技術編號：10266620
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。 在諸如薄膜晶體管（TFT)、液晶顯示器（LCD)、平板顯示器、有機發(fā)光二極管 (0LED)，或用于太陽能電池組的光伏電池之類的半導體元件的生產(chǎn)中，許多元件制造工藝 是在設置于公用平臺上的一或多個工藝腔室中執(zhí)行的。所述公用平臺被稱為群集工具且包 括中央傳遞腔室，所述中央傳遞腔室包括在所述群集工具內(nèi)傳遞基板的機器人裝置?，F(xiàn)代 的生產(chǎn)設備往往包含眾多的群集工具，所述群集工具可以在基板上執(zhí)行不同的工藝。這些 群集工具往往串行連接在一起，以在所述生產(chǎn)設備內(nèi)形成有效...
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