專利名稱：卷對(duì)卷式圖案化裝置和具有該圖案化裝置的圖案化系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明的實(shí)施例涉及一種卷對(duì)卷式圖案化裝置和具有該卷對(duì)卷式圖案化裝置的 圖案化系統(tǒng)，用于在薄膜構(gòu)件上形成圖案化涂層。
背景技術(shù)：
通常，設(shè)計(jì)卷對(duì)卷式圖案化裝置以用于在柔性材料的薄膜構(gòu)件上形成圖案化涂 層。使用所述卷對(duì)卷式圖案化裝置的圖案化系統(tǒng)除了包括所述卷對(duì)卷式圖案化裝置之外， 還包括供應(yīng)卷軸，用于給卷對(duì)卷式圖案化裝置提供薄膜構(gòu)件；回收卷軸，用于對(duì)其上已通 過(guò)卷對(duì)卷式圖案化裝置完全形成涂層的薄膜構(gòu)件進(jìn)行回收。所述卷對(duì)卷式圖案化裝置用于 在在所述供應(yīng)卷軸和所述回收卷軸之間運(yùn)動(dòng)的薄膜構(gòu)件上形成圖案化涂層。所述卷對(duì)卷式圖案化裝置包括圖案輥，圖案輥的外圓周表面形成有將被形成在 涂層上的圖案；樹(shù)脂供應(yīng)設(shè)備，提供用于在所述圖案輥和所述薄膜構(gòu)件之間形成涂層的樹(shù) 脂；壓輥，將薄膜構(gòu)件壓抵圖案輥以在薄膜構(gòu)件的樹(shù)脂上形成圖案。在上述卷對(duì)卷式圖案化裝置中，盡管如此，在形成圖案化涂層期間，在作用在薄膜 構(gòu)件上的熱和力的作用下，薄膜構(gòu)件會(huì)容易發(fā)生變形。當(dāng)薄膜構(gòu)件發(fā)生變形時(shí)，在準(zhǔn)確的位 置形成具有期望形狀的圖案可以說(shuō)是困難的。因此，使用傳統(tǒng)的卷對(duì)卷式圖案化裝置難以 形成準(zhǔn)確的圖案化涂層。

發(fā)明內(nèi)容
因此，本發(fā)明的一方面在于提供一種卷對(duì)卷式圖案化裝置和具有該卷對(duì)卷式圖案 化裝置的圖案化系統(tǒng)，其中，可在薄膜構(gòu)件上形成更加準(zhǔn)確的圖案化涂層。對(duì)于本發(fā)明的其他方面，一部分將在下面的描述中進(jìn)行闡述，一部分將通過(guò)描述 而清楚，或者可以通過(guò)實(shí)施本發(fā)明而理解。根據(jù)本發(fā)明的一方面，卷對(duì)卷式圖案化裝置包括圖案輥，其外圓周表面形成有與 將要形成在薄膜構(gòu)件上的涂層的圖案相應(yīng)的圖案；多個(gè)壓輥，使薄膜構(gòu)件壓抵所述圖案輥； 對(duì)齊輥，其在沿著薄膜構(gòu)件的運(yùn)動(dòng)方向的上游位置與所述圖案輥相對(duì)并隔開(kāi)，用于對(duì)齊進(jìn) 入所述圖案輥和所述多個(gè)壓輥之間的薄膜構(gòu)件。所述對(duì)齊輥可沿著與所述圖案輥軸線平行的方向布置，以使所述對(duì)齊輥反復(fù)地移 向所述圖案輥或遠(yuǎn)離所述圖案輥，并且所述對(duì)齊輥能夠相對(duì)于所述圖案輥傾斜預(yù)定的角度。所述卷對(duì)卷式圖案化裝置還可包括樹(shù)脂供應(yīng)設(shè)備，將樹(shù)脂供應(yīng)到所述圖案輥和 薄膜構(gòu)件之間；固化設(shè)備，使樹(shù)脂固化在薄膜構(gòu)件上。所述樹(shù)脂可包括光固化樹(shù)脂；所述固化設(shè)備可包括光源，光源將光照射到光固化 樹(shù)脂上來(lái)固化樹(shù)脂。所述卷對(duì)卷式圖案化裝置還可包括樹(shù)脂供應(yīng)設(shè)備，將光固化樹(shù)脂供應(yīng)到所述圖 案輥和薄膜構(gòu)件之間；光源，將光照射到光固化樹(shù)脂上來(lái)固化樹(shù)脂。
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所述光源可將光照射到通過(guò)所述多個(gè)壓輥中沿著薄膜構(gòu)件的運(yùn)動(dòng)方向位于最下 游位置的一對(duì)壓輥之間的薄膜構(gòu)件上。所述卷對(duì)卷式圖案化裝置還可包括局部固化設(shè)備，所述局部固化設(shè)備在光源固 化光固化樹(shù)脂之前僅僅固化薄膜構(gòu)件上的部分光固化樹(shù)脂。所述局部固化設(shè)備可包括輔助光源，將光照射到在薄膜構(gòu)件上的光固化樹(shù)脂上； 防護(hù)膜，阻擋從輔助光源發(fā)出的一部分光。所述防護(hù)膜可被纏繞在所述對(duì)齊輥上以及所述多個(gè)壓輥中沿著薄膜構(gòu)件的運(yùn)動(dòng) 方向位于最上游位置的一個(gè)壓輥上；輔助光源，可通過(guò)所述防護(hù)膜將光照射到在所述對(duì)齊 輥和沿著薄膜構(gòu)件的運(yùn)動(dòng)方向位于最上游位置的壓輥之間運(yùn)動(dòng)的薄膜構(gòu)件上的光固化樹(shù) 脂上。所述防護(hù)膜可被纏繞在所述多個(gè)壓輥中沿著薄膜構(gòu)件的運(yùn)動(dòng)方向位于最上游位 置的一對(duì)壓輥上；輔助光源可將光照射到通過(guò)在所述多個(gè)壓輥中沿著薄膜構(gòu)件的運(yùn)動(dòng)方向 位于最上游位置的一對(duì)壓輥之間的薄膜構(gòu)件上的光固化樹(shù)脂上。所述防護(hù)膜可包括防護(hù)部分，設(shè)置在所述防護(hù)膜的寬度方向的中央，用于阻擋從 輔助光源發(fā)出的光；透射部分，設(shè)置在所述防護(hù)部分的寬度方向的兩側(cè)，用于透射光。所述 圖案輥的外圓周表面可設(shè)有多個(gè)第一對(duì)齊標(biāo)志，所述多個(gè)第一對(duì)齊標(biāo)志沿圓周方向彼此之 間等距離隔開(kāi)；薄膜構(gòu)件可設(shè)有多個(gè)第二對(duì)齊標(biāo)志，所述多個(gè)第二對(duì)齊標(biāo)志沿縱向彼此之 間等距離隔開(kāi)；所述卷對(duì)卷式圖案化裝置還可包括多個(gè)感測(cè)裝置，用于感測(cè)所述第一對(duì)齊 標(biāo)志和所述第二對(duì)齊標(biāo)志。所述多個(gè)感測(cè)裝置可同時(shí)感測(cè)所述多個(gè)第一對(duì)齊標(biāo)志中的任何一個(gè)和所述多個(gè) 第二對(duì)齊標(biāo)志中的任何一個(gè)。所述多個(gè)感測(cè)裝置可包括第一感測(cè)裝置，用于感測(cè)所述多個(gè)第一對(duì)齊標(biāo)志中的 任何一個(gè)；第二感測(cè)裝置，用于感測(cè)所述多個(gè)第二對(duì)齊標(biāo)志中的任何一個(gè)。所述多個(gè)感測(cè)裝置可包括照相機(jī)，用于識(shí)別圖像信息。所述多個(gè)第一對(duì)齊標(biāo)志可 被設(shè)置在所述圖案輥的外圓周表面兩端；所述多個(gè)第二對(duì)齊標(biāo)志可被設(shè)置在薄膜構(gòu)件的寬 度方向的兩側(cè)。根據(jù)本發(fā)明的另一方面，圖案化系統(tǒng)包括供應(yīng)卷軸，用于提供薄膜構(gòu)件；回收卷 軸，用于對(duì)其上已完全形成涂層的薄膜構(gòu)件進(jìn)行回收；卷對(duì)卷式圖案化裝置，用于在從供應(yīng) 卷軸到回收卷軸之間運(yùn)動(dòng)的薄膜構(gòu)件上形成涂層，所述卷對(duì)卷式圖案化裝置，包括圖案 輥，其外圓周表面形成有與形成在薄膜構(gòu)件上的涂層的圖案相應(yīng)的圖案；多個(gè)壓輥，用于使 薄膜構(gòu)件壓抵圖案輥；對(duì)齊輥，其在沿著薄膜構(gòu)件的運(yùn)動(dòng)方向的上游位置與所述圖案輥相 對(duì)并隔開(kāi)，用于對(duì)齊進(jìn)入所述圖案輥和所述多個(gè)壓輥之間的薄膜構(gòu)件。


通過(guò)下面結(jié)合附圖對(duì)實(shí)施例進(jìn)行的描述，本發(fā)明的上述和/或其他方面將會(huì)變得 清楚和更容易理解，其中圖1是根據(jù)本發(fā)明示例性實(shí)施例的圖案化系統(tǒng)的示意圖；圖2是根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的圖案化系統(tǒng)中所包括的卷對(duì)卷式圖案化裝置的示意 圖3是根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的卷對(duì)卷式圖案化裝置的示意性透視圖；圖4是根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的卷對(duì)卷式圖案化裝置中所包括的防護(hù)膜的示意圖；圖5是根據(jù)本發(fā)明另一實(shí)施例的卷對(duì)卷式圖案化裝置的示意圖；圖6是根據(jù)本發(fā)明另一實(shí)施例的卷對(duì)卷式圖案化裝置的示意圖；圖7是根據(jù)本發(fā)明另一實(shí)施例的卷對(duì)卷式圖案化裝置的示意圖。
具體實(shí)施例方式現(xiàn)在將詳細(xì)說(shuō)明本發(fā)明的示例性實(shí)施例，其例子表示在附圖中，其中，相同的標(biāo)號(hào) 始終指示相同的元件。如圖1所示，根據(jù)本實(shí)施例的圖案化系統(tǒng)包括供應(yīng)卷軸10，其上纏繞著將被涂覆 的薄膜構(gòu)件；回收卷軸20，其上纏繞著已完全形成涂層的薄膜構(gòu)件F ；卷對(duì)卷式圖案化裝置 30，布置在供應(yīng)卷軸10和回收卷軸20之間，用于在從供應(yīng)卷軸10運(yùn)動(dòng)到回收卷軸20的薄 膜構(gòu)件F上形成圖案化涂層。如圖2所示，卷對(duì)卷式圖案化裝置30包括圖案輥31，其外圓周表面形成有與形 成在薄膜構(gòu)件F上的涂層的圖案相應(yīng)的圖案；多個(gè)壓輥32A、32B和32C，用于使薄膜構(gòu)件F 壓抵圖案輥31，以使圖案化涂層形成在薄膜構(gòu)件F上；對(duì)齊輥33，沿著薄膜構(gòu)件F的運(yùn)動(dòng)方 向布置在壓輥32A、32B和32C的上游，用于對(duì)齊進(jìn)入圖案輥31和壓輥32A、32B及32C之間 的薄膜構(gòu)件F ；樹(shù)脂供應(yīng)設(shè)備34，提供用于在圖案輥31和薄膜構(gòu)件F之間形成涂層的樹(shù)脂； 固化設(shè)備35，固化施加于薄膜構(gòu)件F上的樹(shù)脂以形成涂層。在本實(shí)施例中，用于形成涂層的 樹(shù)脂是紫外光固化樹(shù)脂，該紫外光固化樹(shù)脂通過(guò)接收紫外光而固化，固化設(shè)備35包括光源 351，用于發(fā)射紫外光。在操作中，樹(shù)脂供應(yīng)設(shè)備34將樹(shù)脂供應(yīng)到靠近圖案輥31的薄膜構(gòu)件F上，將樹(shù)脂 涂在一段薄膜F的表面上。涂有樹(shù)脂的薄膜構(gòu)件F由對(duì)齊輥33對(duì)齊并進(jìn)入圖案輥31和壓 輥32A之間。然后，涂在薄膜構(gòu)件F上的樹(shù)脂被多個(gè)壓輥32A、32B和32C滾壓，并通過(guò)接收 由固化設(shè)備35的光源351發(fā)射的光進(jìn)行固化。從而，圖案化涂層形成在薄膜構(gòu)件F上。對(duì)齊輥33沿著與圖案輥31軸線平行的方向布置，以使對(duì)齊輥33反復(fù)地移向或遠(yuǎn) 離圖案輥31。與圖案輥31平行布置的對(duì)齊輥33也可相對(duì)于圖案輥31傾斜以具有預(yù)定的 角度。通過(guò)對(duì)齊輥33的往復(fù)運(yùn)動(dòng)和傾斜，薄膜構(gòu)件F可以以增加的準(zhǔn)確度進(jìn)入圖案輥31 和壓輥32A、32B及32C之間，從而在薄膜構(gòu)件F上形成準(zhǔn)確的圖案化涂層。為了方便對(duì)齊輥33對(duì)齊薄膜構(gòu)件F，如圖3所示，圖案輥31的外圓周表面設(shè)有多 個(gè)第一對(duì)齊標(biāo)志31a，第一對(duì)齊標(biāo)志31a沿圓周方向彼此之間等距離隔開(kāi)。第一對(duì)齊標(biāo)志 31a位于圖案輥31兩端。薄膜構(gòu)件F設(shè)有多個(gè)第二對(duì)齊標(biāo)志fa，第二對(duì)齊標(biāo)志fa沿縱向 彼此之間等距離隔開(kāi)，與第一對(duì)齊標(biāo)志31a相對(duì)應(yīng)。第二對(duì)齊標(biāo)志fa位于薄膜構(gòu)件F的寬 度方向的兩側(cè)。如圖2所示，所述卷對(duì)卷式圖案化裝置30包括感測(cè)裝置36，用于感測(cè)第一對(duì)齊 標(biāo)志31a和第二對(duì)齊標(biāo)志fa，即，用來(lái)感測(cè)位于圖案輥31上的第一對(duì)齊標(biāo)志31a和位于薄 膜構(gòu)件F上的第二對(duì)齊標(biāo)志fa之間的相對(duì)位置，從而引起對(duì)齊輥33的往復(fù)運(yùn)動(dòng)和傾斜。在 本實(shí)施例中，感測(cè)裝置36采用照相機(jī)的形式來(lái)識(shí)別圖像信息。感測(cè)裝置36被布置在對(duì)齊 輥33與多個(gè)壓輥32A、32B和32C中位于最上游的壓輥32A之間，用于同時(shí)識(shí)別位于圖案輥31上的第一對(duì)齊標(biāo)志31a和沿著圖案輥31運(yùn)動(dòng)的位于薄膜構(gòu)件F上的第二對(duì)齊標(biāo)志fa。 以這種方式設(shè)置用于感測(cè)第一對(duì)齊標(biāo)志31a的位置和第二對(duì)齊標(biāo)志fa的位置的總共四個(gè) 感測(cè)裝置36 兩個(gè)沿薄膜構(gòu)件F的寬度方向平行布置(未示出)，另外兩個(gè)沿薄膜構(gòu)件F的 運(yùn)動(dòng)方向布置。使用上述感測(cè)裝置36同時(shí)感測(cè)第一對(duì)齊標(biāo)志31a和第二對(duì)齊標(biāo)志fa產(chǎn)生相當(dāng)高 的感應(yīng)精度，從而通過(guò)對(duì)齊輥33確保精確對(duì)齊。因此，這主要應(yīng)用于需要在薄膜構(gòu)件F上 形成高精度圖案的涂層。在本實(shí)施例中，一共設(shè)有三個(gè)壓輥32A、32B和32C。固化設(shè)備35用于固化通過(guò)沿 著薄膜構(gòu)件F的運(yùn)動(dòng)方向位于下游的兩個(gè)壓輥32B和32C之間的薄膜構(gòu)件F上的樹(shù)脂，從 而在薄膜構(gòu)件F上形成涂層。此外，設(shè)置局部固化設(shè)備37來(lái)固化通過(guò)沿著薄膜構(gòu)件F的運(yùn) 動(dòng)方向位于上游的兩個(gè)壓輥32A和32B之間的薄膜構(gòu)件F上的部分樹(shù)脂。局部固化設(shè)備37不僅有助于涂層的有效形成，還有助于利用對(duì)齊輥33使薄膜構(gòu) 件F平滑運(yùn)動(dòng)。局部固化設(shè)備37包括輔助光源371，用于固化薄膜構(gòu)件F上的樹(shù)脂；防護(hù) 膜372，其兩端被纏繞在多個(gè)壓輥32A、32B和32C中的兩個(gè)上游的壓輥32A和32B上，用于 只允許輔助光源371發(fā)射的部分光選擇性地到達(dá)薄膜構(gòu)件F ；驅(qū)動(dòng)輥373，使防護(hù)膜372圍 繞著兩個(gè)壓輥32A和32B進(jìn)行循環(huán)。如圖4所示，防護(hù)膜372包括防護(hù)部分372a，設(shè)置在防護(hù)膜372的寬度方向的中 央，用于阻擋從輔助光源371發(fā)出的光；透射部分372b，設(shè)置在防護(hù)部分372a的寬度方向 的兩側(cè)，用于透射光。這樣，從輔助光源371發(fā)射的部分光被防護(hù)部分372a阻擋，只有余下 的部分光穿過(guò)透射部分372b到達(dá)施加于薄膜構(gòu)件F的寬度方向的兩側(cè)部分區(qū)域的部分樹(shù) 脂。從而，只有施加于薄膜構(gòu)件F的寬度方向的兩側(cè)的薄膜構(gòu)件F的部分區(qū)域的部分樹(shù)脂 被選擇性地固化以形成涂層。當(dāng)只有在薄膜構(gòu)件F的寬度方向的兩側(cè)的薄膜構(gòu)件F的部分區(qū)域通過(guò)局部固化設(shè) 備37首先形成涂層時(shí)，薄膜構(gòu)件F可通過(guò)對(duì)齊輥33實(shí)現(xiàn)平滑運(yùn)動(dòng)，這將有助于在薄膜構(gòu)件 F上形成準(zhǔn)確的圖案化涂層。以下，參照附圖來(lái)詳細(xì)說(shuō)明本發(fā)明的另一實(shí)施例。如圖5所示，根據(jù)本實(shí)施例的卷對(duì)卷式圖案化裝置40包括圖案輥41、一對(duì)壓輥 42A和42B、對(duì)齊輥43及樹(shù)脂供應(yīng)設(shè)備44。局部固化設(shè)備47的防護(hù)膜472的兩端被纏繞在對(duì)齊輥43上和一對(duì)壓輥42A和 42B中沿著薄膜構(gòu)件F的運(yùn)動(dòng)方向位于上游位置的壓輥上，以使防護(hù)膜472通過(guò)驅(qū)動(dòng)輥473 進(jìn)行循環(huán)。局部固化設(shè)備47的輔助光源471將光照射到在對(duì)齊輥43和上游壓輥42A之間 運(yùn)動(dòng)的薄膜構(gòu)件F上，從而固化在對(duì)齊輥43和上游壓輥42A之間運(yùn)動(dòng)的薄膜構(gòu)件F上的部 分樹(shù)脂。固化設(shè)備45的光源451將光照射到在兩個(gè)壓輥42A和42B之間運(yùn)動(dòng)的薄膜構(gòu)件F 上，從而完全固化在兩個(gè)壓輥42A和42B之間運(yùn)動(dòng)的薄膜構(gòu)件F上的樹(shù)脂并完成圖案化涂 層的形成。感測(cè)裝置46A和46B包括第一感測(cè)裝置46A，用于單獨(dú)感測(cè)圖案輥41上的第一 對(duì)齊標(biāo)志(未示出)；第二感測(cè)裝置46B，用于單獨(dú)感測(cè)薄膜構(gòu)件F上的第二對(duì)齊標(biāo)志(未 示出)。通過(guò)單獨(dú)感測(cè)第一對(duì)齊標(biāo)志和第二對(duì)齊標(biāo)志，能夠預(yù)測(cè)薄膜構(gòu)件F的運(yùn)動(dòng)，從而使得對(duì)齊輥43基于所預(yù)測(cè)的運(yùn)動(dòng)來(lái)對(duì)齊薄膜構(gòu)件F。這主要應(yīng)用于需要在薄膜構(gòu)件F上形成 精度相對(duì)較低的圖案的涂層。以下，參照附圖來(lái)詳細(xì)說(shuō)明本發(fā)明的另一實(shí)施例。如圖6所示，根據(jù)本實(shí)施例的卷對(duì)卷式圖案化裝置50包括圖案輥51、一對(duì)壓輥 52A和52B、對(duì)齊輥53及樹(shù)脂供應(yīng)設(shè)備54。固化設(shè)備55的光源551將光照射到在兩個(gè)壓輥52A和52B之間運(yùn)動(dòng)的薄膜構(gòu)件F 上，從而完全固化在兩個(gè)壓輥52A和52B之間運(yùn)動(dòng)的薄膜構(gòu)件F上的樹(shù)脂并完成圖案化涂 層的形成。感測(cè)裝置56位于對(duì)齊輥53和一對(duì)壓輥52A和52B中沿著薄膜構(gòu)件F的運(yùn)動(dòng)方向 位于上游的壓輥52A之間，并用于同時(shí)感測(cè)圖案輥51上的第一對(duì)齊標(biāo)志(未示出)和薄膜 構(gòu)件F上的第二對(duì)齊標(biāo)志(未示出)。本實(shí)施例中沒(méi)有對(duì)應(yīng)于前述實(shí)施例中的局部固化設(shè)備的結(jié)構(gòu)。以下，參照附圖來(lái)詳細(xì)說(shuō)明本發(fā)明的另一實(shí)施例。如圖7所示，根據(jù)本實(shí)施例的卷對(duì)卷式圖案化裝置60包括圖案輥61、一對(duì)壓輥 62A和62B、對(duì)齊輥63及樹(shù)脂供應(yīng)設(shè)備64。局部固化設(shè)備67的防護(hù)膜672的兩端被纏繞在對(duì)齊輥63上和一對(duì)壓輥62A和 62B中沿著薄膜構(gòu)件F的運(yùn)動(dòng)方向位于上游的壓輥62A上，以使防護(hù)膜672通過(guò)驅(qū)動(dòng)輥673 進(jìn)行循環(huán)。局部固化設(shè)備67的輔助光源671將光照射到在對(duì)齊輥63和上游壓輥62A之間 運(yùn)動(dòng)的薄膜構(gòu)件F上，從而固化在對(duì)齊輥63和上游壓輥62A之間運(yùn)動(dòng)的薄膜構(gòu)件F上的部 分樹(shù)脂。固化設(shè)備65的光源651將光照射到在兩個(gè)壓輥62A和62B之間運(yùn)動(dòng)的薄膜構(gòu)件F 上，從而完全固化在兩個(gè)壓輥62A和62B之間運(yùn)動(dòng)的薄膜構(gòu)件F上的樹(shù)脂并完成圖案化涂 層的形成。感測(cè)裝置66A和66B包括第一感測(cè)裝置66A，用于單獨(dú)感測(cè)圖案輥61上的第一 對(duì)齊標(biāo)志(未示出)；第二感測(cè)裝置66B，用于單獨(dú)感測(cè)薄膜構(gòu)件F上的第二對(duì)齊標(biāo)志(未 示出)。通過(guò)單獨(dú)感測(cè)第一對(duì)齊標(biāo)志和第二對(duì)齊標(biāo)志，能夠預(yù)測(cè)薄膜構(gòu)件F的運(yùn)動(dòng)，從而使 得對(duì)齊輥63基于所預(yù)測(cè)的運(yùn)動(dòng)來(lái)對(duì)齊薄膜構(gòu)件F。在本實(shí)施例中，預(yù)對(duì)齊輥68沿著薄膜構(gòu)件F的運(yùn)動(dòng)方向被布置在對(duì)齊輥63的上 游。這樣，在薄膜構(gòu)件F運(yùn)動(dòng)至圖案輥61和對(duì)齊輥63之間之前，由預(yù)對(duì)齊輥68對(duì)其進(jìn)行 預(yù)對(duì)齊。預(yù)對(duì)齊輥68不僅用于確保預(yù)測(cè)對(duì)齊，還用于確保在薄膜構(gòu)件F上形成更高精度的 圖案化涂層。與對(duì)齊輥63類似，預(yù)對(duì)齊輥68沿著與圖案輥61軸線平行的方向布置，以使 預(yù)對(duì)齊輥68移向圖案輥61或遠(yuǎn)離圖案輥61，與圖案輥61平行布置的預(yù)對(duì)齊輥68也可相 對(duì)于圖案輥61傾斜以具有預(yù)定的角度，并可通過(guò)自身運(yùn)動(dòng)來(lái)移動(dòng)薄膜構(gòu)件F。預(yù)對(duì)齊輥68主要應(yīng)用于以下情況雖然可能有必要在薄膜構(gòu)件F上形成高精度的 圖案化涂層，但由于卷對(duì)卷式圖案化裝置60安裝構(gòu)造的原因，感測(cè)裝置66A和66B對(duì)于同 時(shí)感測(cè)圖案輥61上的第一對(duì)齊標(biāo)志和薄膜構(gòu)件F上的第二對(duì)齊標(biāo)志有困難。此外，在上述幾個(gè)實(shí)施例中，雖然樹(shù)脂為紫外光固化樹(shù)脂，并且固化裝置包括發(fā)射 紫外光的光源，但是本發(fā)明并不局限于此。例如，可使用能被各種光固化的相應(yīng)的各種光固化樹(shù)脂(photo curable resin)，固化設(shè)備可包括各種光源，用來(lái)發(fā)射固化相應(yīng)光固化樹(shù)脂 所需的光。通過(guò)上述描述清楚的是，在根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例的卷對(duì)卷式圖案化裝置和具有該 卷對(duì)卷式圖案化裝置的圖案化系統(tǒng)中，對(duì)齊輥被用于對(duì)齊薄膜構(gòu)件，以引導(dǎo)圖案輥和壓輥 之間的薄膜構(gòu)件。這可確保薄膜構(gòu)件運(yùn)動(dòng)至準(zhǔn)確的位置，以形成具有準(zhǔn)確圖案化涂層的薄 膜構(gòu)件。雖然已經(jīng)顯示并描述了本發(fā)明的幾個(gè)實(shí)施例，但是本領(lǐng)域技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)理解，在 不脫離本發(fā)明的原理和精神的情況下，可以對(duì)這些實(shí)施例進(jìn)行改變，而本發(fā)明的范圍由權(quán) 利要求及其等同物限定。本申請(qǐng)要求于2009年5月7日提交到韓國(guó)知識(shí)產(chǎn)權(quán)局的第2009-0039577號(hào)韓國(guó) 專利申請(qǐng)的優(yōu)先權(quán)，該申請(qǐng)公開(kāi)的內(nèi)容通過(guò)合并被包含于此。
權(quán)利要求
一種卷對(duì)卷式圖案化裝置，包括圖案輥，其外圓周表面形成有與將要形成在薄膜構(gòu)件上的涂層的圖案相應(yīng)的圖案；多個(gè)壓輥，使薄膜構(gòu)件壓抵所述圖案輥；對(duì)齊輥，其在沿著薄膜構(gòu)件的運(yùn)動(dòng)方向的上游位置與所述圖案輥相對(duì)并隔開(kāi)，用于對(duì)齊進(jìn)入所述圖案輥和所述多個(gè)壓輥之間的薄膜構(gòu)件。
2.如權(quán)利要求1所述的裝置，其中，所述對(duì)齊輥沿著與所述圖案輥軸線平行的方向布 置，以使所述對(duì)齊輥反復(fù)地移向所述圖案輥或遠(yuǎn)離所述圖案輥，并且所述對(duì)齊輥能夠相對(duì) 于所述圖案輥傾斜預(yù)定的角度。
3.如權(quán)利要求1所述的裝置，還包括樹(shù)脂供應(yīng)設(shè)備，將樹(shù)脂供應(yīng)到所述圖案輥和薄膜構(gòu)件之間；固化設(shè)備，使樹(shù)脂固化在薄膜構(gòu)件上。
4.如權(quán)利要求1所述的裝置，其中所述樹(shù)脂包括光固化樹(shù)脂；所述固化設(shè)備包括光源，光源將光照射到光固化樹(shù)脂上來(lái)固化樹(shù)脂。
5.如權(quán)利要求4所述的裝置，其中，光源將光照射到通過(guò)所述多個(gè)壓輥中沿著薄膜構(gòu) 件的運(yùn)動(dòng)方向位于最下游位置的一對(duì)壓輥之間的薄膜構(gòu)件上。
6.如權(quán)利要求5所述的裝置，還包括局部固化設(shè)備，所述局部固化設(shè)備在光源固化光固化樹(shù)脂之前僅僅固化薄膜構(gòu)件上的 部分光固化樹(shù)脂。
7.如權(quán)利要求6所述的裝置，其中，局部固化設(shè)備包括輔助光源，將光照射到在薄膜 構(gòu)件上的光固化樹(shù)脂上；防護(hù)膜，阻擋從輔助光源發(fā)出的一部分光。
8.如權(quán)利要求7所述的裝置，其中防護(hù)膜被纏繞在所述對(duì)齊輥上以及所述多個(gè)壓輥中沿著薄膜構(gòu)件的運(yùn)動(dòng)方向位于最 上游位置的一個(gè)壓輥上；輔助光源，通過(guò)所述防護(hù)膜將光照射到在所述對(duì)齊輥和沿著薄膜構(gòu)件的運(yùn)動(dòng)方向位于 最上游位置的壓輥之間運(yùn)動(dòng)的薄膜構(gòu)件上的光固化樹(shù)脂上。
9.如權(quán)利要求7所述的裝置，其中防護(hù)膜被纏繞在所述多個(gè)壓輥中沿著薄膜構(gòu)件的運(yùn)動(dòng)方向位于最上游位置的一對(duì)壓 輥上；輔助光源將光照射到通過(guò)在所述多個(gè)壓輥中沿著薄膜構(gòu)件的運(yùn)動(dòng)方向位于最上游位 置的一對(duì)壓輥之間的薄膜構(gòu)件上的光固化樹(shù)脂上。
10.如權(quán)利要求7所述的裝置，其中，所述防護(hù)膜包括防護(hù)部分，設(shè)置在所述防護(hù)膜的 寬度方向的中央，用于阻擋從輔助光源發(fā)出的光；透射部分，設(shè)置在所述防護(hù)部分的寬度方 向的兩側(cè)，用于透射光。
11.如權(quán)利要求1所述的裝置，其中所述圖案輥的外圓周表面設(shè)有多個(gè)第一對(duì)齊標(biāo)志，所述多個(gè)第一對(duì)齊標(biāo)志沿圓周方向 彼此之間等距離隔開(kāi)；薄膜構(gòu)件設(shè)有多個(gè)第二對(duì)齊標(biāo)志，所述多個(gè)第二對(duì)齊標(biāo)志沿縱向彼此之間等距離隔開(kāi)；所述卷對(duì)卷式圖案化裝置還包括多個(gè)感測(cè)裝置，用于感測(cè)所述第一對(duì)齊標(biāo)志和所述第 二對(duì)齊標(biāo)志。
12.如權(quán)利要求11所述的裝置，其中，所述多個(gè)感測(cè)裝置同時(shí)感測(cè)所述多個(gè)第一對(duì)齊 標(biāo)志中的任何一個(gè)和所述多個(gè)第二對(duì)齊標(biāo)志中的任何一個(gè)。
13.如權(quán)利要求11所述的裝置，其中，所述多個(gè)感測(cè)裝置包括第一感測(cè)裝置，用于感 測(cè)所述多個(gè)第一對(duì)齊標(biāo)志中的任何一個(gè)；第二感測(cè)裝置，用于感測(cè)所述多個(gè)第二對(duì)齊標(biāo)志 中的任何一個(gè)。
14.如權(quán)利要求12所述的裝置，其中，所述多個(gè)感測(cè)裝置包括照相機(jī)，用于識(shí)別圖像信肩、ο
15.如權(quán)利要求11所述的裝置，其中所述多個(gè)第一對(duì)齊標(biāo)志被設(shè)置在所述圖案輥的外圓周表面兩端； 所述多個(gè)第二對(duì)齊標(biāo)志被設(shè)置在薄膜構(gòu)件的寬度方向的兩側(cè)。
16.一種卷對(duì)卷式圖案化系統(tǒng)，包括 供應(yīng)卷軸，用于提供薄膜構(gòu)件；回收卷軸，用于對(duì)其上已完全形成涂層的薄膜構(gòu)件進(jìn)行回收；卷對(duì)卷式圖案化裝置，用于在從供應(yīng)卷軸到回收卷軸之間運(yùn)動(dòng)的薄膜構(gòu)件上形成涂層，其中，所述卷對(duì)卷式圖案化裝置，包括圖案輥，其外圓周表面形成有與形成在薄膜構(gòu) 件上的涂層的圖案相應(yīng)的圖案；多個(gè)壓輥，用于使薄膜構(gòu)件壓抵圖案輥；對(duì)齊輥，其在沿著 薄膜構(gòu)件的運(yùn)動(dòng)方向的上游位置與所述圖案輥相對(duì)并隔開(kāi)，用于對(duì)齊進(jìn)入所述圖案輥和所 述多個(gè)壓輥之間的薄膜構(gòu)件。
17.如權(quán)利要求16所述的系統(tǒng)，其中，所述對(duì)齊輥沿著與所述圖案輥軸線平行的方向 布置，以使所述對(duì)齊輥反復(fù)地移向所述圖案輥或遠(yuǎn)離所述圖案輥，并且所述對(duì)齊輥能夠相 對(duì)于所述圖案輥傾斜預(yù)定的角度。
18.如權(quán)利要求16所述的系統(tǒng)，其中，所述卷對(duì)卷式圖案化裝置還包括樹(shù)脂供應(yīng)設(shè)備， 將樹(shù)脂供應(yīng)到所述圖案輥和薄膜構(gòu)件之間；固化設(shè)備，使樹(shù)脂固化在薄膜構(gòu)件上。
19.如權(quán)利要求18所述的系統(tǒng)，其中 所述樹(shù)脂包括光固化樹(shù)脂；所述固化設(shè)備包括光源，光源將光照射在光固化樹(shù)脂上來(lái)固化樹(shù)脂。
20.如權(quán)利要求19所述的系統(tǒng)，其中，所述卷對(duì)卷式圖案化裝置還包括局部固化設(shè)備， 所述局部固化設(shè)備在光源固化光固化樹(shù)脂之前僅僅固化薄膜構(gòu)件上的部分光固化樹(shù)脂。
21.如權(quán)利要求20所述的系統(tǒng)，其中，局部固化設(shè)備包括輔助光源，將光照射到在薄 膜構(gòu)件上的光固化樹(shù)脂上；防護(hù)膜，阻擋從輔助光源發(fā)出的一部分光。
22.如權(quán)利要求16所述的系統(tǒng)，其中所述圖案輥的外圓周表面設(shè)有多個(gè)第一對(duì)齊標(biāo)志，所述多個(gè)第一對(duì)齊標(biāo)志沿圓周方向 彼此之間等距離隔開(kāi)；薄膜構(gòu)件設(shè)有多個(gè)第二對(duì)齊標(biāo)志，所述多個(gè)第二對(duì)齊標(biāo)志沿縱向彼此之間等距離隔開(kāi)；所述卷對(duì)卷式圖案化裝置還包括多個(gè)感測(cè)裝置，用于感測(cè)所述第一對(duì)齊標(biāo)志和所述第對(duì)齊標(biāo)志<
全文摘要
本發(fā)明公開(kāi)了一種卷對(duì)卷式圖案化裝置和具有該卷對(duì)卷式圖案化裝置的圖案化系統(tǒng)，所述卷對(duì)卷式圖案化裝置包括用于對(duì)齊薄膜構(gòu)件的對(duì)齊輥。隨著對(duì)齊輥對(duì)齊進(jìn)入圖案輥和壓輥之間的薄膜構(gòu)件，薄膜構(gòu)件可運(yùn)動(dòng)至準(zhǔn)確的位置，這樣能夠制造具有準(zhǔn)確圖案的薄膜構(gòu)件。
文檔編號(hào)B05D3/06GK101879498SQ201010175660
公開(kāi)日2010年11月10日 申請(qǐng)日期2010年5月5日 優(yōu)先權(quán)日2009年5月7日
發(fā)明者徐正祐, 權(quán)信, 趙暎泰, 金東民, 金基賢, 金楨吉 申請(qǐng)人:三星電子株式會(huì)社