分離式點膠機構(gòu)的制作方法
【專利摘要】本實用新型適用于半導(dǎo)體固晶【技術(shù)領(lǐng)域】。本實用新型公開一種分離式點膠機構(gòu)包括Z向運動模組、與該Z向運動模組固定的Theta運動模組和分別與Z向運動模組固定和Theta運動模組連接的點膠擺臂模組，以及協(xié)調(diào)Z向運動模組、Theta運動模組和點膠擺臂模組工作的控制模塊。工作時，在控制模塊的協(xié)調(diào)控制下，所述Theta運動模組對點膠擺臂模組中的擺臂在水平面轉(zhuǎn)動的角度進行調(diào)整，同時所述Z向運動模組對點膠擺臂模組中的擺臂上下位置進行調(diào)整，通過適當(dāng)?shù)恼{(diào)節(jié)可以使所述擺臂移動至適當(dāng)位置對鍵合的晶圓進行點膠。與現(xiàn)有的技術(shù)相比，由于其采用上下移動和轉(zhuǎn)動分離，避免點膠擺臂不能同步上下移動和平行移動導(dǎo)致的點膠動作時間長，提高點膠效率，其體積小巧，結(jié)構(gòu)緊湊，維護不便。
【專利說明】分離式點膠機構(gòu)
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型涉及半導(dǎo)體固晶【技術(shù)領(lǐng)域】，特別涉及一種分離式點膠機構(gòu)。
【背景技術(shù)】
[0002]半導(dǎo)體固晶裝置在進行作時需要將固晶用的物料通過上料裝置輸送至相應(yīng)位置后，將LED晶圓與基板進行鍵合固定后，再在與基板鍵合的晶圓上點膠。
[0003]現(xiàn)有的點膠機構(gòu)通常采用一體式結(jié)構(gòu)，在控制點膠擺臂只能上下移動或平行移動，使得點膠的動作時間長，因而影響點膠效率。
實用新型內(nèi)容
[0004]本實用新型主要解決的技術(shù)問題是提供一種分離式點膠機構(gòu)，該分離式點膠機構(gòu)可以避免點膠擺臂不能同步上下移動和平行移動導(dǎo)致的點膠動作時間長，提高點膠效率，其體積小巧，結(jié)構(gòu)緊湊，維護不便。
[0005]為了解決上述問題，本實用新型提供一種分離式點膠機構(gòu)，該分離式點膠機構(gòu)包括Z向運動模組、與該Z向運動模組固定的Theta運動模組和分別與Z向運動模組固定和Theta運動模組連接的點膠擺臂模組，以及協(xié)調(diào)Z向運動模組、Theta運動模組和點膠擺臂模組工作的控制模塊，其中所述Theta運動模組包括設(shè)有伺服電機的基座，該Theta伺服電機的轉(zhuǎn)軸與安裝座一端連接，該安裝座的另一端與擺臂支架配合；所述Z向運動模組包括設(shè)有伺服電機的點膠支撐臂，該伺服電機轉(zhuǎn)軸通過聯(lián)軸器與傳動軸一端連接，在該傳動軸上設(shè)有與位置傳感器配合的感應(yīng)片，所述傳動件的另一端偏軸心設(shè)有從動軸，該從動軸通過傳動塊與導(dǎo)軌安裝板配合，該導(dǎo)軌安裝板與點膠支撐臂通過導(dǎo)軌滑動連接；所述點膠擺臂模組包括點膠擺臂支架，在該點膠擺臂支架設(shè)有與Theta伺服電機轉(zhuǎn)軸非同軸的擺臂轉(zhuǎn)動軸，一端設(shè)有點膠擺臂的擺臂轉(zhuǎn)動軸與安裝座傳動配合。
[0006]進一步地說，所述Theta運動模組還包括設(shè)于基座且與設(shè)于安裝座的感應(yīng)片配合的傳感器，該傳感器與控制模塊連接。
[0007]進一步地說，所述安裝座包括前座和后座，所述前座上設(shè)有兩個平行的導(dǎo)軌，該導(dǎo)軌與后座上的兩導(dǎo)槽配合滑動。
[0008]本實用新型分離式點膠機構(gòu)，該分離式點膠機構(gòu)包括Z向運動模組、與該Z向運動模組固定的Theta運動模組和分別與Z向運動模組固定和Theta運動模組連接的點膠擺臂模組，以及協(xié)調(diào)Z向運動模組、Theta運動模組和點膠擺臂模組工作的控制模塊，其中所述Theta運動模組包括設(shè)有伺服電機的基座，該Theta伺服電機的轉(zhuǎn)軸與安裝座一端連接，該安裝座的另一端與擺臂支架配合；所述Z向運動模組包括設(shè)有伺服電機的點膠支撐臂，該伺服電機轉(zhuǎn)軸通過聯(lián)軸器與傳動軸一端連接，在該傳動軸上設(shè)有與位置傳感器配合的感應(yīng)片，所述傳動件的另一端偏軸心設(shè)有從動軸，該從動軸通過傳動塊與導(dǎo)軌安裝板配合，該導(dǎo)軌安裝板與點膠支撐臂通過導(dǎo)軌滑動連接；所述點膠擺臂模組包括點膠擺臂支架，在該點膠擺臂支架設(shè)有與Theta伺服電機轉(zhuǎn)軸非同軸的擺臂轉(zhuǎn)動軸，一端設(shè)有點膠擺臂的擺臂轉(zhuǎn)動軸與安裝座傳動配合。工作時，在控制模塊的協(xié)調(diào)控制下，所述Theta運動模組對點膠擺臂模組中的擺臂在水平面轉(zhuǎn)動的角度進行調(diào)整，同時所述Z向運動模組對點膠擺臂模組中的擺臂上下位置進行調(diào)整，通過適當(dāng)?shù)恼{(diào)節(jié)可以使所述擺臂移動至適當(dāng)位置對鍵合的晶圓進行點膠。與現(xiàn)有的技術(shù)相比，由于其采用上下移動和轉(zhuǎn)動分離，避免點膠擺臂不能同步上下移動和平行移動導(dǎo)致的點膠動作時間長，提高點膠效率，其體積小巧，結(jié)構(gòu)緊湊，維護不便。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0009]為了更清楚地說明本實用新型實施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對實施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡單介紹，顯而易見地，而描述中的附圖是本實用新型的一些實施例，對于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來說，在不付出創(chuàng)造性勞動的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他附圖。
[0010]圖1是本實用新型分離式點膠機構(gòu)實施例結(jié)構(gòu)示意圖。
[0011]圖2是本實用新型分離式點膠機構(gòu)結(jié)構(gòu)分解示意圖。
[0012]圖3是Z向運動模組實施例分解結(jié)構(gòu)示意圖。
[0013]圖4是Theta運動模組實施例分解結(jié)構(gòu)示意圖。
[0014]圖5是點膠擺臂模組實施例分解結(jié)構(gòu)示意圖。
[0015]下面結(jié)合實施例，并參照附圖，對本實用新型目的的實現(xiàn)、功能特點及優(yōu)點作進一步說明。
【具體實施方式】
[0016]為了使實用新型的目的、技術(shù)方案和優(yōu)點更加清楚，下面將結(jié)合本實用新型實施例中的附圖，對本實用新型實施例中的技術(shù)方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例是實用新型一部分實施例，而不是全部的實施例。基于本實用新型中的實施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動的前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本實用新型保護的范圍。
[0017]如圖1和圖2所示，本實用新型提供一種分離式點膠機構(gòu)實施例。
[0018]該分離式點膠機構(gòu)包括:Z向運動模組1、與該Z向運動模組I固定的Theta運動模組2和分別與Z向運動模I組固定和Theta運動模組2連接的點膠擺臂模組3，以及協(xié)調(diào)Z向運動模組1、Theta運動模組2和點膠擺臂模組3工作的控制模塊(附圖示標(biāo)示)。
[0019]如圖3所示，所述Z向運動模組I包括設(shè)有伺服電機11的點膠支撐臂15，該伺服電機11轉(zhuǎn)軸通過聯(lián)軸器12與傳動軸19 一端連接，在該傳動軸19上設(shè)有與位置傳感器13配合的感應(yīng)片18，所述傳動軸19的另一端偏軸心設(shè)有從動軸102，該從動軸102通過傳動塊103與導(dǎo)軌安裝板106配合，該導(dǎo)軌安裝板101與點膠支撐臂15通過導(dǎo)軌104滑動連接。
[0020]如圖4所示，所述Theta運動模組2包括設(shè)有伺服電機20的基座21，該Theta伺服電機20的轉(zhuǎn)軸與安裝座25 —端連接，該安裝座25通過一對導(dǎo)軌23與擺臂支架27滑動配合，在該安裝座25上設(shè)有感應(yīng)片26，該感應(yīng)片26與設(shè)置于基座21的位置傳感器22配
八
口 ο
[0021]如圖5所示，所述點膠擺臂模組3包括點膠擺臂支架31，在該點膠擺臂支架30設(shè)有與Theta伺服電機20轉(zhuǎn)軸非同軸的擺臂轉(zhuǎn)動軸32，該擺臂轉(zhuǎn)動軸32 —端與點膠擺臂37和傳動塊39連接，其中設(shè)有導(dǎo)軌38的傳動塊39與擺臂支架27配合，膠擺臂支架31與導(dǎo)軌安裝板101固定，在該傳動塊39上設(shè)有防尖蓋301。
[0022]工作時，在控制模塊的協(xié)調(diào)控制下，所述Theta運動模組2對點膠擺臂模組3中的點膠擺臂37在水平面轉(zhuǎn)動的角度進行調(diào)整，同時所述Z向運動模組I對點膠擺臂模3組中的點膠擺臂37上下位置進行調(diào)整，通過適當(dāng)?shù)恼{(diào)節(jié)可以使所述點膠擺臂37移動至適當(dāng)位置對鍵合的晶圓進行點膠。與現(xiàn)有的技術(shù)相比，由于其采用上下移動和轉(zhuǎn)動分離，避免點膠擺臂不能同步上下移動和平行移動導(dǎo)致的點膠動作時間長，提高點膠效率，其體積小巧，結(jié)構(gòu)緊湊，維護不便。
[0023]在本實施例中，所述Theta運動模組還包括設(shè)于基座且與設(shè)于安裝座的感應(yīng)片配合的傳感器，該傳感器與控制模塊連接。所述安裝座包括前座和后座，所述前座上設(shè)有兩個平行的導(dǎo)軌，該導(dǎo)軌與后座上的兩導(dǎo)槽配合滑動。
[0024]以上實施例僅用以說明本實用新型的技術(shù)方案，而非對其限制；盡管參照前述實施例對本實用新型進行了詳細的說明，本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)理解:其依然可以對前述各實施例所記載的技術(shù)方案進行修改，或者對其中部分技術(shù)特征進行等同替換，而這些修改或替換，并不使相應(yīng)技術(shù)方案的本質(zhì)脫離本實用新型各實施例技術(shù)方案的精神和范圍。
【權(quán)利要求】
1.分離式點膠機構(gòu)，其特征在于: 包括Z向運動模組、與該Z向運動模組固定的Theta運動模組和分別與Z向運動模組固定和Theta運動模組連接的點膠擺臂模組，以及協(xié)調(diào)Z向運動模組、Theta運動模組和點膠擺臂模組工作的控制模塊，其中， 所述Theta運動模組包括設(shè)有伺服電機的基座，該Theta伺服電機的轉(zhuǎn)軸與安裝座一端連接，該安裝座的另一端與擺臂支架配合； 所述Z向運動模組包括設(shè)有伺服電機的點膠支撐臂，該伺服電機轉(zhuǎn)軸通過聯(lián)軸器與傳動軸一端連接，在該傳動軸上設(shè)有與位置傳感器配合的感應(yīng)片，所述傳動件的另一端偏軸心設(shè)有從動軸，該從動軸通過傳動塊與導(dǎo)軌安裝板配合，該導(dǎo)軌安裝板與點膠支撐臂通過導(dǎo)軌滑動連接； 所述點膠擺臂模組包括點膠擺臂支架，在該點膠擺臂支架設(shè)有與Theta伺服電機轉(zhuǎn)軸非同軸的擺臂轉(zhuǎn)動軸，一端設(shè)有點膠擺臂的擺臂轉(zhuǎn)動軸與安裝座傳動配合。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的分離式點膠機構(gòu)，其特征在于: 所述Theta運動模組還包括設(shè)于基座且與設(shè)于安裝座的感應(yīng)片配合的傳感器，該傳感器與控制模塊連接。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的分離式點膠機構(gòu)，其特征在于: 所述安裝座包括前座和后座，所述前座上設(shè)有兩個平行的導(dǎo)軌，該導(dǎo)軌與后座上的兩導(dǎo)槽配合滑動。
【文檔編號】B05C11/10GK203525973SQ201320683042
【公開日】2014年4月9日 申請日期:2013年10月25日 優(yōu)先權(quán)日:2013年10月25日
【發(fā)明者】區(qū)大公 申請人:深圳市恒睿智達科技有限公司