技術(shù)特征：

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開了一種用于藍(lán)寶石襯底拋光的硅鋁復(fù)合磨料的制備方法，其制備過程如下：首先，一定量的親水性硅烷偶聯(lián)劑和商業(yè)氧化鋁粉體先后均勻分散在水溶劑中，采用pH值調(diào)節(jié)劑將該分散液的pH值調(diào)至堿性后，加熱該分散液至特定溫度，在機(jī)械攪拌和恒定溫度的條件下，將預(yù)先備好的硅源稀釋液以一定速率連續(xù)加入上述分散液中，同時(shí)，補(bǔ)充相應(yīng)量的堿穩(wěn)定劑以避免反應(yīng)體系失穩(wěn)；硅源加料完畢繼續(xù)保溫30min后，停止加熱，冷卻至室溫即制備得到硅鋁復(fù)合的拋光磨料。上述方法制備的硅鋁復(fù)合磨料懸浮分散穩(wěn)定性和流動性好、藍(lán)寶石材料的去除速率高、晶片表面無劃痕且光潔度好，適用于藍(lán)寶石襯底的化學(xué)機(jī)械拋光。

技術(shù)研發(fā)人員：朱靖康;胡達(dá)文;管君;林方
受保護(hù)的技術(shù)使用者：無錫易潔工業(yè)介質(zhì)有限公司
技術(shù)研發(fā)日：2017.07.15
技術(shù)公布日：2017.11.07