本技術(shù)涉及多晶硅錠生產(chǎn)，具體為一種帶有加熱器移動(dòng)裝置的晶硅鑄錠爐。

背景技術(shù)：

1、晶硅鑄錠爐是一種用于生產(chǎn)硅單晶的熔煉設(shè)備，晶硅鑄錠爐具有高效率、穩(wěn)定性和自動(dòng)化程度高的特點(diǎn)，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)中的硅片制造過(guò)程中。通過(guò)晶硅鑄錠爐生產(chǎn)的硅單晶片具有高純度和優(yōu)良的電特性，是現(xiàn)代電子產(chǎn)品的重要組成部分。

2、公開(kāi)號(hào)為cn206692777u提出了一種多晶硅鑄錠爐，本實(shí)用新型實(shí)施例提供的多晶硅鑄錠爐，為側(cè)加熱器配置了加熱器移動(dòng)裝置，從而具備了目前所有鑄錠爐沒(méi)有的側(cè)加熱器的移動(dòng)功能。通過(guò)側(cè)加熱器的上下移動(dòng)，配合側(cè)隔熱層的開(kāi)度，再結(jié)合雙電源的功率配比調(diào)節(jié)，能夠更加靈活的改善鑄錠爐內(nèi)等溫線分布，提高多晶硅鑄錠的品質(zhì)和效率，并降低能耗。

3、上述專利在使用側(cè)加熱器對(duì)坩堝加熱時(shí)，側(cè)加熱器僅能在坩堝的外側(cè)上下移動(dòng)，由于坩堝內(nèi)物料的分布不會(huì)一直靠近側(cè)加熱器的一側(cè)，僅通過(guò)側(cè)加熱器的上下移動(dòng)加熱坩堝不夠均勻，晶硅鑄錠的品質(zhì)和效率一般，為此，我們提出一種帶有加熱器移動(dòng)裝置的晶硅鑄錠爐。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、本實(shí)用新型的目的在于提供一種帶有加熱器移動(dòng)裝置的晶硅鑄錠爐，以解決上述背景技術(shù)中提出的問(wèn)題。

2、為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型提供如下技術(shù)方案：

3、一種帶有加熱器移動(dòng)裝置的晶硅鑄錠爐，包括爐體，爐體內(nèi)腔設(shè)有坩堝本體，爐體的頂部安裝有頂蓋，頂蓋的上表面設(shè)有移動(dòng)裝置，移動(dòng)裝置包括升降齒板，升降齒板的底部連接有移動(dòng)圓套，移動(dòng)圓套位于坩堝本體的外側(cè)，且移動(dòng)圓套的兩側(cè)內(nèi)壁均安裝有加熱器，爐體的右側(cè)外壁底端設(shè)有減速電機(jī)，且減速電機(jī)的輸出端安裝有主動(dòng)齒輪，主動(dòng)齒輪與爐體內(nèi)腔連通設(shè)置，且主動(dòng)齒輪的一側(cè)嚙合連接有旋轉(zhuǎn)齒盤(pán)，旋轉(zhuǎn)齒盤(pán)位于坩堝本體的底部。

4、進(jìn)一步的：移動(dòng)裝置還包括步進(jìn)電機(jī)，步進(jìn)電機(jī)的輸出端連接有蝸桿，頂蓋的上表面一側(cè)設(shè)有安裝板，且蝸桿的底端通過(guò)軸承與安裝板的外壁轉(zhuǎn)動(dòng)連接。

5、進(jìn)一步的：頂蓋的上表面還安裝有固定板，固定板的外壁設(shè)有轉(zhuǎn)桿，且轉(zhuǎn)桿的底部連接有大齒輪，大齒輪的側(cè)壁與升降齒板嚙合連接，大齒輪的后端面通過(guò)連桿安裝有小齒輪，且小齒輪與蝸桿嚙合連接。

6、進(jìn)一步的：旋轉(zhuǎn)齒盤(pán)的下表面中部通過(guò)軸承與爐體的內(nèi)壁轉(zhuǎn)動(dòng)連接。

7、進(jìn)一步的：頂蓋靠近爐體的一面設(shè)有密封層。

8、與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型的有益效果是：

9、本實(shí)用新型的晶硅鑄錠爐上帶有加熱器移動(dòng)裝置，通過(guò)步進(jìn)電機(jī)的工作，帶動(dòng)了蝸桿轉(zhuǎn)動(dòng)，由于蝸桿與小齒輪嚙合連接，小齒輪的轉(zhuǎn)動(dòng)帶動(dòng)了大齒輪轉(zhuǎn)動(dòng)，與大齒輪嚙合連接的升降齒板帶動(dòng)了移動(dòng)圓套內(nèi)壁的加熱器在坩堝外側(cè)上下移動(dòng)，減速電機(jī)的工作帶動(dòng)了主動(dòng)齒輪轉(zhuǎn)動(dòng)，由于主動(dòng)齒輪與旋轉(zhuǎn)齒盤(pán)嚙合連接，進(jìn)而帶動(dòng)了坩堝轉(zhuǎn)動(dòng)，轉(zhuǎn)動(dòng)配合上下移動(dòng)使得加熱器對(duì)坩堝加熱的更加均勻，提高了晶硅鑄錠的品質(zhì)和效率。

技術(shù)特征：

1.一種帶有加熱器移動(dòng)裝置的晶硅鑄錠爐，包括爐體(1)，所述爐體(1)內(nèi)腔設(shè)有坩堝本體(2)，其特征在于：所述爐體(1)的頂部安裝有頂蓋(3)，所述頂蓋(3)的上表面設(shè)有移動(dòng)裝置(4)，所述移動(dòng)裝置(4)包括升降齒板(5)，所述升降齒板(5)的底部連接有移動(dòng)圓套(6)，所述移動(dòng)圓套(6)位于坩堝本體(2)的外側(cè)，且移動(dòng)圓套(6)的兩側(cè)內(nèi)壁均安裝有加熱器(7)，所述爐體(1)的右側(cè)外壁底端設(shè)有減速電機(jī)(8)，且減速電機(jī)(8)的輸出端安裝有主動(dòng)齒輪(9)，所述主動(dòng)齒輪(9)與爐體(1)內(nèi)腔連通設(shè)置，且主動(dòng)齒輪(9)的一側(cè)嚙合連接有旋轉(zhuǎn)齒盤(pán)(10)，所述旋轉(zhuǎn)齒盤(pán)(10)位于坩堝本體(2)的底部。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種帶有加熱器移動(dòng)裝置的晶硅鑄錠爐，其特征在于：所述移動(dòng)裝置(4)還包括步進(jìn)電機(jī)(41)，所述步進(jìn)電機(jī)(41)的輸出端連接有蝸桿(42)，所述頂蓋(3)的上表面一側(cè)設(shè)有安裝板(40)，且蝸桿(42)的底端通過(guò)軸承與安裝板(40)的外壁轉(zhuǎn)動(dòng)連接。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種帶有加熱器移動(dòng)裝置的晶硅鑄錠爐，其特征在于：所述頂蓋(3)的上表面還安裝有固定板(44)，所述固定板(44)的外壁設(shè)有轉(zhuǎn)桿，且轉(zhuǎn)桿的底部連接有大齒輪(45)，所述大齒輪(45)的側(cè)壁與升降齒板(5)嚙合連接。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種帶有加熱器移動(dòng)裝置的晶硅鑄錠爐，其特征在于：所述大齒輪(45)的后端面通過(guò)連桿安裝有小齒輪(43)，且小齒輪(43)與蝸桿(42)嚙合連接。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種帶有加熱器移動(dòng)裝置的晶硅鑄錠爐，其特征在于：所述旋轉(zhuǎn)齒盤(pán)(10)的下表面中部通過(guò)軸承與爐體(1)的內(nèi)壁轉(zhuǎn)動(dòng)連接。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種帶有加熱器移動(dòng)裝置的晶硅鑄錠爐，其特征在于：所述頂蓋(3)靠近爐體(1)的一面設(shè)有密封層。

技術(shù)總結(jié)
本技術(shù)公開(kāi)了多晶硅錠生產(chǎn)技術(shù)領(lǐng)域的一種帶有加熱器移動(dòng)裝置的晶硅鑄錠爐，包括爐體，爐體內(nèi)腔設(shè)有坩堝本體，爐體的頂部安裝有頂蓋，頂蓋的上表面設(shè)有移動(dòng)裝置，移動(dòng)裝置包括升降齒板，升降齒板的底部連接有移動(dòng)圓套，且移動(dòng)圓套的兩側(cè)內(nèi)壁均安裝有加熱器，爐體的右側(cè)外壁底端設(shè)有減速電機(jī)，且減速電機(jī)的輸出端安裝有主動(dòng)齒輪，主動(dòng)齒輪與爐體內(nèi)腔連通設(shè)置，且主動(dòng)齒輪的一側(cè)嚙合連接有旋轉(zhuǎn)齒盤(pán)，旋轉(zhuǎn)齒盤(pán)位于坩堝本體的底部，移動(dòng)裝置帶動(dòng)了加熱器在坩堝外側(cè)上下移動(dòng)，旋轉(zhuǎn)齒盤(pán)的轉(zhuǎn)動(dòng)帶動(dòng)了坩堝轉(zhuǎn)動(dòng)，轉(zhuǎn)動(dòng)配合上下移動(dòng)使得加熱器對(duì)坩堝加熱的更加均勻，提高了晶硅鑄錠的品質(zhì)和效率。

技術(shù)研發(fā)人員：何飛,方藝霖,張靖
受保護(hù)的技術(shù)使用者：江蘇德潤(rùn)光電科技有限公司
技術(shù)研發(fā)日：20231227
技術(shù)公布日：2024/12/19