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一種具有斷裂保護(hù)的石墨三瓣堝的制作方法

文檔序號:10152153閱讀:290來源:國知局
一種具有斷裂保護(hù)的石墨三瓣堝的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型涉及石墨三瓣禍領(lǐng)域,特別是涉及一種具有斷裂保護(hù)的石墨三瓣禍。
【背景技術(shù)】
[0002]石墨三瓣禍?zhǔn)菃尉t內(nèi)十分重要的熱場部件,多晶硅原料放在高純石英坩禍內(nèi),高純石英坩禍放在石墨三瓣禍內(nèi),加熱器在石墨三瓣禍外通過熱輻射和熱傳遞的方式加熱多晶硅料。石英坩禍的熔點為1750°C,但當(dāng)溫度達(dá)到1200°C時,石英坩禍就軟化,完全貼合在石墨三瓣禍上。所以石墨三瓣禍要承受石英坩禍及硅料的重力及硅料自轉(zhuǎn)產(chǎn)生的離心力。這兩個力的作用下會使石墨三瓣禍每瓣間產(chǎn)生一定的縫隙,在單晶爐內(nèi)高溫下,這個縫隙的石墨容易與硅蒸汽發(fā)生反應(yīng),生成SiC。由于SiC與石墨的熱膨脹系數(shù)不一樣,在反復(fù)使用熱脹冷縮的情況下,SiC容易脫落,導(dǎo)致石墨三瓣禍每瓣的連接處厚度減薄,甚至出現(xiàn)斷裂。拉晶時出現(xiàn)石墨三瓣禍斷裂是很嚴(yán)重的事故,輕則產(chǎn)生墩禍,浪費石英坩禍、重新酸性多晶硅料和拉晶時間等成本,重則造成加熱器打火、漏硅等損壞單晶熱場石墨件的事故。
【實用新型內(nèi)容】
[0003]本實用新型的目的在于克服現(xiàn)有技術(shù)的不足,提供一種具有斷裂保護(hù)的石墨三瓣禍,能有效提高石墨三瓣禍壽命,并防止三瓣禍斷裂而掉落,具有取材方便,加工簡單,效果明顯的優(yōu)點。
[0004]本實用新型的目的是通過以下技術(shù)方案來實現(xiàn)的:一種具有斷裂保護(hù)的石墨三瓣禍,包括三個石墨三瓣禍瓣體和連接件,所述石墨三瓣禍瓣體的上沿兩端分別開設(shè)有盲孔,相鄰兩個石墨三瓣禍瓣體之間通過連接件連接,其中,連接件的一端固定在一個石墨三瓣禍瓣體的盲孔內(nèi),連接件的另一端固定在另一個石墨三瓣禍瓣體的盲孔內(nèi)。
[0005]進(jìn)一步的,所述盲孔的直徑為3?10mm,深度為8?25mm。
[0006]進(jìn)一步的,所述盲孔的直徑為6mm,深度為15mm。
[0007]進(jìn)一步的,所述連接件的材料為石墨。
[0008]進(jìn)一步的,所述連接件包括螺栓和連接板,連接板的兩端開設(shè)有與盲孔相匹配的通孔,螺栓穿過連接板的通孔插入盲孔內(nèi)。
[0009]進(jìn)一步的,所述螺栓為石墨螺栓,所述連接板為石墨連接板。
[0010]進(jìn)一步的,所述連接件的形狀與石墨三瓣禍瓣體上沿的形狀相適應(yīng),呈弧形。
[0011]進(jìn)一步的,所述螺栓的外徑為3?10mm,長度為15?50mm。
[0012]進(jìn)一步的,所述螺栓的外徑為6mm,長度為30mm。
[0013]本實用新型的有益效果是:本實用新型中的石墨三瓣禍瓣體的上沿兩端分別開設(shè)有盲孔,盲孔內(nèi)插入有石墨螺栓,每兩個石墨三瓣禍瓣體的連接處用石墨模套套住石墨螺栓,不僅能夠防止石墨三瓣禍間的縫隙在外力作用下張開,并能夠防止石墨三瓣禍發(fā)生斷裂時接觸加熱器,造成打火及漏硅事故。本實用新型能有效提高石墨三瓣禍壽命,并防止三瓣禍斷裂而掉落,具有取材方便,加工簡單,效果明顯的優(yōu)點。
【附圖說明】
[0014]圖1為本實用新型中石墨三瓣禍的俯視圖;
[0015]圖2為本實用新型中石墨三瓣禍瓣體的剖視圖;
[0016]圖3為本實用新型中石墨三瓣禍的剖視圖;
[0017]圖4為本實用新型圖3中的局部A的放大示意圖;
[0018]圖中,1-石墨三瓣禍瓣體,2-盲孔,3-連接件,4-連接板,5-螺栓。
【具體實施方式】
[0019]下面結(jié)合附圖進(jìn)一步詳細(xì)描述本實用新型的技術(shù)方案,但本實用新型的保護(hù)范圍不局限于以下所述。
[0020]如圖1所示,一種具有斷裂保護(hù)的石墨三瓣禍,包括三個石墨三瓣禍瓣體1和連接件3。
[0021]如圖2所示,所述石墨三瓣禍瓣體1的上沿兩端分別開設(shè)有盲孔2,相鄰兩個石墨三瓣禍瓣體1之間通過連接件4連接。
[0022]如圖3所示,其中,連接件4的一端固定在一個石墨三瓣禍瓣體1的盲孔2內(nèi),連接件4的另一端固定在另一個石墨三瓣禍瓣體1的盲孔2內(nèi)。
[0023]進(jìn)一步的,所述盲孔2的直徑為3?10mm,深度為8?25mm。
[0024]進(jìn)一步的,所述盲孔2的直徑為6mm,深度為15mm。
[0025]進(jìn)一步的,所述連接件3的材料為石墨。
[0026]進(jìn)一步的,所述連接件3包括螺栓3和連接板4,連接板4的兩端開設(shè)有與盲孔2相匹配的通孔,螺栓5穿過連接板4的通孔插入盲孔2內(nèi)。
[0027]進(jìn)一步的,所述螺栓5為石墨螺栓,所述連接板4為石墨連接板。
[0028]進(jìn)一步的,所述連接件3的形狀與石墨三瓣禍瓣體1上沿的形狀相適應(yīng),呈弧形。
[0029]進(jìn)一步的,所述螺栓5的外徑為3?10mm,長度為15?50mm。
[0030]進(jìn)一步的,所述螺栓5的外徑為6mm,長度為30mm。
[0031]如圖4所示,本實用新型在石墨三瓣禍每瓣瓣體1的上沿連接處打一個直徑C>6mm、深度15mm的盲孔2,再用外徑C>6mm,長度Φ30mm的石墨螺栓插入盲孔內(nèi),每兩個三瓣禍的連接處用石墨模套即連接板套住石墨螺栓,防止石墨三瓣禍在外力作用下張開,有效延長三瓣禍的使用壽命,并能有在一定程度上避免斷裂的三瓣禍與加熱器接觸而出現(xiàn)打火及漏娃事故。
[0032]并且由于連接件2的材料為等靜壓石墨,等靜壓石墨也是三瓣禍的制作材料,材料來源十分豐富,價格便宜,使得本實用新型的成本很低。
【主權(quán)項】
1.一種具有斷裂保護(hù)的石墨三瓣禍,其特征在于:包括三個石墨三瓣禍瓣體(1)和連接件(3),所述石墨三瓣禍瓣體(1)的上沿兩端分別開設(shè)有盲孔(2),相鄰兩個石墨三瓣禍瓣體(1)之間通過連接件(3 )連接,其中,連接件(3 )的一端固定在一個石墨三瓣禍瓣體(1)的盲孔(2)內(nèi),連接件(3)的另一端固定在另一個石墨三瓣禍瓣體(1)的盲孔(2)內(nèi); 所述連接件(3 )包括螺栓(5 )和連接板(4 ),連接板(4 )的兩端開設(shè)有與盲孔(2 )相匹配的通孔,螺栓(5)穿過連接板(4)的通孔插入盲孔(2)內(nèi);所述連接件(3)的材料為石墨;所述螺栓(5)為石墨螺栓,所述連接板(4)為石墨連接板。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種具有斷裂保護(hù)的石墨三瓣禍,其特征在于:所述盲孔(2)的直徑為3?10_,深度為8?25_。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種具有斷裂保護(hù)的石墨三瓣禍,其特征在于:所述盲孔(2)的直徑為6mm,深度為15mm。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種具有斷裂保護(hù)的石墨三瓣禍,其特征在于:所述連接件(3)的形狀與石墨三瓣禍瓣體(1)上沿的形狀相適應(yīng),呈弧形。5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種具有斷裂保護(hù)的石墨三瓣禍,其特征在于:所述螺栓(5)的外徑為3?10mm,長度為15?50mm。6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種具有斷裂保護(hù)的石墨三瓣禍,其特征在于:所述螺栓(5)的外徑為6mm,長度為30mm。
【專利摘要】本實用新型公開了一種具有斷裂保護(hù)的石墨三瓣堝,包括三個石墨三瓣堝瓣體(1)和連接件(3),所述石墨三瓣堝瓣體(1)的上沿兩端分別開設(shè)有盲孔(2),相鄰兩個石墨三瓣堝瓣體(1)之間通過連接件(4)連接,其中,連接件(4)的一端固定在一個石墨三瓣堝瓣體(1)的盲孔(2)內(nèi),連接件(4)的另一端固定在另一個石墨三瓣堝瓣體(1)的盲孔(2)內(nèi)。本實用新型中的石墨三瓣堝瓣體的上沿兩端分別開設(shè)有盲孔,盲孔內(nèi)插入有石墨螺栓,每兩個石墨三瓣堝瓣體的連接處用石墨模套套住石墨螺栓,不僅能夠防止石墨三瓣堝間的縫隙在外力作用下張開,有效提高石墨三瓣堝壽命,并能夠防止石墨三瓣堝發(fā)生斷裂時接觸加熱器,造成打火及漏硅事故。
【IPC分類】C30B15/14
【公開號】CN205062230
【申請?zhí)枴緾N201520735557
【發(fā)明人】朱剛, 蘇啟暉
【申請人】成都炭素有限責(zé)任公司
【公開日】2016年3月2日
【申請日】2015年9月22日
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