝動夾腳2、2’，推動活板24，推桿101失鎖可下滑，并受上方推力壓縮壓簧103推動活塞102迅速下滑移，使缸體內(nèi)的空氣從噴氣部件12的出口端噴出，去吹動置于該左、右半瓣斗21、22圍成的空間內(nèi)的樣品3，例如，半導(dǎo)體芯片，使之進(jìn)入瓣斗上，以便將其搬移，為了防止推桿推進(jìn)時震動，還在該管狀螺桿114上方設(shè)避震圈115，又為了調(diào)節(jié)對樣品3的吹氣力量大小，又在該螺桿114與該避震圈115之間設(shè)旋動墊塊116，以調(diào)節(jié)推桿101向下滑動的距離，從而調(diào)節(jié)了對壓簧103的壓力，最終調(diào)節(jié)了從噴氣部件12吹向樣品3的吹力。
本實施例中的噴氣部件12包括緊密配合聯(lián)結(jié)的漏斗形噴頭121和噴氣管122，該噴頭121與該下缸體112設(shè)螺紋連接，而噴氣管122的噴氣口則位于該左、右半瓣斗21、22與該左、右夾腳2、2’接合點的連線前方的中央處，對準(zhǔn)樣品3吹氣。
權(quán)利要求1.一種吹氣鑷子，包括左、右夾腳(2)、(2’)，其特征在于a、它們的上端以連接環(huán)(20)聯(lián)結(jié)成一體，而末端則分別設(shè)有左、右半瓣斗(21)、(22)；b、還有一吹氣構(gòu)件(1)，其主要含有依次相聯(lián)結(jié)的驅(qū)氣部件(10)，容氣部件(11)和噴氣部件(12)，其中該容氣部件(11)位于該左、右夾腳(2)、(2’)之間，且與該連接環(huán)(20)相固接，而該驅(qū)氣部件(10)系自上而下穿經(jīng)該連接環(huán)(20)而一端位于該容氣部件(11)內(nèi)，另該噴氣部件(12)的出口端則位于該左、右半瓣斗(21)、(22)所圍成的空間內(nèi)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的吹氣鑷子，其特征在于該吹氣構(gòu)件(1)中的容氣部件(11)包括緊密相連接的上缸體(111)和下缸體(112)，該上缸體(111)的上端口內(nèi)管壁設(shè)螺紋，并由一管狀螺桿(114)穿經(jīng)該夾腳連接環(huán)(20)而螺接緊固。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的吹氣鑷子，其特征在于該吹氣構(gòu)件(1)中的驅(qū)氣部件(10)，其包括緊連接的推桿(101)和活塞(100)，該推桿(101)自上穿經(jīng)管狀螺桿(114)、連接環(huán)(20)、上缸體(111)和下缸體(112)，在其下部適當(dāng)處依次設(shè)管狀限位壓塊(113)和壓簧(103)末端連接該活塞(102)。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的吹氣鑷子，其特征在于該推桿(101)上位于該管狀限位壓塊(113)的上方適當(dāng)處還開設(shè)推桿活鎖定槽(104)，和在該左夾腳(2)的適當(dāng)處設(shè)凸起(23)，并有一端設(shè)套孔(240)和與另端設(shè)該推桿活鎖定槽(104)相配合的腰子形孔(241)的限位活板(24)。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的吹氣鑷子，其特征在于該管狀限位壓塊(113)分別與該上、下缸體(111)、(112)的相鄰端口相螺接。
6.根據(jù)權(quán)利要求3所述的吹氣鑷子，其特征在于該管狀螺桿(114)上方設(shè)有避震圈(115)。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的吹氣鑷子，其特征在于在該管狀螺桿(114)與該避震圈(115)之間設(shè)有旋動墊塊(116)。
8.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的吹氣鑷子，其特征在于該吹氣構(gòu)件(1)中的噴氣部件(12)，其包括相緊密配合的噴頭(121)和噴氣管(122)，該噴頭(121)與該下缸體(112)以套合螺接，而該噴氣管(122)的噴氣口位于該左、右半瓣斗(21)、(22)與左、右夾腳(2)、(2’)末端相接合點之連線的近前方中心處。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的吹氣鑷子，其特征在于該噴頭(121)呈漏斗型結(jié)構(gòu)。
專利摘要一種吹氣鑷子,包括左、右夾腳,特點是:它們的上端有連接環(huán),而末端有左、右半瓣斗;并有一吹氣構(gòu)件,其主要有依次相聯(lián)結(jié)的驅(qū)氣部件,容氣部件和噴氣部件,該容氣部件位于左、右夾腳之間,且與連接環(huán)相固接;該驅(qū)氣部件穿經(jīng)該連接環(huán)而一端位于該容氣部件內(nèi),另該噴氣部件的出口端則位于該左、右半瓣斗所圍成的空間內(nèi),而可對著檢夾的樣品。
文檔編號B65G49/07GK2404857SQ9925215
公開日2000年11月8日 申請日期1999年12月17日 優(yōu)先權(quán)日1999年12月17日
發(fā)明者王正官 申請人:中國科學(xué)院上海技術(shù)物理研究所