一種半導(dǎo)體氣敏元件氣敏漿料的制備方法
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種半導(dǎo)體氣敏元件氣敏漿料的制備方法，其具體制備步驟為：（1）將氧化鋅與二氧化鈦混合置入球磨機中，并加入等質(zhì)量的純水，球磨后取出置入真空烘箱中烘干；（2）將配制好的玻璃粉與步驟（1）中處理好的混合料混合后進(jìn)行充分?jǐn)嚢?，再置入真空烘箱中烘烤；?）將步驟（2）中處理好的混合料均勻投入有機載料中，混勻攪拌后，再密閉超聲后得到氣敏漿料；本發(fā)明的有益效果是：采用配方、工藝參數(shù)設(shè)計合理，制備出的氣敏漿料均勻，用該氣敏漿料制備的半導(dǎo)體氣敏元件敏感度高，各項性能優(yōu)異。
【專利說明】
一種半導(dǎo)體氣敏元件氣敏漿料的制備方法
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本發(fā)明涉及半導(dǎo)體元件制備技術(shù)領(lǐng)域，特別是一種半導(dǎo)體氣敏元件氣敏漿料的制備方法。
【背景技術(shù)】
[0002]半導(dǎo)體氣敏元件由于具有靈敏度高、響應(yīng)時間和恢復(fù)時間短、使用壽命長及成本低等優(yōu)點，被廣泛應(yīng)用于檢測各種有害氣體、可燃?xì)怏w、工業(yè)廢氣和環(huán)境污染氣體。氣敏元件是檢測環(huán)境氣氛中某種(或某類)氣體存在及其含量的基礎(chǔ)。氣敏元件性能與敏感材料的種類、結(jié)構(gòu)及制作工藝密切相關(guān)。
[0003]在制備半導(dǎo)體氣敏元件時，氣敏漿料的制備過程至關(guān)重要，直接影響氣敏元件性能的好壞，然而大多制備方法制備的氣敏漿料并不能滿足器件的要求，制備出的氣敏元件敏感度較低。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]本發(fā)明的目的是為解決現(xiàn)有技術(shù)中的問題，公開了一種半導(dǎo)體氣敏元件氣敏漿料的制備方法。
[0005]為實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明公開了一種半導(dǎo)體氣敏元件氣敏漿料的制備方法，主要組分及所占比例為:氧化鋅40%、二氧化鈦30%、玻璃粉5%、有機載料25%，其具體制備步驟為:
(1)將氧化鋅與二氧化鈦混合置入球磨機中，并加入等質(zhì)量的純水，球磨5-7小時后，取出置入真空烘箱中烘干20-30分鐘，烘干溫度設(shè)定為140-160°C;
(2)將配制好的玻璃粉與步驟(I)中處理好的混合料混合后進(jìn)行充分?jǐn)嚢?，攪拌時間為20-30分鐘，再置入真空烘箱中烘烤30-40分鐘，烘烤溫度設(shè)定為200-220 °C ；
(3 )將步驟(2 )中處理好的混合料均勻投入有機載料中，混勻攪拌I O-15分鐘后，再密閉超聲20-25分鐘后得到氣敏漿料。
[0006]其中所述玻璃粉組分及質(zhì)量百分比為:氧化鋯60%，氧化鉛15%，二氧化硅15%，三氧化鉬10%。
[0007]其中所述有機載料組分及質(zhì)量百分比為:丁酸丁基卡必醇87%、聚甲基丙烯酸脂9%、丁醛樹脂4%。
[0008]本發(fā)明的優(yōu)點和積極效果是:
本發(fā)明方法采用配方、工藝參數(shù)設(shè)計合理，制備出的氣敏漿料均勻，用該氣敏漿料制備的半導(dǎo)體氣敏元件敏感度高，各項性能優(yōu)異。
【具體實施方式】
[0009]具體實施例一:
一種半導(dǎo)體氣敏元件氣敏漿料的制備方法，主要組分及所占比例為:氧化鋅40%、二氧化鈦30%、玻璃粉5%、有機載料25%，其具體制備步驟為: (1)將氧化鋅與二氧化鈦混合置入球磨機中，并加入等質(zhì)量的純水，球磨5小時后，取出置入真空烘箱中烘干20分鐘，烘干溫度設(shè)定為140 °C;
(2)將配制好的玻璃粉與步驟(I)中處理好的混合料混合后進(jìn)行充分?jǐn)嚢?，其中玻璃粉組分及質(zhì)量百分比為:氧化鋯60%，氧化鉛15%，二氧化硅15%，三氧化鉬10%，攪拌時間為20分鐘，再置入真空烘箱中烘烤30分鐘，烘烤溫度設(shè)定為200 °C ;
(3)將步驟(2)中處理好的混合料均勻投入有機載料中，其中有機載料組分及質(zhì)量百分比為:丁酸丁基卡必醇87%、聚甲基丙烯酸脂9%、丁醛樹脂4%，混勻攪拌10分鐘后，再密閉超聲20分鐘后得到氣敏漿料。
[0010]具體實施例二:
一種半導(dǎo)體氣敏元件氣敏漿料的制備方法，主要組分及所占比例為:氧化鋅40%、二氧化鈦30%、玻璃粉5%、有機載料25%，其具體制備步驟為:
(1)將氧化鋅與二氧化鈦混合置入球磨機中，并加入等質(zhì)量的純水，球磨7小時后，取出置入真空烘箱中烘干30分鐘，烘干溫度設(shè)定為160°C;
(2)將配制好的玻璃粉與步驟(I)中處理好的混合料混合后進(jìn)行充分?jǐn)嚢?，其中玻璃粉組分及質(zhì)量百分比為:氧化鋯60%，氧化鉛15%，二氧化硅15%，三氧化鉬10%，攪拌時間為30分鐘，再置入真空烘箱中烘烤40分鐘，烘烤溫度設(shè)定為220°C ;
(3)將步驟(2)中處理好的混合料均勻投入有機載料中，其中有機載料組分及質(zhì)量百分比為:丁酸丁基卡必醇87%、聚甲基丙烯酸脂9%、丁醛樹脂4%，混勻攪拌15分鐘后，再密閉超聲25分鐘后得到氣敏漿料。
[0011]具體實施例三:
一種半導(dǎo)體氣敏元件氣敏漿料的制備方法，主要組分及所占比例為:氧化鋅40%、二氧化鈦30%、玻璃粉5%、有機載料25%，其具體制備步驟為:
(1)將氧化鋅與二氧化鈦混合置入球磨機中，并加入等質(zhì)量的純水，球磨6小時后，取出置入真空烘箱中烘干25分鐘，烘干溫度設(shè)定為150°C;
(2)將配制好的玻璃粉與步驟(I)中處理好的混合料混合后進(jìn)行充分?jǐn)嚢?，其中玻璃粉組分及質(zhì)量百分比為:氧化鋯60%，氧化鉛15%，二氧化硅15%，三氧化鉬10%，攪拌時間為25分鐘，再置入真空烘箱中烘烤35分鐘，烘烤溫度設(shè)定為210°C ;
(3)將步驟(2)中處理好的混合料均勻投入有機載料中，其中有機載料組分及質(zhì)量百分比為:丁酸丁基卡必醇87%、聚甲基丙烯酸脂9%、丁醛樹脂4%，混勻攪拌13分鐘后，再密閉超聲23分鐘后得到氣敏漿料。
[0012]以上所述，僅為本發(fā)明較佳的【具體實施方式】，但本發(fā)明的保護范圍并不局限于此，任何熟悉本技術(shù)領(lǐng)域的技術(shù)人員在本發(fā)明揭露的技術(shù)范圍內(nèi)，根據(jù)本發(fā)明的技術(shù)方案及其發(fā)明構(gòu)思加以等同替換或改變，都應(yīng)涵蓋在本發(fā)明的保護范圍之內(nèi)。
【主權(quán)項】
1.一種半導(dǎo)體氣敏元件氣敏漿料的制備方法，主要組分及所占比例為:氧化鋅40%、二氧化鈦30%、玻璃粉5%、有機載料25%，其具體制備步驟為: (1)將氧化鋅與二氧化鈦混合置入球磨機中，并加入等質(zhì)量的純水，球磨5-7小時后，取出置入真空烘箱中烘干20-30分鐘，烘干溫度設(shè)定為140-160°C; (2)將配制好的玻璃粉與步驟(I)中處理好的混合料混合后進(jìn)行充分?jǐn)嚢瑁瑪嚢钑r間為20-30分鐘，再置入真空烘箱中烘烤30-40分鐘，烘烤溫度設(shè)定為200-220 °C ； (3)將步驟(2)中處理好的混合料均勻投入有機載料中，混勻攪拌10-15分鐘后，再密閉超聲20-25分鐘后得到氣敏漿料。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種半導(dǎo)體氣敏元件氣敏漿料的制備方法，其特征在于:所述玻璃粉組分及質(zhì)量百分比為:氧化鋯60%，氧化鉛15%，二氧化硅15%，三氧化鉬10%。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種半導(dǎo)體氣敏元件氣敏漿料的制備方法，其特征在于:所述有機載料組分及質(zhì)量百分比為:丁酸丁基卡必醇87%、聚甲基丙烯酸脂9%、丁醛樹脂4%。
【文檔編號】C08L59/00GK105924871SQ201610391574
【公開日】2016年9月7日
【申請日】2016年6月6日
【發(fā)明人】姚坤, 姚望, 王傳穩(wěn), 陳靜, 高尚
【申請人】懷遠(yuǎn)縣金浩電子科技有限公司