技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明公開了一種便于對石墨烯生長薄膜張力進(jìn)行檢測的橫向布置的多腔室石墨烯連續(xù)生長設(shè)備。該石墨烯連續(xù)生長設(shè)備，包括用于放料冷卻腔和收料冷卻腔抽真空的真空泵、放料冷卻腔、收料冷卻腔以及均橫向布置的第一高溫工藝腔、第二高溫工藝腔和過渡腔；過渡腔內(nèi)設(shè)置有張力檢測裝置；所述第一高溫工藝腔的兩端和第二高溫工藝腔的兩端均設(shè)置有勻流隔熱裝置；第一高溫工藝腔和第二高溫工藝腔上均設(shè)置有加熱器；石墨烯生長基底放料輥上放料石墨烯生長基底依次經(jīng)過放料冷卻區(qū)導(dǎo)向輥、第一高溫工藝腔、過渡腔、第二高溫工藝腔、收料冷卻腔導(dǎo)向輥?zhàn)罱K卷收到石墨烯基底收料輥上。采用該多腔室石墨烯連續(xù)生長設(shè)備能夠保證石墨烯薄膜最終品質(zhì)，提高生產(chǎn)效率。

技術(shù)研發(fā)人員：李占成;伍俊;史浩飛;李昕;黃德萍;段銀武;張永娜;余杰
受保護(hù)的技術(shù)使用者：重慶墨?？萍加邢薰?br/>文檔號碼：201710186754
技術(shù)研發(fā)日：2017.03.27
技術(shù)公布日：2017.06.13