專利名稱：平面顯示器用基板輸送裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種平面顯示器用基板輸送裝置，尤其涉及一種能夠適用于平面顯示器基板制造工序的顯影工序，且通過使基板顯影裝置的安裝空間最小化而獲得最高的空間利用率并能夠有效地排出處理室內(nèi)部氣體的平板顯示器用基板輸送裝置。
背景技術(shù)：
平面顯示裝置的制造工序中，在玻璃基板上形成電路圖案的過程，一般包括基板清洗工序、在已清洗的基板表面涂敷感光性樹脂而形成感光膜的工序、通過預(yù)定圖案曝光所述感光膜而進(jìn)行顯影(developing)的工序。
上述顯示裝置的制造工序中，顯影工序利用一般的顯影液供給裝置對(duì)基板涂敷顯影液。即，該工序可通過使基板經(jīng)由盛裝有顯影液的腔室，或者通過噴射裝置向基板噴射顯影液的方式來完成。上述顯影工序需經(jīng)過一段時(shí)間才能完成基板的顯影，之后通過輥輪等輸送裝置向清洗裝置輸送基板。
這種以往的顯影裝置，為了完成顯影，需等待一段時(shí)間，因此顯影工序所消耗的時(shí)間較長。另外，以往的顯影裝置具備排氣裝置，而在基板的顯影過程中由處理室內(nèi)顯影液所產(chǎn)生的氣體，由于其聚集在特定空間，可能會(huì)導(dǎo)致基板的不良并損傷由PVC等材料制成的處理室。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明鑒于上述問題而作，其目的在于提供一種平面顯示器用基板輸送裝置。該裝置能夠減少基板顯影工序的處理時(shí)間，且可通過使顯影裝置的安裝空間最小化來減少基板制造費(fèi)用。本發(fā)明還在顯影過程中，可在使處理室內(nèi)部的氣體環(huán)境維持均勻的狀態(tài)下迅速排出氣體，從而保護(hù)處理室，減少不良基板，進(jìn)而提高產(chǎn)量。
為了達(dá)到上述目的，本發(fā)明提供一種平板顯示器用基板輸送裝置，其包括多個(gè)處理室，其提供用于處理基板的空間，且以上下方向予以配置；多個(gè)輸送裝置，其設(shè)置于上述多個(gè)處理室內(nèi)部，用于輸送基板；以及驅(qū)動(dòng)裝置，其沿上下方向移動(dòng)所述處理室。所述處理室內(nèi)設(shè)有內(nèi)部空間相通的多個(gè)中空支架，所述多個(gè)支架相互連接并形成一骨架。所述支架上設(shè)有多個(gè)孔，并結(jié)合有用于排出處理室內(nèi)部空間氣體的排氣裝置。
所述處理室最好用于顯影工序。
所述孔最好以規(guī)定間隔設(shè)置在所述支架上。
本發(fā)明可通過上下移動(dòng)的多個(gè)腔室，縮短基板顯影工序所需時(shí)間，提高生產(chǎn)效率，同時(shí)還能在處理室內(nèi)各部分氣體保持均勻的狀態(tài)下將其排出，因此可防止由PVC材料制成的處理室變形，減少不良基板的產(chǎn)生，從而提高產(chǎn)量。


圖1是本發(fā)明實(shí)施例裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。
圖2是用于說明本發(fā)明實(shí)施例裝置作用的結(jié)構(gòu)示意圖。
圖3是圖1中處理室結(jié)構(gòu)示意圖，其用于具體說明本發(fā)明實(shí)施例。
圖4是用于說明本發(fā)明實(shí)施例裝置的結(jié)構(gòu)及作用的結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實(shí)施例方式
下面，參照附圖詳細(xì)說明本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例。
圖1是用于說明本發(fā)明實(shí)施例的整體結(jié)構(gòu)圖，其顯示的是平板顯示器用基板輸送裝置。平板顯示器用基板輸送裝置，可包括供給部1，其用于供給基板G；第一處理室3和第二處理室5，其用于接收來自供給部1的基板G，并進(jìn)行顯影工序；輸出部7，其用于輸出第一處理室3、第二處理室5內(nèi)的基板G。
本發(fā)明實(shí)施例中，在供給部1和處理室之間，可增設(shè)具有用于顯影基板的顯影液噴射裝置的另一處理室。即，雖然本發(fā)明實(shí)施例以在顯影過程中暫時(shí)保管基板G的處理室的結(jié)構(gòu)為主進(jìn)行了說明，但本發(fā)明并不限于此，可采用在所述第一處理室3、第二處理室5中均設(shè)置顯影裝置以實(shí)施顯影工序的結(jié)構(gòu)，也可以采用將已進(jìn)行預(yù)處理的顯影用基板G輸入到上述處理室內(nèi)部的結(jié)構(gòu)。
所述第一處理室3、第二處理室5，以上下方向予以配置，且具有用于輸入及輸出基板的第一輸入口3a、第二輸入口5a及第一輸出口3b、第二輸出口5b。這些輸入口及輸出口最好相互對(duì)置。
所述處理室內(nèi)部分別設(shè)有用于輸送基板G的輸送裝置9。輸送裝置9不僅可采用連續(xù)配置輸送輥的一般的結(jié)構(gòu)，而且只要是能夠連續(xù)移動(dòng)基板G并向處理室供給基板G的結(jié)構(gòu)均可采用。
所述供給部1及輸出部7中輸送基板的結(jié)構(gòu)，可采用與如前所述的設(shè)置在處理室內(nèi)部的輸送裝置相同的結(jié)構(gòu)。但是，供給部1及輸出部7也可以采用如機(jī)械臂等其他裝置來輸送基板G的結(jié)構(gòu)。
所述第一處理室3、第二處理室5上下配置，且可通過升降裝置11升降。即第一處理室3、第二處理室5滑接于另行設(shè)置的底座13上，并可通過升降裝置11升降。升降裝置11可包括電機(jī)M和由驅(qū)動(dòng)齒輪15、從動(dòng)齒輪17、螺旋桿19等構(gòu)成的動(dòng)力傳遞部件，且所述升降裝置11與用于支撐處理室的托架21相螺接，其用于升降處理室。本發(fā)明的升降裝置并不限于上述說明，只要是能夠升降處理室的結(jié)構(gòu)均可采用。
處理室的內(nèi)部設(shè)有多個(gè)支架31，其配置成格子狀，形成一骨架。本發(fā)明中，第一處理室3及第二處理室5的結(jié)構(gòu)相同，因此從方便起見，本發(fā)明中只舉例說明第一處理室3的結(jié)構(gòu)。設(shè)置在第一處理室3內(nèi)部的多個(gè)支架31相互連接并形成一管路。即，支架31可由內(nèi)部相通的中空四角管或者中空?qǐng)A管構(gòu)成。即，多個(gè)支架31的內(nèi)部形成管道狀空間且相互連接，且最好能夠維持處理室3的形狀。在所述支架31上以一定間距或以適當(dāng)?shù)拈g距設(shè)有多個(gè)孔31a(如圖4所示)。而且支架31的一側(cè)與排氣裝置33相連，因此能夠向外排出處理室3內(nèi)部的氣體。排氣裝置33可采用以往用于排出處理室3內(nèi)部氣體的排氣裝置。另外，支架31的邊緣部分結(jié)合有構(gòu)成處理室3的箱體，而這種箱體可由耐化學(xué)性優(yōu)異的PVC材料制成。
下面，參照?qǐng)D1、圖2及圖4詳細(xì)說明本發(fā)明實(shí)施例所涉及的平面顯示器用基板輸送裝置的工作過程。
圖1顯示將已經(jīng)過顯影液處理的基板G供給到配置在上側(cè)的第一處理室3，圖2顯示將已經(jīng)過顯影液處理的基板G供給到配置在下側(cè)的第二處理室5。首先，涂敷有顯影液的基板G通過供給部1輸送到配置在上側(cè)的第一處理室3后，經(jīng)過一段時(shí)間的顯影過程。即，基板G通過供給部1的輸送裝置移動(dòng)到配置在上側(cè)的第一處理室3的第一輸入口3a后，暫存在第一處理室3中。之后通過升降裝置11的動(dòng)作，提升第一處理室3及第二處理室5。這樣位于下側(cè)的第二處理室5就會(huì)移動(dòng)到供給部1所供給的基板G的接收位置上。接著，另一個(gè)基板G通過供給部1輸送到位于下側(cè)的第二處理室5中。當(dāng)然，該基板G也可以通過涂敷有顯影液的狀態(tài)輸入(如圖2所示)。在這種狀態(tài)下，所述第一處理室3內(nèi)的基板G，在向位于下側(cè)的第二處理室5輸送另一個(gè)基板G的過程，和通過升降裝置11，所述第一處理室3下降的過程中完成顯影處理，并由輸出部7輸出。其輸送過程如下通過設(shè)在所述第一處理室3的輸送裝置9輸送基板G，并通過輸出部7的輸送裝置9將基板G輸送至清洗裝置(未圖示)等，以進(jìn)行后續(xù)工序。上述過程中，由于顯影液等化學(xué)物質(zhì)，在處理室內(nèi)形成氣體環(huán)境，此時(shí)有必要均勻且迅速地排出該氣體。此時(shí)，若驅(qū)動(dòng)排氣裝置33，支架31內(nèi)部空間則產(chǎn)生負(fù)壓，處理室3內(nèi)的氣體則通過支架31上的多個(gè)孔31a可獲得均勻且迅速的排出。由此能夠在化學(xué)氣體中保護(hù)由PVC等材料制成的處理室3的箱體，而且由于通過支架31上的孔31a均勻地排出處理室3內(nèi)的氣體，氣體對(duì)基板G的作用也就變得均勻，從而能夠減少對(duì)基板的不良影響。即，處理室內(nèi)的氣體不會(huì)聚集在特定空間，而以均勻分散的裝態(tài)被排出，因此能夠防止對(duì)基板的不良影響，從而提高產(chǎn)量。
接著，所述第一處理室3通過如上方法再次由供給部1引進(jìn)需要顯影的另一個(gè)基板G。本發(fā)明如此反復(fù)進(jìn)行上述過程而完成基板的顯影。本發(fā)明在基板顯影過程中可充分保障顯影所需時(shí)間的同時(shí)，還可以實(shí)現(xiàn)顯影裝置安裝空間的最小化，而且能夠均勻且迅速地排出處理室內(nèi)的氣體，因此能夠防止基板的特定部分和化學(xué)氣體集中進(jìn)行反應(yīng)，從而防止不良基板的產(chǎn)生并提高產(chǎn)量。
權(quán)利要求
1.一種平面顯示器用基板輸送裝置，其特征在于，包括多個(gè)處理室，其提供用于處理基板的空間，且以上下方向予以配置；多個(gè)輸送裝置，其配置在所述多個(gè)處理室的內(nèi)部，且用于輸送基板；以及驅(qū)動(dòng)裝置，其沿上下方向移動(dòng)所述處理室；其中，所述處理室內(nèi)設(shè)有內(nèi)部相通的多個(gè)中空支架，所述多個(gè)支架相互連接并形成一骨架；所述支架上設(shè)有多個(gè)孔；在所述支架上結(jié)合有用于排出處理室內(nèi)部氣體的排氣裝置。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的平面顯示器用基板輸送裝置，其特征在于所述處理室的兩側(cè)設(shè)有相對(duì)置、并用于輸入及輸出基板的輸入口及輸出口。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的平面顯示器用基板輸送裝置，其特征在于所述多個(gè)孔以規(guī)定間隔布設(shè)在支架上。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種平板顯示器用基板輸送裝置，其適用于平面顯示器基板制造工序的顯影工序，且通過使基板顯影裝置的安裝空間最小化來獲得最大的空間利用率并能夠有效地排出處理室內(nèi)部氣體。所述處理室內(nèi)設(shè)有內(nèi)部相通的多個(gè)支架，所述多個(gè)支架相互連接并形成一骨架，所述支架上設(shè)有多個(gè)孔，并結(jié)合有用于排出處理室內(nèi)氣體的排氣裝置。
文檔編號(hào)B65G49/05GK101038390SQ20071008821
公開日2007年9月19日 申請(qǐng)日期2007年3月15日 優(yōu)先權(quán)日2006年3月15日
發(fā)明者吳相澤, 李宰一 申請(qǐng)人:顯示器生產(chǎn)服務(wù)株式會(huì)社