專利名稱：搬送系統(tǒng)及搬送方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及搬送系統(tǒng)，特別涉及不讓處理裝置等待而供給搬出物品的搬送系統(tǒng)。
背景技術(shù)：
需要不讓半導體加工裝置及半導體的檢查裝置等處理裝置等待，而向這些裝置的裝載口供給及搬出FOUP(用于搬送半導體晶片的封閉式盒子)等物品。因此，提出了在處理裝置的附近設(shè)置暫存區(qū)，并且設(shè)置用于進行暫存區(qū)和處理裝置之間的搬送的第二搬送裝置。例如在專利文獻1 (JP2006-2M944A)中，在頂棚空間平行配置多個橋式吊車(overhead travelling vehicle)的軌道，一方作為長距離搬送用，另一方作為短距離搬送用。而且在長距離搬送用軌道的正下方配置暫存區(qū)，在短距離搬送用軌道的正下方配置處理裝置的裝載口。長距離搬送用的橋式吊車與暫存區(qū)之間交接物品，短距離搬送用的橋式吊車在暫存區(qū)與裝載口之間交接物品。因此如果預先將處理裝置所需的物品搬送到暫存區(qū)，就能夠高速地向處理裝置進行物品供給。另外，通過短距離搬送用的橋式吊車高速地從處理裝置的裝載口搬出物品。但是，如果這樣的話，由于在相同高度位置平行設(shè)置軌道，因此搬送系統(tǒng)在俯視時占有的地面面積會增大。在專利文獻2(JP2005-150129A)中，在處理裝置的前面設(shè)置具備了搬送裝置的暫存區(qū)，橋式吊車與暫存區(qū)之間交接物品，暫存區(qū)內(nèi)的搬送裝置與裝載口之間交接物品。但是在處理裝置的前面設(shè)置了顯示運轉(zhuǎn)狀況的顯示器、人工操作用的操作板等，用暫存區(qū)將這些擋住是不理想的。另外裝載口并不僅僅是自動搬送裝置使用的，有時也由人工來供給搬出物品，如果用暫存區(qū)覆蓋處理裝置的前面，則人工處理變得困難。現(xiàn)有技術(shù)文獻(專利文獻)專利文獻1 JP2006-224944A專利文獻2 JP2005-150129A

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的課題在于，不擋住處理裝置的前面，并且縮小搬送系統(tǒng)在俯視時占有的地面面積，同時迅速地向處理裝置供給及搬出物品。本發(fā)明的追加課題在于，提供區(qū)間臺車的具體結(jié)構(gòu)。本發(fā)明的追加課題在于，使區(qū)間臺車的饋線變得不需要。本發(fā)明的追加課題在于，不追加裝置就能夠檢測區(qū)間臺車在橋式吊車的正下方。本發(fā)明的搬送系統(tǒng)在多個處理裝置之間搬送物品，設(shè)置有第一軌道，在處理裝置的裝載口上部延伸；橋式吊車，沿著第一軌道行駛并且具備起重機(hoist)；第二軌道，在所述第一軌道的下方，配置為在所述裝載口的上方延伸并且與所述第一軌道平行；暫存區(qū)，在所述第二軌道的下方并且比所述裝載口高的位置，設(shè)置為物品沿鉛直方向在所述裝載口的正上部通過自如，該暫存區(qū)用于放置物品；以及區(qū)間臺車，具備在所述暫存區(qū)及所述裝載口之間交接物品的起重機，并且沿著第二軌道行駛。在本發(fā)明中，橋式吊車行駛的空間和區(qū)間臺車行駛的空間可以在鉛直方向重疊。 因此能夠縮小搬送系統(tǒng)在俯視時占有的地面面積。另外暫存區(qū)不會擋住處理裝置的前面。 而且橋式吊車和區(qū)間臺車都在暫存區(qū)及裝載口這雙方之間交接物品。由此不會讓處理裝置等待，并且能夠迅速地搬送來自處理裝置的物品。暫存區(qū)也可以僅設(shè)置在從裝載口的正上部遠離的位置，或者也可以將暫存區(qū)的框架等配置在裝載口的正上部。本發(fā)明還涉及后附于由具備起重機的橋式吊車和在處理裝置的裝載口上部延伸的橋式吊車的軌道組成的已有的橋式吊車系統(tǒng)的搬送系統(tǒng)。本系統(tǒng)的特征在于，具有第二軌道，在橋式吊車的軌道的下方，配置成在處理裝置的裝載口的上方延伸并且與橋式吊車的軌道平行；暫存區(qū)，在所述第二軌道的下方并且比所述裝載口高的位置，設(shè)置為物品沿鉛直方向在所述裝載口的正上部通過自如，該暫存區(qū)用于放置物品；以及區(qū)間臺車，具備在所述暫存區(qū)及所述裝載口之間交接物品的起重機，并且沿著第二軌道行駛。如果這樣的話，能夠?qū)σ延械臉蚴降踯囅到y(tǒng)后附由第二軌道和區(qū)間臺車以及暫存區(qū)組成的搬送系統(tǒng)。而且后附的搬送系統(tǒng)無需對處理裝置進行改造，即使對于現(xiàn)存的橋式吊車系統(tǒng)，也僅需要進行兼用支柱這一程度的改造。在本發(fā)明中，在具備起重機的橋式吊車和處理裝置的裝載口之間交接物品。而且橋式吊車沿著在處理裝置的裝載口的上部延伸的橋式吊車的軌道行駛，在橋式吊車的軌道的下方，設(shè)置第二軌道，該第二軌道在處理裝置的裝載口的上方延伸并且與橋式吊車的軌道平行，在所述第二軌道的下方并且比所述裝載口高的位置，設(shè)置暫存區(qū)，該暫存區(qū)用于以物品沿鉛直方向在所述裝載口的正上部通過自如的方式放置物品，設(shè)置區(qū)間臺車，該區(qū)間臺車具備在所述暫存區(qū)及所述裝載口之間交接物品的起重機，并且沿著第二軌道行駛，執(zhí)行由橋式吊車通過起重機與暫存區(qū)之間交接物品的步驟，以及執(zhí)行由區(qū)間臺車在暫存區(qū)和裝載口之間交接物品的步驟。在較為理想的搬送系統(tǒng)中，所述第二軌道至少具備一對軌道，并且在所述一對軌道之間設(shè)置有所述物品在鉛直方向通過自如的間隙。在此狀態(tài)下，通過使第二軌道上的支承區(qū)間臺車的一對軌道之間的間隙比物品的進深大等，由此物品能夠在鉛直方向通過第二軌道。因此，由于第一軌道、第二軌道和裝載口能夠配置為在鉛直方向重疊，物品的交接變得簡單。另外能夠用一對軌道支承區(qū)間臺車。在更為理想的搬送系統(tǒng)中，第一軌道、第二軌道和暫存區(qū)以平行且在俯視時重疊的方式配置在處理裝置的前面。而且暫存區(qū)在裝載口的上部具備暫存區(qū)的間隙，經(jīng)由暫存區(qū)的間隙，橋式吊車和區(qū)間臺車都與裝載口之間自如交接物品。如果這樣的話，橋式吊車和區(qū)間臺車都能夠?qū)ρb載口進行處理。
在更為理想的搬送系統(tǒng)中，暫存區(qū)配置在搬送有物品的區(qū)間臺車能夠在放置有物品的暫存區(qū)的上部通過的高度。如果這樣的話，橋式吊車和區(qū)間臺車能夠在暫存區(qū)上的任意空位置卸載物品，能夠從任意的位置搬出物品。或者另外，也可以是，所述暫存區(qū)配置在以下的高度位置所述區(qū)間臺車在沒有搬送物品的情況下能夠在放置有物品的暫存區(qū)的上部行駛，并且所述區(qū)間臺車在搬送有物品的情況下不能夠在放置有物品的所述暫存區(qū)的上部行駛的高度位置。如果這樣的話，對于由區(qū)間臺車進行的與暫存區(qū)之間的物品的搬出、搬入的順序產(chǎn)生限制，但縮小暫存區(qū)和第二軌道的高度之差，可以容易地完成暫存區(qū)的設(shè)置。例如，設(shè)置控制單元，該控制單元以以下方式對所述橋式吊車和所述區(qū)間臺車進行控制橋式吊車向所述暫存區(qū)搬入物品并且從所述裝載口搬出物品，所述區(qū)間臺車從所述暫存區(qū)向所述裝載口搬入物品。如果這樣的話，從橋式吊車側(cè)來看，暫存區(qū)變?yōu)槲锲返陌崛雽Ｓ玫难b載口，處理裝置的裝載口變?yōu)槲锲返陌岢鰧Ｓ玫难b載口，可以減少不能向裝載口搬入物品的故障。另外從處理裝置側(cè)來看，可以在暫存區(qū)蓄積要處理的預定物品。較為理想的是，所述區(qū)間臺車用蓄電池驅(qū)動，并且用于為區(qū)間臺車的蓄電池充電的充電裝置沿著第二軌道設(shè)置在從所述裝載口的正上部和所述暫存區(qū)的正上部都偏離的位置。如果這樣的話，不妨礙向裝載口及暫存區(qū)的物品的搬出、搬入，區(qū)間臺車能夠向蓄電池充電?；蛘咻^為理想的是，區(qū)間臺車用來自電容器的電力驅(qū)動，并且用于為區(qū)間臺車的蓄電池充電的充電裝置設(shè)置在沿著區(qū)間臺車的第二軌道的各停止位置。因為區(qū)間臺車每次停止時都能夠充電，所以可以由蓄電池或者雙電荷層電容器等電容器進行驅(qū)動，并且電容器不會變得充電不足。較為理想的是，橋式吊車在裝載口的正上方的位置，具備光通信部，該光通信部通過光與裝載口進行光通信，該光的光軸朝向上下方向并且該光在區(qū)間臺車的行駛路徑通過。如果這樣的話，若區(qū)間臺車位于裝載口的正上方，則橋式吊車與裝載口之間的光通信變得不能進行。因此利用與裝載口的光通信，能夠排除區(qū)間臺車干涉橋式吊車和裝載口之間的物品遷移的可能性。另外也可以是，通過區(qū)間臺車的控制器對橋式吊車、區(qū)間臺車和處理裝置通信。例如區(qū)間臺車的控制器用光或無線與橋式吊車通信，用光、無線或有線與區(qū)間臺車及處理裝置通信。如果這樣的話，通過區(qū)間臺車的控制器能夠控制向暫存區(qū)及裝載口的物品的搬出、 搬入。在較為理想的搬送系統(tǒng)中，在所述暫存區(qū)設(shè)置有俯視傳感器，該俯視傳感器用于檢測所述裝載口側(cè)的干涉物的俯視傳感器。在此，裝載口側(cè)意味著裝載口的附近或者其近旁。而且如果根據(jù)此傳感器的信號，通過控制器來控制區(qū)間臺車和橋式吊車，則能夠防止裝載口附近的人等干涉物和區(qū)間臺車及橋式吊車的遷移裝置動作的干涉。


圖1是實施例的搬送系統(tǒng)的主要部分側(cè)視圖。圖2是改變了圖1的暫存區(qū)的高度等級的變形例的搬送系統(tǒng)的主要部分側(cè)視圖。圖3是實施例的搬送系統(tǒng)的主要部分俯視圖。
圖4是變形例的搬送系統(tǒng)的主要部分俯視圖。圖5是區(qū)間臺車的側(cè)視圖。圖6是區(qū)間臺車用單軌道行駛的變形例的主要部分俯視圖。圖7是最優(yōu)實施例的搬送系統(tǒng)的主要部分側(cè)視圖。符號說明2橋式吊車4區(qū)間臺車6橋式吊車的軌道8區(qū)間臺車的軌道9 軌道10、11 暫存區(qū)12處理裝置14 裝載口16 頂棚17 19 支柱20充電裝置22區(qū)間控制器24 物品25落下防止罩26、27 升降臺28顯示器29操作板30 間隙31光通信部32暫存區(qū)34 支柱40行駛電動機41行駛車輪42、50 起重機43懸垂件45蓄電池46連接器47光通信部51 53 導輥
具體實施例方式以下示出了用于實施本發(fā)明的最優(yōu)實施例。本發(fā)明的范圍應該是基于權(quán)利要求書的記述，參照說明書的記述和本領(lǐng)域的周知技術(shù)，根據(jù)本領(lǐng)域技術(shù)人員的理解而確定。在圖1至圖7中，表示實施例的搬送系統(tǒng)及其變形。在圖1至圖5中，2是橋式吊車，在例如半導體工廠內(nèi)進行工序間搬送和工序內(nèi)搬送。4是區(qū)間臺車，對于每個處理裝置 12進行FOUP等物品M的供給和搬出，或者對于鄰接的數(shù)臺處理裝置12進行物品的供給和搬出。6是橋式吊車的軌道，包括行駛軌道和供電軌道。8是區(qū)間臺車4的軌道，包括圖 3等中所示的一對軌道9、9，物品M能夠上下通過軌道9、9之間的間隙。區(qū)間臺車4在軌道8的上方行駛，但也可以在軌道8的下方行駛。處理裝置12具備1個至多個裝載口 14， 在處理裝置12的前面，軌道6、8和暫存區(qū)10平行延伸。16是凈化車間等的頂棚，通過支柱 17至19來支承軌道6、8和暫存區(qū)10。10是暫存區(qū)，臨時放置物品24，在軌道8的下方，與軌道6、8平行配置。在軌道8 上行駛的區(qū)間臺車4，當沒有搬送物品M時能夠在臨時放置物品M的暫存區(qū)10的上部通過，但當搬送有物品M時不能通過。因此當在暫存區(qū)10上臨時放置多個物品時，區(qū)間臺車 4在暫存區(qū)10內(nèi)搬送物品M的時候，在搬送上產(chǎn)生順序。與之相對，如圖2那樣，也可以降低暫存區(qū)10的高度等級而作為暫存區(qū)11，搬送有物品M的區(qū)間臺車4能夠在臨時放置物品M的暫存區(qū)11的上部通過。例如在軌道8的底部和暫存區(qū)11的上部之間，設(shè)置高度為物品M高度2倍以上的間隔。如果這樣的話，橋式吊車2和區(qū)間臺車4能夠在暫存區(qū)11上的任意空位置卸載物品24，能夠從任意位置搬出物品M。除去高度等級較低這一點以外， 暫存區(qū)11和暫存區(qū)10相同，在實施例中使用暫存區(qū)10、11中的任意一個都可以。橋式吊車的軌道6位于最高的位置，例如在其正下方有區(qū)間臺車的軌道8，軌道6、 8是平行的且上下重疊。在軌道6、8的正下方有與它們平行的暫存區(qū)10、11，裝載口 14在軌道6、8的正下方。如實施例那樣，當暫存區(qū)10、11和裝載口 14以俯視時重疊的方式配置時，在裝載口的正上部，在暫存區(qū)10、11上設(shè)置物品M在鉛直方向通過所用的間隙30?；蛘吡硗猓部梢詫捍鎱^(qū)10、11設(shè)置為避免與裝載口 14在俯視時重疊。在區(qū)間臺車的軌道 8上，例如在其一端，在與裝載口 14和暫存區(qū)10、11在俯視時都不重疊的位置有充電裝置 20，給區(qū)間臺車4的蓄電池充電。另外也可以將充電裝置20設(shè)置在與暫存區(qū)10、11的物品 24在鉛直方向重疊的位置。但如果這樣的話，會對向區(qū)間臺車4的充電及在橋式吊車2和暫存區(qū)10、11之間的物品的交接產(chǎn)生干涉。因此，較為理想的是，在軌道8的端部，在與裝載口 14和暫存區(qū)10、11在鉛直方向都不重疊的位置，設(shè)置充電裝置20。22是區(qū)間控制器，控制區(qū)間臺車4，在實施例中設(shè)置在充電裝置20的附近，通過光通信等與區(qū)間臺車4通信。另外區(qū)間控制器22也可以設(shè)置在地上側(cè)。另外向充電裝置20 的供電例如通過沿著支柱18設(shè)置的未圖示的饋線進行。橋式吊車2例如在前后具備落下防止罩25、25，通過未圖示的起重機使升降臺沈升降，沿著鉛直方向遷移物品M。在橋式吊車2中，除此以外，也可以設(shè)置用于橫向輸送物品M用的橫向輸送機構(gòu)等。橋式吊車2具備光通信部31，與設(shè)置在裝載口 14側(cè)的光通信部31'之間，通過基于光的光通信來進行物品交接前的聯(lián)鎖，該光的光軸朝向上下方向并且該光在區(qū)間臺車4的行駛路徑通過。在此，如果在橋式吊車2和裝載口 14之間存在區(qū)間臺車4，則以光通信部31、31'之間的光軸被遮住的方式配置光通信部31、31'。由此，沒有用于檢測區(qū)間臺車4的多余的裝置，就能夠確認在橋式吊車2和裝載口 14之間不存在區(qū)間臺車。并且在橋式吊車2上設(shè)置與區(qū)間控制器22的通信單元(未圖示)，當與暫存區(qū)10、 11之間交接物品的時候，與區(qū)間控制器22通信。在此，處理裝置12除加工裝置之外也包含檢查裝置。在處理裝置12的前面設(shè)置了裝載口 14，在裝載口 14之間，橋式吊車2、區(qū)間臺車4及在地上移動的人交接物品24。在處理裝置12的前面除裝載口 14之外，設(shè)置了顯示器觀和操作板四等，監(jiān)視處理裝置12 的運轉(zhuǎn)狀況，并且能夠用人工控制處理裝置12。區(qū)間臺車的軌道8包括一對軌道9、9，軌道9、9之間的寬度D (圖幻比物品M的進深大，物品M能夠同升降臺26 —起在鉛直方向通過軌道9、9之間的間隙。并且在暫存區(qū)10、11中，在裝載口 14、14的上部設(shè)置間隙30，使物品M能夠在鉛直方向通過暫存區(qū)10、 11?；蛘吡硗?，以避開裝載口 14的正上部的方式配置暫存區(qū)10、11。因此，即使配置為軌道6、8和裝載口 14在鉛直方向重疊，橋式吊車2也能夠?qū)τ谘b載口 14及暫存區(qū)10、11進行物品的交接。同樣地，區(qū)間臺車4能夠?qū)τ跁捍鎱^(qū)10、11及裝載口 14進行物品的交接。 因此能夠使搬送系統(tǒng)在俯視時占有的地面面積最小。當若僅是區(qū)間臺車的軌道8的正下方的暫存區(qū)10等則暫存區(qū)的容量不足時，也可以如圖4那樣設(shè)置追加的暫存區(qū)32，用支柱34 從頂棚等進行支承。此時，追加的暫存區(qū)32例如以其高度位置與暫存區(qū)10等的高度位置對齊的方式配置，在橋式吊車2及區(qū)間臺車4上設(shè)置橫向輸送起重機的機構(gòu)等。圖5表示區(qū)間臺車4的構(gòu)造，40是行駛電動機，通過行駛車輪41等在軌道9、9上行駛。42是起重機，通過卷起或放出懸垂件43，使由升降臺27支承的物品M升降。45是蓄電池，46是連接器，通過充電裝置20進行蓄電池45的充電。47是光通信部，和橋式吊車 2的光通信部31同樣地，與裝載口 14的光通信部31’之間，進行用于聯(lián)鎖的通信。另外也可以不設(shè)置光通信部47，經(jīng)由區(qū)間控制器22進行與裝載口 14的聯(lián)鎖。區(qū)間臺車4行駛距離短，是不具備物品的橫向輸送等機構(gòu)、不具備對行駛路線的選擇及與其它臺車之間的干涉的回避等信息進行處理的信息處理結(jié)構(gòu)的簡單的裝置。例如使1臺區(qū)間臺車4沿著軌道 8行駛，通過區(qū)間控制器22的控制往返于處理裝置12的前面和從前面稍稍遠離的位置之間。而且因為區(qū)間臺車4行駛在橋式吊車的軌道6的正下方的軌道8上，所以不需要追加的地面面積。另外因為軌道8上的軌道9、9之間的間隙D比物品對的進深大，所以能夠以在鉛直方向通過軌道8的方式交接物品M。在圖6中表示變形例的搬送系統(tǒng)，與圖1至圖5相同的符號表示相同的部件，在圖 6中對于橋式吊車2，除去落下防止罩25來表示。在此變形例中區(qū)間臺車的軌道8’包括單軌道。其剖面形狀在這里是L字形狀，但是形狀是任意的。區(qū)間臺車4’例如具備三種導輥 51至53，通過用軌道8’引導這些導輥，由此維持區(qū)間臺車4’的姿態(tài)。也可以不設(shè)置導輥 53。10’是新的暫存區(qū)，具備間隙30，物品M在鉛直方向通過間隙30。在圖6的變形例中， 由于用單軌道支承區(qū)間臺車4，因此區(qū)間臺車4’的姿態(tài)容易變得不穩(wěn)定。表示在實施例中的對橋式吊車2和區(qū)間臺車4的控制。橋式吊車2由未圖示的上位控制器控制，區(qū)間控制器20與上位控制器及橋式吊車2、區(qū)間臺車4之間通信。當橋式吊車2及區(qū)間臺車4與裝載口 14之間交接物品M時，使用光通信部31、31’、47進行聯(lián)鎖。 如果在裝載口 14的正上方存在區(qū)間臺車4，則橋式吊車2不能進行光通信從而聯(lián)鎖不成立， 由此直到區(qū)間臺車4移動到其它的位置為止，使物品的交接延遲。暫存區(qū)10、11等和橋式吊車2之間的物品M的交接，通過橋式吊車2和區(qū)間控制器22之間的通信而使聯(lián)鎖成立。 另外區(qū)間臺車4根據(jù)來自區(qū)間控制器22的指示，與暫存區(qū)10等交接物品M，不進行交接前的聯(lián)鎖。通過以上的通信，能夠得到在暫存區(qū)10等的哪個位置有哪個物品的庫存數(shù)據(jù)，并由區(qū)間控制器22存儲。區(qū)間控制器22管理暫存區(qū)10等的物品M。而且與裝載口 14的聯(lián)鎖通過與橋式吊車2及區(qū)間臺車的直接通信或者經(jīng)由區(qū)間控制器22的通信而成立。最優(yōu)實施例在圖7中表示最優(yōu)實施例，與圖1至圖6相同的符號表示相同的部件，除特別指出的點以外都與圖2的變形例相同。60是俯視傳感器(look down sensor)，照射激光，如果由人等干涉物反射則通過受光元件檢測出來。而且改變激光的方向掃描并使用反射光和激光的相位差等，由此檢測裝載口 14附近的以點劃線表示的監(jiān)視范圍內(nèi)的干涉物。俯視傳感器60的信號從控制器22傳遞到區(qū)間臺車4和橋式吊車2，當存在干涉物的時候，禁止向裝載口 14的卸貨和裝貨。另外干涉物檢測用傳感器的種類是任意的。充電裝置20例如沿著軌道8設(shè)置在區(qū)間臺車4的每個停止位置，如果區(qū)間臺車4 停止，則能夠在任意的位置給蓄電池充電。但是因為將裝載口 14的正上部作為區(qū)間臺車4 的待機位置是不理想的，所以也可以不將充電裝置20設(shè)置在裝載口 14的正上部。另外也可以使用雙電荷層電容器等電容器代替鋰離子電池等蓄電池。區(qū)間控制器22通過光或無線與橋式吊車2通信，通過光、無線或有線與區(qū)間臺車 4及處理裝置12通信。由此能夠通過區(qū)間控制器22使橋式吊車2及區(qū)間臺車4與暫存區(qū) 11及裝載口 14遷移物品M時的聯(lián)鎖成立。圖7的搬送系統(tǒng)例如如以下那樣運用。1)橋式吊車2進行向暫存區(qū)11的物品M的卸載和從裝載口 14的搬出。因為設(shè)置了暫存區(qū)11，所以能夠減少橋式吊車2不能卸載物品M的故障，處理裝置12能夠?qū)⒔酉聛硪幚淼奈锲稭存儲在暫存區(qū)11。2)區(qū)間臺車4進行從暫存區(qū)11到裝載口 14的搬入。3)但是當裝載口 14處物品M有可能溢出時，由區(qū)間臺車4將物品M搬出到暫存區(qū)11。4)特急物品也可以由橋式吊車2直接卸載到裝載口 14。5)區(qū)間臺車4的待機位置是除了裝載口 14的正上部以外的位置，并且是接下來要向裝載口 14卸載的物品的上部。由此，能夠迅速地進行向裝載口 14的搬入。6)區(qū)間臺車4停止時在任意位置充電。由此能夠用小容量的蓄電池驅(qū)動區(qū)間臺車 4。7)與橋式吊車2從裝載口 14搬出物品并行地，將區(qū)間臺車4向裝載口 14搬入的物品打包。因此能夠?qū)⑾乱粋€物品迅速地搬入到裝載口 14。8)當有應該搬出到裝載口 14的物品時，搬送有對裝載口 14的搬入物品的橋式吊車2在裝載口 14的上游側(cè)向暫存區(qū)11卸載物品，接著相同的橋式吊車2從裝載口 14搬出物品。于是能夠有效率地搬送物品。在實施例中能夠得到以下的效果。(1)能夠不擋住處理裝置12的前面而設(shè)置暫存區(qū)10等。(2)將軌道6、8配置成在鉛直方向重疊，并且物品M能夠在設(shè)置在軌道8的間隙通過，所以橋式吊車2和區(qū)間臺車4都不需要橫向輸送結(jié)構(gòu)。(3)通過增長軌道8，能夠?qū)τ谔幚硌b置12準備充分容量的暫存區(qū)10、11。(4)橋式吊車2和區(qū)間臺車4都能夠?qū)ρb載口 14和暫存區(qū)10、11這雙方交接物品。因此，能夠有效率地對于裝載口 14及暫存區(qū)10、11進行物品對的供給和搬出。
另外，沒有必要對全部的處理裝置12設(shè)置包括暫存區(qū)10、區(qū)間臺車4的軌道8及區(qū)間臺車4的系統(tǒng)，也可以僅對物品M的處理數(shù)量較多的處理裝置12設(shè)置所述的系統(tǒng)。搬送物品的種類是任意的，例如可以是容納半導體曝光用的中間掩膜(reticle)的盒子、平板顯示器的電路板等。
權(quán)利要求
1.一種搬送系統(tǒng)，在多個處理裝置之間搬送物品，其特征在于，設(shè)置有第一軌道，在處理裝置的裝載口上部延伸；橋式吊車，沿著第一軌道行駛并且具備起重機；第二軌道，在所述第一軌道的下方，配置為在所述裝載口的上方延伸并且與所述第一軌道平行；暫存區(qū)，在所述第二軌道的下方并且比所述裝載口高的位置，設(shè)置為物品沿鉛直方向在所述裝載口的正上部通過自如，該暫存區(qū)用于放置物品；以及區(qū)間臺車，具備在所述暫存區(qū)及所述裝載口之間交接物品的起重機，并且沿著第二軌道行駛。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的搬送系統(tǒng)，其特征在于，所述第二軌道至少具備一對軌道，并且在所述一對軌道之間設(shè)置有所述物品在鉛直方向通過自如的間隙。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的搬送系統(tǒng)，其特征在于，第一軌道、第二軌道和暫存區(qū)以平行且在俯視時重疊的方式配置在處理裝置的前面，在裝載口的上部，暫存區(qū)具備間隙，經(jīng)由暫存區(qū)的間隙，橋式吊車和區(qū)間臺車都與裝載口之間自如交接物品。
4.根據(jù)權(quán)利要求1至3的任意一項所述的搬送系統(tǒng)，其特征在于，暫存區(qū)配置在搬送有物品的區(qū)間臺車能夠在放置有物品的暫存區(qū)的上部通過的高度。
5.根據(jù)權(quán)利要求1至3的任意一項所述的搬送系統(tǒng)，其特征在于，所述暫存區(qū)配置在以下的高度位置所述區(qū)間臺車在沒有搬送物品的情況下能夠在放置有物品的所述暫存區(qū)的上部行駛，并且所述區(qū)間臺車在搬送有物品的情況下不能夠在放置有物品的所述暫存區(qū)的上部行駛的高度位置。
6.根據(jù)權(quán)利要求1至5的任意一項所述的搬送系統(tǒng)，其特征在于，在所述暫存區(qū)設(shè)置俯視傳感器，所述俯視傳感器用于檢測所述裝載口側(cè)的干涉物。
7.根據(jù)權(quán)利要求1至6的任意一項所述的搬送系統(tǒng)，其特征在于，還具有控制單元，該控制單元以以下方式對所述橋式吊車和所述區(qū)間臺車進行控制 所述橋式吊車向所述暫存區(qū)搬入物品并且從所述裝載口搬出物品，所述區(qū)間臺車從所述暫存區(qū)向所述裝載口搬入物品。
8.根據(jù)權(quán)利要求1至7的任意一項所述的搬送系統(tǒng)，其特征在于，所述區(qū)間臺車用蓄電池驅(qū)動，并且用于為區(qū)間臺車的蓄電池充電的充電裝置沿著第二軌道設(shè)置在從所述裝載口的正上部和所述暫存區(qū)的正上部都偏離的位置。
9.根據(jù)權(quán)利要求1至7的任意一項所述的搬送系統(tǒng)，其特征在于，所述區(qū)間臺車用來自電容器的電力驅(qū)動，并且用于為區(qū)間臺車的蓄電池充電的充電裝置設(shè)置在沿著所述區(qū)間臺車的第二軌道的各停止位置。
10.根據(jù)權(quán)利要求1至9的任意一項所述的搬送系統(tǒng)，其特征在于，所述橋式吊車在所述裝載口的正上方的位置具備光通信部，該光通信部通過光與裝載口進行光通信，所述光的光軸朝向上下方向并且所述光在區(qū)間臺車的行駛路徑通過。
11.根據(jù)權(quán)利要求1至9的任意一項所述的搬送系統(tǒng)，其特征在于，還設(shè)置有區(qū)間臺車的控制器，該區(qū)間臺車的控制器與所述橋式吊車、所述區(qū)間臺車和處理裝置通信自如。
12.一種搬送系統(tǒng)，后附于由具備起重機的橋式吊車和在處理裝置的裝載口上部延伸的橋式吊車的軌道組成的已有的橋式吊車系統(tǒng)，該搬送系統(tǒng)的特征在于，具有第二軌道，在橋式吊車的軌道的下方，配置為在處理裝置的裝載口的上方延伸并且與橋式吊車的軌道平行；暫存區(qū)，在所述第二軌道的下方并且比所述裝載口高的位置，設(shè)置為物品沿鉛直方向在所述裝載口的正上部通過自如，該暫存區(qū)用于放置物品；以及區(qū)間臺車，具備在所述暫存區(qū)及所述裝載口之間交接物品的起重機，并且沿著第二軌道行駛。
13.—種搬送方法，是在具備起重機的橋式吊車和處理裝置的裝載口之間交接物品的方法，該搬送方法的特征在于，執(zhí)行橋式吊車沿著在處理裝置的裝載口的上部延伸的橋式吊車的軌道行駛； 在橋式吊車的軌道的下方，設(shè)置第二軌道，該第二軌道在處理裝置的裝載口的上方延伸并且與橋式吊車的軌道平行；在所述第二軌道的下方并且比所述裝載口高的位置，設(shè)置暫存區(qū)，該暫存區(qū)用于以物品沿鉛直方向在所述裝載口的正上部通過自如的方式放置物品；設(shè)置區(qū)間臺車，該區(qū)間臺車具備在所述暫存區(qū)及所述裝載口之間交接物品的起重機并且沿著第二軌道行駛；由橋式吊車通過起重機與暫存區(qū)之間交接物品的步驟； 以及由區(qū)間臺車在暫存區(qū)和裝載口之間交接物品的步驟。
全文摘要
本發(fā)明提供一種搬送系統(tǒng)及搬送方法，不擋住處理裝置的前面，并且縮小搬送系統(tǒng)在俯視時占有的地面面積，同時迅速地向處理裝置供給及搬出物品。為了在多個處理裝置之間搬送物品，設(shè)置了在處理裝置的裝載口的上部延伸的第一軌道和沿著第一軌道行駛并且具備起重機的橋式吊車。在第一軌道的下方，配置有在裝載口的上方延伸并且與第一軌道平行的第二軌道。在第二軌道的下方并且比裝載口高的位置，設(shè)置有用于以物品沿鉛直方向在裝載口的正上部通過自如的方式放置物品的暫存區(qū)。使具備在暫存區(qū)及裝載口之間交接物品的起重機的區(qū)間臺車沿著第二軌道行駛。
文檔編號B65G1/00GK102556559SQ20111034024
公開日2012年7月11日 申請日期2011年11月1日 優(yōu)先權(quán)日2010年11月4日
發(fā)明者太田達司 申請人:村田自動化機械有限公司