專利名稱：一種離子交換器的制作方法
技術領域：
本實用新型涉及一種雙氧水制造裝備，具體涉及一種離子交換器。
背景技術：
超凈高純雙氧水在大規(guī)模集成電路和光伏行業(yè)用作清洗劑，主要用于芯片和硅圓片的清洗和蝕刻。傳統(tǒng)的制備裝置獲得的雙氧水溶液中含有諸多的無機例子或化合物雜志，達不到電子工業(yè)的實用標準，因而需要將其提純處理，以除去雜志，達到要求的高純度。目前提純雙氧水主要采用樹脂吸附法，該方法能源消耗大，產量低，生產流程復雜，設備占地面積大，應用冷卻塔內的循環(huán)水進行冷卻，受環(huán)境溫度影響大，不能嚴格控制雙氧水的溫度，而雙氧水的不穩(wěn)定性隨著溫度的升高成幾何倍的增長，因此難以保證其穩(wěn)定性，容易促 使其分解。并且傳統(tǒng)的離子交換雙氧水設備全為有機玻璃材質，只能依靠手工操作控制，出現(xiàn)意外全靠人工處理，處理不當即會玻璃四濺，造成人員傷亡和財產損失。
發(fā)明內容本實用新型目的是提供一種離子交換器，使用該裝置，安全節(jié)能，生產成品更穩(wěn)定、精度高、純度高，且降低了生產成本。為達到上述目的，本實用新型采用的技術方案是一種離子交換器，包括原料槽、一級及二級吸附柱、中間罐、一級及二級交換柱、成品槽、廢液槽以及泵、閥和連接管，原料槽的出口經泵與一級及二級吸附柱連接，一級及二級吸附柱的出口與中間罐連接，中間罐的出口與冷凝器連接，冷凝器的出口與一級及二級交換柱連接，一級及二級交換柱的出口與成品槽連接，廢液槽的入口與一級及二級交換柱及吸附柱連接，還包括純水槽和冷泵，所述純水槽出口與一級及二級吸附柱和交換柱連接，所述冷泵與冷凝器連接。進一步的技術方案，與所述一級及二級吸附柱、一級及二級交換柱、冷泵配合設有壓力計和溫度計。進一步的技術方案，所述交換柱及連接管由PVDF材質構成。進一步的技術方案，所述吸附柱與所述中間罐之間還設有密度計。進一步的技術方案，所述壓力計、溫度計及密度計的信號輸出端經采集模塊與控制豐吳塊連接。進一步的技術方案，所述一級及二級交換柱與所述成品槽間設有流量計。本實用新型工作原理所有的溫度、壓力、密度數(shù)據(jù)全部通過模塊采集與主控電腦相連，一旦在線密度計測得數(shù)值〉35%，電腦將自動開啟吸附柱與廢液槽之間的閥，關閉吸附柱與中間罐間的閥，所得到的不合格產品將自動進入廢液槽。而一級及二級吸附柱和一級及二級交換柱的溫度計中有任一溫度超過35°C，或一級及二級吸附柱和一級及二級交換柱的壓力機中有任一壓力超過0. 2Mpa時，電腦將自動打開純水槽的泵，關閉原料槽出口處的泵，同時關閉進料吸附柱與中間罐以及交換柱與成品槽間的閥，打開交換柱與廢液槽及吸附柱和廢液槽間的閥，讓純水置換雙氧水進入廢液槽，在降低雙氧水分解溫度的同時稀釋雙氧水，降低危險性?？刂颇K根據(jù)成品管路上的流量計自動調節(jié)中間罐與冷凝器間的泵的頻率，使成品槽進料流量保持在200L/h，而原料槽出口處的泵的頻率由中間罐的壓差數(shù)值決定，在其數(shù)值保持一定的情況下，保證裝置進料與出料的動態(tài)平衡，因此全程采用控制模塊自動化控制即保證了成品質量，又很好的解決了手工操作的弊端。冷凝器管程中進的是雙氧水，而殼程中進的為自來水，與冷凝器相連的冷泵將自來水溫降至10°C，使流經冷凝器中的雙氧水在經過離子交換柱之前先將溫度降至35°C以下，大大增加了雙氧水的穩(wěn)定性，既提高了生產的安全性，又減少了循環(huán)水的浪費，節(jié)省了寶貴的水資源。由于上述技術方案運用，本實用新型與現(xiàn)有技術相比具有的優(yōu)點是I、由于本實用新型通過冷凝器與冷泵連接，與冷凝器相連的冷泵先降低水的溫度，進而使流經冷凝器中的雙氧水在經過一級及二級交換柱之前先降低溫度，大大增加了雙氧水的穩(wěn)定性，既提高了生產的安全性，又減少了循環(huán)水的浪費，節(jié)省了寶貴的水資源；2、本實用新型采用控制模塊實現(xiàn)自動化控制，避免以往人工操作出現(xiàn)誤差，使得成品質量更加穩(wěn)定，精度高、純度高；3、本實用新型采用PVDF材質組成交換柱及連接管，使得生產過程中更加安全、環(huán)保。

圖I為本實用新型實施例一的結構示意圖。其中1、原料槽；2、一級及二級吸附柱；3、中間罐；4、一級及二級交換柱；5、成品槽；6、廢液槽；7、泵；8、閥；9、冷凝器；10、純水槽；11、冷泵；12、壓力計；13、溫度計；14、密度計。
具體實施方式
以下結合附圖及實施例對本實用新型作進一步描述 實施例一參見圖I所示，一種離子交換器，包括原料槽I、一級及二級吸附柱2、中間罐3、一級及二級交換柱4、成品槽5、廢液槽6以及泵7、閥8和連接管，原料槽I的出口經泵7與一級及二級吸附柱2連接，一級及二級吸附柱2的出口與中間罐3連接，中間罐3的出口與冷凝器9連接，冷凝器9的出口與一級及二級交換柱4連接，一級及二級交換柱4的出口與成品槽5連接，廢液槽6的入口與一級及二級交換柱4及吸附柱2連接，還包括純水槽10和冷泵11，所述純水槽10出口與一級及二級吸附柱2和交換柱連接，所述冷泵11與冷凝器9連接，與所述一級及二級吸附柱、一級及二級交換柱、冷泵配合設有壓力計12和溫度計13，所述交換柱及連接管由PVDF材質構成，所述吸附柱與所述中間罐之間還設有密度計14，所述壓力計、溫度計及密度計的信號輸出端經采集模塊與控制模塊連接，所述一級及二級交換柱與所述成品槽間設有流量計15。所有的溫度、壓力、密度數(shù)據(jù)全部通過模塊采集與主控電腦相連，一旦在線密度計測得數(shù)值〉35%，電腦將自動開啟吸附柱與廢液槽之間的閥，關閉吸附柱與中間罐間的閥，所得到的不合格產品將自動進入廢液槽。一級及二級吸附柱和一級及二級交換柱的溫度計中有任一溫度超過35°C，或一級及二級吸附柱和一級及二級交換柱的壓力機中有任一壓力超過0. 2Mpa時，電腦將自動打開純水槽的泵，關閉原料槽出口處的泵，同時關閉進料吸附柱與中間罐以及交換柱與成品槽間的閥，打開交換柱與廢液槽及吸附柱和廢液槽間的閥，讓純水置換雙氧水進入廢液槽，在降低雙氧水分解溫度的同時稀釋雙氧水，降低危險性。冷凝器管程中進的是雙氧水，而殼程中進的為自來水，與冷凝器相連的冷泵將自來水溫降至10°c，使流經冷凝器中的雙氧水在經過離子交換柱之前先將溫度降至35°C以下，大大增加了雙氧水的穩(wěn)定性?？刂颇K根據(jù)成品管路上的流量計自動調節(jié)中間罐與冷凝器間的泵的頻率，使成品槽進料流量保持在200L/h，而原料槽出口處的泵的頻率由中間罐的壓差數(shù)值決定，在其數(shù)值保持一定的情況下，保證裝置進料與出料的動態(tài)平衡，因此全程采用控制模塊自動化控制即保證了成品質量，又很好的解決了手工操作的弊端。
權利要求1.一種離子交換器，包括原料槽(I)、一級及二級吸附柱(2)、中間罐(3)、一級及二級交換柱⑷、成品槽(5)、廢液槽(6)以及泵(7)、閥⑶和連接管，原料槽⑴的出口經泵(7)與一級及二級吸附柱(2)連接，一級及二級吸附柱(2)的出口與中間罐(3)連接，中間罐⑶的出口與冷凝器(9)連接，冷凝器(9)的出口與一級及二級交換柱⑷連接，一級及二級交換柱(4)的出口與成品槽(5)連接，廢液槽￠)的入口與一級及二級交換柱(4)及吸附柱連接，其特征在于還包括純水槽(10)和冷泵(11)，所述純水槽(10)出口與一級及二級吸附柱⑵和交換柱⑷連接，所述冷泵(11)與冷凝器(9)連接。
2.根據(jù)權利要求I所述的一種離子交換器，其特征在于與所述一級及二級吸附柱(2)、一級及二級交換柱(4)、冷泵(11)配合設有壓力計(12)和溫度計(13)。
3.根據(jù)權利要求I所述的一種離子交換器，其特征在于所述交換柱及連接管由PVDF材質構成。
4.根據(jù)權利要求I所述的一種離子交換器，其特征在于所述吸附柱與所述中間罐(3)之間還設有密度計(14)。
5.根據(jù)權利要求4所述的一種離子交換器，其特征在于所述壓力計、溫度計及密度計的信號輸出端經采集模塊與控制模塊連接。
6.根據(jù)權利要求I所述的一種離子交換器，其特征在于所述一級及二級交換柱與所述成品槽間設有流量計(15)。
專利摘要本實用新型公開了一種離子交換器，包括原料槽、一級及二級吸附柱、中間罐、一級及二級交換柱、成品槽、廢液槽以及泵、閥和連接管，原料槽的出口經泵與一級及二級吸附柱連接，一級及二級吸附柱的出口與中間罐連接，中間罐的出口與冷凝器連接，冷凝器的出口與一級及二級交換柱連接，一級及二級交換柱的出口與成品槽連接，廢液槽的入口與一級及二級交換柱及吸附柱連接，其特征在于還包括純水槽和冷泵，所述純水槽出口與一級及二級吸附柱和交換柱連接，所述冷泵與冷凝器連接。本實用新型的離子交換裝置，安全節(jié)能，生產成品更穩(wěn)定、精度高、純度高，且降低了生產成本。
文檔編號C01B15/013GK202558627SQ201220127928
公開日2012年11月28日 申請日期2012年3月30日 優(yōu)先權日2012年3月30日
發(fā)明者劉鳴, 袁燕萍 申請人:蘇州市晶協(xié)高新電子材料有限公司