本技術(shù)涉及單晶爐,尤其是涉及一種爐體變徑連接結(jié)構(gòu)。
背景技術(shù):
1、單晶爐是晶體生長(zhǎng)設(shè)備的一種,是一種在惰性氣體(氮?dú)?、氦氣為?環(huán)境中,用石墨加熱器將多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生長(zhǎng)無(wú)錯(cuò)位單晶的設(shè)備,主要由:提拉頭、副室、爐蓋、爐筒等部件組成。單晶爐型號(hào)有兩種命名方式,一種為投料量,一種為爐室直徑。比如85爐,是指主爐筒的直徑大小,120、150等型號(hào)是由裝料量來(lái)決定的。
2、在實(shí)際生產(chǎn)中,現(xiàn)有的爐筒的直徑較小,限制原料溶解量,影響單晶棒的產(chǎn)量,若是換其他型號(hào)的單晶爐生產(chǎn),需要將整體設(shè)備均進(jìn)行更換,不方便單獨(dú)更換下端配套的爐筒,成本較高。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路
1、本實(shí)用新型的目的在于提供一種爐體變徑連接結(jié)構(gòu),能夠避免換其他型號(hào)的單晶爐生產(chǎn),需要將整體設(shè)備均進(jìn)行更換,不方便單獨(dú)更換下端配套的爐筒的問(wèn)題。
2、本實(shí)用新型提供一種爐體變徑連接結(jié)構(gòu),包括:
3、爐筒,所述爐筒的上端設(shè)置有爐蓋,所述爐筒的上邊緣固定連接有變徑法蘭,所述變徑法蘭與爐筒通過(guò)焊接方式連接,爐蓋蓋裝在變徑法蘭的上端;
4、變徑法蘭,所述變徑法蘭包括連接盤體和安裝在連接盤體上端的定位部,所述定位部活動(dòng)插裝在連接盤體上端。
5、優(yōu)選的,所述定位部包括用于支撐和安裝的固定件和固定安裝在固定件下端的定位銷,所述定位銷插裝在變徑法蘭的連接盤體上表面開(kāi)設(shè)的插孔內(nèi)部,所述固定件的上端活動(dòng)安裝有夾持件。
6、優(yōu)選的,所述夾持件的內(nèi)側(cè)呈向下傾斜狀布置,且內(nèi)側(cè)呈弧形布置。
7、優(yōu)選的,所述固定件的上端開(kāi)設(shè)有連接槽,所述夾持件下端固定安裝的傳動(dòng)件滑動(dòng)安裝在連接槽的內(nèi)部且與連接槽大小相匹配,所述連接槽的內(nèi)部活動(dòng)安裝有移動(dòng)螺桿,所述移動(dòng)螺桿貫穿傳動(dòng)件安裝,且與傳動(dòng)件螺紋連接。
8、優(yōu)選的,所述移動(dòng)螺桿的端部固定安裝有調(diào)節(jié)頭,所述調(diào)節(jié)頭與移動(dòng)螺桿嵌入安裝在固定件的內(nèi)部。
9、優(yōu)選的,所述固定件的一側(cè)設(shè)置有標(biāo)識(shí)部。
10、優(yōu)選的,所述連接盤體的上端開(kāi)設(shè)有定位槽,所述定位部均勻分布在定位槽的邊緣。
11、優(yōu)選的,所述定位槽的內(nèi)側(cè)布置有密封條,所述密封條可通過(guò)膠粘、嵌合的方式固定在連接盤體上表面。
12、優(yōu)選的,所述變徑法蘭的槽口內(nèi)部安裝有水冷部,所述水冷部的一端與輸送泵相連接。
13、優(yōu)選的,所述水冷部管道呈螺旋狀環(huán)繞布置在變徑法蘭的槽口內(nèi)部。
14、本實(shí)用新型實(shí)施例提供的一種爐體變徑連接結(jié)構(gòu),在需要安裝不同直徑的爐筒時(shí),可將不同直徑的爐筒分別與變徑法蘭進(jìn)行焊接后,將合適的爐筒與上端的爐蓋進(jìn)行連接,爐蓋嵌合安裝在變徑法蘭上端,之后通過(guò)變徑法蘭上端均勻布置的定位部進(jìn)行定位,進(jìn)而使?fàn)t蓋的中心與爐筒的中心為同軸心布置,方便將爐蓋與下端不同直徑的爐筒進(jìn)行連接,能夠保證在只更換爐筒時(shí),通過(guò)變徑法蘭和爐蓋固定,方便快捷,且無(wú)需更換上端的爐蓋及副爐室,節(jié)約成本。
15、附圖說(shuō)明
16、為了更清楚地說(shuō)明本實(shí)用新型實(shí)施方式的技術(shù)方案,下面將對(duì)實(shí)施方式中所需要使用的附圖作簡(jiǎn)單地介紹,應(yīng)當(dāng)理解,以下附圖僅示出了本實(shí)用新型的某些實(shí)施例,因此不應(yīng)被看作是對(duì)范圍的限定,對(duì)于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來(lái)講,在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下,還可以根據(jù)這些附圖獲得其他相關(guān)的附圖。
17、圖1為本實(shí)用新型實(shí)施例的整體結(jié)構(gòu)示意圖。
18、圖2為本實(shí)用新型實(shí)施例的變徑法蘭結(jié)構(gòu)示意圖。
19、圖3為本實(shí)用新型實(shí)施例的連接盤體截面結(jié)構(gòu)示意圖。
20、圖4為本實(shí)用新型實(shí)施例的定位部結(jié)構(gòu)示意圖。
21、圖5為本實(shí)用新型實(shí)施例的固定件結(jié)構(gòu)示意圖。
22、圖6為本實(shí)用新型實(shí)施例的圖3中a處放大結(jié)構(gòu)示意圖。
23、圖7為本實(shí)用新型實(shí)施例的水冷部結(jié)構(gòu)示意圖。
1.一種爐體變徑連接結(jié)構(gòu),其特征在于,包括:
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種爐體變徑連接結(jié)構(gòu),其特征在于,所述定位部包括用于支撐和安裝的固定件和固定安裝在固定件下端的定位銷,所述定位銷插裝在變徑法蘭的連接盤體上表面開(kāi)設(shè)的插孔內(nèi)部,所述固定件的上端活動(dòng)安裝有夾持件。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種爐體變徑連接結(jié)構(gòu),其特征在于,所述夾持件(530)的內(nèi)側(cè)呈向下傾斜狀布置,且內(nèi)側(cè)呈弧形布置。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種爐體變徑連接結(jié)構(gòu),其特征在于,所述固定件的上端開(kāi)設(shè)有連接槽,所述夾持件下端固定安裝的傳動(dòng)件滑動(dòng)安裝在連接槽的內(nèi)部且與連接槽大小相匹配,所述連接槽的內(nèi)部活動(dòng)安裝有移動(dòng)螺桿,所述移動(dòng)螺桿貫穿傳動(dòng)件安裝,且與傳動(dòng)件螺紋連接。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種爐體變徑連接結(jié)構(gòu),其特征在于,所述移動(dòng)螺桿的端部固定安裝有調(diào)節(jié)頭,所述調(diào)節(jié)頭與移動(dòng)螺桿嵌入安裝在固定件的內(nèi)部。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種爐體變徑連接結(jié)構(gòu),其特征在于,所述固定件的一側(cè)設(shè)置有標(biāo)識(shí)部。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的一種爐體變徑連接結(jié)構(gòu),其特征在于,所述連接盤體的上端開(kāi)設(shè)有定位槽,所述定位部均勻分布在定位槽的邊緣。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的一種爐體變徑連接結(jié)構(gòu),其特征在于,所述定位槽的內(nèi)側(cè)布置有密封條,所述密封條可通過(guò)膠粘、嵌合的方式固定在連接盤體上表面。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的一種爐體變徑連接結(jié)構(gòu),其特征在于,所述變徑法蘭的槽口內(nèi)部安裝有水冷部,所述水冷部的一端與輸送泵相連接。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的一種爐體變徑連接結(jié)構(gòu),其特征在于,所述水冷部管道呈螺旋狀環(huán)繞布置在變徑法蘭的槽口內(nèi)部。