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一種單晶拉制用托桿組件的制作方法

文檔序號:40375256發(fā)布日期:2024-12-20 11:57閱讀:4來源:國知局
一種單晶拉制用托桿組件的制作方法

本技術(shù)涉及單晶拉制設(shè)備領(lǐng)域,尤其涉及一種單晶拉制用托桿組件。


背景技術(shù):

1、單晶爐是單晶拉制的核心設(shè)備,通過托桿組件進行坩堝的支撐,并在爐外驅(qū)動裝置的作用下實現(xiàn)坩堝的旋轉(zhuǎn)和升降動作,輔助進行單晶拉制。

2、為了實現(xiàn)大尺寸單晶的拉制,需要向坩堝內(nèi)投入較多的多晶硅材料,對托桿組件的支撐穩(wěn)定性要求更高?,F(xiàn)有技術(shù)中,多采用更大的托盤來提升托桿對坩堝托具的支撐效果,但同時增加了托桿組件的自重,而且更大的托盤吸收的熱量多,通過托桿向爐外的散熱量大,增加了能耗,需要進行改進。


技術(shù)實現(xiàn)思路

1、本實用新型的目的在于提供一種單晶拉制用托桿組件,確保對坩堝的支撐性,減少熱量的損失。

2、為達此目的,本實用新型采用以下技術(shù)方案:

3、一種單晶拉制用托桿組件,包括:托桿、托盤、坩堝托具和支撐柱,所述托盤設(shè)置在托桿的頂部,所述支撐柱間隔設(shè)置在托盤上,所述坩堝托具設(shè)置在支撐柱上,所述支撐柱頂部設(shè)置有向上延伸至坩堝托具中的第一定位柱,所述坩堝托具底部設(shè)置有與第一定位柱一一對應(yīng)的第一定位孔,所述支撐柱底部設(shè)置有向下延伸至托盤中的第二定位柱,所述托盤中設(shè)置有與第二定位柱一一對應(yīng)的第二定位孔。

4、其中,所述第一定位柱和第二定位柱的直徑分別小于支撐柱的直徑。

5、其中,所述第一定位柱、第二定位柱和支撐柱采用一體化結(jié)構(gòu)。

6、其中,所述托桿頂部設(shè)置有向上延伸至托盤中的第三定位柱,所述托盤上設(shè)置有與第三定位柱一一對應(yīng)的第三定位孔。

7、其中,所述托桿與第三定位柱采用一體化結(jié)構(gòu),所述第三定位柱的數(shù)量至少為2個。

8、其中,所述支撐柱環(huán)形陣列分布在托盤上,所述支撐柱的數(shù)量至少為4個。

9、本實用新型的有益效果:一種單晶拉制用托桿組件,通過多個支撐柱與托盤的配合,實現(xiàn)對坩堝托具的支撐,支撐柱的受力均勻,自重輕,支撐穩(wěn)定性高,而且支撐柱避免了坩堝托具與托盤的接觸,減少了熱量的傳遞和損失,有利于提升單晶拉制的節(jié)能性。



技術(shù)特征:

1.一種單晶拉制用托桿組件,其特征在于,包括:托桿、托盤、坩堝托具和支撐柱,所述托盤設(shè)置在托桿的頂部,所述支撐柱間隔設(shè)置在托盤上,所述坩堝托具設(shè)置在支撐柱上,所述支撐柱頂部設(shè)置有向上延伸至坩堝托具中的第一定位柱,所述坩堝托具底部設(shè)置有與第一定位柱一一對應(yīng)的第一定位孔,所述支撐柱底部設(shè)置有向下延伸至托盤中的第二定位柱,所述托盤中設(shè)置有與第二定位柱一一對應(yīng)的第二定位孔。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的單晶拉制用托桿組件,其特征在于,所述第一定位柱和第二定位柱的直徑分別小于支撐柱的直徑。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的單晶拉制用托桿組件,其特征在于,所述第一定位柱、第二定位柱和支撐柱采用一體化結(jié)構(gòu)。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的單晶拉制用托桿組件,其特征在于,所述托桿頂部設(shè)置有向上延伸至托盤中的第三定位柱,所述托盤上設(shè)置有與第三定位柱一一對應(yīng)的第三定位孔。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的單晶拉制用托桿組件,其特征在于,所述托桿與第三定位柱采用一體化結(jié)構(gòu),所述第三定位柱的數(shù)量至少為2個。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的單晶拉制用托桿組件,其特征在于,所述支撐柱環(huán)形陣列分布在托盤上,所述支撐柱的數(shù)量至少為4個。


技術(shù)總結(jié)
本技術(shù)公開了一種單晶拉制用托桿組件,其包括:托桿、托盤、坩堝托具和支撐柱,所述托盤設(shè)置在托桿的頂部,所述支撐柱間隔設(shè)置在托盤上,所述坩堝托具設(shè)置在支撐柱上,所述支撐柱頂部設(shè)置有向上延伸至坩堝托具中的第一定位柱,所述坩堝托具底部設(shè)置有與第一定位柱一一對應(yīng)的第一定位孔,所述支撐柱底部設(shè)置有向下延伸至托盤中的第二定位柱,所述托盤中設(shè)置有與第二定位柱一一對應(yīng)的第二定位孔。本技術(shù)所述的單晶拉制用托桿組件,通過多個支撐柱與托盤的配合,實現(xiàn)對坩堝托具的支撐,支撐柱的受力均勻,自重輕,支撐穩(wěn)定性高,減少了熱量的傳遞和損失。

技術(shù)研發(fā)人員:嚴(yán)循成,王祥,何迎輝
受保護的技術(shù)使用者:江蘇福旭科技有限公司
技術(shù)研發(fā)日:20240219
技術(shù)公布日:2024/12/19
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