一種用于高精度晶體生長稱重機構(gòu)的減震結(jié)構(gòu)的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型涉及一種晶體生長領(lǐng)域用稱重機構(gòu)，本實用新型尤其是涉及一種用于高精度晶體生長稱重機構(gòu)的減震結(jié)構(gòu)。
【背景技術(shù)】
[0002]藍寶石單晶爐內(nèi)的稱重機構(gòu)是晶體生長過程中的重量信號收集與反饋系統(tǒng)，也是整個晶體生長過程中最重要的參考數(shù)據(jù)與評判依據(jù)。市場上的藍寶石爐稱重機構(gòu)，大多是根據(jù)杠桿原理而設(shè)計的杠桿式機械稱重機構(gòu)。隨著晶體重量的增加，這種結(jié)構(gòu)會使提拉桿在豎直方向上傾斜，不僅會導致稱重存在較大誤差，無法精確收集到晶體生長過程中的重量信號，同時該結(jié)構(gòu)在實際應(yīng)用中還容易造成籽晶桿發(fā)生抖動現(xiàn)象，從而導致籽晶位置偏離熱場中心造成長晶困難或長晶失敗、在長晶過程中粘鍋嚴重，難以取出晶體等問題。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]本實用新型的目的是克服現(xiàn)有技術(shù)中存在的不足，提供一種用于晶體生長稱重機構(gòu)的減震系統(tǒng)，該系統(tǒng)能有效阻尼減震、抗干擾性強，并能精確、可靠地進行晶體生長重量信號的收集。
[0004]按照本實用新型提供的技術(shù)方案，所述用于高精度晶體生長稱重機構(gòu)的減震結(jié)構(gòu)，在機架上滑動安裝有支撐底座，在支撐底座的上方設(shè)有平衡板，在支撐底座的上表面固定有若干根導向桿，導向桿的上端為限位端，導向桿的下端穿過平衡板上對應(yīng)的孔后固定于支撐底座上，在平衡板上方與下方的導向桿上均套接有彈性體，在平衡板的上方設(shè)有稱重盤，在稱重盤與平衡板上固定有若干個位移傳感器，在稱重盤上轉(zhuǎn)動安裝有提拉桿，提拉桿的下端穿過平衡板與支撐底座上對應(yīng)的孔后伸到機架的下方，在提拉桿上固定有被動輪，所述導向桿圍繞提拉桿的圓周方向設(shè)置，位移傳感器圍繞提拉桿的圓周方向設(shè)置。
[0005]在機架上固定有呈左右向設(shè)置的下層導軌，在下層導軌上滑動連接有下層滑塊，在下層滑塊上固定有呈內(nèi)外向設(shè)置的上層導軌，在上層導軌上滑動連接有上層滑塊，在上層滑塊上固定有所述的支撐底座。
[0006]在提拉桿的頂端部安裝有水冷系統(tǒng)。
[0007]在支撐底座上固定有壓力表，壓力表的指針與平衡板的下表面接觸。
[0008]所述導向桿沿提拉桿的圓周方向均布有3~4個。
[0009]所述位移傳感器沿沿提拉桿的圓周方向均布有2~3個。
[0010]所述彈性體為彈簧、橡膠墊、線性或非線性彈力材料。
[0011]所述被動輪為同步帶輪、齒輪或者鏈輪，被動輪設(shè)置在位于稱重盤上方的提拉桿上。
[0012]在所述稱重盤的上表面固定有驅(qū)動電機，在驅(qū)動電機的輸出軸上固定有主動輪，在主動輪與所述被動輪通過同步帶相連。
[0013]本實用新型在晶體生長過程中可使提拉桿始終保持垂直狀態(tài)，不僅可以形成穩(wěn)定的晶體稱重結(jié)構(gòu)，保證精確稱重，而且該結(jié)構(gòu)可有效阻尼減震、抗干擾性強，不會造成籽晶偏離熱場中心，利于晶體生長。
【附圖說明】
[0014]圖1是本實用新型的主視圖。
[0015]圖2是本實用新型的左視圖。
【具體實施方式】
[0016]下面結(jié)合具體實施例對本實用新型作進一步說明。
[0017]該用于高精度晶體生長稱重機構(gòu)的減震結(jié)構(gòu)，在機架I上滑動安裝有支撐底座2，在支撐底座2的上方設(shè)有平衡板3，在支撐底座2的上表面固定有若干根導向桿4，導向桿4的上端為限位端，導向桿4的下端穿過平衡板3上對應(yīng)的孔后固定于支撐底座2上，在平衡板3上方與下方的導向桿4上均套接有彈性體5，在平衡板3的上方設(shè)有稱重盤6，在稱重盤6與平衡板3上固定有若干個位移傳感器7，在稱重盤6上轉(zhuǎn)動安裝有提拉桿8，提拉桿8的下端穿過平衡板3與支撐底座2上對應(yīng)的孔后伸到機架I的下方，在提拉桿8上固定有被動輪9，所述導向桿4圍繞提拉桿8的圓周方向設(shè)置，位移傳感器7圍繞提拉桿8的圓周方向設(shè)置。
[0018]在機架I上固定有呈左右向設(shè)置的下層導軌，在下層導軌上滑動連接有下層滑塊，在下層滑塊上固定有呈內(nèi)外向設(shè)置的上層導軌，在上層導軌上滑動連接有上層滑塊，在上層滑塊上固定有所述的支撐底座2。
[0019]在提拉桿8的頂端部安裝有水冷系統(tǒng)10。
[0020]在支撐底座2上固定有壓力表11，壓力表11的指針與平衡板3的下表面接觸。
[0021]所述導向桿4沿提拉桿8的圓周方向均布有3~4個。
[0022]所述位移傳感器7沿沿提拉桿8的圓周方向均布有2~3個。
[0023]所述彈性體5為彈簧、橡膠墊、線性或非線性彈力材料。
[0024]所述被動輪9為同步帶輪、齒輪或者鏈輪，被動輪9設(shè)置在位于稱重盤9上方的提拉桿8上。
[0025]在所述稱重盤6的上表面固定有驅(qū)動電機12，在驅(qū)動電機12的輸出軸上固定有主動輪13，主動輪13與被動輪9配合。
[0026]在工作時，由驅(qū)動電機12通過主動輪13帶動被動輪9轉(zhuǎn)動，從而使提拉桿8繞軸旋轉(zhuǎn)。
[0027]本實用新型通過在彈性體5中設(shè)置導向桿4，可起到稱重結(jié)構(gòu)軸向?qū)虻淖饔?，通過在平衡板3上下方均設(shè)置彈性體5，位于下部的彈性體5起稱重支撐作用，位于上部的彈性體5起彈性緩沖作用，二者結(jié)合具有有效阻尼減震，抗干擾性好，可以形成穩(wěn)定的晶體稱重結(jié)構(gòu)，同時由于采用位移傳感器7與壓力表11兩套稱重機構(gòu)，更進一步提高了稱重可靠性。
【主權(quán)項】
1.一種用于高精度晶體生長稱重機構(gòu)的減震結(jié)構(gòu)，其特征是:在機架(I)上滑動安裝有支撐底座(2 )，在支撐底座(2 )的上方設(shè)有平衡板(3 )，在支撐底座(2 )的上表面固定有若干根導向桿(4)，導向桿(4)的上端為限位端，導向桿(4)的下端穿過平衡板(3)上對應(yīng)的孔后固定于支撐底座(2)上，在平衡板(3)上方與下方的導向桿(4)上均套接有彈性體(5)，在平衡板(3 )的上方設(shè)有稱重盤(6 )，在稱重盤(6 )與平衡板(3 )上固定有若干個位移傳感器(7)，在稱重盤(6)上轉(zhuǎn)動安裝有提拉桿(8)，提拉桿(8)的下端穿過平衡板(3)與支撐底座(2)上對應(yīng)的孔后伸到機架(I)的下方，在提拉桿(8)上固定有被動輪(9)，所述導向桿(4)圍繞提拉桿(8)的圓周方向設(shè)置，位移傳感器(7)圍繞提拉桿(8)的圓周方向設(shè)置。2.如權(quán)利要求1所述的一種用于高精度晶體生長稱重機構(gòu)的減震結(jié)構(gòu)，其特征是:在機架(I)上固定有呈左右向設(shè)置的下層導軌，在下層導軌上滑動連接有下層滑塊，在下層滑塊上固定有呈內(nèi)外向設(shè)置的上層導軌，在上層導軌上滑動連接有上層滑塊，在上層滑塊上固定有所述的支撐底座(2)。3.如權(quán)利要求1所述的一種用于高精度晶體生長稱重機構(gòu)的減震結(jié)構(gòu)，其特征是:在提拉桿(8)的頂端部安裝有水冷系統(tǒng)(10)。4.如權(quán)利要求1所述的一種用于高精度晶體生長稱重機構(gòu)的減震結(jié)構(gòu)，其特征是:在支撐底座(2)上固定有壓力表(11)，壓力表(11)的指針與平衡板(3)的下表面接觸。5.如權(quán)利要求1所述的一種用于高精度晶體生長稱重機構(gòu)的減震結(jié)構(gòu)，其特征是:所述導向桿(4)沿提拉桿(8)的圓周方向均布有3~4個。6.如權(quán)利要求1所述的一種用于高精度晶體生長稱重機構(gòu)的減震結(jié)構(gòu)，其特征是:所述位移傳感器(7)沿提拉桿(8)的圓周方向均布有2~3個。7.如權(quán)利要求1所述的一種用于高精度晶體生長稱重機構(gòu)的減震結(jié)構(gòu)，其特征是:所述彈性體(5)為彈簧、橡膠墊、線性或非線性彈力材料。8.如權(quán)利要求1所述的一種用于高精度晶體生長稱重機構(gòu)的減震結(jié)構(gòu)，其特征是:所述被動輪(9)為同步帶輪、齒輪或者鏈輪，被動輪(9)設(shè)置在位于稱重盤(6)上方的提拉桿(8)上。9.如權(quán)利要求8所述的一種用于高精度晶體生長稱重機構(gòu)的減震結(jié)構(gòu)，其特征是:在所述稱重盤(6 )的上表面固定有驅(qū)動電機(12 )，在驅(qū)動電機(12 )的輸出軸上固定有主動輪(13),在主動輪(13)與所述被動輪(9)配合。
【專利摘要】本實用新型涉及一種用于高精度晶體生長稱重機構(gòu)的減震結(jié)構(gòu)，在機架上滑動安裝有支撐底座，在支撐底座的上方設(shè)有平衡板，在支撐底座的上表面固定有導向桿，導向桿的上端為限位端，導向桿的下端穿過平衡板上對應(yīng)的孔后固定于支撐底座上，在平衡板上方與下方的導向桿上均套接有彈性體，在平衡板的上方設(shè)有稱重盤，在稱重盤與平衡板上固定有位移傳感器，在稱重盤上轉(zhuǎn)動安裝有提拉桿，在提拉桿上固定有被動輪。本實用新型在晶體生長過程中可使提拉桿始終保持垂直狀態(tài)，不僅可以形成穩(wěn)定的晶體稱重結(jié)構(gòu)，保證精確稱重，而且該結(jié)構(gòu)可有效阻尼減震、抗干擾性強，不會造成籽晶偏離熱場中心，利于晶體生長。
【IPC分類】C30B29/20, C30B15/28
【公開號】CN204939655
【申請?zhí)枴緾N201520623333
【發(fā)明人】黃小衛(wèi), 孫曉曉, 方建東
【申請人】元亮科技有限公司
【公開日】2016年1月6日
【申請日】2015年8月18日